JPH08315531A - ディスク状記録媒体上のヘッドの位置決め方法とサーボ情報書き込み方法、磁気ディスク装置と磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置、変位検出用ミラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 キャリッジに振動が加わってもヘッドを高精
度で位置決めして高品質なサーボ情報の書き込みを可能
とするサーボ情報書き込み方法などを提供する。 【構成】 光ヘッド位置決め装置１３によって磁気ディ
スク装置のディスク１の上方に正確に位置決めされる光
ヘッド１２と、サーボ情報書き込むヘッドを搭載したス
ライダ２との変位を、スライダ２上に取り付けられた円
筒状ミラーからなるターゲット１６により増幅して変位
検出回路１４で検出し、ＶＣＭ制御回路６では、検出し
た変位Ｘdの値に応じてＶＣＭ５を駆動制御し、キャリ
ッジ４を動かしてスライダ２を光ヘッド１２に追従さ
せ、スライダ２上のヘッドを位置決めする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置など
におけるディスク状記録媒体上のヘッドの位置決め方法
とサーボ情報書き込み方法、並びに、かかる方法を利用
した磁気ディスク装置と磁気ディスク装置用サーボ情報
書き込み装置、及び、かかる装置のための変位検出用ミ
ラーに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置において、ディスク状
記録媒体である磁気ディスクのトラックからの半径方向
のずれをなくすためのマークであるサーボ情報は、ヘッ
ドを目的のトラックに位置決めするために使用される。
かかるサーボ情報は、一般に、サーボトラックライタと
呼ばれる装置のヘッドを用いて外部から書き込むか、あ
るいは、磁気ディスク装置自体のヘッドを用いて書き込
むことが行われる。近年、磁気ディスク装置の記録密度
の高密度化に伴い、サーボ情報専用のディスク面を持つ
サーボ面サーボ方式よりも、データ面の一部にサーボ情
報を書き込むデータ面サーボ方式が主流となってきてお
り、これにより、かかるサーボ情報は、通常、後者の方
法で書き込まれるようになっている。

【０００３】また、特に小型磁気ディスクでは、スペー
スや耐衝撃性の問題から、ヘッド及び当該ヘッドを備え
たスライダを任意の位置に運ぶためのキャリッジの駆動
には、キャリッジを回転軸を中心に回転させるロータリ
型アクチュエータが使用されている。上記のサーボ情報
書き込み時におけるヘッドの位置決めは、高分解能のレ
ーザ測長計によってキャリッジの一点の位置を検出し、
これを目標位置と一致させるようにアクチュエータを駆
動することにより行っている。

【０００４】ところで、かかるレーザ測長計で位置を測
定するには、測定点にレーザ光を反射させるためのミラ
ーを設置することとなる。そして、このミラーの設置に
より、アクチュエータの機構共振周波数が低下してしま
い、さらには、ミラー取付部で発生する機構共振が加わ
るため、位置決めサーボ系のゼロクロス周波数を下げる
必要が生じてしまい、このことがヘッドの位置決め精度
を低下させていた。これに対し、位置決めサーボ系の帯
域幅は、これが広い方がより高い周波数の振動までコン
トロールすることが出来ることとなる。

【０００５】さらに、外部に他のアクチュエータとレー
ザ測長計を備え、この外部アクチュエータと内部のアク
チュエータとを連結し、もって、この外部アクチュエー
タをレーザ測長計で位置決めすることによってヘッドを
所定の位置に移動させる外部駆動方式によるヘッドの位
置決めにおいては、この外部アクチュエータ及びその連
結による機構共振特性の大幅な劣化は、より重大な問題
となっている。

【０００６】このようなアクチュエータの機構共振特性
の劣化に対しては、例えば特開平５−２７４８３３号公
報に記載のように、ヘッド回転支持機構上に形成した光
ディスク板とロータリエンコーダに取り付けた光ヘッド
により、ヘッド回転支持機構とロータリエンコーダの相
対変位を検出し、その相対変位の値を一定に保つように
ヘッド回転支持機構を位置決めする方法などが提案され
ている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気ディス
クを回転させるためのスピンドルモータ等に起因する振
動は、キャリッジの回転軸に伝達されてキャリッジ及び
ヘッドを備えたスライダをも振動させる。従来のヘッド
位置決め方式では、しかしながら、このような振動に対
してもキャリッジの位置測定点を目標位置に静止させる
ように制御する。従って、キャリッジの回転軸から伝わ
る振動は、静止させられたキャリッジの位置測定点を支
点として伝達され、ヘッドは静止せずに振動する。ヘッ
ドが振動すると、書き込むサーボ情報の位置がずれてし
まう。すなわち、このようなサーボ情報でトラックの位
置決めを行うと、隣接トラック間の間隔が一定せず、隣
接トラックのデータの干渉によってデータの再生エラー
が発生する恐れが生じることとなる。さらに、磁気ディ
スク装置における今後の高記録密度化に伴い、トラック
間隔が狭くなることが予想され、上記問題点の解決は、
より重要な課題になる。

【０００８】ところで、このヘッドに伝達される振動
は、キャリッジの位置測定点の場所によって、逆相にな
ったり増幅されたりし、測定点をヘッドに近付けるほど
小さくなる。そのため、前記の従来技術のように光ディ
スク板を取り付ける方式では、機構共振特性が低下して
しまい、そのために、光ディスク板をヘッドの近くに設
置することが困難となる。また、機構共振特性の低下を
防ぐために光ディスク板を小型軽量化すると、光ディス
ク板の加工や取り付け方法、取り付け精度等が問題にな
る。加えて、光ディスク板と光ヘッドの組み合わせで高
精度に変位を検出するためには、光ヘッドと光ディスク
板の間隔を短くする必要があるが、しかしながら、実際
に光ヘッドを配置するのは困難である。

【０００９】本発明の目的は、上記の従来技術における
問題点に鑑み、アクチュエータの機構共振特性を低下さ
せることなく、さらに、外部からキャリッジに振動が加
わってもヘッドを一定の位置に位置決めし、高品質なサ
ーボ情報を書き込むことを可能にするディスク状記録媒
体上のヘッドの位置決め方法とサーボ情報書き込み方
法、並びに、かかる方法を利用した磁気ディスク装置と
磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置、及び、か
かる装置のための変位検出用ミラーを提供することにあ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によれば、まず、高精度で位置決めが可能な
光ヘッドを回転するディスク状記録媒体の上方に位置決
めし、当該光ヘッドに対する相対位置を検出しながら、
少なくとも前記ディスク状記録媒体への情報の書き込み
が可能なヘッドを備えたスライダを、前記ディスク状記
録媒体表面に移動しながらヘッドの位置決めを行うヘッ
ドの位置決め方法であって、前記スライダと前記光ヘッ
ドとの間を光学的に結合し、当該光学的な結合により生
じる前記光ヘッドと前記スライダとの増幅された変位を
検出し、そして、当該検出され増幅された変位により前
記ヘッドを前記ディスク状記録媒体上に位置決めするデ
ィスク状記録媒体上のヘッドの位置決め方法が提案され
る。

【００１１】また、本発明によれば、回転するディスク
状記録媒体上をキャリッジによって移動可能に支持され
たヘッドを搭載したスライダをキャリッジ駆動手段によ
り位置決めし、前記ヘッドによって前記回転するディス
ク状記録媒体に少なくともサーボ情報を書き込むサーボ
情報書き込み方法において、前記スライダもしくは前記
キャリッジに反射面を有する反射手段を設け、光ヘッド
を前記ディスク状記録媒体に対して正確に位置決めし、
前記光ヘッドからの光を前記反射手段により反射し、こ
の反射光の角度変化により前記光ヘッドと前記ヘッドと
の増幅された変位を検出し、そして、この検出した前記
光ヘッドとヘッドとの増幅された変位により前記ヘッド
の位置決めを行って前記回転するディスク状記録媒体に
サーボ情報を書き込むサーボ情報書き込み方法が提案さ
れる。

【００１２】さらに、やはり上記の目的を達成するた
め、前記に記載のサーボ情報書き込み方法によりヘッド
の位置決めを行って回転するディスク状記録媒体にサー
ボ情報を書き込む磁気ディスク装置であって、回転する
ディスク状記録媒体と、前記ディスク状記録媒体へ情報
の書き込みが可能なヘッドを備えたスライダと、前記ス
ライダを前記ディスク状記録媒体表面に移動するキャリ
ッジを駆動しながらヘッドの位置決めを行うキャリッジ
駆動手段とを備え、前記スライダあるいは前記キャリッ
ジ駆動手段の一部に、前記磁気ディスク装置の外部に配
置され、かつ、前記磁気ディスク装置の回転するディス
ク状記録媒体に対して高精度で位置決めが可能な光ヘッ
ドとの間の光学的に結合するための手段を設けた磁気デ
ィスク装置が提案される。

【００１３】また、本発明によれば、回転するディスク
状記録媒体と、高精度で位置決めが可能な光ヘッドと、
前記光ヘッドを前記ディスク状記録媒体の上方に位置決
めする光ヘッド位置決め装置と、少なくとも前記ディス
ク状記録媒体へ情報の書き込みが可能なヘッドを備えた
スライダと、前記スライダを前記ディスク状記録媒体表
面に移動するキャリッジを駆動しながらヘッドの位置決
めを行うキャリッジ駆動手段とを備え、前記光ヘッドと
前記スライダとの相対位置を検出することにより前記ヘ
ッドを前記ディスク状記録媒体上に位置決めする磁気デ
ィスク装置において、前記光ヘッドあるいは前記光ヘッ
ド位置決め装置の一部、及び、前記スライダあるいは前
記キャリッジ駆動手段の一部の少なくとも一方に、湾曲
した反射面を有するターゲットを配置し、さらに、当該
ターゲットの反射面により反射される反射光により前記
光ヘッドと前記スライダとの相対位置誤差を検出する手
段を備えた磁気ディスク装置が提案される。

【００１４】さらに、本発明によれば、前記のサーボ情
報書き込み方法によりヘッドの位置決めを行って磁気デ
ィスク装置の回転するディスク状記録媒体にサーボ情報
を書き込む磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置
であって、前記磁気ディスク装置の回転するディスク状
記録媒体に対して正確に位置決めが可能で、かつ、前記
磁気ディスク装置のスライダもしくはキャリッジの反射
手段を介して前記ヘッドとの増幅された変位を光学的に
検出する変位検出手段を備えた光ヘッドと、前記光ヘッ
ドの変位検出手段からの検出変位を前記磁気ディスク装
置のヘッドの位置を制御する手段へ出力する手段とを備
えた磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置が提案
されている。

【００１５】加えて、本発明によれば、上記の本発明の
磁気ディスク装置の光結合手段、磁気ディスク装置のタ
ーゲット、あるいは、磁気ディスク装置用サーボ情報書
き込み装置の湾曲した反射面として使用するための変位
検出用ミラーであって、ガラス管もしくはガラス棒の表
面に反射膜を加工して形成してなる変位検出用ミラーが
提案されている。

【００１６】

【作用】上記の本発明によれば、磁気ディスク装置のヘ
ッドを搭載したスライダとディスク状記録媒体の上方に
正確に位置決めする光ヘッドとの間に光学的な結合手
段、より具体的には、これらの間に形成される光路中に
曲面の反射面を持つターゲットなどを設け、これにより
光ヘッドから入射した光の反射光の増幅された角度変化
からスライダの変位を検出するので、アクチュエータの
機構共振特性を劣化させることなく、かつ、離れた位置
から前記ヘッドの変位を高精度に検出でき、キャリッジ
に伝わる外乱変位による位置検出誤差がなく、ヘッドの
正確な位置決めが可能となる。

【００１７】また、上記の本発明によれば、前記光ヘッ
ドから前記光結合手段であるターゲットに入射する光と
前記スライダの移動面との角度の傾きあるいはその移動
面に対する傾きをも検出することが出来ることから、こ
れを補正するように前記光ヘッドの傾斜を制御すること
により、前記光ヘッドの光軸の傾きによる検出変位の誤
差を防ぎ、ヘッドを正確に位置決めできる。

【００１８】さらに、光ヘッドもしくはディスク状記録
媒体の移動情報をキャリッジ駆動手段にフィードフォワ
ード情報として入力することにより、安定してキャリッ
ジを光ヘッドに追従させることができる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の実施例の詳細について、添付
の図面を参照しながら説明する。まず、図１は、本発明
の一実施例になる磁気ディスク装置おけるサーボ情報書
き込み装置である、いわゆるサーボトラックライタの構
成を示すものであり、この図において、符号１は、デー
タ情報及びサーボ情報が書き込まれる記録媒体である、
複数枚の磁気記録ディスクを積層して保持してなるディ
スクを、符号２は、上記ディスク１に少なくともサーボ
情報を書き込むための書込ヘッドを登載したスライダ
を、符号３は、上記スライダ２をディスク１に押し付け
るロードアームを、符号４は、上記ロードアーム３を介
してスライダ２を支持し、上記ディスク１の任意の位置
に位置付けるキャリッジを、符号５は、上記キャリッジ
４を駆動するＶＣＭ（ボイスコイルモータ）を、符号６
は、後述する変位検出回路により検出される変位Ｘdの
値に応じて上記ＶＣＭ５の駆動電流ｉを制御するＶＣＭ
制御回路を、符号７は、上記スライダ２上のヘッドを用
いて上記ディスク１にサーボ情報を書き込むサーボ情報
書き込み回路を、符号８は、上記複数枚のディスク１を
積層して保持するスピンドルを、符号９は、上記スピン
ドル８を回転させるスピンドルモータを、符号１０は、
上記スピンドルモータ９を一定回転で駆動させるスピン
ドルモータ駆動回路を、符号１１は、全体の動作を制御
するＭＰＵ（マイクロプロセッサ）を、符号１２は、上
記スライダ２の変位を検出する光ヘッドを、符号１３
は、上記光ヘッド１２を移動させて正確に位置決めする
光ヘッド位置決め装置を、符号１４は、上記光ヘッド１
２の出力から変位Ｘdを検出する変位検出回路を、そし
て、符号１５は、サーボ情報を書き込むときの基準とな
るクロックを発生するクロックヘッドを示している。

【００２０】なお、上記の構成において、上記の複数枚
のディスク１は、積層されてスピンドル８に保持されて
おり、このスピンドル８はスピンドルモータ９によって
回転されている。このスピンドルモータ９は、スピンド
ルモータ駆動回路１０によって駆動され、これによっ
て、一定の回転数に保たれている。また、スライダ２
は、上記ロードアーム３を介してキャリッジ４に支持さ
れており、ＶＣＭ５によってキャリッジ４が駆動される
ことによりディスク１上を移動する。さらに、サーボ情
報は、上記の複数枚のディスクを積層保持してなるディ
スク１において、サーボ面サーボ方式による場合には、
最上位置のディスク上に、他方、データ面サーボ方式に
よる場合には、それら全てのディスク上に書き込まれ
る。加えて、上記の書込ヘッドを備えたスライダ２は、
上記サーボ情報を含むデータ情報を書き込むと共に、こ
れらを読み出しあるいは消去することも可能であっても
よいことは当然である。

【００２１】また、光ヘッド位置決め装置１３は、いわ
ゆるレーザ測長計等を用いた高精度な位置決めが可能で
あり、光ヘッド１２を、スライダ２と同一の回転軸上
で、かつ、同一の半径上を移動させ、これにより、所定
位置に正確に位置決めする。

【００２２】次に、上記のスライダ２の背面には、図２
にその詳細が示されるように、いわゆるターゲット１６
が取り付けられており、このターゲット１６の位置は、
上記の光ヘッド１２によって検出される。そして、図１
の変位検出回路１４では、上記光ヘッド１２の出力か
ら、光ヘッド１２とスライダ２との相対的な変位Ｘdを
検出する。また、図１に示したＶＣＭ制御回路６は、こ
の変位Ｘdの値に応じてＶＣＭ５の駆動電流ｉを制御
し、すなわち、この変位Ｘdが零（０）、つまりスライ
ダ２が上記光ヘッド１２の真下に来るようにキャリッジ
４を駆動しながら、スライダ２上の書込ヘッドを位置決
めする。

【００２３】一方、クロックヘッド１５は、上記ディス
ク１の記録領域外に、最初に、一定周波数のクロック信
号を１回転分書き込み、サーボ情報を書き込む時に、そ
のクロック信号を再生する。すなわち、サーボ情報の書
き込みは、スライダ２が目標位置に位置決めされた状態
で、このスライダ２上の書込ヘッドを用いて行われる
が、この時、図１のサーボ情報書き込み回路７は、上記
クロックヘッド１５で再生されたクロック信号に同期し
ながらサーボ情報を書き込む。なお、ＭＰＵ１１は、サ
ーボトラックライタ全体の制御を行う。

【００２４】図３には、サーボ情報の書き込み手順の流
れ図が示されており、ここで、各ステップはイニシャル
「Ｓ」により略称する。最初に、図１に示したサーボト
ラックライタにＨＤＡ（ヘッド・ディスク・アセンブ
リ）を設置する（Ｓ１）。次に、スピンドルモータ駆動
回路１０に指令を送ってスピンドルモータ９を起動さ
せ、回転数が安定するのを待ち（Ｓ２）、クロックヘッ
ド１５でクロック信号を１回転分書き込む（Ｓ３）。そ
の後、スライダ２を図示しない最外周のストッパに押し
付けて固定し（Ｓ４）、光ヘッド１２をスライダ２上ま
で移動させる（Ｓ５）。その後、その状態でキャリッジ
４のサーボ引き込みを行い（Ｓ６）、これによりスライ
ダ２を光ヘッド１２に追従した状態にする。そして、ス
ライダ２が追従状態になった時、追従が外れないような
速度及び加速度で、光ヘッド１２を所定のサーボ情報書
き込み位置に移動させる（Ｓ７）。その後、スライダ２
を位置決めし、サーボ情報書き込み回路７に指令を送っ
て、光ヘッド１２及びキャリッジ４の位置整定を繰り返
し（Ｓ７１で「Ｎ」の場合）、これらの位置整定が行わ
れた後（Ｓ７１で「Ｙ」の場合）、クロックヘッド１５
で再生されるクロック信号に同期しながらディスク１に
サーボ情報を書き込み（Ｓ８）、１トラック分のサーボ
情報の書き込みが終了したら、前サーボ情報の書き込み
の終了を判定する（Ｓ８１）。こうしてスライダ２の位
置決めとサーボ情報の書き込みを繰り返し（Ｓ８１で
「Ｎ」の場合）、全てのトラックにサーボ情報を書き込
んだ状態で（Ｓ８１で「Ｙ」の場合）、スピンドルモー
タ９を停止し（Ｓ９）、サーボ情報の書き込みを終了す
る。

【００２５】この様な本発明になる図１のようなサーボ
情報書き込み装置の構成によれば、光ヘッド１２を正確
に位置決めし、キャリッジ４を駆動してスライダ２を光
ヘッド１２に追従させるように位置決めをすることによ
り、アクチュエータの機構共振特性を低下させず、キャ
リッジ４に振動が加わっても、スライダ２上の書込ヘッ
ドを一定の位置に位置決めでき、これにより、高品質な
サーボ情報の書き込みが可能になる。このことについ
て、以下、具体的に説明を行う。

【００２６】ここで再び図２を参照しながら説明する
と、上記図２は、スライダ２上に取り付けたターゲット
１６と光ヘッド１２の関係の一例を示す図であり、この
図において、光ヘッド１２はターゲット１６に向けてレ
ーザ光を放射し、その反射光を受光してターゲット１６
と光ヘッド１２の相対的な変位Ｘdを検出する。このタ
ーゲット１６としては、例えば円筒状のミラーを、上記
スライダ２の回転移動の半径方向に、その円筒の軸方向
を合わせて取り付けており、これにより、いわゆる光梃
子変位検出方式によって変位Ｘdを検出するものであ
る。

【００２７】上記の光梃子変位検出方式による変位検出
の原理を図４に示す。図において、ターゲットである円
筒状ミラー１６の水平方向の移動Ｐtによって、垂直方
向から入射するレーザ光の反射角度が変化し、センサ位
置における反射光の変位Ｐbが生じる。この円筒状ミラ
ー１６には、例えば、表面が平滑な円筒や円柱の表面に
ミラー加工を行ったものを採用している。この円筒状ミ
ラー１６の半径をｒ、レーザ光の反射面とセンサまでの
距離（梃子長さ）をＬとすると、円筒状ミラー１６の変
位Ｐtが微少な範囲では、以下の関係が成り立つ。

【数１】

【００２８】つまり、円筒状ミラー１６の半径ｒと梃子
長さＬの値の選び方によって、上記円筒状ミラー１６の
変位Ｐtを増幅して検出できる。例えばｒ＝１ｍｍ、Ｌ
＝５０ｍｍの場合、変位Ｐbは約１００倍に拡大される
ので、センサの変位分解能が０．１μｍであれば円筒状
ミラー１６の変位検出分解能は１ｎｍとなり、高精度な
変位検出が可能になる。本変位検出方式では、一般的な
光ディスクの変位検出方式のようにレーザ光を絞り込む
必要はないので、焦点距離の長いレンズを使用でき、光
ヘッド１２と上記の円筒状ミラーからなるターゲット１
６の間隔（ワークディスタンス）を長くできるので、操
作性が向上する。

【００２９】このような光梃子変位検出方式は、例え
ば、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）で用いられてい
る。ＳＴＭでは、ターゲットとして半球状のミラーを用
いて、２次元の変位検出を行っている。本実施例では、
１次元の変位の検出ができればよく、ターゲットの半径
方向の取り付け位置誤差を許容する目的からも、ターゲ
ット１６として円筒状ミラーを用いている。かかる円筒
状ミラーは、サーボトラックライタにＨＤＡを設置した
ときに、ＨＤＡの部品精度や組立精度、円筒状ミラーの
取り付け精度等に起因する円筒状ミラー１６と光ヘッド
１２の位置ずれを許容するだけ長さが必要である。ただ
し、一般にＨＤＡは高精度に作られており、例えば円筒
状ミラー１６の長さは１ｍｍ程度でよい。また、この円
筒状ミラー１６をガラスで構成した場合には、ｒ＝１ｍ
ｍとすれば、その質量は取り付けるための接着剤等を含
めても０．０５ｇ以下になり、アクチュエータの機構共
振特性をほとんど劣化させることはない。

【００３０】図５は、上記の円筒状ミラーからなるター
ゲット１６を、上記のスライダ２に代えて、上記スライ
ダ２を保持するロードアーム３上に取り付けた例を示す
図である。近年、スライダ２の低浮上化等に対応して、
スライダ２の形状は小形化する傾向にあり、ターゲット
１６を取り付けるスペースを確保できなくなることが考
えられる。そのような場合には、この図５に示すよう
に、ロードアーム３等のスライダ２を支持する部材の上
のヘッドに近い位置にこのターゲット１６を取り付けれ
ばよい。また、上記の構造に代え、図６に示すように、
キャリッジ４等のような、スライダ２と連動して動作す
る部分にターゲット１６を取り付けることも可能であ
る。

【００３１】このようなターゲット１６として、例え
ば、ガラス製の管や棒のような表面の平滑なものに金属
膜等のミラーコーティングを施したもの用いればよい。
また、スライダ２の位置は、ターゲット１６の特定の位
置にレーザ光が入射するように制御するので、その反射
表面の曲率（半径）の精度は数％以内でよく、一般的な
安価なガラス管を使用することも可能である。従って、
ターゲット１６は上述のように非常に軽量かつ安価であ
り、取り外して再利用する必要はなく、取り付けたまま
でよいので作業性が向上する。

【００３２】さらに、図７には、上記で説明したターゲ
ット１６のその他の形状例を示す。この図にも示される
ように、ターゲット１６は、円筒（図７（ａ））もしく
は円柱（図７（ｂ））の一部を使用してもよく、その場
合には、さらに軽量化できる。例えば、ガラス管の一部
を用いてもよく、樹脂をプレスして円柱の一部を構成し
てもよい。反射面としては、上述の凸面だけではなく、
凹面を用いてもよい（図７（ｃ）及び（ｄ））。また、
反射表面の曲率は一定である必要はなく、例えば、断面
が楕円のような曲率が変化するもの（図７（ｅ））であ
ってもよい。さらに、ターゲット１６の取り付け精度が
十分確保される場合には、球もしくはその一部（図７
（ｆ））をターゲットとして用いてもよく、その場合、
曲率は一定である必要はない。また、反射面は表面であ
る必要はなく、ターゲット１６の内部で反射するもので
あってもよい。つまり、ターゲット１６は、水平方向の
変位をレーザ光の反射角度に変換するものであればよ
く、スライダ２やロードアーム３、キャリッジ４等に、
直接曲面加工、ミラー加工を行い、反射面を構成しても
よい。

【００３３】次に、図８には、上記の光ヘッド１２に採
用されている光学系の一例を示す。この実施例では、レ
ーザダイオード（ＬＤ）１８から放射されるレーザ光は
対物レンズ１９によって集光されて、ターゲットである
円筒状ミラー１６に入射される。この円筒状ミラー１６
による上記レーザ光の反射光は、ビームスプリッタ２０
によって分光され、フォトディテクタ（ＰＤ）２１に入
射され、これにより変位が検出される。

【００３４】このＰＤ２１は、２分割されて構成されて
おり、各ＰＤの出力の差によって変位を検出するもので
あり、図９（ａ）には、この２分割されたＰＤの構成
が、そして、図９（ｂ）には、入射されるレーザスポッ
ト（図９（ａ）中の斜線部）２２の変位Ｐbと変位出力
Ｘdとの関係が示されている。ここで、図の変位検出回
路１４からの変位出力Ｘdは、以下のように表される。

【数２】 なお、この数式において、ＡとＢは、上記２分割された
ＰＤ２１からのそれぞれの出力を表している。

【００３５】なお、ＨＤＡの部品精度や組立精度、ある
いは、ターゲット１６の取り付け精度等により、反射面
が焦点位置から上下にずれる（フォーカスオフセット）
場合、上記ＰＤ２１でのビームスポット２２の径が変化
するので、光ヘッド１２の変位検出感度が変化する。そ
して、この変位検出感度が±１５％以上変化すると、正
常にフォローイングが行われない可能性がある。そこ
で、そのような可能性がある場合には、一旦、上記のス
ライダ２を外周もしくは内周位置に固定した状態で、光
ヘッド１２をターゲット１６上を移動させ、変位検出感
度を検出して補正することにより、かかる問題を解消す
ることが出来る。

【００３６】ただし、変位検出感度の大幅な変動は、変
位検出精度を低下させる可能性がある。また、動的な変
位検出感度の変動は、変位検出信号の外乱となるので好
ましくない。このような場合には、光ヘッドにフォーカ
ス制御機構を持たせ、オートフォーカス制御を行ってセ
ンサ位置におけるビームスポット２２の径を一定に保
ち、センサ検出感度を一定にする必要がある。

【００３７】続いて、図１０（ａ）及び（ｂ）には、上
記の変位出力Ｘdと同時に、さらに、オートフォーカス
制御を行うためのＡf信号を出力するための４分割構造
のＰＤの構成、及び、反射レーザ光であるビームスポッ
ト２２の変位Ｐbと変位出力Ｘdの関係が示される。この
場合、検出変位Ｘd及びオートフォーカス信号Ａfは以下
のようになる。

【数３】

【数４】 なお、これらの数式において、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは、上記
４分割されたＰＤ２１からのそれぞれの出力を表してい
る。

【００３８】また、図１１には、光ヘッド１２の光学系
の他の実施例を示す。この他の実施例になる光学系で
は、ＬＤ１８から放射されるレーザ光はコリメータレン
ズ２４によって一旦平行光にされ、対物レンズ１９によ
って集光されて、ターゲットである円筒状ミラー１６に
入射される。このレーザ光の円筒状ミラー１６による反
射光は、対物レンズ１９によって再び平行光に戻され、
ビームスプリッタ２０によって分光されて位置検出素子
（ＰＳＤ）２３に入射される。このＰＳＤ２３に入射す
るビームスポット２２の径を絞って小さくするために、
コリメータレンズ２４とビームスプリッタ２０の間に
は、絞り２５が配置されている。このような構成では、
光梃子の長さＬは、円筒状ミラー１６の反射面から対物
レンズ１９までの距離となる。

【００３９】図１２（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）には、上
述のＰＤに代えてビームスポット２２を検出するセンサ
として使用される位置検出素子（ＰＳＤ）２３の構成、
このＰＳＤ２３のセンサ出力、及び、ビームスポットの
変位Ｐbと変位出力Ｘdとの関係が示されている。このＰ
ＳＤ２３は、ビーム２２の強度や径に関わらず、ビーム
２２の中心位置を検出することが可能なセンサであり、
１個のセンサで１次元の位置を検出するタイプと、２次
元の位置を検出するタイプのものがある。本実施例では
１次元の変位検出で十分なので、以下の説明では１次元
ＰＳＤを用いたものについてのみ説明を行うが、しかし
ながら、これに代えて２次元ＰＳＤを用いることも可能
であることは言うまでもない。

【００４０】このＰＳＤ２３は、基本的には上記のＰＤ
（フォトディテクタ）と同じ材質でできており、１個の
素子に２個の出力端子が出ている。各出力端子からの出
力の光電変換感度は、その出力端子からの位置に対して
線形であり、図１２（ｂ）からも明らかなように、出力
端子に一番遠い位置で零（０）、一番近い位置で最大
値、中央で最大値の１／２となる。従って、これら２個
の出力端子からの出力Ｉ1及びＩ2から、以下の数式で示
す演算を行うことにより、ビームスポット２２の強度や
ビーム径に関わらず、常に、検出感度が一定な変位出力
Ｘdを得ることができる。

【数５】 この様に、上記ＰＤの代わりにＰＳＤをセンサに用いる
ことで、フォーカス制御を行わなくても変位検出感度を
一定に保つことができ、もって、簡単な構成で安定した
変位検出が可能になる。

【００４１】図１３には、光ヘッド１２の光学系のさら
に他の実施例を示す。この実施例では、ＬＤ１８から放
射されるレーザ光は対物レンズ１９によって一旦集光さ
れた後、コリメータレンズ２４によって非常に細い平行
光にされ、ターゲットである円筒状ミラー１６に入射さ
れる。このレーザ光の円筒状ミラー１６による反射光
は、ビームスプリッタ２０によって分光されて、やは
り、ＰＳＤ２３に入射される。さらに、ビームを絞るた
めに、上記の図１１に示した例のように、途中に絞り２
５を配置してもよい。なお、本構成では、円筒状ミラー
１６による反射位置が上下に変動しても、センサである
ＰＳＤ２３の位置でのビームスポット２２の径はほとん
ど変化しないので、センサとしてＰＤ２１を用いても変
位検出感度の変動は発生しない。ここでも、光梃子の長
さＬは、円筒状ミラー１６の反射面からＰＳＤ２３まで
の光路に沿った距離になる。

【００４２】さらに、図１４には、傾き補正機構を備え
た光ヘッド１２の構成の例を示す。すなわち、この傾き
補正機構２６は、光ヘッド１２と光ヘッド位置決め装置
１３との間に挿入して配置され、光ヘッド１２からのビ
ームの傾き及びターゲット１６の傾きの補正を行うもの
である。

【００４３】かかる構成において、ターゲット１６の移
動面に対して光ヘッド１２のビームが垂直に入射されな
い場合には、ターゲット１６の上下動（フォーカスオフ
セット方向の動き）が、変位信号Ｘdに漏れ込む。すな
わち、ビームの傾きをθ、ターゲット１６の上下方向の
変位をＸhとすると、このターゲット１６の上下動によ
って発生する変位検出誤差Ｅdは、以下の数式のように
なる。

【数６】

【００４４】このように、検出される変位検出誤差Ｅd
の静的な成分は、全体的なオフセットとなるため、サー
ボ信号の書き込み精度には影響しない。しかしながら、
その動的な成分はそのままサーボ信号に振動成分として
書き込まれる。具体的には、スライダ２は、ディスク１
の面の変動によって、上下に±１０μｍ程度、動的に振
動するので、スライダ２もしくはロードアーム３にター
ゲット１６を取り付けた場合には、上記変位検出誤差Ｅ
dの動的成分が発生する。そのため、ビームの傾きθを
十分小さく押さえることができない場合には、ビームの
傾きを補正するために、上記の傾き補正機構２６が必要
になる。

【００４５】図１５には、上記の傾き補正機構２６によ
るビームの傾きを補正する方法を示す。例えば、スライ
ダ２上のターゲット１６の近傍に、このターゲット１６
の移動方向（図中の矢印を参照）と平行な平面の反射面
Ｐを構成しておく。ディスク１を回転するスピンドル８
が静止した状態で、前記反射面Ｐに光ヘッド１２からの
レーザ光を入射し、その反射光がＰＳＤ２３の中心に入
射してその変位信号Ｘdが零になるように、傾き調整機
構２６によって光ヘッド１２を傾ける。また、ビームの
傾きθとターゲット１６の変位Ｘh（図中の矢印Ｘhを参
照）が測定可能な場合には、演算によって変位検出誤差
Ｅdの補正を行ってもよい。

【００４６】さらに、図１６には、ターゲット１６のα
方向の傾きを補正する構成及び方法を示す。図におい
て、ターゲット１６が傾いて取り付けられていると、レ
ーザ光の反射光が光ヘッド１２のセンサ（例えば、上記
のＰＤ２１あるいはＰＳＤ２３）から外れてしまう可能
性がある。ところで、ターゲット１６の傾きのうち、タ
ーゲット１６の移動面内での傾きについては比較的影響
が小さいので、補正をする必要性は少ない。しかしなが
ら、ターゲット１６の移動面に対して、ターゲット１６
がα方向に傾いて取り付けられている場合には、その傾
きを補正する必要がある。そこで、上記同様に光ヘッド
１２と光ヘッド位置決め装置１３との間に挿入して配置
された傾き調整機構２６によって、光ヘッド１２を図の
矢印方向に回動させてターゲット１６に対する傾きαを
変化させ、これにより、光ヘッド１２のＰＳＤ２３の出
力の値が最大になるように光ヘッド１２の傾きを調整す
ることにより補正が可能になる。

【００４７】また、図１７に示すように、光ヘッド１２
のビームスポット２２を、ターゲット１６の軸方向に長
くすることによって、ある程度、ターゲット１６が傾い
ていても、ターゲット１６により反射されてＰＳＤ２３
上に入射するビームスポット２２を長くして、その一部
をＰＳＤ２３に確実に入射させるようにすることも可能
である。従って、かかる構成によれば、ターゲット１６
の傾きを補正することなく、ターゲット１６の取り付け
角度の許容範囲を広げることが可能になる。上記のよう
な縦長のビームは、例えば絞り２５の形状を縦長にする
ことにより、容易に形成することが可能である。

【００４８】次に、図１８は、上記の光ヘッドの構造と
は異なり、光ヘッドの内部に光梃子である円筒状ミラー
からなるターゲット１６を配置し、もって、変位増幅機
構を備えた光ヘッド１２’の実施例を示すものである。
また、この実施例では、スライダ２には、上記の円筒状
ミラーに代わって、平面ミラー２７を４５゜傾けて取り
付け、これにより水平方向から入射するレーザ光を垂直
方向に反射させる。

【００４９】かかる構成によれば、スライダ２が水平方
向に変位すると、上記平面ミラー２７によるＬＤ１８か
らのレーザ光の反射位置が変化するため、その反射光は
スライダ２の変位と同じ距離だけ平行移動する。そこ
で、この反射光の変位を光ヘッド１２の内部に設けた光
梃子あるいは円筒状ミラー１６によって増幅し、これに
よって、ＰＳＤ２３による変位検出感度を向上させるも
のである。この時、ロータリ型アクチュエータによる場
合には、上記のスライダ２が、つまり、その上に搭載さ
れた平面ミラー２７が回転するため、レーザ光の入射部
も光ヘッド１２と一体で移動させることとなる。なお、
本方式の場合、スライダ２の垂直方向の変位に対して
も、水平方向と同程度の感度を有するので、同様の補正
等が必要になる。

【００５０】さらに、図１９には、その内部に光梃子で
あるターゲット１６を配置した光ヘッド１２’におい
て、上記の平面ミラー２７の代わりに直角ミラー２８を
使用し、垂直方向から入射したビームを直角ミラー２８
の２つの反射面で反射させ、反射ビームを再び垂直方向
に戻すように構成した変形例が示されている。このよう
な変形例の場合、反射光の変位は、スライダ２の変位の
２倍に増幅されることとなる。また、上記の直角ミラー
２８の反射面がスライダ２の移動面に対して４５゜の角
度で取り付けられており、かつ、レーザ光がスライダ２
の移動面に対して垂直に入射する場合には、上記スライ
ダ２の垂直方向の変位に対しては感度が発生しないこと
となる。それ以外の場合には、直角ミラー２８の取り付
け誤差や入射レーザ光の傾きの程度に対応し、スライダ
２の垂直方向の変位に対して感度が発生することとなる
ので、場合によってはその補正等が必要になる。

【００５１】また、上記の図１８及び図１９に示したそ
の内部に光梃子であるターゲット１６を配置した光ヘッ
ド１２’においては、スライダ２の表面に取り付けられ
た上記の平面ミラー２７や直角ミラー２８の代わりに、
例えば直角プリズム等を用いてもよく、または、上記ス
ライダ２、スライダ２を保持するロードアーム３、ある
いは、これを移動するキャリッジ４等の一部を加工し、
これらの一部に、直接、上記の反射面を構成してもよ
い。さらに、上記の平面ミラー２７や直角ミラー２８の
反射面と、スライダ２の移動面とのなす角度は４５゜で
はなくてもよく、また、直角ミラー２８の代わりに２つ
の反射面が９０゜以外の角度をなすミラーを用いてもよ
い。その場合には、レーザ光の反射方向やスライダ変位
に対する反射光変位の比が変化することとなる。

【００５２】ところで、上記に述べた本発明の種々の実
施例においては、スライダ２の在るトラックから次のト
ラックへの移動は、スライダ２が光ヘッド１２の移動に
追従することによって行われる。そのため、光ヘッド１
２に対してスライダ２の動きに遅れが発生してしまい、
場合によっては、その動作が不安定になる恐れがある。
そこで、図１にも示すように、光ヘッド位置決め装置１
３からの光ヘッド１２の速度や加速度等の移動情報Ｓf
を、ＶＣＭ制御回路６にフィードフォワード情報として
入力し、これによってキャリッジ４を駆動しながらスラ
イダ２を移動させることが行われる。従って、このよう
な光ヘッドの移動情報Ｓfをフィードフォワードする構
成によれば、予め光ヘッド１２の動きが判るため、スラ
イダ２を安定して追従させることが出来ることとなる。

【００５３】最後に、図２０には、本発明になる磁気デ
ィスク装置のケ−スの一部に透明な窓を設けた変形例が
示されている。一般に、磁気ディスク装置は塵埃を非常
に嫌うため、通常の使用時にはケ−ス２９内に密閉され
ている。また、磁気ディスク装置の製造やサ−ボ情報の
書き込みなどの作業は、作業コストの高いクリ−ンル−
ム内で行われている。そこで、この変形例になる磁気デ
ィスク装置では、そのケ−ス２９において、スライダ２
上に搭載されたタ−ゲット１６を検出するのに必要な範
囲の部分を、例えばガラス等の透明な窓３０にすること
により、磁気ディスク装置をケース２９内に密閉した状
態のままで上記実施例によるヘッド位置決めが可能にな
り、これにより、クリ−ンル−ムの外でも上記サ−ボ情
報の書き込みが可能になる。その場合、例えば磁気ディ
スク装置の内部に固定ヘッドを設置し、その固定ヘッド
をクロックヘッド（図１の符号１５を参照）とし、クロ
ック信号を発生させることとなる。

【００５４】なお、上記実施例では、光ヘッド１２に光
源としてレーザダイオード（ＬＤ）を用いているが、し
かしながら、この光源としてはレーザビーム等のコヒー
レント光である必要はなく、これに代えて、例えば発光
ダイオード（ＬＥＤ）等でもよく、また、この光源とし
ては可視光に限らず、赤外光や紫外光によるものであっ
てもよい。さらに、使用する光の波長に合わせた干渉フ
ィルタを光電変換センサ（上記のＰＤ２１やＰＳＤ２３
など）の手前に配置することにより、外乱光による影響
を低下させることができる。

【００５５】また、上記の実施例においては、光ヘッド
１２を移動させてディスク１との相対位置を変化させて
いるが、これとは逆に、光ヘッド１２を固定し、ディス
ク１の側を動かすようにしてもよい。さらに、上記の実
施例においては、接着剤等によってターゲットである円
筒状ミラー１６を取り付けたままにする例について記述
しているが、これに代え、円筒状ミラー１６を着脱可能
にする機構を設け、サ−ボ情報書き込み後には、これを
取り外すようにしてもよい。

【００５６】加えて、上記の本発明の実施例によれば、
光電変換センサとして、特に、上述のＰＳＤ２３を用い
ることにより、フォーカス機構を必要とせずにその変位
検出感度を一定に保つことが可能となり、もって、光ヘ
ッドの構成を簡素化することができる。また、上記の図
１７にも示すように、ビームスポットをターゲットの軸
方向に長くすることにより、ターゲットの取り付け角度
誤差の許容範囲を広げることが可能になる。

【００５７】

【発明の効果】以上の詳細な説明からも明らかなよう
に、本発明によれば、サーボ情報を書き込もうとする磁
気ディスクに対して正確な位置決めが可能な光ヘッド
と、サーボ情報を書き込むヘッドを備えたスライダの増
幅された変位を検出することにより、ヘッドの変位を高
精度に検出でき、キャリッジに伝わる外乱変位による位
置検出誤差がなく、ヘッドの正確な位置決めが可能とな
り、また、光ヘッドから入射する光とスライダの移動面
との角度の傾きやスライダの移動面に対するミラーの傾
きを検出して補正することにより、光ヘッドの光軸の傾
きによる検出変位の誤差を防ぎ、ヘッドを正確に位置決
めでき、さらには、光ヘッドもしくはディスク状記録媒
体の移動情報をキャリッジ駆動手段にフィードフォワー
ド情報として入力することにより、安定してキャリッジ
を光ヘッドに追従させることができるという、技術的に
も優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例になるヘッドの位置決め方法
によりサーボ情報書き込むサーボトラックライタの構成
を示す図である。

【図２】上記サーボトラックライタにおけるスライダ上
に取り付けたターゲットと光ヘッドとの関係を示す一部
拡大斜視図である。

【図３】上記図１に示した実施例におけるサーボ情報書
き込み手順の例を示すフローチャート図である。

【図４】上記実施例において、ターゲットによる変位検
出方法の原理を示す説明図である。

【図５】上記ターゲットを磁気ディスク装置のロードア
ーム上に取り付けた例を示す図である。

【図６】上記ターゲットを磁気ディスク装置のキャリッ
ジ上に取り付けた例を示す図である。

【図７】上記ターゲットのその他の形状の例を示す斜視
図である。

【図８】上記実施例のサーボトラックライタにおける光
ヘッドの光学系の構成を示す図である。

【図９】上記実施例においてターゲットで反射されたビ
ームスポットを受光して変位を出力する２分割フォトデ
ィテクタの構成とその変位出力関係を示す図である。

【図１０】上記実施例においてターゲットで反射された
ビームスポットを受光して変位を出力する４分割フォト
ディテクタの構成とその変位出力関係を示す図である。

【図１１】上記実施例のサーボトラックライタにおける
光ヘッドの光学系の他の構成を示す図である。

【図１２】上記実施例においてターゲットで反射された
ビームスポットを受光して変位を出力する位置検出素子
の構成とその変位出力関係を示す図である。

【図１３】上記実施例のサーボトラックライタにおける
光ヘッドの光学系のさらに他の構成を示す図である。

【図１４】さらに傾き補正機構を備えた光ヘッドの構成
の例を示す図である。

【図１５】上記傾き補正機構を備えた光ヘッドの構成例
において、ビームの傾きを補正する方法の原理を説明す
る図である。

【図１６】さらにターゲットの傾きを補正する補正機構
を備えた光ヘッドの構成の例を示す図である。

【図１７】上記位置検出素子に照射するビームスポット
を縦長にした他の光ヘッドの例を示す図である。

【図１８】光ヘッドの内部に光梃子による変位増幅機構
を備えた他の構成例を示す図である。

【図１９】光ヘッドの内部に光梃子による変位増幅機構
を備えたさらに他の構成例を示す図である。

【図２０】ケ−スの一部に透明な窓を設けた磁気ディス
ク装置の実施例を示す図である。

【符号の説明】

１ ディスク ２ スライダ ４ キャリッジ ５ ＶＣＭ １２ 光ヘッド １３ 光ヘッド位置決め装置 １４ 変位検出回路 １６ ターゲット １８ レーザダイオード １９ 対物レンズ ２０ ビームスプリッタ ２１ フォトディテクタ ２２ ビームスポット ２３ 位置検出素子 ２４ コリメータレンズ ２５ 絞り ２６ 傾き補正機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 後藤 丸朋 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 三枝 省三 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 神藤 英彦 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 村西 勝 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 木村 勝彦 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内

Claims (29)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高精度で位置決めが可能な光ヘッドを回
   転するディスク状記録媒体の上方に位置決めし、当該光
   ヘッドに対する相対位置を検出しながら、少なくとも前
   記ディスク状記録媒体への情報の書き込みが可能なヘッ
   ドを備えたスライダを、前記ディスク状記録媒体表面に
   移動しながらヘッドの位置決めを行うヘッドの位置決め
   方法であって、 前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動する
   部材と前記光ヘッドとの間を光学的に結合し、当該光学
   的な結合により生じる前記光ヘッドと前記スライダもし
   くは前記スライダに連動して移動する部材との増幅され
   た変位を検出し、そして、当該検出された増幅された変
   位により前記ヘッドを前記ディスク状記録媒体上に位置
   決めすることを特徴とするディスク状記録媒体上のヘッ
   ドの位置決め方法。
2. 【請求項２】 前記請求項１に記載のディスク状記録媒
   体上のヘッドの位置決め方法において、 前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動する
   部材と前記光ヘッドとの間の光学的な結合は、光反射面
   による光の反射を利用することを特徴とするディスク状
   記録媒体上のヘッドの位置決め方法。
3. 【請求項３】 前記請求項２に記載のディスク状記録媒
   体上のヘッドの位置決め方法において、 前記光反射面を湾曲面とすることにより、前記光ヘッド
   と前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動す
   る部材との間の増幅された変位を検出することを特徴と
   するディスク状記録媒体上のヘッドの位置決め方法。
4. 【請求項４】 前記請求項１に記載のディスク状記録媒
   体上のヘッドの位置決め方法において、 前記光ヘッドと前記スライダもしくは前記スライダに連
   動して移動する部材との間の当該増幅された変位の検出
   は、光学的に結合された前記スライダもしくは前記スラ
   イダに連動して移動する部材と前記光ヘッドとの間の光
   の変位を検出することにより行うことを特徴とするディ
   スク状記録媒体上のヘッドの位置決め方法。
5. 【請求項５】 回転するディスク状記録媒体上をキャリ
   ッジによって移動可能に支持されたヘッドを搭載したス
   ライダをキャリッジ駆動手段により位置決めし、前記ヘ
   ッドによって前記回転するディスク状記録媒体に少なく
   ともサーボ情報を書き込むサーボ情報書き込み方法にお
   いて、 前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動する
   部材に反射面を有する反射手段を設け、光ヘッドを前記
   ディスク状記録媒体に対して正確に位置決めし、前記光
   ヘッドからの光を前記反射手段により反射し、この反射
   光の角度変化により前記光ヘッドと前記ヘッドとの増幅
   された変位を検出し、そして、この検出した前記光ヘッ
   ドとヘッドとの増幅された変位により前記ヘッドの位置
   決めを行って前記回転するディスク状記録媒体にサーボ
   情報を書き込むことを特徴とするサーボ情報書き込み方
   法。
6. 【請求項６】 前記請求項５に記載のサーボ情報書き込
   み方法において、 前記キャリッジ駆動手段による前記スライダの位置決め
   は、前記検出した光ヘッドとヘッドとの変位を所定の目
   標値に保つことにより行うことを特徴とするサーボ情報
   書き込み方法。
7. 【請求項７】 前記請求項５に記載のサーボ情報書き込
   み方法において、 前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動する
   部材に設けられた前記反射手段の反射面は湾曲面を有し
   ており、これにより反射光の角度変化による前記光ヘッ
   ドと前記ヘッドとの変位を増幅することを特徴とするサ
   ーボ情報書き込み方法。
8. 【請求項８】 前記請求項７に記載のサーボ情報書き込
   み方法において、 前記反射手段の湾曲面は、円筒形もしくはその一部から
   なる反射面であることを特徴とするサーボ情報書き込み
   方法。
9. 【請求項９】 前記請求項５に記載のサーボ情報書き込
   み方法において、 前記光ヘッドから前記反射手段に入射される光のスポッ
   トの形状を、変位検出方向に直交する方向に長くするこ
   とを特徴とするサーボ情報書き込み方法。
10. 【請求項１０】 前記請求項５に記載のサーボ情報書き
    込み方法において、 前記光ヘッドもしくは前記ディスク状記録媒体の移動情
    報を、前記キャリッジ駆動手段にフィードフォワード情
    報として入力して前記キャリッジの移動を制御すること
    を特徴とするサーボ情報書き込み方法。
11. 【請求項１１】 前記請求項５に記載のサーボ情報書き
    込み方法において、 前記光ヘッドの内部に設けた湾曲した反射面における反
    射光角度の変化から変位を増幅して検出することを特徴
    とするサーボ情報書き込み方法。
12. 【請求項１２】 前記請求項５に記載のサーボ情報書き
    込み方法において、 前記反射手段の反射面は、前記スライダもしくは前記ス
    ライダに連動して移動する部材の一部を加工して形成す
    ることを特徴とするサーボ情報書き込み方法。
13. 【請求項１３】 前記請求項５に記載のサーボ情報書き
    込み方法において、 前記反射手段は反射面を形成した別部材からなり、前記
    スライダもしくは前記スライダに連動して移動する部材
    に取り付けることを特徴とするサーボ情報書き込み方
    法。
14. 【請求項１４】 請求項１３に記載のサーボ情報書き込
    み方法において、 前記反射手段は前記スライダもしくは前記スライダに連
    動して移動する部材に着脱可能とすることを特徴とする
    サーボ情報書き込み方法。
15. 【請求項１５】 回転するディスク状記録媒体と、前記
    ディスク状記録媒体への情報の書き込みが可能なヘッド
    を備えたスライダと、前記スライダを前記ディスク状記
    録媒体表面に移動するキャリッジを駆動しながら前記ヘ
    ッドの位置決めを行うキャリッジ駆動手段とを備え、 前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動する
    部材に、湾曲した反射面からなる光の反射手段を設けた
    ことを特徴とする磁気ディスク装置。
16. 【請求項１６】 回転するディスク状記録媒体と、前記
    ディスク状記録媒体へ情報の書き込みが可能なヘッドを
    備えたスライダと、前記スライダを前記ディスク状記録
    媒体表面に移動するキャリッジを駆動しながら前記ヘッ
    ドの位置決めを行うキャリッジ駆動手段とを備え、 前記スライダあるいは前記スライダに連動して移動する
    部材に、前記磁気ディスク装置の外部に配置され、か
    つ、前記磁気ディスク装置の回転するディスク状記録媒
    体に対して高精度で位置決めが可能な光ヘッドからの光
    を反射させるための反射手段を設けたことを特徴とする
    磁気ディスク装置。
17. 【請求項１７】 前記請求項１６に記載の磁気ディスク
    装置であって、 前記反射手段の反射面は湾曲面であることを特徴とする
    磁気ディスク装置。
18. 【請求項１８】 前記請求項１７に記載の磁気ディスク
    装置であって、 前記湾曲面である反射手段は、円筒形もしくはその一部
    からなる反射面を有していることを特徴とする磁気ディ
    スク装置。
19. 【請求項１９】 前記請求項１６に記載の磁気ディスク
    装置であって、 前記磁気ディスク装置は筺体内に設けられており、当該
    筺体の一部に、前記磁気ディスク装置の外部に配置され
    た前記光ヘッドと前記反射手段との間の入射光及び反射
    光を通過させるための、光が透過可能な窓を設けたこと
    を特徴とする磁気ディスク装置。
20. 【請求項２０】 前記請求項１６に記載の磁気ディスク
    装置であって、 前記反射手段の反射面は平坦面であることを特徴とする
    磁気ディスク装置。
21. 【請求項２１】 前記請求項１６に記載の磁気ディスク
    装置であって、 前記反射手段は着脱可能であることを特徴とする磁気デ
    ィスク装置。
22. 【請求項２２】 磁気ディスク装置の回転するディスク
    状記録媒体にサーボ情報を書き込むためのヘッドを備え
    たスライダと、 前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動する
    部材に設けられた反射手段と、 前記磁気ディスク装置の回転するディスク状記録媒体に
    対して正確に位置決めが可能で、かつ、前記反射手段か
    らの反射光により前記ヘッドとの増幅された変位を光学
    的に検出する変位検出手段を備えた光ヘッドと、 前記光ヘッドの変位検出手段からの検出変位を前記磁気
    ディスク装置のヘッドの位置を制御する手段へ出力する
    手段と、 を備えたことを特徴とする磁気ディスク装置用サーボ情
    報書き込み装置。
23. 【請求項２３】 前記請求項２２に記載の磁気ディスク
    装置用サーボ情報書き込み装置であって、 前記反射手段は、湾曲した反射面を有するものであるこ
    とを特徴とする磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み
    装置。
24. 【請求項２４】 前記請求項２２に記載の磁気ディスク
    装置用サーボ情報書き込み装置であって、 前記反射手段は平坦な反射面を有し、一方、前記光ヘッ
    ドは湾曲した反射面を有する別の反射手段を備えたこと
    を特徴とする磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装
    置。
25. 【請求項２５】 前記請求項２２に記載の磁気ディスク
    装置用サーボ情報書き込み装置であって、 前記変位検出手段は、少なくとも前記反射手段の反射面
    により反射される反射光を受光する位置に配置されてい
    ることを特徴とする磁気ディスク装置用サーボ情報書き
    込み装置。
26. 【請求項２６】 前記請求項２５に記載の磁気ディスク
    装置用サーボ情報書き込み装置であって、 前記変位検出手段は、反射光を受光する少なくとも２個
    のフォトディテクタから構成されていることを特徴とす
    る磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置。
27. 【請求項２７】 前記請求項２５に記載の磁気ディスク
    装置用サーボ情報書き込み装置であって、 前記変位検出手段は、反射光を受光する位置により出力
    を変化させる位置検出素子から構成されていることを特
    徴とする磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置。
28. 【請求項２８】 前記請求項２２に記載の磁気ディスク
    装置用サーボ情報書き込み装置において、 さらに、前記光ヘッドの傾きを補正する傾き補正手段を
    備えたことを特徴とする磁気ディスク装置用サーボ情報
    書き込み装置。
29. 【請求項２９】 前記請求項１７に記載の磁気ディスク
    装置の反射手段、あるいは、前記請求項２３および２４
    に記載の磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置の
    湾曲した反射面として使用するための変位検出用ミラー
    であって、ガラス管もしくはガラス棒の表面に反射膜を
    加工して形成してなることを特徴とする変位検出用ミラ
    ー。