JPH08315729A - 陰極線管のスピンコーティング方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 陰極線管のパネル外表面に、スピンコート法
により、帯電防止膜あるいは反射防止膜をシミ欠点のな
いように形成する方法及び装置を得る。 【構成】 陰極線管１をフェースプレート２を上にして
取り付ける回転筒状キャリア４、回転筒状キャリア４の
周囲にスピン機フード６、陰極線管フェースプレート２
上にコーティング液を滴下する液吐出ノズル１２、スピ
ン機フード６の内周に設けられ、回転筒状キャリア４の
回転により陰極線管フェースプレート２から振り切られ
たコーティング液を集める廃液樋８、廃液樋８の液面を
一定に保つ廃液排出管９、回転筒状キャリア４に一体に
設けられ、先端が廃液樋８の液面と一定の距離を保つ位
置まで延設されている風流制御用の鍔７、スピン機フー
ド６の廃液樋８より下方に設けられた排気口１０を備え
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、陰極線管のパネル外
表面にコーティング液をスピンコート法により塗布し
て、帯電防止膜あるいは反射防止膜等を形成するスピン
コーティング方法及び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】マルチメディア時代の到来により、パソ
コンは一人一台に普及するといわれている。そして、陰
極線管にはコンピュータとオペレータとを結ぶ単なる映
像メディアのターミナルにとどまらず、人に感動を与え
るマンマシーンインターフェースとして、エルゴノミク
スに基づいた設計思想が市場から強く求められている。
陰極線管は、蛍光面に印加された高電圧によってパネル
が帯電し、人が触れると放電によりショックを与えた
り、大気中の塵などがパネル表面に付着して画像が見え
にくくなったり、光沢状態となったパネルに外光等が反
射して画面が見えにくい等の問題がある。そこで、陰極
線管に帯電防止あるいは反射防止の機能を持たせるため
に、従来からシリカ（ＳｉＯ２）系の液状のコーティン
グ材料をスピンコート法により陰極線管フェースプレー
トの外表面に直接コーティングする手法が一般的に採用
されている。

【０００３】図６及び図７は、陰極線管のパネル外表面
にコーティング液をスピンコート法により塗布して、帯
電防止あるいは反射防止膜等を形成する従来のスピンコ
ーティング装置の上面図及び側面断面図である。図にお
いて、陰極線管１は、スピンコーティング装置１９の回
転筒状キャリア４の上部に設置された整流盤３に、フェ
ースプレート２を上向きにして固定セットされる。コー
ティング液は注入アーム１１に取り付けられた液吐出ノ
ズル１２より、陰極線管１を回転させながらフェースプ
レート２に滴下されることにより回転塗布され、フェー
スプレート２より振り切られた飛散コーティング液１４
は、廃液樋８によって回収される。このとき、スピン機
フード６に当たった飛散コーティング液はミスト１５を
発生する。なお、９は廃液をオーバーフローして、液面
を一定に保つ廃液の排出管、１０はスピン機フード６内
の空気を排出する排気口である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】スピンコート法では、
塗布したコーティング液の多くは、振り切り回転時に管
面上には残らず、周囲に振り切られる。振り切られた液
は、スピン機のフード等に当たってミスト状となり、や
がて乾燥して粉塵となる。そして、スピン時に発生する
乱気流が、このコーティング液のミスト及び粉塵を舞上
げるため、これらミスト及び粉塵は管面上に付着し、コ
ーティング膜にシミ欠点を発生させるという問題点があ
った。

【０００５】この発明は上述のような問題を解決するた
めになされたもので、第１の目的は管面に塗布されるコ
ーティング液によって発生したミストや粉塵などが、管
面に再付着することを防止する方法及び装置を得ること
である。また、第２の目的はコーティング液塗布前の搬
送途中において陰極線管の管面に付着するゴミを、エア
ーブローによって吹き飛ばすことにより除去することの
できる装置を得ることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係る陰極線管
のスピンコーティング方法は、陰極線管のフェースプレ
ートにコーティング液を滴下し、陰極線管を回転してコ
ーティング液を振り切り、フェースプレート上に帯電防
止膜あるいは反射防止膜等を形成するスピンコーティン
グ法において、振り切られたコーティング液が貯まる廃
液樋に、適宜一定量の水を供給して廃液の濃度を一定値
以下に抑えるようにしたものである。

【０００７】また、この発明に係る陰極線管のスピンコ
ーティング装置は、陰極線管をフェースプレートを上に
して取り付け、一定速度で回転される回転筒状キャリ
ア、この回転筒状キャリアを取り巻いて設けられたスピ
ン機フード、上記陰極線管フェースプレート上にコーテ
ィング液を滴下する液吐出ノズル、上記スピン機フード
の内周に設けられ、上記回転筒状キャリアの回転により
上記陰極線管フェースプレートから振り切られたコーテ
ィング液を集める廃液樋、この廃液樋の液面を一定に保
つ廃液排出管、上記廃液樋に水を供給する水供給口、及
び上記スピン機フードの上記廃液樋より下方に設けられ
た排気口を備えている。

【０００８】また、この発明に係る陰極線管のスピンコ
ーティング装置は、陰極線管をフェースプレートを上に
して取り付け、一定速度で回転される回転筒状キャリ
ア、この回転筒状キャリアを取り巻いて設けられたスピ
ン機フード、上記陰極線管フェースプレート上にコーテ
ィング液を滴下する液吐出ノズル、上記スピン機フード
の内周に設けられ、上記回転筒状キャリアの回転により
上記陰極線管フェースプレートから振り切られたコーテ
ィング液を集める廃液樋、この廃液樋の液面を一定に保
つ廃液排出管、上記回転筒状キャリアに一体に設けら
れ、その先端が上記廃液樋の液面と一定の距離を保つ位
置まで延設されている風流制御用の鍔、及び上記スピン
機フードの上記廃液樋より下方に設けられた排気口を備
えている。

【０００９】また、上記構成において、風流制御用の鍔
の上面に対して水を吐出する水吐出ノズルを設けてい
る。

【００１０】また、風流制御用の鍔の上面に対してエア
ーを吐出するエアー吐出ノズルを設けている。

【００１１】また、回転筒状キャリアには、その外周の
廃液樋と排気口との間の位置に一体に、回転筒状キャリ
アの回転時に排気口側に風を送るセルフファンを設けて
いる。

【００１２】また、陰極線管フェースプレートに対して
クリーンエアーを吹き付けるエアーブローノズルを設け
ている。

【００１３】

【作用】この発明に係る陰極線管のスピンコーティング
方法及び装置は、廃液樋内における廃液に水を供給する
ことにより、廃液の濃度を低く抑え、廃液（コーティン
グ液）の凝縮、乾燥を防いで粉塵の発生を減じ、また、
風流制御用の鍔、廃液樋、セルフファンで形成される通
風路によりミスト、粉塵を除去する。

【００１４】また、コーティング液吐出ノズル付近に設
けたエアーブローノズルから、コーティング液塗布前に
フェースプレートに高圧のクリーンエアーを吹き付ける
ことにより、搬送途中にフェースプレートに付着したゴ
ミを除去する。

【００１５】

【実施例】

実施例１．図１はこの発明の一実施例を示す帯電防止膜
あるいは反射防止膜付き陰極線管製造装置の上面図、図
２はその側面断面図である。以下の説明においては、従
来装置と同一または相当部分には同一符号を付して説明
を省略する。図において、５は回転筒状キャリア４の周
囲に複数個取り付けられたセルフファン、７は回転筒状
キャリア４の上部周囲に設けられた風流制御用の鍔で、
その外周先端は廃液樋８上まで達している。陰極線管１
は、セルフファン５及び鍔７を設けたことを特徴とする
回転筒状キャリア４を用い、この回転筒状キャリア４の
上部に設置された整流盤３に、フェースプレート２が上
向きになるよう固定セットされている。注入アーム１１
には、陰極線管１にコーティング液を吐出する液吐出ノ
ズル１２と、フェースプレート２にエアーブローを行う
エアーブローノズル１３とが設置され、ノズル１２また
はノズル１３が陰極線管１の管軸上に位置するように、
図中矢印方向に移動可能に構成されている。また、スピ
ン機フード６には、鍔７に対して水を吐出する水吐出ノ
ズル１６と、同様にエアーを吐出するエアー吐出ノズル
１７と、さらに、廃液樋８に定期的に一定量の水を供給
する水供給口１８とが設けられている。２０はスピンコ
ーティング装置１９の上部から下方に向けて送風する上
部給気口である。

【００１６】このように構成されたスピンコーティング
装置１９において、回転筒状キャリア４を低速回転させ
つつ、フェースプレート２の外表面に、注入アーム１１
に設置された液吐出ノズル１２を管軸上に位置させてコ
ーティング液を滴下する。コーティング液は回転筒状キ
ャリア４の回転によりフェースプレート２全面に広げら
れる。そして、このようにして塗布されたコーティング
液のほとんどはフェースプレート２より外側に飛ばさ
れ、飛散コーティング液１４となってスピン機フード６
に当たり、ミスト１５を発生する。本発明は、発生した
ミスト飛散及びコーティング液が乾燥してできる粉塵の
発生を抑えるべく、スピン機フード６の内面側に廃液樋
８を設けている。この廃液樋８には、回転によってコー
ティング液が振り切られる度に水供給口１８より水を供
給して廃液樋８内におけるコーティング液の濃度を低く
抑え、コーティング液の凝縮及び乾燥を防いでいる。そ
して廃液は、オーバーフロー廃液の排出管９を使って廃
液タンク（図示せず）に回収され、廃液樋８の液面高さ
は常に一定に保たれる。この液面高さを一定に保つこと
により、図４に示す通り、鍔７の先端と液面の距離Ｌも
一定となり、整流盤３及び鍔７から廃液樋８、排気口１
０へと流れる排気風速を一定に保つことができ、コーテ
ィング膜の成膜品質に大きな影響を及ぼすフェースプレ
ート付近の風の流れを一定に保ち、膜品質を安定させる
ことが可能となる。

【００１７】図３には、スピン機上部給気口２０及びス
ピン機フード内排気口１０によって形成される風の流
れ、ダウンフローを矢印で表している。フェースプレー
ト２の上部に配置されたスピン機上部給気口２０より吹
き出されたクリーンエアーは、フェースプレート２から
整流盤３と鍔７に沿って流れて行く。そして、廃液樋８
に達したクリーンエアーは、図３に示す通り、廃液樋８
に貯まった廃液の液面にたたきつけられた上、鍔７と廃
液樋８の間の隙間を通ってセルフファン５へと流れ、ス
ピン機フード内排気口１０よりスピンブース外へ排出さ
れる。従って、風流制御用の鍔７を取り付けたことによ
り、コーティング液によって発生したミストや粉塵を含
んだエアーが、廃液樋８液面に一旦当たってフード内排
気口１０より回収され、粉塵の捕集効率を高めることが
できる。

【００１８】さらに、鍔７に付着したコーティング液に
よる発塵を抑えるために、図２のようにスピン機フード
６に設置した水吐出ノズル１６より水を一定時間毎に吐
出して洗浄を行う。その際、回転筒状キャリア４を低速
（４０〜８０ｒｐｍ）にて回転させながら水を吐出する
と洗浄効果が高まった。これよりさらに低速（４０ｒｐ
ｍ未満）では回転の効果は殆どなく、逆にこれ以上高速
（８０ｒｐｍ超）では水が周囲の広い範囲に飛び散って
スピン機周辺のクリーン度を著しく悪化させるため不可
であった。

【００１９】そして、鍔７に残った水を除去するため
に、エアー吐出ノズル１７より、クリーンエアーを吹き
出させて水を吹き飛ばした。その際、回転筒状キャリア
４を極めて低速（２０ｒｐｍ以下）で回転させながらエ
アーを吹き付けると水の除去効果が高まった。これ以上
の速度では回転筒状キャリア４の回転に伴って発生した
乱気流により、エアーブローの効果が打ち消されてしま
い不可であった。

【００２０】図４において、上述したように、スピン機
上部給気口２０から吹き出された風は、鍔７と廃液樋８
の隙間Ｌを通ってセルフファン５に達する。セルフファ
ン５は回転筒状キャリア４に固定されており、コーティ
ング液の塗布時、即ち回転筒状キャリア４回転時には、
このキャリア４と共に回転することになる。そして、セ
ルフファン５は、回転時にはスピン機フード内排気口１
０に向かう方向に風を起こすため、セルフファン５まで
導かれた風は、セルフファン５によって風速が増幅され
る。これにより、成膜上必要とされる図１の整流盤３の
端部におけるある一定の制御風速を十分に得ることがで
きる。セルフファン５によって起こされる風流は、セル
フファン５の枚数を１枚あるいは複数枚に枚数を変更し
たり、図５のようにセルフファン５の回転方向とセルフ
ファン５のなす角θを変化させることによって調整でき
る。

【００２１】図１において、スピン処理される陰極線管
のフェースプレート２は、その前処理としてフェースプ
レート全面の研磨処理や、フェースプレート面温度を約
４０度以上にするなどの温度調節処理が施されるなどの
さまざまな工程を経てきているため、フェースプレート
２には多少なりとも異物の付着が見受けられる。そこ
で、図１において、注入アーム１１に取り付けられたエ
アーブローノズル１３を図示しないシリンダーにより管
軸上フェースプレート２上部に配置して、クリーンエア
ーによるエアーブローを行う。その際、エアーブロー
は、管軸上でフェースプレート２からノズル１３先端ま
でをある一定の距離に保ち、回転筒状キャリア４により
陰極線管１を低速回転させながら行ったときに異物の除
去に顕著な効果が得られた。

【００２２】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、廃液
樋に一定時間毎に水を供給することにより、廃液の濃度
を低くし、廃液の凝縮、乾燥を抑え、粉塵の発生を減じ
ることができる。

【００２３】また、風流制御用の鍔とセルフファンを設
けて粉塵を風流により除去するとともに、鍔に対しては
水吐出ノズル、エアー吐出ノズルを設けて鍔に付着した
廃液を除去し、発塵を抑えることができる。

【００２４】また、陰極線管フェースプレートに対向す
る液吐出ノズル近傍にエアーブローノズルを設け、スピ
ンコーティング前のフェースプレートに付着しているゴ
ミをエアーブローすることにより、フェースプレートの
欠点を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施例１に係るスピンコーティン
グ装置を示す略線上面図である。

【図２】 この発明の実施例１に係るスピンコーティン
グ装置を示す略線側面断面図である。

【図３】 この発明の実施例１に係るスピンコーティン
グ装置のスピンブース内のエアーの流れを示す略線側面
断面図である。

【図４】 この発明の実施例１に係るスピンコーティン
グ装置のスピンブース内のエアーの流れを示す要部断面
図である。

【図５】 この発明の実施例１に係るスピンコーティン
グ装置のセルフファンを示す正面図である。

【図６】 従来のスピンコーティング装置を示す略線上
面図である。

【図７】 従来のスピンコーティング装置を示す略線上
面図である。

【符号の説明】

１ 陰極線管、２ フェースプレート、３ 整流盤、４
回転筒状キャリア、５ セルフファン、６ スピン機
フード、７ 鍔、８ 廃液樋、９ 廃液排出管、１０
排気口、１１ 注入アーム、１２ 液吐出ノズル、１３
エアーブローノズル、１６ 水吐出ノズル、１７ エ
アー吐出ノズル、１８ 水供給口、１９ スピンコーテ
ィング装置、２０ スピン機上部給気口。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 陰極線管のフェースプレートにコーティ
   ング液を滴下し、陰極線管を回転してコーティング液を
   振り切り、フェースプレート上に帯電防止膜あるいは反
   射防止膜等を形成するスピンコーティング法において、
   振り切られたコーティング液が貯まる廃液樋に、適宜一
   定量の水を供給して廃液の濃度を一定値以下に抑えるよ
   うにしたことを特徴とする陰極線管のスピンコーティン
   グ方法。
2. 【請求項２】 陰極線管をフェースプレートを上にして
   取り付け、一定速度で回転される回転筒状キャリア、こ
   の回転筒状キャリアを取り巻いて設けられたスピン機フ
   ード、上記陰極線管フェースプレート上にコーティング
   液を滴下する液吐出ノズル、上記スピン機フードの内周
   に設けられ、上記回転筒状キャリアの回転により上記陰
   極線管フェースプレートから振り切られたコーティング
   液を集める廃液樋、この廃液樋の液面を一定に保つ廃液
   排出管、上記廃液樋に水を供給する水供給口、及び上記
   スピン機フードの上記廃液樋より下方に設けられた排気
   口を備えたことを特徴とする陰極線管のスピンコーティ
   ング装置。
3. 【請求項３】 陰極線管をフェースプレートを上にして
   取り付け、一定速度で回転される回転筒状キャリア、こ
   の回転筒状キャリアを取り巻いて設けられたスピン機フ
   ード、上記陰極線管フェースプレート上にコーティング
   液を滴下する液吐出ノズル、上記スピン機フードの内周
   に設けられ、上記回転筒状キャリアの回転により上記陰
   極線管フェースプレートから振り切られたコーティング
   液を集める廃液樋、この廃液樋の液面を一定に保つ廃液
   排出管、上記回転筒状キャリアに一体に設けられ、その
   先端が上記廃液樋の液面と一定の距離を保つ位置まで延
   設されている風流制御用の鍔、及び上記スピン機フード
   の上記廃液樋より下方に設けられた排気口を備えたこと
   を特徴とする陰極線管のスピンコーティング装置。
4. 【請求項４】 風流制御用の鍔の上面に対して水を吐出
   する水吐出ノズルを設けたことを特徴とする請求項３記
   載の陰極線管のスピンコーティング装置。
5. 【請求項５】 風流制御用の鍔の上面に対してエアーを
   吐出するエアー吐出ノズルを設けたことを特徴とする請
   求項３または請求項４記載の陰極線管のスピンコーティ
   ング装置。
6. 【請求項６】 回転筒状キャリアは、その外周の廃液樋
   と排気口との間の位置に一体に、回転筒状キャリアの回
   転時に排気口側に風を送るセルフファンを有しているこ
   とを特徴とする請求項３乃至請求項５のいずれか一項記
   載の陰極線管のスピンコーティング装置。
7. 【請求項７】 陰極線管フェースプレートに対してクリ
   ーンエアーを吹き付けるエアーブローノズルを設けたこ
   とを特徴とする請求項２乃至請求項６のいずれか一項記
   載の陰極線管のスピンコーティング装置。