JPH103858A - スピンコート装置およびこの装置を用いた機能性膜付き陰極線管の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＣＲＴのフェース面にスピンコート法にて１
層または複数層の機能性膜を形成するとき、塗布ムラの
少ない高品位なコーティング膜を得るとともに、生産性
の向上を計る。 【解決手段】 スピン機の上部に設けた給気口２９と、
スピン機フード２２内に設けられた局所排気手段３０，
３１，３２によってダウンフローを形成し、矩形状のＣ
ＲＴ９のフエース面を回転対称形にする整流盤３７の上
面３７ｂに衝立形風切防止板３８ａ，３８ｂを装着し、
スピン機のファンネル受け治具１６に保持されて回転す
るＣＲＴ９のフェース面上に生じる乱流が生じないよう
にした。また、コーティング液１９のＣＲＴのフェース
面上への注入を、ＣＲＴ９の回転速度を上昇させる段階
で行うようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、陰極線管フェー
ス面に、スピンコート法によって１層または複数層の平
滑膜を形成するのに用いるスピンコート装置およびこの
装置を用いた機能性膜付き陰極線管の製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】近年のＯＡ化、ＦＡ化およびパーソナル
コンピュータの普及に伴い、ＶＤＴ（ＶＩＤＥＯ ＤＩ
ＳＰＬＡＹ ＴＥＲＭＩＮＡＬ）は、これまでのように
専門家だけでなく、ごく一般的なユーザにまで使用され
るようになってきている。このため、高性能カラー陰極
線管はもはや特殊なものではなく、一般的なユーザがご
く日常的に使用するものである。このため陰極線管に
は、様々な使用状況を想定した、さらなる高性能化が望
まれている。

【０００３】その一つとして、陰極線管フェース面表面
のチャージアップを防止する為の帯電防止機能がある。

【０００４】ＶＤＴ作業の場合、ディスプレイ面と使用
者が接近しているため、電源のＯＮ−ＯＦＦ時にチャー
ジアップしたフェース面の外表面に使用者が接近したと
きに放電現象が起こり、使用者に不快感を与える不都合
を生じる。

【０００５】帯電防止処理型陰極線管では、フェース面
の外表面にチャージアップした電荷を、フェース面の外
表面に導電性を持たせてアースに逃がすように工夫して
いる。導電性を持たせる方法としては、フェース面の外
表面に透明導電膜を形成する方法が一般的である。

【０００６】このような帯電防止機能を有した陰極線管
（以下、「ＣＲＴ」という）の構成例を図６に示す。図
において、１はフェース・プレート部、２はファンネル
部、３はネック部で電子銃（図示省略）を内蔵してい
る。４は高圧ボタン、５はフェース面に形成された導電
性を有する平滑膜（以下、「帯電防止膜」という）、６
は金属製の防爆バンド、７は取付耳、８は導電性テープ
または導電性ペーストで、１〜８でＣＲＴ９を構成して
おり、帯電防止膜５は導電性テープ８、防爆バンド６、
アース線１０を介して接地される。１１は偏向ヨークで
ある。

【０００７】フェース・プレート部１の外表面に形成さ
れた帯電防止膜５は、十分な導電性と実用上問題無い程
度の硬度と、フェース・プレート表面との接着性を要求
される。このため、スピンコート法によって導電性フィ
ラを分散したシリカ溶液をフェース・プレート部１の表
面に塗布し、比較的高い温度、例えば１２０〜２００°
Ｃで焼き付け処理を行って形成するのが一般的である。
このようなシリカ溶液としては、シリコン（Ｓｉ）アル
コキシドのアルコール溶液に、Ｉｎ₂ Ｏ₃ ；Ｓｎ（スズ
含有酸化インジウム）やＳｎＯ₂ ；Ｓｂ（アンチモン含
有酸化錫）等の導電性フィラを混合分散させたものが用
いられる。

【０００８】ＣＲＴフェース面への外光の映り込みは、
特にＶＤＴ作業においてオペレータの疲労増大を促す要
因として指摘されており、その対策としては、ＣＲＴフ
ェース面に微細な凹凸を形成して映り込みの輪郭をぼか
す「防眩処理」が一般的であった。しかし、近年のコン
ピュータの高性能化に伴い、ＶＤＴに対する高解像度化
の要求が高まり、防眩効果のための凹凸による表示情報
の劣化が問題になってきた。この問題は、光学多層薄膜
を蒸着によって形成した低反射プレートを装着すること
で、表示情報を劣化することなく外光の映り込みを低減
することができるが、材料コストおよび製造工程の点で
一部の高級機種にしか採用されていない。

【０００９】このような動きに対して、１層または２〜
６層の光学薄膜をスピンコート法によって形成し、低反
射効果を得る技術が開発されている。

【００１０】図７は、２層低反射膜１２の構成を示す拡
大断面図で、基板となるフェース・プレート部１（屈折
率１．５４）の表面に導電材１３（アンチモン含有酸化
錫等）を含む高屈折率層１４を形成し、さらに低屈指率
層１５としてシリカ層を形成している。２層低反射膜１
２の場合、その反射率スペクトルは波長依存性の強いＶ
字型のスペクトルとなるが、その最小値は各層１４，１
５の膜厚を最小反射率をとる波長の１／４に設計するこ
とでコントロールすることができる。５５０ｎｍ付近に
最小反射率を設計した２層低反射膜の反射率スペクトル
を図８中のＡに示す。

【００１１】この２層低反射膜１２は、従来の透明およ
び着色型帯電防止膜に比べて膜厚が１オーダー低くなっ
ている。また、反射低減のために光の干渉効果を利用し
ており、膜厚の変化が反射光の色調に強く現れる。２層
低反射膜１２の最小反射率を５５０ｎｍ付近に設定した
場合、反射光の色調は数十ｎｍの膜厚の変化で黄色〜マ
ゼンダ〜シアンと大きな変化が見られる。このため、Ｃ
ＲＴのフェース面に蛍光灯等の外光が映り込んだ場合、
低反射膜の膜厚の変化は反射光の色調のムラとして現れ
る。

【００１２】これらの表面処理を行なうスピンコート法
は、高速の振り切り回転によって膜厚の調節を行うもの
である。図９は従来のスピンコート装置の縦断面図、図
１０はその平面図である。スピンコート装置は、ファン
ネル部受け治具１６によってＣＲＴ９をファンネル部２
で支持し、かつ防爆バンド６の取付耳７をラグ受け治具
１７で支持することでフエース面を上にして固定する。
ファンネル部受け治具１６は回転を行うためのスピン機
駆動部１８によって矢印Ａ方向に回転駆動され、ＣＲＴ
９をスピンさせる。

【００１３】コーティング液１９は、回動式の注入アー
ム２０の先端に取り付けられた注入ノズル２１から注入
される。注入アーム２０の回動動作は、スピン機フード
２２の外側からＣＲＴ９の中心まで行われ、コーティン
グ液１９の注入後速やかに最初の位置にリターンする。

【００１４】コーティング液１９の注入は、比較的低速
回転である毎分８０回転程度で行われる。これを注入回
転と呼ぶ。注入回転において、コーティング液１９が塗
布基板であるフェースプレート部１の外表面に拡げられ
る。この後、スピン機駆動部１８の回転数が上昇し、膜
厚制御のための高速振りきり回転へと移る。この時の回
転数は毎分１００〜１６０回転に達する。ここでは、膜
厚の制御と合わせてコーティング液１９の乾燥が始ま
る。次に、再度毎分８０回転程度まで回転数をおとし、
最終的に乾燥させる。

【００１５】このようにスピンコート法は、コーティン
グ液注入のための低速回転、膜厚調節のための高速回
転、そして最終乾燥のための低速回転の３つのステップ
からなる。複数層のコーティングを行なうときは、この
工程を繰り返すことになる。

【００１６】高速振り切り回転では、フェース面が矩形
状のＣＲＴ９に対し１００〜１６０ｒｐｍもの回転が行
われる。フェース面の曲率が単一の曲率で構成されてい
る場合は、図１１に示すように、フェース面の中心から
各軸端までの距離Ｄは、短軸Ｄｓ＜長軸Ｄ１＜対角軸Ｄ
ｄとなり、また落差Ｈは、短軸Ｈｓ＜長軸Ｈ１＜対角軸
Ｈｄの関係になるので、ＣＲＴ９が回転した場合、周辺
部の中心からの距離、および落差の変化によりフェース
面上に乱気流が発生する。

【００１７】この乱気流は、振りきりによって制御され
ているコーティング膜の均一な乾燥を妨げ、膜厚、膜特
性の不均一を生じる。この膜厚、膜特性の不均一は、着
色帯電防止膜においては色調の濃淡として判る程度であ
ったが、低反射膜では、わずかの膜厚の変化が反射光色
の違いとなって顕著に現れるため上記のような反射光の
色ムラが発生し、外観上好ましくない。

【００１８】また、膜厚の不均一は、回転方向に対しフ
ェース面の長辺側から短辺側にかけてのコーナ部におい
て顕著である。これに対しては、発生する箇所に衝立形
風切防止板を装着することが有効である。しかし、これ
によりコーナ部の反射光のムラを抑えることができた
が、面内の渦巻き状色ムラに関しては好ましくない結果
となる。

【００１９】さらに、スピンコート法では、塗布したコ
ーティング液の大部分は、振り切り回転時に振り切られ
る。振り切りられたコーティング液はスピン機フード２
２に当り、ミストを発生する。また、これらの振り切ら
れたコーティング液が乾燥するとコーティングのカスと
なる。スピン時に発生する乱気流は、このコーティング
液のミストおよびカスを舞い上げてフェース面に付着
し、コーティング膜にシミ・欠点が発生する。

【００２０】透明および着色帯電防止膜においても、シ
ミ・欠点は不良項目の代表的なものであり、生産性向上
の大きな問題点となっている。低反射コートのような光
の干渉効果を利用したコーティング膜においては、膜厚
の乱れが反射光色に現れるため、たとえ小さな異物であ
ってもその周辺の膜厚の乱れにより、蛍光面からの光は
遮らないが反射光の干渉色が異なるという欠点が発生
し、著しく外観を損ねる。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】以上、説明したよう
に、従来のスピンコート装置では、フェース面が矩形状
のＣＲＴを高速で回転させるとフェース面上に乱気流が
発生し、この乱気流は、均一な乾燥を妨げるとともに、
膜厚の不均一による面内のムラを引き起こし、外観を損
ねるという問題点があった。また、乱気流によって異
物、ミストそしてコートカスをまきあげてシミ・欠点の
不良が発生しやすくなり、生産性を低下させるという問
題点があった。

【００２２】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ＣＲＴのフェース面に生じる乱
気流を抑制できるスピンコート装置およびこの装置を用
いてコーティング膜のムラをなくして膜の品位を上げる
とともに、シミ・欠点による不良の発生を抑え、生産性
の改善を図ることができるスピンコート装置、およびこ
の装置を用いた機能性膜付きＣＲＴの製造方法を得るこ
とを目的とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】この発明に係るスピンコ
ート装置は、フェース面を上にして支承した陰極線管を
回転させるスピン機、上記フェース面にコーティング液
を供給する手段、上記スピン機の上方に配置された給気
ダクトとスピン機の周囲をとり囲むフードの下方に設け
られた局所排気ダクトにより上記陰極線管のフェース面
に向うダウンフローを形成する送気手段、上記陰極線管
の周囲をとり囲み当該陰極線管のフェース面に続く曲面
に形成された上面を有する整流盤、およびこの整流盤の
上面に配設され、上記陰極線管の長辺および短辺の外側
に沿って、かつ中心線付近から回転方向の下流側に延在
する衝立形風切防止板を備えたものである。

【００２４】このスピンコート装置によれば、ＣＲＴの
フェース面に向うダウンフローを形成するとともに、ス
ピン機に整流盤と衝立形風切防止板を設けたので、コー
ティング液の振り切り回転時にＣＲＴのフェース面に発
生する乱気流を抑えることができる。

【００２５】また、この発明に係る機能性膜付き陰極線
管の製造方法は、上記スピンコート装置を用いて陰極線
管のフェース面に１層または複数層の平滑膜を形成する
とき、フェース面のコーナ部に生じる乱流を整流してコ
ーティング液を塗布・乾燥するようにしたものである。

【００２６】この機能性膜付き陰極線管の製造方法によ
れば、上記スピンコート装置を用いて、ダウンフローの
風速、コーティング液のＣＲＴフェース面への注入タイ
ミングおよびコーティング液注入時のＣＲＴの回転速度
を適切に管理することにより、膜厚の不均一を改善し、
外観のより好ましいＣＲＴを製造することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１のスピン
コート装置の全体構成を示す縦断面図で、図９と同一符
号はそれぞれ同一または相当部分を示している。図にお
いて、２３はスピンコートブース、２４はダウンフロー
発生装置で、給気用ファン２５，ダンパ２６，１次クリ
ーンフィルタ２７，２次クリーンフィルタ２８で構成さ
れ、給気口２９から空気流が下向きに吹き出される。３
０はスピン機フード２２の下部に設けられたスピン機用
排気ダクトで、ダンパ３１，スピン機用排気ファン３２
によって排気され、ＣＲＴ９周辺の気流を効率よく形成
している。さらに、スピンコートブース２３の下部には
全体用の排気ダクト３３が設けられ、ダンパ３４，ブー
ス用排気ファン３５によって排気されている。

【００２８】図２はスピン機フード内の構造を示す縦断
面図、図３はその平面図で、３６は筒状のスピン機ドラ
ムでファンネル受け治具１６と一体に固着され、スピン
機駆動部１８によって矢印Ａ方向に回転駆動される。３
７は整流盤で、スピン機ドラム３６の上面に固定され、
ＣＲＴ９を取付耳７の部分で固定するように構成されて
いる。３８ａは整流盤３７の上面のＣＲＴ９の短辺の外
側に立てられている短辺用の衝立形風切防止板、３８ｂ
は同じく長辺用の衝立形風切り防止板、３９は排液とゆ
である。

【００２９】次に、動作を説明する。ＣＲＴ９は、図示
していない移載ロボットにより移送されて、ファンネル
部受け治具１６上に載置される。ファンネル部受け治具
１６は上昇下降が可能であり、ＣＲＴ９を移送するとき
は上昇し、スピンコート時は下降している。ファンネル
部受け治具１６が下降することにより、ＣＲＴ９は整流
盤３７内に引き込まれる。

【００３０】次に、整流盤３７と、衝立形風切防止板３
８ａ，３８ｂの構成について説明する。この実施の形態
１では、ＶＤＴ用低反射コート付き５１ｃｍＣＲＴを対
象とした。このＣＲＴの外径の寸法は、長辺４５８ｍ
ｍ、短辺３６２ｍｍ、対角５４９ｍｍである。また、整
流盤３７の開口部３７ａとＣＲＴ９の長辺および短辺と
の隙間を１０ｍｍに設定したので、整流盤３７の開口部
３７ａを、４６８×３７２ｍｍの矩形状に形成した。

【００３１】また、整流盤３７の上面３７ｂは、図４に
示すように、フェース・パネル部１の外表面の周辺部の
曲率半径Ｒが１３００ｍｍであるので、水平面に対して
次式の角度αでもって外周方向が低くなる傾斜面に形成
した。 α＝Ｓｉｎ^-1｛（フェース面の中心からの距離）／（フ
ェース面の周辺部の曲率半径）｝

【００３２】また、衝立形風切防止板３８ａ，３８ｂ
は、図１〜図３に示すように整流盤３７の上面３７ｂに
立てられており、その位置、および大きさは、ＣＲＴ９
の長辺および短辺の中心線上から各辺に沿って回転方向
の下流方向に延在する位置であって、それぞれ整流盤３
７の開口部３７ａの端から７ｍｍ外側に取り付けてい
る。また、短辺用衝立形風切防止板３８ａ，長辺用衝立
形風切防止板３８ｂの大きさは、フェース・プレート部
１のコーナー部から５０ｍｍの高さで、その上端は水平
であり、また、その長さは、短辺用衝立形風切防止板３
８ａがＣＲＴ９の短辺の長さのほぼ１／２の長さ、長辺
用衝立形風切防止板３８ｂがＣＲＴ９の長辺の長さの１
／２より所定長だけ長く、例えば短辺の長さの１／３だ
け長い長さに形成した。

【００３３】また、スピン機フード２２の直径は１００
０ｍｍに形成したが、これは、スピンコートする最大の
ＣＲＴサイズに応じて定めればよい。また、整流盤３７
の直径は、スピン機フード２２の内径に対して７０％に
形成したので、７００ｍｍである。ファンネル受け治具
１６に装着されたＣＲＴ９のフェース面は、５１ｃｍの
ＣＲＴでスピン機フード２２の上端から９０ｍｍ下がっ
ている。この整流盤３７は、筒状のスピン機ドラム３６
の上端に固定され、スピン機駆動部１８によって０〜１
６０ｒｐｍまでの任意の回転数で回転される。

【００３４】スピン機フード２２の下方には、４ヵ所の
排気ダクト３０が設けられている。排気能力は、スピン
機上方からの給気能力とのバランスから決定される。図
１に示すように、スピン機上部に給気口２９を、スピン
機フード２２内に局所排気口３０を設置し、ＣＲＴ周辺
のダウンフローを効率良く形成している。給気および排
気部にはそれぞれダンパが設けられ、それぞれ排気能力
の調節が可能に構成され、さらに、スピン機外の気流は
スピンコートブース２３全体用の排気ダクト３３から排
気される。

【００３５】ダウンフローの風速は、整流盤３７の端部
において０．５ｍ／ｓ、ＣＲＴ９のフェース面中央部に
おいて０．２ｍ／ｓになるように調整した。また、スピ
ンコートブース２３内は、外気に比べてやや陽圧にする
ことが望ましい。

【００３６】また、排液とゆ３９内には常に水が張られ
ており、スピンコート時に振切られる余分なコーティン
グ液の固形分が固化してダストとなるのを防いでいる。
コーティング液１９は、スピン機フード２２の外側に待
機する注入ノズルアーム２０の先端に取り付けられた注
入ノズル２１から供給される。このノズルアーム２０
は、コーティング液の注入時にはＣＲＴ９のフエース面
の中央部まで旋回し、さらにＣＲＴ９のフェース面の近
くでコーティング液１９を注入するために、上下動可能
に構成されている。コーティング液１９の供給は、ポン
プおよび加圧などによる圧送、または、ヘッドタンクに
よる自由落下を利用した方式が用いられる。また、注入
ノズル２１は、塗布するコーティング液の種類の数だけ
注入ノズルアーム２０の先端に取り付けられており、こ
の実施の形態１では、２層低反射コート用として、２本
のノズルを備えている。

【００３７】スピンの条件は、以下のように設定した。
スピン機の回転数の立上がりは停止から毎分８０回転に
なるまでに２．０秒を要する。１液目のコーティング液
の注入はスピン機の回転開始から１．５秒後に行い、注
入時間は２．０秒、液量は６５ｃｃである。この後、振
り切り回転である毎分１５０回転まで加速して３０秒間
振り切り、この後、乾燥回転として毎分８０回転を３０
秒行う。

【００３８】２液目は１液目と同様の注入のタイミング
で注入時間１．５秒、液量４５ｃｃとし、同じスピンス
ケジュールを実施する。このようなスピン条件は、ＣＲ
Ｔサイズによるものでなく、コーティング液の種類によ
り決定される。

【００３９】表１に、衝立形風切防止板の寸法とダウン
フローの風速および成膜性の関係を示す。

【００４０】

【表１】

【００４１】表１において、長辺用衝立形風切防止板の
飛び出し量は、短辺の延長線を越えて延在する長さを示
し、条件〜はダウンフローの風速を変更させたとき
の成膜性の結果である。これよりダウンフローの風速
は、整流盤３８の端部において、０．３〜０．７ｍ／
ｓ、ＣＲＴ９のフェース面の中央において０．１〜０．
３ｍ／ｓの範囲が良いことがわかった。また、条件は
長辺用衝立形風切防止板３８ｂの長さを２３０ｍｍに変
更したものである。

【００４２】このような構成の装置および製造条件を用
いて、５１ｃｍＣＲＴに２層低反射膜の成膜を行った。
高屈折材料として酸化錫の超微粒子を分散したコーティ
ング液（１液）を用い、低屈折材料としてはシリカゾル
溶液（２液）を用いた。前述のスピン条件にて１液、２
液を塗布した後、成膜性を確認すると、コーナー部の色
ムラおよび面内渦巻き状色ムラ等のコーティング膜のム
ラは見られず、均一な膜を得ることができた。また、コ
ーティング液の振りきりで発生するミストの影響もな
く、品質を損なうようなシミ・欠点の発生もなかった。

【００４３】実施の形態２．図５はこの実施の形態２に
よるコーティング液の注入タイミングを示した図であ
る。大型管になるほど、またフェース面の曲面が複雑
（例えばシリンドリカル形状等）になるほど、コーティ
ング液をフェース面内に均一に拡げることは困難になっ
てくる。このときの特徴的な不良としては、コーティン
グ液の拡がった跡がスジ状に残ることである（これをス
ジムラ不良と呼ぶ）。このスジムラは膜厚の乱れとな
り、反射の干渉色が異なって見えるので、外観上好まし
くない。

【００４４】図５において、停止状態から注入回転まで
を以下の３つのゾーンに区分した。 ゾーンＡ ＣＲＴが停止している状態 ゾーンＢ ＣＲＴが注入回転まで回転が上昇している状
態 ゾーンＣ ＣＲＴが、注入回転の定速回転にある状態 また、コーティング液の注入タイミングは、次の４つの
タイミングに分かれる。 Ｉ ＣＲＴ停止時（ゾーンＡ） II ＣＲＴ回転開始時（ゾーンＡからＢへの変化点） III ＣＲＴ回転加速時（ゾーンＢ） IV ＣＲＴ定速回転時（ゾーンＣ） これらの注入のタイミングは、ＣＲＴサイズによらない
ものである。

【００４５】表２は、コーティング液の注入のタイミン
グＩ〜IVと膜品位の関係を示したもので、タイミングII
I のスピン加速中の４０ｒｐｍから８０ｒｐｍの間に注
入するとスジムラ不良が発生せず、また、液タレ等の不
良も発生しないことがわかる。

【００４６】

【表２】

【００４７】以上の結果に基づいて、５０ｃｍシリンド
リカルＣＲＴに２層低反射膜の成膜を行った。スピンコ
ート装置は実施の形態１と同じ装置を用い、注入ノズル
２１をＣＲＴのフェース面の中央部に固定し、表２の結
果からタイミングIII でコーティング液の注入を行うよ
うにタイマを設定した。すなわち、スピン機は停止した
状態から注入回転の８０回転に達するまでに２秒要する
ので、スピン機の回転開始から１．５秒後にコーティン
グ液の注入を開始するようにタイマを設定し、２．０秒
間で６５ｃｃを注入した。スピンスケジュールは、１液
については注入回転８０回転（３秒）、高速振りきり１
５０回転（３０秒）、低速回転８０回転（３０秒）で実
施し、乾燥を確認した後、２液目も同様のスケジュール
で実施した。

【００４８】その結果、シリンドリカルＣＲＴのような
回転対称でない方向性を持った曲面に対しても、スジム
ラのような液の拡がりに関する成膜ムラは発生せず、均
一な膜を得ることができた。

【００４９】なお、上記実施の形態１では、ＣＲＴのフ
ェース面の形状が球面対称な単一曲率を持つものを例と
して説明したが、フェース面が非球面の形状であった
り、シリンドリカル形状であってもよく、フェース面の
端から整流盤の外端部にかけて、滑らかな面でつないだ
回転対称形に構成することで、同様の効果が得られる。

【００５０】

【発明の効果】以上のように、この発明によればスピン
時に発生する乱流による塗布ムラおよびコーナー部のム
ラに対し、ＣＲＴのフェース面を回転対称形にする整流
盤と、コーナー部に設けた衝立形風切防止板、およびス
ピン機フード内にダウンフローの気流を形成することに
よりフェース面の長辺から短辺にかけてのコーナ部に生
じる乱流を抑制するようにしたので、均一性の高い機能
性膜を得ることができる。

【００５１】また、上記のようにＣＲＴのフェース面の
気流を整流して乱気流が生じないようにすることによ
り、スピンコート時に発生するミストやコートカスの舞
い上がりが防止できるので、コーティング膜にミストや
コートカスが付着して、しみ等の不良が発生するのを抑
制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１のスピンコート装置
の全体構造を示す縦断面図である。

【図２】 実施の形態１の要部の構成を示す縦断面図で
ある。

【図３】 実施の形態１の要部の構成を示す平面図であ
る。

【図４】 実施の形態１の陰極線管のフェース面と衝立
形風切防止板付き整流盤の関係を示す図である。

【図５】 実施の形態２におけるコーティング液の注入
のタイミングとスピン機の回転状態の関係を示すタイミ
ング図である。

【図６】 帯電防止機能を備えた陰極線管の側面図であ
る。

【図７】 帯電防止２層低反射膜の構造を示す拡大断面
図である。

【図８】 ２層低反射膜の反射率スペクトル図である。

【図９】 従来のスピンコート装置の構成を示す縦断面
図である。

【図１０】 従来のスピンコート装置の構成を示す平面
図である。

【図１１】 単一曲率からなるＣＲＴフェース面のフェ
ース中心からの距離と、各軸端のフェース中心からの落
差を表した図である。

【符号の説明】

１６ ファンネル受け治具、１８ スピン機駆動部、１
９ コーティング液、２０ 注入ノズルアーム、２１
注入ノズル、２２ スピン機フード、２３ スピンコー
トブース、２４ ダウンフロー発生装置、２５ 給気用
ファン、２６，３１，３４ ダンパ、２７ １次クリー
ンフィルタ、２８ ２次クリーンフィルタ、２９ 給気
口、３０ スピン機用排気ダクト、３２ スピン機排気
ファン、３３ ブース用排気ダクト、３５ ブース用排
気ファン、３６ スピン機ドラム、３７ 整流盤、３７
ａ 開口部、３７ｂ 上面、３８ａ 短辺用の衝立形風
切防止板、３８ｂ 長辺用の衝立形風切防止板、３９
排液とゆ。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フェース面を上にして支承した陰極線管
   を回転させるスピン機、上記フェース面にコーティング
   液を供給する手段、上記スピン機の上方に配置された給
   気ダクトとスピン機の周囲をとり囲むフードの下方に設
   けられた局所排気ダクトにより上記陰極線管のフェース
   面に向うダウンフローを形成する送気手段、上記陰極線
   管の周囲をとり囲み当該陰極線管のフェース面に続く曲
   面に形成された上面を有する整流盤、およびこの整流盤
   の上面に配設され、上記陰極線管の長辺および短辺の外
   側に沿って、かつ中心線付近から回転方向の下流側に延
   在する衝立形風切防止板を備えたスピンコート装置。
2. 【請求項２】 長辺側および短辺側の衝立形風切防止板
   はそれぞれフェースパネルの各辺の外端から所定寸法外
   側に配設されており、両衝立形風切防止板の高さはフェ
   ース面のコーナ部よりも所定高さに形成され、その長さ
   は、長辺用がフェース面の長辺の長さの１／２よりは所
   定長さ長く、かつ短辺用がフェース面の短辺の長さのほ
   ぼ１／２の長さに形成されていることを特徴とする請求
   項１に記載のスピンコート装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のスピンコート装置を用
   いてフェース面のコーナ部に生じる乱流を整流してコー
   ティング液を塗布、乾燥することを特徴とする機能性膜
   付き陰極線管の製造方法。
4. 【請求項４】 ダウンフローの風速が、陰極線管のフェ
   ース面の中央部にて０．１ｍ／ｓから０．３ｍ／ｓ、整
   流盤の端部にて０．３ｍ／ｓから０．７ｍ／ｓであるこ
   とを特徴とする請求項３に記載の機能性膜付き陰極線管
   の製造方法。
5. 【請求項５】 コーティング液の供給が、フェース面の
   中心でかつ回転の加速中に行われることを特徴とする請
   求項３に記載の機能性膜付き陰極線管の製造方法。
6. 【請求項６】 コーティング液の注入開始時の回転数
   が、４０ｒｐｍから８０ｒｐｍの間である請求項５に記
   載の機能性膜付き陰極線管の製造方法。