JPH08315736A - プラズマアドレス表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 放電電極相互間での不正放電およびプラズマ
室内に拡散された水銀と取出電極との結合を抑制できる
プラズマアドレス表示装置を提供する。 【構成】 ガラス基板３１の表面には銀を用いた取出電
極５０とニッケルを用いた放電電極５２とが形成してあ
り、取出電極５０との接合部５３は、絶縁性のカバーガ
ラス５１で覆われ、バリアリブ３３ａの下方に位置す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はプラズマアドレス表示装
置に関し、特に放電電極と取出電極との接合部の位置に
特徴を有するプラズマアドレス表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電気光学セルとして液晶セルを用
いたマトリクスタイプの電気光学装置、例えば液晶表示
装置を高解像度化、高コントラスト化するための手段と
しては、各画素毎に薄膜トランジスタなどのスイッチン
グ素子を設け、これを線順次で駆動するアクティブマト
リクスアドレス方式が一般に知られている。

【０００３】しかしながら、この場合、薄膜トランジス
タの様な半導体素子を基板上に多数設ける必要があり、
特に大面積化した時に製造歩留りが悪くなるという短所
がある。このため、最近、薄膜トランジスタなどがから
なるスイッチング素子に代えてプラズマ放電に基づくス
イッチを利用して電気光学セルを駆動するプラズマスイ
ッチを利用する方式が提唱されている。

【０００４】このプラズマアドレス表示装置は、ガラス
基板の上に複数のストライプ状のバリアリブおよび放電
電極が相互に平行なパターンで形成してあり、放電電極
によってバリアリブ相互間に設けられたプラズマ室内に
放電を発生させて誘電体シートを略アノード電位とし、
誘電体シートとデータ電極との間の電位差によって液晶
層を駆動する。

【０００５】このようなプラズマアドレス表示装置の放
電電極は、その端部において取出電極と接合している。
図４は、プラズマアドレス表示装置における放電電極と
取出電極との接合部付近の部分断面図の一例である。図
４に示すように、プラズマアドレス表示装置は、ガラス
基板３１の表面に、ストライプ方向（図中左右方向）に
延びた放電電極３２と取出電極４０とが接合して形成し
てある。また、放電電極３２と取出電極４０との接合部
には、絶縁性のカバーガラス４１が堆積してある。放電
電極３２の上には、図中左右方向に延びるストライプ状
のバリアリブ３３ａが形成してある。取出電極４０の上
には、バリアリブ３３ａと所定の間隔を置いてフリット
シール３５が形成してあり、フリットシール３５と所定
の間隔を置いてダミーのバリアリブ３３ｂが形成してあ
る。また、バリアリブ３３ａ，３３ｂおよびフリットシ
ール３５の上には、薄板ガラスを用いた誘電体シート４
が形成してある。ここで、放電電極３２は例えばニッケ
ル（Ｎｉ）を用いて形成してあり、取出電極４０は例え
ば銀（Ａｇ）を用いて形成してある。複数のバリアリブ
３３ａの相互間に形成されるプラズマ室（図示せず）に
は放電電極３２が露出しており、このプラズマ室内に
は、放電可能な気体が封入されており、放電電極３２が
ニッケル（Ｎｉ）である場合には、通常、放電電極３２
を構成するニッケルがスパッタされるのを抑制するため
の水銀が拡散してある。

【０００６】図４に示すように、従来のプラズマアドレ
ス表示装置では、放電電極３２と取出電極４０とがバリ
アリブ３３ａとフリットシール３５との間の隙間４２の
下方において接合してあり、カバーガラス４１によっ
て、放電電極３２および取出電極４０と隙間４２との気
密性が保たれている。このようにカバーガラス４１によ
って取出電極４０とプラズマ室との間の気密性を保つこ
とで、プラズマ室に拡散してある水銀が隙間４２を介し
て取出電極４０と結合して失われることが防止されるて
いる。

【０００７】また、カバーガラス４１は、隙間４２を介
して放電電極３２に加わる電圧の影響が隣接する放電電
極３２に伝わり、不正放電が発生することを防止する役
割をも果たしている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した図
４に示すプラズマアドレス表示装置では、バリアリブ３
３ａとフリットシール３５との隙間４２の下方に放電電
極３２と取出電極４０との接合部が位置しており、この
接合部に段差が生じていることから、焼成時にカバーガ
ラス４１が流動して接合部上に欠損が生じ、カバーガラ
ス４１が破損してしまうことがある。また、焼成時に、
放電電極３２とカバーガラス４１との界面において発泡
が生じ、カバーガラス４１が持ち上げられ、隙間４２と
取出電極４０との間の気密性が損なわれることがある。
そのため、図４に示すようなプラズマアドレス表示装置
では、プラズマ室に拡散してある水銀が取出電極４０と
結合して失われたり、隣接する放電電極３２相互間で不
正放電が発生することがあるという問題がある。

【０００９】本発明は、上述した問題点に鑑みてなさ
れ、カバーガラスの破損を防止し、放電電極相互間での
不正放電およびプラズマ室内に拡散された水銀と取出電
極との結合を抑制できるプラズマアドレス表示装置を提
供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述した問題点を解決
し、上述した目的を達成するために、本発明のプラズマ
アドレス表示装置は、列方向にストライプ状に形成さ
れ、カソードおよびアノードとなる複数の放電電極と、
前記列方向にストライプ状に形成され、放電可能な気体
が封入してあるプラズマ室と、前記プラズマ室を前記ス
トライプ方向に仕切る絶縁性バリアリブと、前記プラズ
マ室に対して基板と対向する側に設けられ両側の電位差
によって駆動される電気光学材料層と、前記電気光学材
料層の一方の側と前記プラズマ室との間に介在する誘電
体シートと、前記電気光学材料層の他方の側において行
方向にストライプ状に形成され、データ電圧が印加され
るデータ電極と、前記絶縁性バリアリブを囲むように、
前記基板と前記誘電体シートとの間に形成されたシール
手段と、前記放電電極と接合され、放電電極に電圧を供
給する取出電極とを有し、前記放電電極と取出電極との
接合部が、前記絶縁性バリアリブの形成領域に重なりあ
って位置する。

【００１１】また、本発明のプラズマアドレス表示装置
は、好ましくは、前記接合部に積層するオーバーコート
膜をさらに有する。

【００１２】また、本発明のプラズマアドレス表示装置
は、好ましくは、前記接合部は、有効画面の外側に位置
する。

【００１３】さらに、本発明のプラズマアドレス表示装
置は、好ましくは、前記取出電極は、銀を用いて形成し
てあり、前記放電電極は、ニッケルを用いて形成してあ
り、前記プラズマ室内には、水銀が拡散してある。

【００１４】

【作用】本発明のプラズマアドレス表示装置では、放電
電極と取出電極との接合部が絶縁性バリアリブの形成領
域に重なりあって位置することから、接合部に積層され
たオーバーコートがバリアリブによって固定され、焼成
時にオーバーコートが流動して欠損が生じることはな
い。また、焼成時に、放電電極とオーバーコートとの界
面において発泡が生じても、オーバーコートが泡によっ
て持ち上げられて破損することもない。

【００１５】また、製造過程において接合部の上方に
は、段差形状のためにバリアリブが正常に積層されない
ことがあるが、本発明のプラズマアドレス表示装置で
は、放電電極と取出電極との接合部を有効画面の外側に
設けたことで、この場合でも正常な画像が提供される。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例に係わるプラズマアド
レス表示装置について説明する。図１は本発明の実施例
に係わるのプラズマアドレス表示装置における放電電極
と取出電極との接合部付近の部分断面図、図２は図１に
示すプラズマアドレス表示装置の平面図である。図１，
図２に示すように、プラズマアドレス表示装置は、ガラ
ス基板３１の表面に、ストライプ方向（図１，図２中左
右方向）に延びた放電電極３２と取出電極４０とが接合
して堆積してある。また、放電電極５２と取出電極５０
との接合部５３には、オーバーコートとして絶縁性のカ
バーガラス５１が形成してある。放電電極５２の上に
は、図中左右方向に延びるストライプ状のバリアリブ３
３ａが形成してある。取出電極５０の上には、バリアリ
ブ３３ａと所定の間隔を置いてフリットシール３５が形
成してあり、フリットシール３５と所定の間隔を置いて
ダミーのバリアリブ３３ｂが形成してある。また、バリ
アリブ３３ａ，３３ｂおよびフリットシール３５の上に
は、薄板ガラスを用いた誘電体シート４が形成してあ
る。ここで、放電電極５２は例えばニッケル（Ｎｉ）を
用いて形成してあり、取出電極５０は例えば銀（Ａｇ）
を用いて形成してある。複数のバリアリブ３３ａの相互
間に形成されるプラズマ室（図示せず）には放電電極５
２が露出しており、このプラズマ室内には、放電可能な
気体が封入してあり、放電電極５２がニッケル（Ｎｉ）
の場合には、通常、放電電極５２を構成するニッケルが
スパッタされるのを抑制するための水銀が拡散してあ
る。

【００１７】図１に示すように、本実施例に係わるプラ
ズマアドレス表示装置では、放電電極５２と取出電極５
０との接合部５３にカバーガラス５１を介してバリアリ
ブ３３ａが堆積している。すなわち、放電電極５２と取
出電極５０との接合部５３が、バリアリブ３３ａの形成
領域に重なりあって位置する。本実施例では、接合部５
３は、有効画面の外側に設けてある。

【００１８】上述したように、本実施例に係わるプラズ
マアドレス表示装置では、放電電極５２と取出電極５０
との接合部５３にカバーガラス５１を介してバリアリブ
３３ａが堆積していることから、焼成時に接合部の段差
によるカバーガラス５１の流動による欠損が生じること
は殆どない。また、焼成時に、放電電極３２とカバーガ
ラス４１との界面において発泡が生じても、カバーガラ
ス４１が泡によって持ち上げられて破損することも殆ど
ない。

【００１９】そのため、本実施例に係わるプラズマアド
レス表示装置によれば、カバーガラスの破損を防止し、
放電電極相互間での不正放電およびプラズマ室内に拡散
された水銀と取出電極との結合を抑制できる。また、接
合部５３を有効画面の外側に設けたことで、製造過程に
おいて接合部５３の上方にバリアリブ３３ａが正常に積
層されないことがあったとしても、正常な画像を提供す
ることができる。

【００２０】以下、図１，図２に示すプラズマアドレス
表示装置の製造方法について説明する。図３は、本実施
例に係わるプラズマアドレス表示装置の製造工程を説明
するための断面図である。本実施例においては、まず、
図１，図２に示すように、ストライプ状の取出電極５０
をガラス基板３１の表面に形成する。形成方法は、スク
リーン印刷法が一般的である。次に、図１〜３に示すス
トライプ状の放電電極５２を取出電極５０と等ピッチ
で、末端を一部取出電極５０と重ねて形成する。形成方
法は、スクリーン印刷法が一般的である。取出電極５０
は例えば銀（Ａｇ）を用いて形成する。

【００２１】次に、図１に示すように、絶縁性のカバー
ガラス５１を放電電極５２と取出電極５０との接合部５
３を覆うように形成する。カバーガラス５１の形成方法
は、スクリーン印刷法が普通であり、材質はガラスを用
いるのが一般的である。そして、図３（Ｂ）に示すよう
に、、バリヤリブ３３を放電電極５２上にスクリーン印
刷法などで形成する。このとき、図１に示すように、取
出電極５０が形成してある側の放電電極５２の端部にお
いては、取出電極５０と放電電極５２との接合部５３の
上に重なり合うように、バリアリブ３３ａをカバーガラ
ス５１および放電電極５２の上に堆積する。

【００２２】次に、放電電極５２、取出電極５０及びバ
リヤリブ３３を焼成する。この焼成において、前述した
ように、本実施例に係わるプラズマアドレス表示装置で
は、放電電極５２と取出電極５０との接合部５３にカバ
ーガラス５１を介してバリアリブ３３ａが堆積している
ことから、焼成時に接合部の段差によるカバーガラス５
１の流動が生じて欠損が生じることはない。また、焼成
時に、放電電極３２とカバーガラス４１との界面におい
て発泡が生じても、カバーガラス４１が泡によって持ち
上げられて破損することもない。

【００２３】次に、図３（Ｃ）に示すように、フリット
シール３５をディスペンサーなどを用いて低融点ガラス
などを塗布して形成する。フリットシール３５の幅は通
常約１．５μｍ程度であり、カバーガラス５１はこのう
ち約０．７５μｍ程度フリットシールで覆われるるよう
にフリットシールの形成を制御する。なお、フリットシ
ール３５とバリヤリブ３３ａとの離間距離は誘電体シー
ト４の割れを防止するために、１．８ｍｍ以下とするこ
とが好ましい。

【００２４】その後は、誘電体シート４とガラス基板３
１とをフリットシール３５を介して貼り合わせる。次
に、真空ポンプ（図示せず）でフリットシール３５で囲
まれた密封室内を真空にする。更に放電可能なガスを注
入した後、水銀蒸気を密封室内に拡散させる。

【００２５】次に、図示しない配向処理を行い、図３
（Ｄ）に示したように、液晶層を均一の厚さにするため
のスペーサー２４を散布し、液晶シール材２２を介して
カラーフィルタ２１を誘電体シート４に接合して、液晶
室を形成し、その後液晶を注入してプラズマアドレス表
示装置を得ることができる。尚、カラーフィルタ２１の
液晶室側には、データ電圧が印加されるストライプ状の
データ電極（図示せず）が放電電極５２と直交する向き
に形成してある。

【００２６】上述したように製造されたプラズマアドレ
ス表示装置は、放電電極５２に所定の電圧が印加される
と、そのプラズマ室の部分の気体が選択的にイオン化さ
れてプラズマ放電が発生し、その内部は略アノード電位
に維持される。この状態で、データ電極にデータ電圧が
印加されると、そのプラズマ室３４に対応して列方向に
並ぶ画素の液晶層に誘電体シート４を介してデータ電圧
が書き込まれる。プラズマ放電が終了すると、プラズマ
室３４は浮遊電位となり、対応する画素の液晶層に書き
込まれた電圧は、次の書き込み期間（例えば１フレーム
後）まで保持される。このとき、プラズマ室３４はサン
プリングスイッチとして機能し、各画素の液晶層はサン
プリングキャパシタとして機能している。各画素の液晶
層に対してデータ電極から書き込まれたデータ電圧によ
って液晶が動作することから画素単位で表示が行われ
る。従って、プラズマ放電を発生させて列方向に並ぶ複
数の画素の液晶層にデータ電圧を書き込むプラズマ室３
４を行方向に順次走査していくことで、二次元画像の表
示を行うことができる。

【００２７】本発明は上述した実施例には限定されな
い、例えば取出電極５０は、銀の他に金や銅などを用い
て形成してもよい。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のプラズマ
アドレス表示装置によれば、焼成時に取出電極と放電電
極との接合部の段差によってオーバーコート膜が流動す
ることを抑制することができる。また、焼成時に、放電
電極とオーバーコートとの界面において発泡が生じて
も、オーバーコートが泡によって持ち上げられることを
抑制できる。そのため、オーバーコート膜が破損される
ことが抑制される。また、本発明のプラズマアドレス表
示装置によれば、放電電極と取出電極との接合部を有効
画面の外側に設けたことで、製造時にバリアリブに欠損
が生じた場合であっても、高画質な画像を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係わるのプラズマアドレス表
示装置における放電電極と取出電極との接合部付近の部
分断面図である。

【図２】図１に示すプラズマアドレス表示装置の平面図
である。

【図３】本発明の実施例に係わるプラズマアドレス表示
装置の製造工程を説明するための断面図である。

【図４】プラズマアドレス表示装置における放電電極と
取出電極との接合部付近の部分断面図の一例である。

【符号の説明】

４… 薄板ガラス ７… ガラス基板 ３１… ガラス基板 ３３ａ，３３ｂ… バリアリブ ３５… フリットシール ５０… 取出電極 ５１… カバーガラス ５２… 放電電極

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】列方向にストライプ状に形成され、カソー
   ドおよびアノードとなる複数の放電電極と、 前記列方向にストライプ状に形成され、放電可能な気体
   が封入してあるプラズマ室と、 前記プラズマ室を前記ストライプ方向に仕切る絶縁性バ
   リアリブと、 前記プラズマ室に対して基板と対向する側に設けられ両
   側の電位差によって駆動される電気光学材料層と、 前記電気光学材料層の一方の側と前記プラズマ室との間
   に介在する誘電体シートと、 前記電気光学材料層の他方の側において行方向にストラ
   イプ状に形成され、データ電圧が印加されるデータ電極
   と、 前記絶縁性バリアリブを囲むように、前記基板と前記誘
   電体シートとの間に形成されたシール手段と、前記放電
   電極と接合され、放電電極に電圧を供給する取出電極と
   を有し、 前記放電電極と取出電極との接合部が、前記絶縁性バリ
   アリブの形成領域に重なりあって位置するプラズマアド
   レス表示装置。
2. 【請求項２】前記接合部に積層するオーバーコート膜を
   さらに有する請求項１に記載のプラズマアドレス表示装
   置。
3. 【請求項３】前記接合部は、有効画面の外側に位置する
   請求項１または２に記載のプラズマアドレス表示装置。
4. 【請求項４】前記取出電極は、銀を用いて形成してあ
   り、 前記放電電極は、ニッケルを用いて形成してあり、 前記プラズマ室内には、水銀が拡散してある請求項１〜
   ３のいずれかに記載のプラズマアドレス表示装置。