JPH0831787A - 洗浄槽 - Google Patents
洗浄槽Info
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- JPH0831787A JPH0831787A JP15993494A JP15993494A JPH0831787A JP H0831787 A JPH0831787 A JP H0831787A JP 15993494 A JP15993494 A JP 15993494A JP 15993494 A JP15993494 A JP 15993494A JP H0831787 A JPH0831787 A JP H0831787A
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】洗浄液の整流を行い洗浄液の汚染を低減し、洗
浄効率の向上をはかる。 【構成】囲壁１３の内または外の洗浄槽１１において、
排出口１６の上または注入口１２の上に多孔板２０′、
２０を設置する。
浄効率の向上をはかる。 【構成】囲壁１３の内または外の洗浄槽１１において、
排出口１６の上または注入口１２の上に多孔板２０′、
２０を設置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造に際
し、ウエハ等の洗浄を行う洗浄槽に関するものである。
し、ウエハ等の洗浄を行う洗浄槽に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造でウエハ等の洗浄に用
いる洗浄槽は通常オーバーフロー槽が用いられ、図４に
示すように、洗浄槽１の底部に設けた洗浄液注入口２か
ら注入した洗浄液が、保持棚３上に設置された洗浄物４
の中あるいは上記洗浄物４の周囲を上昇して流れ、上記
洗浄槽１における自由表面から洗浄槽１の上端外周に設
けたオーバーフロー槽の溝５にオーバーフローさせ、排
出口６から槽外に排出される。上記洗浄物４は一般に合
成樹脂製のカセットに多数個併置したウエハであり、自
動搬送装置の吊具で上記カセット上部を係止して搬送
し、上記洗浄槽１の直上で洗浄槽内の洗浄液中に浸漬さ
れる。また、上記排出口６から排出された汚染洗浄液は
フィルタを透過して清浄化されたのち、再び上記洗浄槽
１に循環して供給される。
いる洗浄槽は通常オーバーフロー槽が用いられ、図４に
示すように、洗浄槽１の底部に設けた洗浄液注入口２か
ら注入した洗浄液が、保持棚３上に設置された洗浄物４
の中あるいは上記洗浄物４の周囲を上昇して流れ、上記
洗浄槽１における自由表面から洗浄槽１の上端外周に設
けたオーバーフロー槽の溝５にオーバーフローさせ、排
出口６から槽外に排出される。上記洗浄物４は一般に合
成樹脂製のカセットに多数個併置したウエハであり、自
動搬送装置の吊具で上記カセット上部を係止して搬送
し、上記洗浄槽１の直上で洗浄槽内の洗浄液中に浸漬さ
れる。また、上記排出口６から排出された汚染洗浄液は
フィルタを透過して清浄化されたのち、再び上記洗浄槽
１に循環して供給される。
【０００３】上記従来技術では、洗浄槽底部から流入し
た洗浄液が洗浄槽内に拡がって上昇するが、洗浄物を通
過する際の抵抗が大きく洗浄物の外側を上昇する洗浄液
よりも流速が遅くなり、十分な洗浄効果が得にくく、ま
た、オーバーフローしきれない洗浄液の一部が洗浄槽の
内壁に沿って下降し還流を生じるため、洗浄物から遊離
した微粒子の一部が滞留することになり、次々と洗浄を
繰返すと次第に洗浄液が汚染し洗浄効果が低下する。こ
れらの問題点を解決するために発明者は、図５に示すよ
うに洗浄物を搬出入できるだけの間隙と高さを有する筒
状の囲壁を洗浄槽底部に固着し、上記囲壁中の洗浄物が
十分浸漬される中間位置に、所定細孔を所要数設けた洗
浄物の支持棚を設置し、洗浄槽下部の囲壁外側の注入口
から注入した洗浄液を吸引排出する排出口を、支持棚下
方の洗浄槽底部に設けた洗浄槽を提案した（特願平５−
２６０５０６号）。
た洗浄液が洗浄槽内に拡がって上昇するが、洗浄物を通
過する際の抵抗が大きく洗浄物の外側を上昇する洗浄液
よりも流速が遅くなり、十分な洗浄効果が得にくく、ま
た、オーバーフローしきれない洗浄液の一部が洗浄槽の
内壁に沿って下降し還流を生じるため、洗浄物から遊離
した微粒子の一部が滞留することになり、次々と洗浄を
繰返すと次第に洗浄液が汚染し洗浄効果が低下する。こ
れらの問題点を解決するために発明者は、図５に示すよ
うに洗浄物を搬出入できるだけの間隙と高さを有する筒
状の囲壁を洗浄槽底部に固着し、上記囲壁中の洗浄物が
十分浸漬される中間位置に、所定細孔を所要数設けた洗
浄物の支持棚を設置し、洗浄槽下部の囲壁外側の注入口
から注入した洗浄液を吸引排出する排出口を、支持棚下
方の洗浄槽底部に設けた洗浄槽を提案した（特願平５−
２６０５０６号）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記提案によって、オ
ーバーフロー型洗浄槽の問題点は大幅に改善されたが、
さらに上記洗浄槽の洗浄効率を向上させるためには、洗
浄槽内の洗浄液をより一層清浄化する必要があり、洗浄
液をむらなく洗浄物に流して一様な洗浄を行う必要があ
る。
ーバーフロー型洗浄槽の問題点は大幅に改善されたが、
さらに上記洗浄槽の洗浄効率を向上させるためには、洗
浄槽内の洗浄液をより一層清浄化する必要があり、洗浄
液をむらなく洗浄物に流して一様な洗浄を行う必要があ
る。
【０００５】本発明は洗浄液の流れを整流化し、むらが
ない一様な洗浄作用が行える洗浄槽を得ることを目的と
する。
ない一様な洗浄作用が行える洗浄槽を得ることを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、洗浄物を搬
出入できるだけの間隙と高さとを有する筒状の囲壁を、
上記洗浄物の周囲を囲んで洗浄槽の底部に固着し、囲壁
内の上記洗浄物が十分に洗浄液に浸漬される位置に、所
定の細孔を所要数設けた多孔板を上記洗浄物の支持棚と
して設け、上記囲壁の外側の洗浄槽下部に設けた注入口
から注入した洗浄液を吸引排出する排出口を、上記支持
棚下方の洗浄槽底部に設けた洗浄槽において、上記洗浄
液の整流手段を洗浄槽内または上記囲壁内に設けること
により達成される。
出入できるだけの間隙と高さとを有する筒状の囲壁を、
上記洗浄物の周囲を囲んで洗浄槽の底部に固着し、囲壁
内の上記洗浄物が十分に洗浄液に浸漬される位置に、所
定の細孔を所要数設けた多孔板を上記洗浄物の支持棚と
して設け、上記囲壁の外側の洗浄槽下部に設けた注入口
から注入した洗浄液を吸引排出する排出口を、上記支持
棚下方の洗浄槽底部に設けた洗浄槽において、上記洗浄
液の整流手段を洗浄槽内または上記囲壁内に設けること
により達成される。
【０００７】また、上記洗浄槽内の洗浄液整流手段を、
上記囲壁の外側で上記注入口の上部洗浄槽内を蔽う多孔
板とすることにより、または、上記囲壁内の洗浄液整流
手段を、囲壁内の支持棚下部に間隔を隔てて設けた多孔
板とすることにより、あるいは上記支持棚より下側の囲
壁横断面を、漏斗状に下方に向けて小さく形成すること
により達成される。
上記囲壁の外側で上記注入口の上部洗浄槽内を蔽う多孔
板とすることにより、または、上記囲壁内の洗浄液整流
手段を、囲壁内の支持棚下部に間隔を隔てて設けた多孔
板とすることにより、あるいは上記支持棚より下側の囲
壁横断面を、漏斗状に下方に向けて小さく形成すること
により達成される。
【０００８】
【作用】本発明による洗浄槽は、洗浄槽の底部に固着し
た円筒状の囲壁の中間に設けた支持棚に洗浄物を設置
し、上記囲壁外側の洗浄槽下部の注入口から注入した洗
浄液を囲壁上部から洗浄物に注いで洗浄し、汚染した洗
浄液は支持棚下方の洗浄槽底部の排出口から槽外に排出
している。上記洗浄液は洗浄槽下部に設けられた数少な
い注入口から注入され槽内に拡散するが、槽内を上昇す
る洗浄液の流速は不均一となり場所によって変化する。
この不均一な流速は注入口上部に設けた多孔板を通過す
ることによってほぼ平均化され、洗浄物に対し整流され
た洗浄液を注ぐことができる。また、洗浄後に支持棚を
通過する汚染洗浄液は、排出口を中心に流速が大きく囲
壁内面に近づくにつれて流速が小さくなるような流速分
布を生じるが、上記囲壁外の洗浄槽下部または上記支持
棚の下方に多孔板を設けることによって、上記汚染洗浄
液の流速はほぼ一様化される。さらに、支持棚より下側
の囲壁を漏斗状に形成したことにより、流速が小さい囲
壁近傍の汚染洗浄液を速やかに排出口に運び、汚染洗浄
液中の微粒子が停滞して囲壁面に付着するのを防ぐこと
ができる。
た円筒状の囲壁の中間に設けた支持棚に洗浄物を設置
し、上記囲壁外側の洗浄槽下部の注入口から注入した洗
浄液を囲壁上部から洗浄物に注いで洗浄し、汚染した洗
浄液は支持棚下方の洗浄槽底部の排出口から槽外に排出
している。上記洗浄液は洗浄槽下部に設けられた数少な
い注入口から注入され槽内に拡散するが、槽内を上昇す
る洗浄液の流速は不均一となり場所によって変化する。
この不均一な流速は注入口上部に設けた多孔板を通過す
ることによってほぼ平均化され、洗浄物に対し整流され
た洗浄液を注ぐことができる。また、洗浄後に支持棚を
通過する汚染洗浄液は、排出口を中心に流速が大きく囲
壁内面に近づくにつれて流速が小さくなるような流速分
布を生じるが、上記囲壁外の洗浄槽下部または上記支持
棚の下方に多孔板を設けることによって、上記汚染洗浄
液の流速はほぼ一様化される。さらに、支持棚より下側
の囲壁を漏斗状に形成したことにより、流速が小さい囲
壁近傍の汚染洗浄液を速やかに排出口に運び、汚染洗浄
液中の微粒子が停滞して囲壁面に付着するのを防ぐこと
ができる。
【０００９】
【実施例】つぎに本発明の実施例を図面とともに説明す
る。図１は本発明による洗浄槽の第１実施例を示す断面
図、図２は本発明による第２実施例を示す断面図、図３
は本発明による第３実施例を示す断面図である。
る。図１は本発明による洗浄槽の第１実施例を示す断面
図、図２は本発明による第２実施例を示す断面図、図３
は本発明による第３実施例を示す断面図である。
【００１０】第１実施例 本発明の第１実施例を示す図１において、洗浄物１４を
搬出入できるだけの間隙と高さとを有する囲壁１３を、
上記洗浄物１４を囲んで洗浄槽１１の底部に固着し、上
記囲壁１３内において洗浄物が十分に洗浄液１７に浸漬
される位置に、所定の細孔を所要数設けた多孔板を上記
洗浄物１４の支持棚１５として設け、上記囲壁１３の外
側の洗浄槽１１下部の注入口１２から注入した洗浄液１
７を、支持棚１５下方の洗浄槽底部に設けた排出口１６
から排出する洗浄槽において、上記洗浄液の整流手段と
して、上記注入口１２の上部洗浄槽内を蔽う多孔板２０
を設けている。
搬出入できるだけの間隙と高さとを有する囲壁１３を、
上記洗浄物１４を囲んで洗浄槽１１の底部に固着し、上
記囲壁１３内において洗浄物が十分に洗浄液１７に浸漬
される位置に、所定の細孔を所要数設けた多孔板を上記
洗浄物１４の支持棚１５として設け、上記囲壁１３の外
側の洗浄槽１１下部の注入口１２から注入した洗浄液１
７を、支持棚１５下方の洗浄槽底部に設けた排出口１６
から排出する洗浄槽において、上記洗浄液の整流手段と
して、上記注入口１２の上部洗浄槽内を蔽う多孔板２０
を設けている。
【００１１】上記洗浄液の注入口１２は洗浄槽１１の底
面または底面近くに設けられているが、構造上その個数
は限定され数多く設けることができない。したがって、
上記注入口１２から注入された洗浄液は洗浄槽１１内で
拡散するが、均一には拡散せず、洗浄槽１１内を上昇す
る洗浄液の流速は場所によって絶えず変化し不均一にな
る。しかし、本実施例のように上記注入口上の洗浄槽内
に多孔板２０を設けることによって、上記多孔板２０の
細孔を通過する洗浄液は整流され、ほぼ一様の流速で洗
浄槽１１内を上昇し、囲壁１３の上縁から囲壁内に流入
し、ほぼ一様の流速で洗浄物１４をむらなく洗浄するこ
とができるので、洗浄時間が短縮され洗浄効率を上げる
ことができる。
面または底面近くに設けられているが、構造上その個数
は限定され数多く設けることができない。したがって、
上記注入口１２から注入された洗浄液は洗浄槽１１内で
拡散するが、均一には拡散せず、洗浄槽１１内を上昇す
る洗浄液の流速は場所によって絶えず変化し不均一にな
る。しかし、本実施例のように上記注入口上の洗浄槽内
に多孔板２０を設けることによって、上記多孔板２０の
細孔を通過する洗浄液は整流され、ほぼ一様の流速で洗
浄槽１１内を上昇し、囲壁１３の上縁から囲壁内に流入
し、ほぼ一様の流速で洗浄物１４をむらなく洗浄するこ
とができるので、洗浄時間が短縮され洗浄効率を上げる
ことができる。
【００１２】第２実施例 本発明の第２実施例は図２に示すように、囲壁１３内の
支持棚１５の下に数ｃｍの間隔を隔てて多孔板２０′を
上記支持棚１５とほぼ平行に設けている。洗浄物１４の
隙間や周りを通過して汚染微粒子を遊離した洗浄液は、
支持棚１５から出口１６を経て洗浄槽１１外に排出され
るが、一般に上記排出口１６は囲壁の断面より小さく、
上記支持棚１５の下の囲壁内における汚染洗浄液の流速
は排出口１６の中心で大きく周囲に拡がるにしたがって
小さくなる。そのため囲壁近傍では汚染微粒子が停滞し
がちで、長時間の使用により汚染微粒子が支持棚１５上
に混入し、洗浄液の清浄度が低下する。本実施例では上
記支持棚１５の下方に多孔板２０′を設けているので汚
染洗浄液の整流性がよく、汚染微粒子を速やかに洗浄槽
１１から排除することができる。
支持棚１５の下に数ｃｍの間隔を隔てて多孔板２０′を
上記支持棚１５とほぼ平行に設けている。洗浄物１４の
隙間や周りを通過して汚染微粒子を遊離した洗浄液は、
支持棚１５から出口１６を経て洗浄槽１１外に排出され
るが、一般に上記排出口１６は囲壁の断面より小さく、
上記支持棚１５の下の囲壁内における汚染洗浄液の流速
は排出口１６の中心で大きく周囲に拡がるにしたがって
小さくなる。そのため囲壁近傍では汚染微粒子が停滞し
がちで、長時間の使用により汚染微粒子が支持棚１５上
に混入し、洗浄液の清浄度が低下する。本実施例では上
記支持棚１５の下方に多孔板２０′を設けているので汚
染洗浄液の整流性がよく、汚染微粒子を速やかに洗浄槽
１１から排除することができる。
【００１３】第３実施例 図３に示す本発明の第３実施例は、支持棚１５下方の囲
壁を下に向かうにしたがって横断面形状が小さくなるよ
うに形成し、漏斗状囲壁１８としている。上記第２実施
例に記載したように、支持棚１５の下の囲壁内には汚染
洗浄液が停滞しがちで、長期間繰返し洗浄を行っている
と汚染微粒子が囲壁内面に付着し、洗浄中の洗浄液がこ
の汚染微粒子によて汚染されることになる。本実施例で
は支持棚下の囲壁を漏斗状に形成したことにより、漏斗
状囲壁にそった汚染洗浄液の流れを円滑にし、汚染洗浄
液の停滞により囲壁表面に蓄積される汚染微粒子を速や
かに排出させることができ、洗浄液の汚染を減少させ洗
浄効率がよい洗浄槽を得ることができる。
壁を下に向かうにしたがって横断面形状が小さくなるよ
うに形成し、漏斗状囲壁１８としている。上記第２実施
例に記載したように、支持棚１５の下の囲壁内には汚染
洗浄液が停滞しがちで、長期間繰返し洗浄を行っている
と汚染微粒子が囲壁内面に付着し、洗浄中の洗浄液がこ
の汚染微粒子によて汚染されることになる。本実施例で
は支持棚下の囲壁を漏斗状に形成したことにより、漏斗
状囲壁にそった汚染洗浄液の流れを円滑にし、汚染洗浄
液の停滞により囲壁表面に蓄積される汚染微粒子を速や
かに排出させることができ、洗浄液の汚染を減少させ洗
浄効率がよい洗浄槽を得ることができる。
【００１４】上記各実施例はそれぞれ単独に実施するほ
か、任意に組合せて実施することにより、さらに洗浄効
率が一層すぐれた洗浄槽を得ることができる。
か、任意に組合せて実施することにより、さらに洗浄効
率が一層すぐれた洗浄槽を得ることができる。
【００１５】
【発明の効果】上記のように本発明による洗浄槽は、洗
浄物を搬出入できるだけの間隙と高さとを有する筒状の
囲壁を、上記洗浄物の周囲を囲んで洗浄槽の底部に固着
し、囲壁内の上記洗浄物が十分に洗浄液に浸漬される位
置に、所定の細孔を所要数設けた多孔板を上記洗浄物の
支持棚として設け、上記囲壁の外側の洗浄槽下部に設け
た注入口から注入した洗浄液を吸引排出する排出口を、
上記支持棚下方の洗浄槽底部に設けた洗浄槽において、
上記洗浄液の整流手段を洗浄槽内または上記囲壁内に設
けたことにより洗浄液の整流化を行い、あるいは支持棚
下の囲壁を漏斗状に形成することにより汚染洗浄液の排
出を円滑化し、長期間使用に対しても洗浄液の汚染を防
ぎ、ともに洗浄効率の向上をはかることができる。
浄物を搬出入できるだけの間隙と高さとを有する筒状の
囲壁を、上記洗浄物の周囲を囲んで洗浄槽の底部に固着
し、囲壁内の上記洗浄物が十分に洗浄液に浸漬される位
置に、所定の細孔を所要数設けた多孔板を上記洗浄物の
支持棚として設け、上記囲壁の外側の洗浄槽下部に設け
た注入口から注入した洗浄液を吸引排出する排出口を、
上記支持棚下方の洗浄槽底部に設けた洗浄槽において、
上記洗浄液の整流手段を洗浄槽内または上記囲壁内に設
けたことにより洗浄液の整流化を行い、あるいは支持棚
下の囲壁を漏斗状に形成することにより汚染洗浄液の排
出を円滑化し、長期間使用に対しても洗浄液の汚染を防
ぎ、ともに洗浄効率の向上をはかることができる。
【図１】本発明による洗浄槽の第１実施例を示す断面図
である。
である。
【図２】本発明による洗浄槽の第２実施例を示す断面図
である。
である。
【図３】本発明による洗浄槽の第３実施例を示す断面図
である。
である。
【図４】従来の洗浄槽を示す断面図である。
【図５】従来の改良した洗浄槽を示す断面図である。
１１ 洗浄槽 １２ 注入口 １３ 囲壁 １４ 洗浄物 １５ 支持棚 １６ 排出口 １７ 洗浄液 １８ 漏斗状囲壁 ２０、２０′ 多孔板
Claims (4)
- 【請求項１】洗浄物を搬出入できるだけの間隙と高さと
を有する筒状の囲壁を、上記洗浄物の周囲を囲んで洗浄
槽の底部に固着し、囲壁内の上記洗浄物が十分に洗浄液
に浸漬される位置に、所定の細孔を所要数設けた多孔板
を上記洗浄物の支持棚として設け、上記囲壁の外側の洗
浄槽下部に設けた注入口から注入した洗浄液を吸引排出
する排出口を、上記支持棚下方の洗浄槽底部に設けた洗
浄槽において、上記洗浄液の整流手段を洗浄槽内または
上記囲壁内に設けたことを特徴とする洗浄槽。 - 【請求項２】上記洗浄槽内の洗浄液整流手段は、上記囲
壁の外側で上記注入口の上部洗浄槽内を蔽った多孔板で
あることを特徴とする請求項１記載の洗浄槽。 - 【請求項３】上記囲壁内の洗浄液整流手段は、上記囲壁
内の支持棚下部に間隔を隔てて設けた多孔板であること
を特徴とする請求項１記載の洗浄槽。 - 【請求項４】上記囲壁内の洗浄液整流手段は、上記囲壁
の支持棚より下側の横断面を、漏斗状に下方に向けて小
さくするように形成したことを特徴とする請求項１記載
の洗浄槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15993494A JPH0831787A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 洗浄槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15993494A JPH0831787A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 洗浄槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0831787A true JPH0831787A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15704353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15993494A Pending JPH0831787A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 洗浄槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0831787A (ja) |
-
1994
- 1994-07-12 JP JP15993494A patent/JPH0831787A/ja active Pending
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