JPH08320293A - 異物検査方法および装置 - Google Patents
異物検査方法および装置Info
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- JPH08320293A JPH08320293A JP12767495A JP12767495A JPH08320293A JP H08320293 A JPH08320293 A JP H08320293A JP 12767495 A JP12767495 A JP 12767495A JP 12767495 A JP12767495 A JP 12767495A JP H08320293 A JPH08320293 A JP H08320293A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液体中の気泡による異物誤検知のない異物検
査装置を提供する。 【構成】 洗浄液Ｌ1 などの液体が貯留された貯液槽１
と、この貯液槽１と連通されて貯液槽１内の液体の一部
が導入される標本液槽３とを有する異物検査装置であ
る。標本液槽３の底面に開口して液体が導入される検査
ダクト７が設けられ、この検査ダクト７には検査ダクト
７内の流体の流路を開閉するバルブ８が取り付けられて
いる。検査ダクト７の途中には検査ダクト７内を流れる
液体中の異物を検出する異物検出器１１が設置されてい
る。
査装置を提供する。 【構成】 洗浄液Ｌ1 などの液体が貯留された貯液槽１
と、この貯液槽１と連通されて貯液槽１内の液体の一部
が導入される標本液槽３とを有する異物検査装置であ
る。標本液槽３の底面に開口して液体が導入される検査
ダクト７が設けられ、この検査ダクト７には検査ダクト
７内の流体の流路を開閉するバルブ８が取り付けられて
いる。検査ダクト７の途中には検査ダクト７内を流れる
液体中の異物を検出する異物検出器１１が設置されてい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は異物検査方法および装置
に関し、特に液体中に存在する異物の検出に適用して有
効な技術に関する。
に関し、特に液体中に存在する異物の検出に適用して有
効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば半導体装置の製造には、洗浄用
材料として純水や塩酸など、フォトプロセス用材料とし
てレジストや各種有機溶媒など、エッチング用材料とし
て各種酸など、多種多様の液体が使用されている。そし
て、このような液体中に異物があると、半導体ウエハの
表面が汚染されて形成された素子の特性に変動等をきた
し、完成した半導体装置が所期の性能を有しなくなるの
で、製造工程においてはフィルタによる異物の除去とと
もに液中異物の検査が行われている。
材料として純水や塩酸など、フォトプロセス用材料とし
てレジストや各種有機溶媒など、エッチング用材料とし
て各種酸など、多種多様の液体が使用されている。そし
て、このような液体中に異物があると、半導体ウエハの
表面が汚染されて形成された素子の特性に変動等をきた
し、完成した半導体装置が所期の性能を有しなくなるの
で、製造工程においてはフィルタによる異物の除去とと
もに液中異物の検査が行われている。
【０００３】液中異物の検査は、検査対象となる液体中
にノズルの一方側を浸漬してシリンダで吸引し、液体を
測定器内に導入してレーザによる散乱光により行うこと
が考えられる。このような異物検査を詳しく記載してい
る例としては、たとえば、工業調査会発行、「電子材料
別冊・超ＬＳＩ製造、試験装置ガイドブック」1994年版
（平成 5年11月20日発行）、P161〜P162がある。
にノズルの一方側を浸漬してシリンダで吸引し、液体を
測定器内に導入してレーザによる散乱光により行うこと
が考えられる。このような異物検査を詳しく記載してい
る例としては、たとえば、工業調査会発行、「電子材料
別冊・超ＬＳＩ製造、試験装置ガイドブック」1994年版
（平成 5年11月20日発行）、P161〜P162がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】液体はそれが最も効率
よく処理対象物である半導体ウエハなどのワークに対し
て作用するように、貯液槽内で加熱などされていること
が多い。そして、このようなときは、液体内には気泡が
発生している。
よく処理対象物である半導体ウエハなどのワークに対し
て作用するように、貯液槽内で加熱などされていること
が多い。そして、このようなときは、液体内には気泡が
発生している。
【０００５】気泡がある状態で前記した技術を用いて液
中異物の検査を行うと、測定器が気泡を異物と誤検知す
ることになる。これでは、液体中の異物を正確に測定す
ることができなくなり望ましくない。
中異物の検査を行うと、測定器が気泡を異物と誤検知す
ることになる。これでは、液体中の異物を正確に測定す
ることができなくなり望ましくない。
【０００６】そこで、本発明の目的は、液体中の気泡に
よる異物誤検知をなくして、正確な異物検査を行うこと
のできる技術を提供することにある。
よる異物誤検知をなくして、正確な異物検査を行うこと
のできる技術を提供することにある。
【０００７】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
次のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
次のとおりである。
【０００９】すなわち、本発明による異物検査方法は、
検査対象である液体の一部を抽出し、これを所定時間放
置して液体内の気泡を除去し、その後、この液体を流し
ながら液体中の異物検査を行うものである。
検査対象である液体の一部を抽出し、これを所定時間放
置して液体内の気泡を除去し、その後、この液体を流し
ながら液体中の異物検査を行うものである。
【００１０】また、本発明による異物検査装置は、液体
が貯留された貯液槽と、この貯液槽と連通されて貯液槽
内の液体の一部が導入される標本液槽とを有している。
標本液槽の底面に開口して液体が導入される検査ダクト
が設けられ、この検査ダクトには検査ダクト内の流体の
流路を開閉するバルブが取り付けられている。検査ダク
トの途中には検査ダクト内を流れる液体中の異物を検出
する異物検出手段が設置されている。
が貯留された貯液槽と、この貯液槽と連通されて貯液槽
内の液体の一部が導入される標本液槽とを有している。
標本液槽の底面に開口して液体が導入される検査ダクト
が設けられ、この検査ダクトには検査ダクト内の流体の
流路を開閉するバルブが取り付けられている。検査ダク
トの途中には検査ダクト内を流れる液体中の異物を検出
する異物検出手段が設置されている。
【００１１】このような異物検査装置において、バルブ
には液体の流量調節が可能な流量調節バルブを用いるこ
とが望ましい。また、標本液槽には槽内のエアを吸引す
るエア吸引手段を取り付けてもよい。さらに、検査ダク
トには標本液槽内の液体を吸引する液体吸引手段を取り
付けてもよい。
には液体の流量調節が可能な流量調節バルブを用いるこ
とが望ましい。また、標本液槽には槽内のエアを吸引す
るエア吸引手段を取り付けてもよい。さらに、検査ダク
トには標本液槽内の液体を吸引する液体吸引手段を取り
付けてもよい。
【００１２】
【作用】上記した手段によれば、サンプル抽出した検査
対象の液体を標本液槽内で所定時間放置して気泡を除去
した後、異物検出手段で異物検査を行うようにしている
ので、気泡が異物として誤検知されるおそれがなくな
り、液中異物の正確な計測が可能になる。
対象の液体を標本液槽内で所定時間放置して気泡を除去
した後、異物検出手段で異物検査を行うようにしている
ので、気泡が異物として誤検知されるおそれがなくな
り、液中異物の正確な計測が可能になる。
【００１３】また、流量調整バルブを用いることによっ
て、検査ダクト内を流れる液体の流量制御が可能にな
り、希望量のサンプリングを行うことができる。
て、検査ダクト内を流れる液体の流量制御が可能にな
り、希望量のサンプリングを行うことができる。
【００１４】エア吸引手段を用いることによって、検査
対象が高粘度の液体の場合でも強制的に気泡を除去する
ことが可能になる。
対象が高粘度の液体の場合でも強制的に気泡を除去する
ことが可能になる。
【００１５】そして、液体吸引手段を用いることによっ
て、高粘度の液体の異物検査において、該液体を強制的
に検査ダクトに導入することができ、速やかに異物検査
を行うことが可能になる。
て、高粘度の液体の異物検査において、該液体を強制的
に検査ダクトに導入することができ、速やかに異物検査
を行うことが可能になる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一の部材には同一の符号を付し、その繰り返しの
説明は省略する。
に説明する。なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一の部材には同一の符号を付し、その繰り返しの
説明は省略する。
【００１７】（実施例１）図１は本発明の一実施例であ
る異物検査装置を示す概略図である。
る異物検査装置を示す概略図である。
【００１８】本実施例の異物検査装置は、たとえば半導
体装置の製造において半導体ウエハ（図示略）の表面洗
浄に用いられる洗浄液（液体）Ｌ1 中に含まれた異物を
検出するもので、図面左側には、洗浄液Ｌ1 が貯留され
た貯液槽１が表されている。この貯液槽１は送給管２を
介して標本液槽３と連通されている。そして、貯液槽１
内の洗浄液Ｌ1 の一部をサンプルとして標本液槽３に導
入するため、送給管２の途中には送給ポンプ４が設けら
れている。なお、標本液槽３に入れられた洗浄液Ｌ1 は
一旦溜められた後に異物測定が行われる。
体装置の製造において半導体ウエハ（図示略）の表面洗
浄に用いられる洗浄液（液体）Ｌ1 中に含まれた異物を
検出するもので、図面左側には、洗浄液Ｌ1 が貯留され
た貯液槽１が表されている。この貯液槽１は送給管２を
介して標本液槽３と連通されている。そして、貯液槽１
内の洗浄液Ｌ1 の一部をサンプルとして標本液槽３に導
入するため、送給管２の途中には送給ポンプ４が設けら
れている。なお、標本液槽３に入れられた洗浄液Ｌ1 は
一旦溜められた後に異物測定が行われる。
【００１９】標本液槽３は、その上面に開口してフィル
タ５に取り付けられた排気ダクト６を有している。した
がって、導入される洗浄液Ｌ1 により標本液槽３内のエ
アは排気ダクト６から外部に押し出され、また、外部か
らの塵埃の進入はフィルタ５により遮断される。
タ５に取り付けられた排気ダクト６を有している。した
がって、導入される洗浄液Ｌ1 により標本液槽３内のエ
アは排気ダクト６から外部に押し出され、また、外部か
らの塵埃の進入はフィルタ５により遮断される。
【００２０】標本液槽３の底面に開口して、槽内の洗浄
液Ｌ1 が自然落下するときの流路である検査ダクト７が
設けられている。検査ダクト７には該検査ダクト７内の
洗浄液Ｌ1 の流路を開閉するためのバルブ８が取り付け
られており、バルブ８を開ければ洗浄液Ｌ1 は標本液槽
３から検査ダクト７を通って外部に排出される。このバ
ルブ８は開度調節が可能な流量調節バルブであり、該バ
ルブ８の開度を所望の程度に設定することにより、検査
ダクト７を流れる洗浄液Ｌ1 の流量が自由に調節される
ようになっている。なお、流量調節機能を持たない流路
の開閉動作のみ可能なバルブを用いてもよい。
液Ｌ1 が自然落下するときの流路である検査ダクト７が
設けられている。検査ダクト７には該検査ダクト７内の
洗浄液Ｌ1 の流路を開閉するためのバルブ８が取り付け
られており、バルブ８を開ければ洗浄液Ｌ1 は標本液槽
３から検査ダクト７を通って外部に排出される。このバ
ルブ８は開度調節が可能な流量調節バルブであり、該バ
ルブ８の開度を所望の程度に設定することにより、検査
ダクト７を流れる洗浄液Ｌ1 の流量が自由に調節される
ようになっている。なお、流量調節機能を持たない流路
の開閉動作のみ可能なバルブを用いてもよい。
【００２１】標本液槽３には、さらにその底面に開口し
てドレイン９が形成されている。ドレイン９にはドレイ
ンコック１０が取り付けられており、異物検査後に標本
液槽３内に残った洗浄液Ｌ1 はドレイン９から排出され
る。
てドレイン９が形成されている。ドレイン９にはドレイ
ンコック１０が取り付けられており、異物検査後に標本
液槽３内に残った洗浄液Ｌ1 はドレイン９から排出され
る。
【００２２】検査ダクト７の途中には、検査ダクト７内
を落下して行く洗浄液Ｌ1 中の異物を検出するための異
物検出器（異物検出手段）１１が設置されている。この
異物検出器１１は洗浄液Ｌ1 に対してレーザＺを照射す
る投光部１１ａと、検査ダクト７をはさんでこの投光部
１１ａの対向位置に設けられたレーザＺの受光部である
フォトマル１１ｂとから構成されている。そして、洗浄
液Ｌ1 中の異物により散乱されるレーザＺの散乱光をフ
ォトマル１１ｂが受光することにより異物がカウントさ
れる。なお、フォトマル１１ｂには受光したレーザＺに
対応して生成された電気信号を増幅するためのアンプ１
２が接続されている。
を落下して行く洗浄液Ｌ1 中の異物を検出するための異
物検出器（異物検出手段）１１が設置されている。この
異物検出器１１は洗浄液Ｌ1 に対してレーザＺを照射す
る投光部１１ａと、検査ダクト７をはさんでこの投光部
１１ａの対向位置に設けられたレーザＺの受光部である
フォトマル１１ｂとから構成されている。そして、洗浄
液Ｌ1 中の異物により散乱されるレーザＺの散乱光をフ
ォトマル１１ｂが受光することにより異物がカウントさ
れる。なお、フォトマル１１ｂには受光したレーザＺに
対応して生成された電気信号を増幅するためのアンプ１
２が接続されている。
【００２３】このような異物検査装置により、洗浄液Ｌ
1 中の異物は次のようにして測定される。
1 中の異物は次のようにして測定される。
【００２４】まず、送給ポンプ４を作動させ、検査対象
である貯液槽１内の洗浄液Ｌ1 をサンプルとして標本液
槽３内に適量だけ導入する。このとき、抽出された洗浄
液Ｌ1 は貯液槽１内で75〜80℃に加熱され、これが原因
で気泡が発生している。なお、標本液槽３内の洗浄液Ｌ
1 が流れ出さないように、バルブ８とドレインコック１
０とは閉塞位置にしておく。
である貯液槽１内の洗浄液Ｌ1 をサンプルとして標本液
槽３内に適量だけ導入する。このとき、抽出された洗浄
液Ｌ1 は貯液槽１内で75〜80℃に加熱され、これが原因
で気泡が発生している。なお、標本液槽３内の洗浄液Ｌ
1 が流れ出さないように、バルブ８とドレインコック１
０とは閉塞位置にしておく。
【００２５】次に、該洗浄液Ｌ1 を標本液槽３内で所定
時間、たとえば１分程度放置する。これにより、洗浄液
Ｌ1 中の気泡は上昇して槽内のエアに取り込まれ、洗浄
液Ｌ1 から除去される。なお、放置時間は検査対象の液
体の種類や気泡の発生程度を考慮して自由に設定するこ
とができる。
時間、たとえば１分程度放置する。これにより、洗浄液
Ｌ1 中の気泡は上昇して槽内のエアに取り込まれ、洗浄
液Ｌ1 から除去される。なお、放置時間は検査対象の液
体の種類や気泡の発生程度を考慮して自由に設定するこ
とができる。
【００２６】気泡除去後、バルブ８を開いて洗浄液Ｌ1
を検査ダクト７から自然落下させながら異物検出器１１
で液中の異物計測を行う。バルブ８はその開度を調整し
て洗浄液Ｌ1 の流量を制御し、計測時間および計測量を
コントロールして希望する量のサンプリングを行うよう
にする。液中異物が存在する場合には、投光部１１ａか
らのレーザＺが散乱されてフォトマル１１ｂに受光さ
れ、このような散乱光により生成された電気信号でこれ
が検出される。ここで、前記のように、洗浄液Ｌ1 中の
気泡は標本液槽３において除去されているので、レーザ
Ｚの散乱要因として気泡が介在することはなく、散乱光
は全て異物によるものとなる。
を検査ダクト７から自然落下させながら異物検出器１１
で液中の異物計測を行う。バルブ８はその開度を調整し
て洗浄液Ｌ1 の流量を制御し、計測時間および計測量を
コントロールして希望する量のサンプリングを行うよう
にする。液中異物が存在する場合には、投光部１１ａか
らのレーザＺが散乱されてフォトマル１１ｂに受光さ
れ、このような散乱光により生成された電気信号でこれ
が検出される。ここで、前記のように、洗浄液Ｌ1 中の
気泡は標本液槽３において除去されているので、レーザ
Ｚの散乱要因として気泡が介在することはなく、散乱光
は全て異物によるものとなる。
【００２７】異物検査が終了すると、バルブ８を閉じて
ドレインコック１０を開き、標本液槽３内に残留してい
る洗浄液Ｌ1 をドレイン９から排出する。
ドレインコック１０を開き、標本液槽３内に残留してい
る洗浄液Ｌ1 をドレイン９から排出する。
【００２８】このように、本実施例による異物検査装置
によれば、サンプル抽出した洗浄液Ｌ1 を標本液槽３内
で所定時間放置して気泡を除去し、その後、異物検出器
１１で異物計測を行うようにしているので、気泡が異物
として誤検知されるおそれがなくなり、液中異物の正確
な計測が可能になる。
によれば、サンプル抽出した洗浄液Ｌ1 を標本液槽３内
で所定時間放置して気泡を除去し、その後、異物検出器
１１で異物計測を行うようにしているので、気泡が異物
として誤検知されるおそれがなくなり、液中異物の正確
な計測が可能になる。
【００２９】（実施例２）図２は本発明の他の実施例で
ある異物検査装置を示す概略図である。
ある異物検査装置を示す概略図である。
【００３０】本実施例による異物検査装置は、たとえば
レジストＬ2 のように高粘度の液体の異物検査に用いら
れるもので、標本液槽３内のエアを吸引してこれを積極
的に排気するための排気ポンプ（エア吸引手段）１３が
排気ダクト６を介して取り付けられ、また、標本液槽３
内のレジストＬ2 を吸引する吸引ポンプ（液体吸引手
段）１４が検査ダクト７に取り付けられている点で実施
例１による異物検査装置と異なっている。
レジストＬ2 のように高粘度の液体の異物検査に用いら
れるもので、標本液槽３内のエアを吸引してこれを積極
的に排気するための排気ポンプ（エア吸引手段）１３が
排気ダクト６を介して取り付けられ、また、標本液槽３
内のレジストＬ2 を吸引する吸引ポンプ（液体吸引手
段）１４が検査ダクト７に取り付けられている点で実施
例１による異物検査装置と異なっている。
【００３１】レジストＬ2 のように粘性の高い液体の場
合には、これを単に標本液槽３に放置しただけでは気泡
が除去されにくいので、排気ポンプ１３を用いて強制除
去しようとするものである。また、同様にレジストＬ2
の場合には、単にバルブ８を開いただけでは意図した流
量のレジストＬ2 が検査ダクト７を流れない可能性があ
るので、これを吸引ポンプ１４により吸引することによ
り強制的に所望の流量を得ようとするものである。
合には、これを単に標本液槽３に放置しただけでは気泡
が除去されにくいので、排気ポンプ１３を用いて強制除
去しようとするものである。また、同様にレジストＬ2
の場合には、単にバルブ８を開いただけでは意図した流
量のレジストＬ2 が検査ダクト７を流れない可能性があ
るので、これを吸引ポンプ１４により吸引することによ
り強制的に所望の流量を得ようとするものである。
【００３２】なお、このような構成の異物検査装置によ
って洗浄液Ｌ1 （実施例１）のように低粘度の液体の異
物検査を行うことも可能である。この場合には、洗浄液
Ｌ1は自然落下ではなく検査ダクト７内に強制導入され
ることになる。また、本実施例における排気ポンプ１３
および吸引ポンプ１４は、何れか一方だけを取り付ける
こともできる。
って洗浄液Ｌ1 （実施例１）のように低粘度の液体の異
物検査を行うことも可能である。この場合には、洗浄液
Ｌ1は自然落下ではなく検査ダクト７内に強制導入され
ることになる。また、本実施例における排気ポンプ１３
および吸引ポンプ１４は、何れか一方だけを取り付ける
こともできる。
【００３３】本異物検査装置では、排気ポンプ１３を作
動させると標本液槽３に貯留されたレジストＬ2 の液面
が僅かに上昇するとともに、該レジストＬ2 中の気泡が
短時間で強制的に除去される。気泡除去後は、バルブ８
を開くとともに吸引ポンプ１４を作動させ、レジストＬ
2 を吸引して検査ダクト７中に流しながら異物検出器１
１で異物計測を行う。
動させると標本液槽３に貯留されたレジストＬ2 の液面
が僅かに上昇するとともに、該レジストＬ2 中の気泡が
短時間で強制的に除去される。気泡除去後は、バルブ８
を開くとともに吸引ポンプ１４を作動させ、レジストＬ
2 を吸引して検査ダクト７中に流しながら異物検出器１
１で異物計測を行う。
【００３４】このように、本実施例による異物検査装置
によれば、レジストＬ2 のように高粘度の液体中の気泡
を排気ポンプ１３を用いて除去し、さらに、吸引ポンプ
１４で強制的に検査ダクト７を通すようにしているの
で、粘性の程度を問わず安定的に異物検査を行うことが
可能になる。
によれば、レジストＬ2 のように高粘度の液体中の気泡
を排気ポンプ１３を用いて除去し、さらに、吸引ポンプ
１４で強制的に検査ダクト７を通すようにしているの
で、粘性の程度を問わず安定的に異物検査を行うことが
可能になる。
【００３５】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００３６】たとえば、各実施例においては、検査対象
の液体として洗浄液Ｌ1 およびレジストＬ2 が適用され
ているが、これらに限定されるものではなく、半導体装
置の製造工程に用いられる以外の液体を含め、他の種々
の液体を適用することが可能である。
の液体として洗浄液Ｌ1 およびレジストＬ2 が適用され
ているが、これらに限定されるものではなく、半導体装
置の製造工程に用いられる以外の液体を含め、他の種々
の液体を適用することが可能である。
【００３７】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以
下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以
下のとおりである。
【００３８】(1).すなわち、本発明の異物検査技術によ
れば、サンプル抽出した検査対象の液体を標本液槽内で
所定時間放置して気泡を除去した後、異物検出手段で異
物検査を行うようにしているので、気泡が異物として誤
検知されるおそれがなくなり、液中異物の正確な計測が
可能になる。
れば、サンプル抽出した検査対象の液体を標本液槽内で
所定時間放置して気泡を除去した後、異物検出手段で異
物検査を行うようにしているので、気泡が異物として誤
検知されるおそれがなくなり、液中異物の正確な計測が
可能になる。
【００３９】(2).また、バルブに流量調整バルブを用い
ることによって、検査ダクト内を流れる液体の流量制御
が可能になり、希望量のサンプリングを行うことができ
る。
ることによって、検査ダクト内を流れる液体の流量制御
が可能になり、希望量のサンプリングを行うことができ
る。
【００４０】(3).エア吸引手段を用いることによって、
検査対象が高粘度の液体の場合でも強制的に気泡を除去
することが可能になる。
検査対象が高粘度の液体の場合でも強制的に気泡を除去
することが可能になる。
【００４１】(4).そして、液体吸引手段を用いることに
よって、高粘度の液体の異物検査において、該液体を強
制的に検査ダクトに導入することができ、速やかに異物
検査を行うことが可能になる。
よって、高粘度の液体の異物検査において、該液体を強
制的に検査ダクトに導入することができ、速やかに異物
検査を行うことが可能になる。
【図１】本発明の実施例１による異物検査装置を示す概
略図である。
略図である。
【図２】本発明の実施例２による異物検査装置を示す概
略図である。
略図である。
１ 貯液槽 ２ 送給管 ３ 標本液槽 ４ 送給ポンプ ５ フィルタ ６ 排気ダクト ７ 検査ダクト ８ バルブ ９ ドレイン １０ ドレインコック １１ 異物検出器（異物検出手段） １１ａ 投光部 １１ｂ フォトマル １２ アンプ １３ 排気ポンプ（エア吸引手段） １４ 吸引ポンプ（液体吸引手段） Ｌ1 洗浄液（液体） Ｌ2 レジスト（液体） Ｚ レーザ
Claims (5)
- 【請求項１】 検査対象である液体の一部を抽出し、 これを所定時間放置して前記液体内の気泡を除去し、 その後、この液体を流しながら液体中の異物検査を行う
ことを特徴とする異物検査方法。 - 【請求項２】 液体が貯留された貯液槽と、 前記貯液槽と連通され、この貯液槽内の前記液体の一部
が導入される標本液槽と、 前記標本液槽の底面に開口して設けられ、前記液体が導
入される検査ダクトと、 前記検査ダクトに取り付けられ、この検査ダクト内の流
体の流路を開閉するバルブと、 前記検査ダクトの途中に設置され、前記検査ダクト内を
流れる前記液体中の異物を検出する異物検出手段とを有
することを特徴とする異物検査装置。 - 【請求項３】 請求項２記載の異物検査装置において、
前記バルブは液体の流量調節が可能な流量調節バルブで
あることを特徴とする異物検査装置。 - 【請求項４】 請求項２または３記載の異物検査装置に
おいて、前記標本液槽には槽内のエアを吸引するエア吸
引手段が取り付けられていることを特徴とする異物検査
装置。 - 【請求項５】 請求項２〜４の何れか一項に記載の異物
検査装置において、前記検査ダクトには前記標本液槽内
の液体を吸引する液体吸引手段が取り付けられているこ
とを特徴とする異物検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12767495A JPH08320293A (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 異物検査方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12767495A JPH08320293A (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 異物検査方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08320293A true JPH08320293A (ja) | 1996-12-03 |
Family
ID=14965917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12767495A Pending JPH08320293A (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 異物検査方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08320293A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013011510A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工液の評価方法 |
| JP2017136554A (ja) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 株式会社ユウ・ピー・アイ | スクラバー用計測記録装置 |
-
1995
- 1995-05-26 JP JP12767495A patent/JPH08320293A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013011510A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工液の評価方法 |
| JP2017136554A (ja) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 株式会社ユウ・ピー・アイ | スクラバー用計測記録装置 |
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