JPH08320301A - 複数の溶存物質の濃度分布測定装置 - Google Patents
複数の溶存物質の濃度分布測定装置Info
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- JPH08320301A JPH08320301A JP8093064A JP9306496A JPH08320301A JP H08320301 A JPH08320301 A JP H08320301A JP 8093064 A JP8093064 A JP 8093064A JP 9306496 A JP9306496 A JP 9306496A JP H08320301 A JPH08320301 A JP H08320301A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の溶存物質の濃度の線方向の分布を単一
のセンサと単一の処理部分とで測定し、溶存物質の分布
を画像として出力できるようにした複数の溶存物質の濃
度分布測定装置を提供すること。 【構成】 半導体基板１の一方の面に異なる物質に応答
するようにそれぞれ縦方向に区画された複数のエリア２
ａ〜２ｄからなるセンシング部２を形成するとともに、
前記半導体基板１に対してプローブ用の光Ｌを照射する
ように構成した。
のセンサと単一の処理部分とで測定し、溶存物質の分布
を画像として出力できるようにした複数の溶存物質の濃
度分布測定装置を提供すること。 【構成】 半導体基板１の一方の面に異なる物質に応答
するようにそれぞれ縦方向に区画された複数のエリア２
ａ〜２ｄからなるセンシング部２を形成するとともに、
前記半導体基板１に対してプローブ用の光Ｌを照射する
ように構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液体中あるいは
物質中にしみこんだ溶液中の複数の溶存物質の濃度分布
を一挙に得ることができる新規な装置に関する。
物質中にしみこんだ溶液中の複数の溶存物質の濃度分布
を一挙に得ることができる新規な装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、液体中の溶存物質の濃度を測
定する手段として、ガラス電極、イオン選択性電極など
のポテンショメトリックセンサや、バイオセンサなどの
アンペロメトリックセンサがある。
定する手段として、ガラス電極、イオン選択性電極など
のポテンショメトリックセンサや、バイオセンサなどの
アンペロメトリックセンサがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記センサは、高選択
性を特長としているが、多種の溶存種の濃度を測定した
い場合には、複数のセンサを準備し、個々のセンサから
の信号を個々に処理できる複雑な装置を必要とする。
性を特長としているが、多種の溶存種の濃度を測定した
い場合には、複数のセンサを準備し、個々のセンサから
の信号を個々に処理できる複雑な装置を必要とする。
【０００４】また、前記センサによる測定は、測定対象
である溶液など液体が十分に攪拌され、溶存物質の分布
が均一な状態になっていることを前提としている。この
ため、溶存物質が液体中で偏って存在したり、ある部分
で経時的に変化する様子を計測し、二次元あるいは三次
元的に画像として捉えるためには、センサをアレイ化し
たりセンサ自体を走査させる必要がある。
である溶液など液体が十分に攪拌され、溶存物質の分布
が均一な状態になっていることを前提としている。この
ため、溶存物質が液体中で偏って存在したり、ある部分
で経時的に変化する様子を計測し、二次元あるいは三次
元的に画像として捉えるためには、センサをアレイ化し
たりセンサ自体を走査させる必要がある。
【０００５】しかしながら、センサをアレイ化するに
は、センサの小型化が必要であるとともに、センサの数
だけの入力チャンネルを備え、かつ得られた信号を処理
できる複雑な装置を必要とする。また、センサ自体を走
査させる場合には、「測定」と「センサの移動」とを繰
り返すが、液体中の溶存物質の濃度分布の多くは時間的
な変化が速く、「測定」と「センサの移動」との繰り返
しが前記変化の速度に追随しない。いずれにしても、現
存のセンサの工夫のみでは困難な点があり、技術的なブ
レークスルーを必要とする。
は、センサの小型化が必要であるとともに、センサの数
だけの入力チャンネルを備え、かつ得られた信号を処理
できる複雑な装置を必要とする。また、センサ自体を走
査させる場合には、「測定」と「センサの移動」とを繰
り返すが、液体中の溶存物質の濃度分布の多くは時間的
な変化が速く、「測定」と「センサの移動」との繰り返
しが前記変化の速度に追随しない。いずれにしても、現
存のセンサの工夫のみでは困難な点があり、技術的なブ
レークスルーを必要とする。
【０００６】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、複数の溶存物質の濃度の線方向の分布を単一
のセンサと単一の処理部分とで測定し、溶存物質の分布
を画像として出力できるようにした複数の溶存物質の濃
度分布測定装置を提供することを目的としている。
たもので、複数の溶存物質の濃度の線方向の分布を単一
のセンサと単一の処理部分とで測定し、溶存物質の分布
を画像として出力できるようにした複数の溶存物質の濃
度分布測定装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の複数の溶存物質の濃度分布測定装置は、
半導体基板の一方の面に異なる物質に応答するようにそ
れぞれ縦方向に区画された複数のエリアからなるセンシ
ング部を形成するとともに、前記半導体基板に対してプ
ローブ用の光を照射するように構成したことを特徴とし
ている。
め、この発明の複数の溶存物質の濃度分布測定装置は、
半導体基板の一方の面に異なる物質に応答するようにそ
れぞれ縦方向に区画された複数のエリアからなるセンシ
ング部を形成するとともに、前記半導体基板に対してプ
ローブ用の光を照射するように構成したことを特徴とし
ている。
【０００８】
【作用】前記溶存物質の測定には、その二次元分布の計
測が可能な、ＬＡＰＳ（Ｌｉｇｈｔ−Ａｄｄｒｅｓｓａ
ｂｌｅ Ｐｏｔｅｎｔｉｏｍｅｔｏｒｉｃ Ｓｅｎｓｏ
ｒ）センサからなる電気化学画像計測装置を用いる。こ
のような装置は、例えば、Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈ
ｙｓ．Ｖｏｌ．３３（１９９４）ｐｐＬ３９４−Ｌ３９
７に記載してあるように、センシング部の裏面側に光を
スキャンし、このスキャンによって半導体中において誘
発された光電流を取り出すことにより測定を行うことが
できる。
測が可能な、ＬＡＰＳ（Ｌｉｇｈｔ−Ａｄｄｒｅｓｓａ
ｂｌｅ Ｐｏｔｅｎｔｉｏｍｅｔｏｒｉｃ Ｓｅｎｓｏ
ｒ）センサからなる電気化学画像計測装置を用いる。こ
のような装置は、例えば、Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈ
ｙｓ．Ｖｏｌ．３３（１９９４）ｐｐＬ３９４−Ｌ３９
７に記載してあるように、センシング部の裏面側に光を
スキャンし、このスキャンによって半導体中において誘
発された光電流を取り出すことにより測定を行うことが
できる。
【０００９】前記装置のセンシングプレートを直接計測
したい対象物質に挿入したり接触させることによって溶
存物質の濃度分布を測定する。得られたデータはコンピ
ュータ処理により、二次元または三次元の濃度分布画像
として出力される。ある時間での濃度分布のみならず、
その変化の様子をリアルタイムに追跡することができ
る。
したい対象物質に挿入したり接触させることによって溶
存物質の濃度分布を測定する。得られたデータはコンピ
ュータ処理により、二次元または三次元の濃度分布画像
として出力される。ある時間での濃度分布のみならず、
その変化の様子をリアルタイムに追跡することができ
る。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の詳細を、図を参照しながら
説明する。図１および図２は、この発明の複数の溶存物
質の濃度分布測定装置の主要部である光走査型センシン
グプレートＳＰの一例を概略的に示すもので、図１にお
いて、１はＳｉよりなる半導体基板で、このＳｉ基板１
の一方の面にはセンシング部２が形成され、他方の面に
はセンシング部２の裏面にプローブ用の光ＬをＸ，Ｙ方
向（図２参照）に順次照射する光照射部３が形成されて
いる。
説明する。図１および図２は、この発明の複数の溶存物
質の濃度分布測定装置の主要部である光走査型センシン
グプレートＳＰの一例を概略的に示すもので、図１にお
いて、１はＳｉよりなる半導体基板で、このＳｉ基板１
の一方の面にはセンシング部２が形成され、他方の面に
はセンシング部２の裏面にプローブ用の光ＬをＸ，Ｙ方
向（図２参照）に順次照射する光照射部３が形成されて
いる。
【００１１】センシング部２は、Ｓｉ基板１の例えば上
面にＳｉＯ2 層４、Ｓｉ3 Ｎ4 層５を熱酸化、ＣＶＤな
どの手法によって順次形成してなるものである。そし
て、このセンシング部２は、その上面が縦方向（図２の
Ｙ方向）に複数のエリア２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに区分
され、このうち、エリア２ａ，２ｂ，２ｃは測定エリア
であり、例えば、エリア２ａはｐＨに応答するように無
修飾とし、エリア２ｂはＣａイオンに応答するようにジ
アルキルリン酸のカルシウム塩で修飾され、エリア２ｃ
はＮａイオンに応答するようにクラウンエーテルで修飾
されている。また、エリア２ｄは、前記測定エリア２ａ
〜２ｃに対して共通に設けられる比較電極部として機能
するもので、例えば、実公平４−１６２１６号公報に開
示された比較電極と同じ構造を採用することができる。
面にＳｉＯ2 層４、Ｓｉ3 Ｎ4 層５を熱酸化、ＣＶＤな
どの手法によって順次形成してなるものである。そし
て、このセンシング部２は、その上面が縦方向（図２の
Ｙ方向）に複数のエリア２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに区分
され、このうち、エリア２ａ，２ｂ，２ｃは測定エリア
であり、例えば、エリア２ａはｐＨに応答するように無
修飾とし、エリア２ｂはＣａイオンに応答するようにジ
アルキルリン酸のカルシウム塩で修飾され、エリア２ｃ
はＮａイオンに応答するようにクラウンエーテルで修飾
されている。また、エリア２ｄは、前記測定エリア２ａ
〜２ｃに対して共通に設けられる比較電極部として機能
するもので、例えば、実公平４−１６２１６号公報に開
示された比較電極と同じ構造を採用することができる。
【００１２】そして、センシング部２を構成する各エリ
ア２ａ〜２ｄは、その幅（図２のＸ方向寸法）が０．１
〜０．５ｍｍ、長さ（図２のＹ方向寸法）が１〜１０ｍ
ｍ程度である。ＣＥおよびＲＥはセンシング部２の上方
に設けられる対極、比較電極で、後述するポテンショス
タット１１に接続されている。また、ＯＣはＳｉ基板１
に設けられる信号取出し用のオーミック電極で、ポテン
ショスタット１１に接続されている。
ア２ａ〜２ｄは、その幅（図２のＸ方向寸法）が０．１
〜０．５ｍｍ、長さ（図２のＹ方向寸法）が１〜１０ｍ
ｍ程度である。ＣＥおよびＲＥはセンシング部２の上方
に設けられる対極、比較電極で、後述するポテンショス
タット１１に接続されている。また、ＯＣはＳｉ基板１
に設けられる信号取出し用のオーミック電極で、ポテン
ショスタット１１に接続されている。
【００１３】光照射部３は、図２に示すように、複数の
ＬＥＤ６をＸ，Ｙ方向において例えばそれぞれ等間隔と
なるように形成した発光体基板７と、この発光体基板７
を保持するとともに、ＬＥＤ６を順次点灯するように制
御するシフトレジスタ８Ｘ，８Ｙを備えた走査制御部と
してのプリント基板９とからなる。
ＬＥＤ６をＸ，Ｙ方向において例えばそれぞれ等間隔と
なるように形成した発光体基板７と、この発光体基板７
を保持するとともに、ＬＥＤ６を順次点灯するように制
御するシフトレジスタ８Ｘ，８Ｙを備えた走査制御部と
してのプリント基板９とからなる。
【００１４】センシング部２および光照射部３は、別々
に形成されるが、適宜の接着剤を用いたり、陽極接合ま
たは直接接合などの手法によって、Ｓｉ基板１のセンシ
ング部２とは反対の面に、発光体基板７が直接接するよ
うにして接合され、これによって複合構造（ハイブリッ
ド構造）の光走査型センシングプレートＳＰが形成され
る。そして、この光走査型センシングプレートＳＰは水
密構造に形成されている。
に形成されるが、適宜の接着剤を用いたり、陽極接合ま
たは直接接合などの手法によって、Ｓｉ基板１のセンシ
ング部２とは反対の面に、発光体基板７が直接接するよ
うにして接合され、これによって複合構造（ハイブリッ
ド構造）の光走査型センシングプレートＳＰが形成され
る。そして、この光走査型センシングプレートＳＰは水
密構造に形成されている。
【００１５】そして、図１において、１０は前記光走査
型センシングプレートＳＰの制御装置であって、Ｓｉ基
板１に適宜のバイアス電圧を印加するためのポテンショ
スタット１１、Ｓｉ基板１に形成されたオーミック電極
ＯＣから取り出される電流を電圧信号に変換する電流−
電圧変換器１２、この電流−電圧変換器１２からの信号
が入力されるロックインアンプ１３、ロックインアンプ
１３と信号を授受したり、光照射部３に対する制御信号
を出力するインターフェイスボード１４などよりなり、
センシングプレートＳＰとは伝送ケーブル（図示してな
い）で接続されている。なお、１５は制御・演算部とし
てのマイクロコンピュータ（ＣＰＵ）、１５ａは例えば
キーボードなどの入力部、１５ｂはＣＲＴなどの表示出
力部である。
型センシングプレートＳＰの制御装置であって、Ｓｉ基
板１に適宜のバイアス電圧を印加するためのポテンショ
スタット１１、Ｓｉ基板１に形成されたオーミック電極
ＯＣから取り出される電流を電圧信号に変換する電流−
電圧変換器１２、この電流−電圧変換器１２からの信号
が入力されるロックインアンプ１３、ロックインアンプ
１３と信号を授受したり、光照射部３に対する制御信号
を出力するインターフェイスボード１４などよりなり、
センシングプレートＳＰとは伝送ケーブル（図示してな
い）で接続されている。なお、１５は制御・演算部とし
てのマイクロコンピュータ（ＣＰＵ）、１５ａは例えば
キーボードなどの入力部、１５ｂはＣＲＴなどの表示出
力部である。
【００１６】上記構成の測定装置を用いて、例えば、水
溶液中の溶存物質、この場合は、ｐＨ、Ｎａ、Ｃａの濃
度分布を測定するには、前記光走査型センシングプレー
トＳＰを、図２における矢印Ｙ方向にして，対極ＣＥと
ともに水溶液中に浸す。そして、Ｓｉ基板１に空乏層が
発生するように、ポテンショスタット１１からの電圧を
対極ＣＥとオーミック電極ＯＣとの間に印加して、Ｓｉ
基板１に所定のバイアス電圧を印加する。この状態でセ
ンシング部２に対するプローブ光ＬをＳｉ基板１に一定
周期（例えば、１０ｋＨｚ）で断続的に照射することに
より、Ｓｉ基板１に交流光電流を発生させる。
溶液中の溶存物質、この場合は、ｐＨ、Ｎａ、Ｃａの濃
度分布を測定するには、前記光走査型センシングプレー
トＳＰを、図２における矢印Ｙ方向にして，対極ＣＥと
ともに水溶液中に浸す。そして、Ｓｉ基板１に空乏層が
発生するように、ポテンショスタット１１からの電圧を
対極ＣＥとオーミック電極ＯＣとの間に印加して、Ｓｉ
基板１に所定のバイアス電圧を印加する。この状態でセ
ンシング部２に対するプローブ光ＬをＳｉ基板１に一定
周期（例えば、１０ｋＨｚ）で断続的に照射することに
より、Ｓｉ基板１に交流光電流を発生させる。
【００１７】前記光電流量は、Ｓｉ基板１の照射点に対
向する点で、センシング部２の測定エリア２ａ〜２ｃに
接している水溶液のｐＨおよびＮａイオン、Ｃａイオン
濃度を反映した値であり、これらの値を測定することに
より、水溶液のｐＨおよびＮａイオン、Ｃａイオン濃度
を知ることが可能となる。
向する点で、センシング部２の測定エリア２ａ〜２ｃに
接している水溶液のｐＨおよびＮａイオン、Ｃａイオン
濃度を反映した値であり、これらの値を測定することに
より、水溶液のｐＨおよびＮａイオン、Ｃａイオン濃度
を知ることが可能となる。
【００１８】さらに、プローブ光Ｌは、ＬＥＤ６を順次
発光させることによりＸ，Ｙ方向に走査され、測定エリ
ア２ａ〜２ｃにおける位置信号（Ｘ，Ｙ）とその場所で
観測された交流光電流値により、図３に示すように、ｐ
Ｈ、Ｃａ、Ｎａの濃度を表す二次元画像を得ることがで
きる。つまり、複数の成分の濃度分布を同時に得ること
ができ、これを同時に表示することができる。
発光させることによりＸ，Ｙ方向に走査され、測定エリ
ア２ａ〜２ｃにおける位置信号（Ｘ，Ｙ）とその場所で
観測された交流光電流値により、図３に示すように、ｐ
Ｈ、Ｃａ、Ｎａの濃度を表す二次元画像を得ることがで
きる。つまり、複数の成分の濃度分布を同時に得ること
ができ、これを同時に表示することができる。
【００１９】図４は、この発明の他の実施例を示し、こ
の実施例の測定装置においては、センシング部２とし
て、ガラス基板１６に、上記測定エリア２ａ〜２ｃおよ
び比較エリア２ｄを個別に設け、これを光照射部３と接
合してハイブリッド構造の光走査型センシングプレート
ＳＰとしている。この実施例の動作は、上述した実施例
と同じであるのでその詳細は省略する。
の実施例の測定装置においては、センシング部２とし
て、ガラス基板１６に、上記測定エリア２ａ〜２ｃおよ
び比較エリア２ｄを個別に設け、これを光照射部３と接
合してハイブリッド構造の光走査型センシングプレート
ＳＰとしている。この実施例の動作は、上述した実施例
と同じであるのでその詳細は省略する。
【００２０】上述の実施例はいずれもハイブリッド構造
の光走査型ｐＨ画像装置であったが、この発明はこれに
限られるものではなく、一体構造（モノリシック構造）
に構成することもできる。
の光走査型ｐＨ画像装置であったが、この発明はこれに
限られるものではなく、一体構造（モノリシック構造）
に構成することもできる。
【００２１】また、上述の実施例においては、プローブ
光ＬをＳｉ基板１の裏面側から照射するようにしている
が、これに代えて、センシング部２側から照射するよう
にしてもよい。
光ＬをＳｉ基板１の裏面側から照射するようにしている
が、これに代えて、センシング部２側から照射するよう
にしてもよい。
【００２２】そして、測定エリアの数は任意であり、そ
の表面を修飾する応答物質を適宜選定することにより、
任意の溶存物質の分布測定を行なえることはいうまでも
ない。
の表面を修飾する応答物質を適宜選定することにより、
任意の溶存物質の分布測定を行なえることはいうまでも
ない。
【００２３】さらに、測定対象としては、前記溶液のよ
うに液体のみならず、土壌中のｐＨを初めとする各溶存
物質の濃度をも測定することができる。その場合、光走
査型センシングプレートＳＰを対極ＣＥおよび比較電極
ＲＥとともに挿入する土壌を適宜湿らしておく必要があ
る。
うに液体のみならず、土壌中のｐＨを初めとする各溶存
物質の濃度をも測定することができる。その場合、光走
査型センシングプレートＳＰを対極ＣＥおよび比較電極
ＲＥとともに挿入する土壌を適宜湿らしておく必要があ
る。
【００２４】なお、上述のいずれの実施例においても、
比較電極ＲＥを省略することができるが、この比較電極
ＲＥを設けていた場合、Ｓｉ基板１に所定のバイアス電
圧をより安定に印加することができる。
比較電極ＲＥを省略することができるが、この比較電極
ＲＥを設けていた場合、Ｓｉ基板１に所定のバイアス電
圧をより安定に印加することができる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の測定装
置によれば、複数の溶存物質の濃度の縦方向の分布を一
つのセンサと一つの処理部分で同時に測定することがで
き、その分布を画像として同時に出力することができ
る。そして、ある時間での濃度分布のみならず、濃度分
布の時間的変化を追跡することも可能である。
置によれば、複数の溶存物質の濃度の縦方向の分布を一
つのセンサと一つの処理部分で同時に測定することがで
き、その分布を画像として同時に出力することができ
る。そして、ある時間での濃度分布のみならず、濃度分
布の時間的変化を追跡することも可能である。
【図１】この発明の測定装置の一例を概略的に示す図で
ある。
ある。
【図２】前記測定装置の光照射部の構成例を概略的に示
す平面図である。
す平面図である。
【図３】前記測定装置によって得られる溶存物質の分布
画像の一例を示す図である。
画像の一例を示す図である。
【図４】この発明の測定装置の他の例を概略的に示す図
である。
である。
１…半導体基板、２…センシング部、２ａ〜２ｄ…エリ
ア、Ｌ…プローブ用の光。
ア、Ｌ…プローブ用の光。
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体基板の一方の面に異なる物質に応
答するようにそれぞれ縦方向に区画された複数のエリア
からなるセンシング部を形成するとともに、前記半導体
基板に対してプローブ用の光を照射するように構成した
ことを特徴とする複数の溶存物質の濃度分布測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8093064A JPH08320301A (ja) | 1995-03-22 | 1996-03-22 | 複数の溶存物質の濃度分布測定装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-90320 | 1995-03-22 | ||
| JP9032095 | 1995-03-22 | ||
| JP8093064A JPH08320301A (ja) | 1995-03-22 | 1996-03-22 | 複数の溶存物質の濃度分布測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08320301A true JPH08320301A (ja) | 1996-12-03 |
Family
ID=26431818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8093064A Pending JPH08320301A (ja) | 1995-03-22 | 1996-03-22 | 複数の溶存物質の濃度分布測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08320301A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6709322B2 (en) | 2001-03-29 | 2004-03-23 | Lam Research Corporation | Apparatus for aligning a surface of an active retainer ring with a wafer surface for chemical mechanical polishing |
| JP2013019824A (ja) * | 2011-07-13 | 2013-01-31 | Hioki Ee Corp | 検出システムおよび探査システム |
-
1996
- 1996-03-22 JP JP8093064A patent/JPH08320301A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6709322B2 (en) | 2001-03-29 | 2004-03-23 | Lam Research Corporation | Apparatus for aligning a surface of an active retainer ring with a wafer surface for chemical mechanical polishing |
| US6843707B2 (en) | 2001-03-29 | 2005-01-18 | Lam Research Corporation | Methods for aligning a surface of an active retainer ring with a wafer surface for chemical mechanical polishing |
| JP2013019824A (ja) * | 2011-07-13 | 2013-01-31 | Hioki Ee Corp | 検出システムおよび探査システム |
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