JPH08320425A - 光回路用コリメータの製造方法 - Google Patents
光回路用コリメータの製造方法Info
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- JPH08320425A JPH08320425A JP12698895A JP12698895A JPH08320425A JP H08320425 A JPH08320425 A JP H08320425A JP 12698895 A JP12698895 A JP 12698895A JP 12698895 A JP12698895 A JP 12698895A JP H08320425 A JPH08320425 A JP H08320425A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コリメータ対向損失小さい光回路用コリメー
タの製造方法を得る。 【構成】 形成しようとする第2のコリメータの光学レ
ンズ8−光ファイバ9間の距離とコリメータ対向距離と
の関係がコリメータ対向結合損失を最小とする条件特性
を予め準備しておき、第1の光ファイバコリメータの光
軸上に形成しようとする第2のコリメータの光軸を合わ
せて配置し、第2のコリメータの光学レンズ8の端面8
aと光ファイバ9の端面9aの反射戻り光を検出し、そ
の位置測定から光学レンズ8−光ファイバ9間の距離d
を測定し、この測定中に上述の条件特性を使用して、所
望のコリメータ対向距離に対応する上記の距離dを所定
の長さに調整して固定する。
タの製造方法を得る。 【構成】 形成しようとする第2のコリメータの光学レ
ンズ8−光ファイバ9間の距離とコリメータ対向距離と
の関係がコリメータ対向結合損失を最小とする条件特性
を予め準備しておき、第1の光ファイバコリメータの光
軸上に形成しようとする第2のコリメータの光軸を合わ
せて配置し、第2のコリメータの光学レンズ8の端面8
aと光ファイバ9の端面9aの反射戻り光を検出し、そ
の位置測定から光学レンズ8−光ファイバ9間の距離d
を測定し、この測定中に上述の条件特性を使用して、所
望のコリメータ対向距離に対応する上記の距離dを所定
の長さに調整して固定する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は光回路用コリメータの
製造方法に関し、詳しくは光ファイバの出射光を集光
し、平行ビームに変換して出力する光回路用コリメータ
の製造方法に関するものである。
製造方法に関し、詳しくは光ファイバの出射光を集光
し、平行ビームに変換して出力する光回路用コリメータ
の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図3は従来の光回路用コリメータ(この
場合は光ファイバコリメータ)の製造方法を示す模式図
である。図3に見られるように従来の光ファイバコリメ
ータ(第2のコリメータという)20は、すでに光ファ
イバ7aとともに、これと光結合させて製作されている
いわば既製品の第1の光ファイバコリメータ1と連結さ
せ、第1の光ファイバコリメータ(第1のコリメータと
いう)1の出力する平行ビーム2を最低損失で第2のコ
リメータ20に取付けられた出力側の光ファイバ7に結
合させる光学調整を行うことにより製造していた。
場合は光ファイバコリメータ)の製造方法を示す模式図
である。図3に見られるように従来の光ファイバコリメ
ータ(第2のコリメータという)20は、すでに光ファ
イバ7aとともに、これと光結合させて製作されている
いわば既製品の第1の光ファイバコリメータ1と連結さ
せ、第1の光ファイバコリメータ(第1のコリメータと
いう)1の出力する平行ビーム2を最低損失で第2のコ
リメータ20に取付けられた出力側の光ファイバ7に結
合させる光学調整を行うことにより製造していた。
【0003】すなわち、図3において、平行ビーム2を
受ける光学レンズ3をレンズホルダ4に固定しておき、
このレンズホルダ4をスリーブ5に固定する。この場
合、スリーブ5内には光ファイバ7を固定したフェルー
ル(ferrule)6が挿着されている。前述の光学
調整は、スリーブ5を保持して、x−y方向の軸調整
と、x−z面内及びy−z面内の角度調整を行いなが
ら、光ファイバ7を固定したフェルール6をスリーブ5
内でz軸方向に移動させ、光学レンズ3で集光した光量
を最低損失でファイバ7に結合させ、その状態でフェル
ール6をスリーブ5に固定するものである。以上が従来
の光ファイバコリメータの製造方法の概略である。
受ける光学レンズ3をレンズホルダ4に固定しておき、
このレンズホルダ4をスリーブ5に固定する。この場
合、スリーブ5内には光ファイバ7を固定したフェルー
ル(ferrule)6が挿着されている。前述の光学
調整は、スリーブ5を保持して、x−y方向の軸調整
と、x−z面内及びy−z面内の角度調整を行いなが
ら、光ファイバ7を固定したフェルール6をスリーブ5
内でz軸方向に移動させ、光学レンズ3で集光した光量
を最低損失でファイバ7に結合させ、その状態でフェル
ール6をスリーブ5に固定するものである。以上が従来
の光ファイバコリメータの製造方法の概略である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような従来の光ファイバコリメータの製造方法では、光
ファイバコリメータ対向を1対製造するために、第1の
コリメータからの出射光を受ける第2のコリメータを構
成する光ファイバをスリーブ内でz軸方向に動かしなが
ら、第2のコリメータをx−y面内の軸調整と、x−z
面内及びy−z面内の2角度調整が必要となる。このよ
うな繁雑な調整には、多大の工数が取られ、製造コスト
を高くする原因となっていた。
ような従来の光ファイバコリメータの製造方法では、光
ファイバコリメータ対向を1対製造するために、第1の
コリメータからの出射光を受ける第2のコリメータを構
成する光ファイバをスリーブ内でz軸方向に動かしなが
ら、第2のコリメータをx−y面内の軸調整と、x−z
面内及びy−z面内の2角度調整が必要となる。このよ
うな繁雑な調整には、多大の工数が取られ、製造コスト
を高くする原因となっていた。
【0005】また、例示しなかったが、第1のコリメー
タに対して第2、第3のコリメータを結合させ、これら
を1つのモジュール化して組立て使用する場合、第2、
第3のコリメータを構成するファイバが折れた場合に
は、再度製造すればよいが、第1のコリメータのファイ
バが折れた場合、第2、第3のコリメータに対して、対
向損失の小さいコリメータを製造しなければならない。
このようなことは、非常に困難となり、最悪の場合は、
第1のコリメータから第2、第3のコリメータを製造し
なおさなければならないという問題も発生する。これ
は、第1、第2、第3のコリメータが全く同一の光学特
性を持っていないためで、ファイバ−レンズ間距離を精
度よく測定できなかったり、高精度で一定値に合わせる
手段がなかったためである。
タに対して第2、第3のコリメータを結合させ、これら
を1つのモジュール化して組立て使用する場合、第2、
第3のコリメータを構成するファイバが折れた場合に
は、再度製造すればよいが、第1のコリメータのファイ
バが折れた場合、第2、第3のコリメータに対して、対
向損失の小さいコリメータを製造しなければならない。
このようなことは、非常に困難となり、最悪の場合は、
第1のコリメータから第2、第3のコリメータを製造し
なおさなければならないという問題も発生する。これ
は、第1、第2、第3のコリメータが全く同一の光学特
性を持っていないためで、ファイバ−レンズ間距離を精
度よく測定できなかったり、高精度で一定値に合わせる
手段がなかったためである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る光回路用
コリメータの製造方法は、光学レンズと光ファイバとで
構成される第1の光ファイバコリメータに光学調整手段
により所定のコリメータ対向距離を介して光学レンズと
光学素子とで構成される第2のコリメータを光結合させ
る光回路用コリメータの製造方法であって、第2のコリ
メータの光学レンズ−光学素子間の距離とコリメータ対
向距離との関係がコリメータ対向結合損失を最小とする
条件特性を予め準備しておき、第1の光ファイバコリメ
ータの光軸上に第2のコリメータの光軸を合わせて配置
し、第2のコリメータの光学レンズ端面と光学素子端面
の反射戻り光を検出し、その位置測定から光学レンズ−
光学素子間の距離を測定し、この測定中に上述の条件特
性を適用して、所望のコリメータ対向距離に対応する光
学レンズ−光学素子間の距離を所定の長さに調整して固
定するものである。
コリメータの製造方法は、光学レンズと光ファイバとで
構成される第1の光ファイバコリメータに光学調整手段
により所定のコリメータ対向距離を介して光学レンズと
光学素子とで構成される第2のコリメータを光結合させ
る光回路用コリメータの製造方法であって、第2のコリ
メータの光学レンズ−光学素子間の距離とコリメータ対
向距離との関係がコリメータ対向結合損失を最小とする
条件特性を予め準備しておき、第1の光ファイバコリメ
ータの光軸上に第2のコリメータの光軸を合わせて配置
し、第2のコリメータの光学レンズ端面と光学素子端面
の反射戻り光を検出し、その位置測定から光学レンズ−
光学素子間の距離を測定し、この測定中に上述の条件特
性を適用して、所望のコリメータ対向距離に対応する光
学レンズ−光学素子間の距離を所定の長さに調整して固
定するものである。
【0007】また、いま述べた光ファイバコリメータの
製造方法において、第2のコリメータの光学素子は光フ
ァイバ又は光半導体素子からなる発光素子及び受光素子
内のいずれか1つ又は光導波路で構成してもよい。
製造方法において、第2のコリメータの光学素子は光フ
ァイバ又は光半導体素子からなる発光素子及び受光素子
内のいずれか1つ又は光導波路で構成してもよい。
【0008】
【作用】この発明においては、第1の光ファイバコリメ
ータに結合させようとする第2のコリメータの光学レン
ズ−光学素子間の距離とコリメータ対向距離との関係が
コリメータ対向結合損失を最小とする条件特性を予め準
備しておき、第2のコリメータの光学レンズ端面と光学
素子端面の反射戻り光を検出し、その位置測定から光学
レンズ−光学素子間の距離を測定し、この測定中に上述
の条件特性を使用して、所望のコリメータ対向距離に対
応する光学レンズ−光学素子間の距離を所定の長さに調
整して固定するから、同一種類のレンズと光学素子の組
合わせにおいては、光回路用コリメータ光学特性がほぼ
一定に揃う製造方法となる。そのため、煩わしい光学調
整が不要となる。
ータに結合させようとする第2のコリメータの光学レン
ズ−光学素子間の距離とコリメータ対向距離との関係が
コリメータ対向結合損失を最小とする条件特性を予め準
備しておき、第2のコリメータの光学レンズ端面と光学
素子端面の反射戻り光を検出し、その位置測定から光学
レンズ−光学素子間の距離を測定し、この測定中に上述
の条件特性を使用して、所望のコリメータ対向距離に対
応する光学レンズ−光学素子間の距離を所定の長さに調
整して固定するから、同一種類のレンズと光学素子の組
合わせにおいては、光回路用コリメータ光学特性がほぼ
一定に揃う製造方法となる。そのため、煩わしい光学調
整が不要となる。
【0009】
【実施例】図1はこの発明による光回路用コリメータの
製造方法の一実施例を示す第2のコリメータの模式説明
図である。まず、コリメータの対向損失特性は、コリメ
ータを構成するレンズの中心軸と光ファイバの中心軸が
同一軸にある場合、レンズとファイバ間の距離によって
決定されるということが知られており、この発明におい
ても、この原理を利用して対向損失が最低になる条件を
見出だし、その条件を具体的に設定することによって、
製造方法に関連する調整を実施するようになっている。
製造方法の一実施例を示す第2のコリメータの模式説明
図である。まず、コリメータの対向損失特性は、コリメ
ータを構成するレンズの中心軸と光ファイバの中心軸が
同一軸にある場合、レンズとファイバ間の距離によって
決定されるということが知られており、この発明におい
ても、この原理を利用して対向損失が最低になる条件を
見出だし、その条件を具体的に設定することによって、
製造方法に関連する調整を実施するようになっている。
【0010】そこで、図1の実施例では、第2のコリメ
ータを構成するレンズ8と、ファイバ9を固定したフェ
ルール10と、レンズ8の中心軸と光ファイバ9の中心
軸とを同一軸に合わせるスリーブ11とからなってい
る。このコリメータ構成において、まず、レンズ8をス
リーブ11に固定し、レンズ8の端面8aと光ファイバ
9の端面9a間の距離を、光ファイバ9の端面9b側か
ら入射した入射光12に対して光ファイバ9の端面9a
とレンズ端面8aからそれぞれ発生した反射戻り光を検
出し、反射点間の光学距離から測定しながら、最低対向
損失が得られる所定の距離で、フェルール10とスリー
ブ11を固定する。
ータを構成するレンズ8と、ファイバ9を固定したフェ
ルール10と、レンズ8の中心軸と光ファイバ9の中心
軸とを同一軸に合わせるスリーブ11とからなってい
る。このコリメータ構成において、まず、レンズ8をス
リーブ11に固定し、レンズ8の端面8aと光ファイバ
9の端面9a間の距離を、光ファイバ9の端面9b側か
ら入射した入射光12に対して光ファイバ9の端面9a
とレンズ端面8aからそれぞれ発生した反射戻り光を検
出し、反射点間の光学距離から測定しながら、最低対向
損失が得られる所定の距離で、フェルール10とスリー
ブ11を固定する。
【0011】今のべた所定の距離は、コリメータを構成
するレンズの種別と、光ファイバの種別と、コリメータ
の対向距離とによって異なってくるものであるから、こ
れらの組合わせ条件による特性として、予め求めておく
ようにする。この特性の一例を図2に示す。図2の特性
図の横軸はコリメータの対向距離、縦軸は設定されるレ
ンズ−光ファイバ間距離d(上述の所定距離)である。
するレンズの種別と、光ファイバの種別と、コリメータ
の対向距離とによって異なってくるものであるから、こ
れらの組合わせ条件による特性として、予め求めておく
ようにする。この特性の一例を図2に示す。図2の特性
図の横軸はコリメータの対向距離、縦軸は設定されるレ
ンズ−光ファイバ間距離d(上述の所定距離)である。
【0012】図2の特性図は、BK−7材質の直径2.
5mmの球レンズと、1.3零分散シングルモードファ
イバ(コア径10μm、比屈折率差0.3%)との場合
の特性例である。ここで、コリメータ対向距離を5〜5
5mmにした場合、最低対向損失が得られるレンズ−フ
ァイバ間距離dを示している。なお、コリメータ対向距
離は、例えば図3の場合、互いに結合されるコリメータ
20とコリメータ1との対向する各レンズ端面間の距離
を指している。
5mmの球レンズと、1.3零分散シングルモードファ
イバ(コア径10μm、比屈折率差0.3%)との場合
の特性例である。ここで、コリメータ対向距離を5〜5
5mmにした場合、最低対向損失が得られるレンズ−フ
ァイバ間距離dを示している。なお、コリメータ対向距
離は、例えば図3の場合、互いに結合されるコリメータ
20とコリメータ1との対向する各レンズ端面間の距離
を指している。
【0013】図2から明らかなように、これらコリメー
タの対向距離とレンズ−ファイバ間距離との関係は直線
近似が可能である。従って、コリメータ製造のための光
学調整に当たっては、例えばず2の特性図を使用し、所
望のコリメータの対向距離が例えば40mmの時、レン
ズ−ファイバ間距離を665μmに合わせて設定すれば
よい。上述の光学測定には、市販の測定器(例えば、H
P−8504A:プレシジョン・リフレクトメータ)が
使用可能である。
タの対向距離とレンズ−ファイバ間距離との関係は直線
近似が可能である。従って、コリメータ製造のための光
学調整に当たっては、例えばず2の特性図を使用し、所
望のコリメータの対向距離が例えば40mmの時、レン
ズ−ファイバ間距離を665μmに合わせて設定すれば
よい。上述の光学測定には、市販の測定器(例えば、H
P−8504A:プレシジョン・リフレクトメータ)が
使用可能である。
【0014】この実施例において、上述の測定を実施す
る調整により、所望のコリメータの対向距離に対して、
レンズ−ファイバ間距離dを±5μm以内の精度で調整
できるので、十分に低損失の光回路用コリメータが製造
できる。
る調整により、所望のコリメータの対向距離に対して、
レンズ−ファイバ間距離dを±5μm以内の精度で調整
できるので、十分に低損失の光回路用コリメータが製造
できる。
【0015】上述の実施例では、BK−7直径2.5m
mの球レンズと、1.3零分散シングルモードファイバ
を用いた例について説明したが、コリメータを構成する
レンズとファイバの幾通りかの組合わせで図2のような
関係を示す特性図又はデータをレンズ端面とファイバ端
面の反射戻り光発生位置間の距離測定によって求めてお
けば、これを使用して同様な光学調整を行うことができ
る。
mの球レンズと、1.3零分散シングルモードファイバ
を用いた例について説明したが、コリメータを構成する
レンズとファイバの幾通りかの組合わせで図2のような
関係を示す特性図又はデータをレンズ端面とファイバ端
面の反射戻り光発生位置間の距離測定によって求めてお
けば、これを使用して同様な光学調整を行うことができ
る。
【0016】以上のように上述の実施例によれば、スリ
ーブ内で光ファイバをその中心軸に固定したフェルール
を移動させて、レンズ端面とファイバ端面との2つの反
射戻り光からその位置を測定しながら、レンズ−ファイ
バ間を所定の距離に調整した後、フェルールを固定し
て、光ファイバコリメータを製造するから、同一種類の
レンズとファイバの組合わせにおいては、光学特性がほ
ぼ一定に揃った光ファイバコリメータが大量に短時間で
製造できるようになった。そして、煩わしい光学調整が
不要となるから、安価な光ファイバコリメータを提供で
きる。また、この実施例のような光ファイバコリメータ
の製造方法により、任意に選択した光ファイバコリメー
タと対向させても、ファイバ−レンズ間距離が高精度で
一定値に調整・固定されているため、低結合損失のコリ
メータ対向特性が得られるので、たとえファイバ折れ等
の事故により使用できなくなっても、すぐに別のコリメ
ータを供給して対応することができる利点がある。
ーブ内で光ファイバをその中心軸に固定したフェルール
を移動させて、レンズ端面とファイバ端面との2つの反
射戻り光からその位置を測定しながら、レンズ−ファイ
バ間を所定の距離に調整した後、フェルールを固定し
て、光ファイバコリメータを製造するから、同一種類の
レンズとファイバの組合わせにおいては、光学特性がほ
ぼ一定に揃った光ファイバコリメータが大量に短時間で
製造できるようになった。そして、煩わしい光学調整が
不要となるから、安価な光ファイバコリメータを提供で
きる。また、この実施例のような光ファイバコリメータ
の製造方法により、任意に選択した光ファイバコリメー
タと対向させても、ファイバ−レンズ間距離が高精度で
一定値に調整・固定されているため、低結合損失のコリ
メータ対向特性が得られるので、たとえファイバ折れ等
の事故により使用できなくなっても、すぐに別のコリメ
ータを供給して対応することができる利点がある。
【0017】また、上述の実施例のようなレンズと光フ
ァイバで構成されたファイバコリメータばかりでなく、
レンズと例えば半導体レーザ素子とや、LED等の発光
素子で構成されたコリメータとや、レンズと例えばPI
N−PDやAPD等の受光素子とで構成されたコリメー
タや、レンズと光導波路とで構成された光回路用コリメ
ータにも、この発明は適用できる。
ァイバで構成されたファイバコリメータばかりでなく、
レンズと例えば半導体レーザ素子とや、LED等の発光
素子で構成されたコリメータとや、レンズと例えばPI
N−PDやAPD等の受光素子とで構成されたコリメー
タや、レンズと光導波路とで構成された光回路用コリメ
ータにも、この発明は適用できる。
【0018】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、例えば
第1の光ファイバコリメータに結合させようとする第2
のコリメータの光学レンズ−光学素子間の距離とコリメ
ータ対向距離との関係がコリメータ対向結合損失を最小
とする条件特性を予め準備しておき、第2のコリメータ
の光学レンズ端面と光学素子端面の反射戻り光を検出
し、その位置測定から光学レンズ−光学素子間の距離を
測定し、この測定中に上述の条件特性を使用して、所望
のコリメータ対向距離に対応する光学レンズ−光学素子
間の距離を所定の長さに調整して固定するものであるか
ら、同一種類のレンズと光学素子の組合わせにおいて
は、光学特性がほぼ一定に揃った光回路用コリメータが
大量に短時間で製造できるようになる効果が得られる。
そして、煩わしい光学調整が不要となるから、安価な光
回路用コリメータを提供できる。また、この発明のよう
な光回路用コリメータの製造方法により、任意に選択し
た光ファイバコリメータと対向させても、光学素子−レ
ンズ間距離が高精度で一定値に調整・固定されているた
め、低結合損失のコリメータ対向特性が得られるので、
たとえファイバ折れ等の事故により使用できなくなって
も、すぐに別のコリメータを供給して対応することがで
きる利点が得られる。
第1の光ファイバコリメータに結合させようとする第2
のコリメータの光学レンズ−光学素子間の距離とコリメ
ータ対向距離との関係がコリメータ対向結合損失を最小
とする条件特性を予め準備しておき、第2のコリメータ
の光学レンズ端面と光学素子端面の反射戻り光を検出
し、その位置測定から光学レンズ−光学素子間の距離を
測定し、この測定中に上述の条件特性を使用して、所望
のコリメータ対向距離に対応する光学レンズ−光学素子
間の距離を所定の長さに調整して固定するものであるか
ら、同一種類のレンズと光学素子の組合わせにおいて
は、光学特性がほぼ一定に揃った光回路用コリメータが
大量に短時間で製造できるようになる効果が得られる。
そして、煩わしい光学調整が不要となるから、安価な光
回路用コリメータを提供できる。また、この発明のよう
な光回路用コリメータの製造方法により、任意に選択し
た光ファイバコリメータと対向させても、光学素子−レ
ンズ間距離が高精度で一定値に調整・固定されているた
め、低結合損失のコリメータ対向特性が得られるので、
たとえファイバ折れ等の事故により使用できなくなって
も、すぐに別のコリメータを供給して対応することがで
きる利点が得られる。
【図1】この発明による光回路用コリメータの製造方法
の一実施例を示す第2のコリメータの模式説明図であ
る。
の一実施例を示す第2のコリメータの模式説明図であ
る。
【図2】コリメータ対向距離とレンズ−ファイバ間距離
との対向結合損失が最低の条件関係を示す特性線図であ
る。
との対向結合損失が最低の条件関係を示す特性線図であ
る。
【図3】従来の光回路用コリメータの製造方法を説明す
る模式図である。
る模式図である。
1 光ファイバコリメータ(第1の光ファイバコリメー
タ) 2 平行ビーム 3 光学レンズ 4 レンズホルダ 5,11 スリーブ 6,10 フェルール 7,7a,9 光ファイバ 8 レンズ 8a,9a,9b 端面 12 入射光 13 反射戻り光 20 光ファイバコリメータ(第2のコリメータ)
タ) 2 平行ビーム 3 光学レンズ 4 レンズホルダ 5,11 スリーブ 6,10 フェルール 7,7a,9 光ファイバ 8 レンズ 8a,9a,9b 端面 12 入射光 13 反射戻り光 20 光ファイバコリメータ(第2のコリメータ)
Claims (4)
- 【請求項1】 光学レンズと光ファイバとで構成される
第1の光ファイバコリメータに光学調整手段により所定
のコリメータ対向距離を介して光学レンズと光学素子と
で構成される第2のコリメータを光結合させる光回路用
コリメータの製造方法において、 前記第2のコリメータの前記光学レンズ−光学素子間の
距離と前記コリメータ対向距離との関係がコリメータ対
向結合損失を最小とする条件特性を予め準備しておき、 前記第1の光ファイバコリメータの光軸上に前記第2の
コリメータの光軸を合わせて配置し、 前記第2のコリメータの光学レンズ端面と光ファイバ端
面の反射戻り光を検出し、その位置測定から前記光学レ
ンズ−光学素子間の距離を測定し、 この測定中に前記条件特性を適用して、所望の前記コリ
メータ対向距離に対応する前記光学レンズ−光学素子間
の距離を所定の長さに調整して固定することを特徴とす
る光回路用コリメータの製造方法。 - 【請求項2】 前記光学素子は光ファイバであることを
特徴とする請求項1記載の光回路用コリメータの製造方
法。 - 【請求項3】 前記光学素子は光半導体レーザ素子を含
む発光素子及び受光素子内のいずれか1つであることを
特徴とする請求項1記載の光回路用コリメータの製造方
法。 - 【請求項4】 前記光学素子は光導波路であることを特
徴とする請求項1記載の光回路用コリメータの製造方
法。
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|---|---|---|---|
| JP12698895A JP3343756B2 (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 光回路用コリメータの製造方法 |
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| JPH08320425A true JPH08320425A (ja) | 1996-12-03 |
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| JP (1) | JP3343756B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100418711B1 (ko) * | 2002-02-20 | 2004-02-14 | 삼성전자주식회사 | 콜리메이터 특성 검사장치 |
| KR100443753B1 (ko) * | 2002-01-31 | 2004-08-09 | 주식회사 포엠 | 개방형 몰드세트를 이용한 콜리메이터 제조방법 및 이방법에 의하여 제조되는 콜리메이터 |
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- 1995-05-26 JP JP12698895A patent/JP3343756B2/ja not_active Expired - Fee Related
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