JPH0832089A - 静電容量型圧力センサ - Google Patents
静電容量型圧力センサInfo
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- JPH0832089A JPH0832089A JP16918294A JP16918294A JPH0832089A JP H0832089 A JPH0832089 A JP H0832089A JP 16918294 A JP16918294 A JP 16918294A JP 16918294 A JP16918294 A JP 16918294A JP H0832089 A JPH0832089 A JP H0832089A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コンデンサの温度特性のばらつきに基づく出
力特性のばらつきを補償できる静電容量型圧力センサを
提供する。 【構成】 感圧、基準、蓄積各コンデンサ４１，４２，
４３は、一体のセンサチップとして構成され、その特性
が温度変化に依存しないように実質的に同じ熱膨張係数
のシリコン基板２１とガラス基板２２とを有する。シリ
コン基板２１には、圧力により変形するがダイヤフラム
２３と、ガラス基板２２との間に形成するキャビティ部
２４と、共通電極２０が形成される。ガラス基板２２に
は、３つの電極２５，２６，２７と貫通孔２８が形成さ
れる。圧力導入穴３４から圧力がかかると、ダイヤフラ
ム２３が変形し、電極２５との間隔が狭くなり、感圧コ
ンデンサ４１の静電容量が増大するが、共通電極と電極
２６，２７との間隔は変らず、基準コンデンサ４２と蓄
積コンデンサ４３の各静電容量は一定である。
力特性のばらつきを補償できる静電容量型圧力センサを
提供する。 【構成】 感圧、基準、蓄積各コンデンサ４１，４２，
４３は、一体のセンサチップとして構成され、その特性
が温度変化に依存しないように実質的に同じ熱膨張係数
のシリコン基板２１とガラス基板２２とを有する。シリ
コン基板２１には、圧力により変形するがダイヤフラム
２３と、ガラス基板２２との間に形成するキャビティ部
２４と、共通電極２０が形成される。ガラス基板２２に
は、３つの電極２５，２６，２７と貫通孔２８が形成さ
れる。圧力導入穴３４から圧力がかかると、ダイヤフラ
ム２３が変形し、電極２５との間隔が狭くなり、感圧コ
ンデンサ４１の静電容量が増大するが、共通電極と電極
２６，２７との間隔は変らず、基準コンデンサ４２と蓄
積コンデンサ４３の各静電容量は一定である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、静電容量型圧力センサ
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の静電容量型圧力センサは、図３に
示すセンサ検出回路の感圧コンデンサとして、圧力に応
じて静電容量が変化する感圧コンデンサ４１、また、基
準コンデンサとして、所定の静電容量を有する基準コン
デンサ４２を設けたものである。詳述すると、従来の静
電容量型圧力センサは、非反転入力端子に、基準電位が
接続されたオペアンプ１１と、パルス発生回路１３とオ
ペアンプ１１の反転入力端子との間に接続され外部から
加えられた圧力に応じて、静電容量が変化する感圧コン
デンサ４１と、パルス発生回路１３からの信号を反転す
る反転回路１４とオペアンプ１１の反転入力端子との間
に接続された所定の静電容量を有する基準コンデンサ４
２と、オペアンプ１１の反転入力端子と出力端子間に接
続されパルス発生回路１３の信号によりオン・オフする
スイッチ１５と、オペアンプ１１の反転入力端子と出力
端子間に接続された所定の静電容量を有するコンデンサ
１６を接続したものである。
示すセンサ検出回路の感圧コンデンサとして、圧力に応
じて静電容量が変化する感圧コンデンサ４１、また、基
準コンデンサとして、所定の静電容量を有する基準コン
デンサ４２を設けたものである。詳述すると、従来の静
電容量型圧力センサは、非反転入力端子に、基準電位が
接続されたオペアンプ１１と、パルス発生回路１３とオ
ペアンプ１１の反転入力端子との間に接続され外部から
加えられた圧力に応じて、静電容量が変化する感圧コン
デンサ４１と、パルス発生回路１３からの信号を反転す
る反転回路１４とオペアンプ１１の反転入力端子との間
に接続された所定の静電容量を有する基準コンデンサ４
２と、オペアンプ１１の反転入力端子と出力端子間に接
続されパルス発生回路１３の信号によりオン・オフする
スイッチ１５と、オペアンプ１１の反転入力端子と出力
端子間に接続された所定の静電容量を有するコンデンサ
１６を接続したものである。
【０００３】なお、感圧コンデンサ４１としては、図４
に示すように、ガラス基板２２上に形成された電極２５
と、シリコン基板２１とを所定の間隔を設けて対向配置
した感圧コンデンサが使用される。また、基準コンデン
サ４２もガラス基板２２上に形成された電極２６と、シ
リコン基板２１とを所定の間隔を設けて対向配置した基
準コンデンサが使用される。
に示すように、ガラス基板２２上に形成された電極２５
と、シリコン基板２１とを所定の間隔を設けて対向配置
した感圧コンデンサが使用される。また、基準コンデン
サ４２もガラス基板２２上に形成された電極２６と、シ
リコン基板２１とを所定の間隔を設けて対向配置した基
準コンデンサが使用される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の静電容量型圧力
センサでは、センサ内部のコンデンサ（感圧コンデン
サ、基準コンデンサ）と、センサ検出回路の外付コンデ
ンサであるコンデンサ１６の温度特性が異なるため、出
力特性にばらつきが生じるという欠点ある。
センサでは、センサ内部のコンデンサ（感圧コンデン
サ、基準コンデンサ）と、センサ検出回路の外付コンデ
ンサであるコンデンサ１６の温度特性が異なるため、出
力特性にばらつきが生じるという欠点ある。
【０００５】本発明は、コンデンサの温度特性のばらつ
きに基づく出力特性のばらつきを補償できる静電容量型
圧力センサを提供することを目的とする。
きに基づく出力特性のばらつきを補償できる静電容量型
圧力センサを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、非反転入力端子に、基準電位が接続される
第１のオペアンプと、パルス発生回路と前記第１のオペ
アンプの反転入力端子との間に接続され外部から加えら
れた圧力に応じて、静電容量が変化する感圧コンデンサ
と、パルス発生回路からの信号を反転する反転回路と前
記第１のオペアンプの反転入力端子との間に接続された
所定の静電容量を有する基準コンデンサと、前記第１の
オペアンプの反転入力端子と出力端子間に接続されパル
ス発生回路の信号によりオン・オフするスイッチと、前
記第１のオペアンプの反転入力端子と出力端子間に接続
された所定の静電容量を有する蓄積コンデンサとを有す
る静電容量型圧力センサにおいて、圧力に応じて変形す
るダイヤフラム部が形成されると共に、該ダイヤフラム
部を含む一面に第１の電極を形成したシリコン基板と、
電気的に互いに独立した第２、第３及び第４の各電極を
一面に形成したガラス基板とを有し、前記第１の電極と
前記第２、第３及び第４の各電極とが互いに所定の距離
をおいて対向配置され、かつ、前記第２の電極が前記ダ
イヤフラム部に対向配置されるように、前記シリコン基
板と前記ガラス基板とを互いに固定したコンデンサを備
え、前記第１の電極と前記第２の電極とを前記感圧コン
デンサとして、前記第１の電極と前記第３の電極とを前
記基準コンデンサとして、また、前記第１の電極と前記
第４の電極とを前記蓄積コンデンサとして、一つのチッ
プ基板上に構成した静電容量型圧力センサを、手段とし
て採用する。
決するため、非反転入力端子に、基準電位が接続される
第１のオペアンプと、パルス発生回路と前記第１のオペ
アンプの反転入力端子との間に接続され外部から加えら
れた圧力に応じて、静電容量が変化する感圧コンデンサ
と、パルス発生回路からの信号を反転する反転回路と前
記第１のオペアンプの反転入力端子との間に接続された
所定の静電容量を有する基準コンデンサと、前記第１の
オペアンプの反転入力端子と出力端子間に接続されパル
ス発生回路の信号によりオン・オフするスイッチと、前
記第１のオペアンプの反転入力端子と出力端子間に接続
された所定の静電容量を有する蓄積コンデンサとを有す
る静電容量型圧力センサにおいて、圧力に応じて変形す
るダイヤフラム部が形成されると共に、該ダイヤフラム
部を含む一面に第１の電極を形成したシリコン基板と、
電気的に互いに独立した第２、第３及び第４の各電極を
一面に形成したガラス基板とを有し、前記第１の電極と
前記第２、第３及び第４の各電極とが互いに所定の距離
をおいて対向配置され、かつ、前記第２の電極が前記ダ
イヤフラム部に対向配置されるように、前記シリコン基
板と前記ガラス基板とを互いに固定したコンデンサを備
え、前記第１の電極と前記第２の電極とを前記感圧コン
デンサとして、前記第１の電極と前記第３の電極とを前
記基準コンデンサとして、また、前記第１の電極と前記
第４の電極とを前記蓄積コンデンサとして、一つのチッ
プ基板上に構成した静電容量型圧力センサを、手段とし
て採用する。
【０００７】
【実施例】以下に図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。
明する。
【０００８】非反転入力端子に、基準電位が接続される
オペアンプ１１と、パルス発生回路１３とオペアンプ１
１の反転入力端子との間に接続され外部から加えられた
圧力に応じて、静電容量が変化する感圧コンデンサ４１
と、パルス発生回路１３からの信号を反転する反転回路
１４とオペアンプ１１の反転入力端子との間に接続され
た所定の静電容量を有する基準コンデンサ４２と、オペ
アンプ１１の反転入力端子と出力端子間に接続されパル
ス発生回路１３の信号によりオン・オフするスイッチ１
５と、オペアンプ１１の反転入力端子と出力端子間に接
続された所定の静電容量を有する蓄積コンデンサ４３と
を有する。
オペアンプ１１と、パルス発生回路１３とオペアンプ１
１の反転入力端子との間に接続され外部から加えられた
圧力に応じて、静電容量が変化する感圧コンデンサ４１
と、パルス発生回路１３からの信号を反転する反転回路
１４とオペアンプ１１の反転入力端子との間に接続され
た所定の静電容量を有する基準コンデンサ４２と、オペ
アンプ１１の反転入力端子と出力端子間に接続されパル
ス発生回路１３の信号によりオン・オフするスイッチ１
５と、オペアンプ１１の反転入力端子と出力端子間に接
続された所定の静電容量を有する蓄積コンデンサ４３と
を有する。
【０００９】感圧コンデンサ４１の静電容量ＣS は、圧
力を加えることにより値が変化する。一方基準コンデン
サ４２の静電容量ＣR は、圧力によって値が変化しな
い。このＣS とＣR は、それぞれパルス発生回路１３か
らのパルス信号ＶP と、この逆位相の反転回路１４から
のパルス信号により駆動される。センサ検出回路の出力
パルスＶ0 は、次式によって表される。
力を加えることにより値が変化する。一方基準コンデン
サ４２の静電容量ＣR は、圧力によって値が変化しな
い。このＣS とＣR は、それぞれパルス発生回路１３か
らのパルス信号ＶP と、この逆位相の反転回路１４から
のパルス信号により駆動される。センサ検出回路の出力
パルスＶ0 は、次式によって表される。
【００１０】Ｖ0 ＝ＶP （ＣS −ＣR ）／ＣC ここで、ＣC はオペアンプ１１に並置された蓄積コンデ
ンサ４３の静電容量である。出力電圧Ｖ0 は、感圧コン
デンサ４１と基準コンデンサ４２の静電容量の変化（Ｃ
S −ＣR ）に比例するため印加圧力の逆数に比例する。
ンサ４３の静電容量である。出力電圧Ｖ0 は、感圧コン
デンサ４１と基準コンデンサ４２の静電容量の変化（Ｃ
S −ＣR ）に比例するため印加圧力の逆数に比例する。
【００１１】次に、本実施例の静電容量型圧電センサで
使用される感圧コンデンサ４１、基準コンデンサ４２及
び蓄積コンデンサ４３について、図２を参照して説明す
る。感圧コンデンサ４１、基準コンデンサ４２と蓄積コ
ンデンサ４３は、図２に示すように一体のセンサチップ
として構成されている。このセンサチップは、その特性
が温度変化に依存しないように、実質的に同じ熱膨張係
数のシリコン基板２１とガラス基板２２とを有してい
る。シリコン基板２１には、圧力により変形するダイヤ
フラム２３と、ガラス基板２２との間に空隙を形成する
キャビティ部２４とが設けられるとともに、ボロン等の
不純物を拡散させて共通電極２０が形成されている。ま
た、ガラス基板２２上には、３つの電極２５，２６及び
２７と貫通孔２８が形成されている。
使用される感圧コンデンサ４１、基準コンデンサ４２及
び蓄積コンデンサ４３について、図２を参照して説明す
る。感圧コンデンサ４１、基準コンデンサ４２と蓄積コ
ンデンサ４３は、図２に示すように一体のセンサチップ
として構成されている。このセンサチップは、その特性
が温度変化に依存しないように、実質的に同じ熱膨張係
数のシリコン基板２１とガラス基板２２とを有してい
る。シリコン基板２１には、圧力により変形するダイヤ
フラム２３と、ガラス基板２２との間に空隙を形成する
キャビティ部２４とが設けられるとともに、ボロン等の
不純物を拡散させて共通電極２０が形成されている。ま
た、ガラス基板２２上には、３つの電極２５，２６及び
２７と貫通孔２８が形成されている。
【００１２】シリコン基板２１とガラス基板２２とは、
共通電極２０と電極２５，２６及び２７とが互いに対向
するように接着されるとともに、キャビティ部２４の周
囲に封止剤３０を塗布して互いに固定されている。ま
た、ガラス基板２２は、リード端子３２が配設され貫通
孔２９が設けられた台座３３に固定され、台座３３に
は、圧力導入穴３４が形成されたキャップ部３５が固定
されている。なお、共通電極２０、電極２５、電極２６
及び電極２７にそれぞれ接続されたリード線３１は、各
々リード端子３２に接続される。
共通電極２０と電極２５，２６及び２７とが互いに対向
するように接着されるとともに、キャビティ部２４の周
囲に封止剤３０を塗布して互いに固定されている。ま
た、ガラス基板２２は、リード端子３２が配設され貫通
孔２９が設けられた台座３３に固定され、台座３３に
は、圧力導入穴３４が形成されたキャップ部３５が固定
されている。なお、共通電極２０、電極２５、電極２６
及び電極２７にそれぞれ接続されたリード線３１は、各
々リード端子３２に接続される。
【００１３】圧力導入穴３４から気体、液体等の圧力伝
達物質により圧力が加えられると、ダイヤフラム２３が
変形する。即ち、ダイヤフラム２３部分の共通電極２０
と電極２５との間隔が狭くなり、ダイヤフラム２３部分
の共通電極２０と電極２５とで構成されるコンデンサの
静電容量が大きくなる。一方、共通電極２０と電極２
６，２７との間隔は、圧力のいかんにかかわらず一定で
ある。即ち、共通電極２０と電極２６，２７とで構成さ
れるコンデンサは、圧力のいかにかかわらず静電容量は
一定である。従って、ダイヤフラム２３部分の共通電極
２０と電極２５とで構成されるコンデンサは、図１の感
圧コンデンサ４１として利用でき、共通電極２０と電極
２６，２７とで構成されるコンデンサは、基準コンデン
サ４２、蓄積コンデンサ４３として利用できる。
達物質により圧力が加えられると、ダイヤフラム２３が
変形する。即ち、ダイヤフラム２３部分の共通電極２０
と電極２５との間隔が狭くなり、ダイヤフラム２３部分
の共通電極２０と電極２５とで構成されるコンデンサの
静電容量が大きくなる。一方、共通電極２０と電極２
６，２７との間隔は、圧力のいかんにかかわらず一定で
ある。即ち、共通電極２０と電極２６，２７とで構成さ
れるコンデンサは、圧力のいかにかかわらず静電容量は
一定である。従って、ダイヤフラム２３部分の共通電極
２０と電極２５とで構成されるコンデンサは、図１の感
圧コンデンサ４１として利用でき、共通電極２０と電極
２６，２７とで構成されるコンデンサは、基準コンデン
サ４２、蓄積コンデンサ４３として利用できる。
【００１４】前記の式よりセンサ検出回路の出力は、Ｃ
S 、ＣR 、ＣC によって決定されるが、従来ＣC は外部
コンデンサを使用しており、ＣC の温度係数がばらつく
と、センサ検出回路の出力パルスＶ0 の温度特性もばら
つくという問題があったが、本発明のように三つのコン
デンサを一体化して用いることにより、ＣC の温度係数
がＣS 、ＣR の温度係数と一致し、温度特性の優れた圧
力センサを提供することができる。
S 、ＣR 、ＣC によって決定されるが、従来ＣC は外部
コンデンサを使用しており、ＣC の温度係数がばらつく
と、センサ検出回路の出力パルスＶ0 の温度特性もばら
つくという問題があったが、本発明のように三つのコン
デンサを一体化して用いることにより、ＣC の温度係数
がＣS 、ＣR の温度係数と一致し、温度特性の優れた圧
力センサを提供することができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、感圧コンデンサ、基準
コンデンサ、蓄積コンデンサを一つのチップ基板上に構
成したことで、コンデンサの温度特性のばらつきに基づ
く出力特性のばらつきを補償できる静電容量型圧力セン
サを提供することができる。
コンデンサ、蓄積コンデンサを一つのチップ基板上に構
成したことで、コンデンサの温度特性のばらつきに基づ
く出力特性のばらつきを補償できる静電容量型圧力セン
サを提供することができる。
【図１】本発明の一実施例の回路図である。
【図２】図１の静電容量型圧力センサに使用されるセン
サチップの断面図である。
サチップの断面図である。
【図３】従来の静電容量型圧力センサの回路図である。
【図４】図３の静電容量型圧力センサに使用されるセン
サチップの断面図である。
サチップの断面図である。
１１ オペアンプ １２ 外部出力端子 １３ パルス発生回路 １４ 反転回路 １５ スイッチ １６ コンデンサ ２０ 共通電極 ２１ シリコン基板 ２２ ガラス基板 ２３ ダイヤフラム ２４ キャビティ部 ２５，２６，２７ 電極 ２８，２９ 貫通孔 ３０ 封止剤 ３１ リード線 ３２ リード端子 ３３ 台座 ３４ 圧力導入穴 ３５ キャップ部 ４１ 感圧コンデンサ ４２ 基準コンデンサ ４３ 蓄積コンデンサ
Claims (2)
- 【請求項１】 非反転入力端子に、基準電位が接続され
る第１のオペアンプと、パルス発生回路と前記第１のオ
ペアンプの反転入力端子との間に接続され外部から加え
られた圧力に応じて、静電容量が変化する感圧コンデン
サと、パルス発生回路からの信号を反転する反転回路と
前記第１のオペアンプの反転入力端子との間に接続され
た所定の静電容量を有する基準コンデンサと、前記第１
のオペアンプの反転入力端子と出力端子間に接続されパ
ルス発生回路の信号によりオン・オフするスイッチと、
前記第１のオペアンプの反転入力端子と出力端子間に接
続された所定の静電容量を有する蓄積コンデンサとを有
する静電容量型圧力センサにおいて、前記感圧コンデン
サ、基準コンデンサ、蓄積コンデンサを一つのチップ基
板上に構成したことを特徴とする静電容量型圧力セン
サ。 - 【請求項２】 圧力に応じて変形するダイヤフラム部が
形成されると共に、該ダイヤフラム部を含む一面に第１
の電極を形成したシリコン基板と、電気的に互いに独立
した第２、第３及び第４の各電極を一面に形成したガラ
ス基板とを有し、前記第１の電極と前記第２、第３及び
第４の各電極とが互いに所定の距離をおいて対向配置さ
れ、かつ、前記第２の電極が前記ダイヤフラム部に対向
配置されるように、前記シリコン基板と前記ガラス基板
とを互いに固定したコンデンサを備え、前記第１の電極
と前記第２の電極とを前記感圧コンデンサとして使用す
ると共に、前記第１の電極と前記第３の電極とを前記基
準コンデンサとして、また、前記第１の電極と前記第４
の電極とを前記蓄積コンデンサとして、使用することを
特徴とする請求項１記載の静電容量型圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16918294A JPH0832089A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 静電容量型圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16918294A JPH0832089A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 静電容量型圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0832089A true JPH0832089A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15881767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16918294A Withdrawn JPH0832089A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 静電容量型圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0832089A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110002444A (ko) * | 2009-07-01 | 2011-01-07 | 브룩스 인스트러먼트, 엘엘씨, | 검출 수단으로서 정전기적 간섭을 이용한 모놀리식 진공 압력계 |
| US20160084723A1 (en) * | 2013-02-27 | 2016-03-24 | Endress+ Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure Sensor |
-
1994
- 1994-07-21 JP JP16918294A patent/JPH0832089A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110002444A (ko) * | 2009-07-01 | 2011-01-07 | 브룩스 인스트러먼트, 엘엘씨, | 검출 수단으로서 정전기적 간섭을 이용한 모놀리식 진공 압력계 |
| JP2011013218A (ja) * | 2009-07-01 | 2011-01-20 | Brooks Instrument Llc | 検出手段として静電気干渉を使用するモノリシック真空マノメータ |
| US20160084723A1 (en) * | 2013-02-27 | 2016-03-24 | Endress+ Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure Sensor |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011002 |