JPH0832154A - Laser rod holder mounting structure - Google Patents

Laser rod holder mounting structure

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Publication number
JPH0832154A
JPH0832154A JP16442094A JP16442094A JPH0832154A JP H0832154 A JPH0832154 A JP H0832154A JP 16442094 A JP16442094 A JP 16442094A JP 16442094 A JP16442094 A JP 16442094A JP H0832154 A JPH0832154 A JP H0832154A
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JP
Japan
Prior art keywords
rod holder
peripheral surface
opening
outer peripheral
casing
Prior art date
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Pending
Application number
JP16442094A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masatake Murakami
正剛 村上
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Mitsui Petrochemical Industries Ltd
Original Assignee
Mitsui Petrochemical Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 固体レーザ装置のロッドホルダをケーシング
から外部へ突出するように開口部を挿通して取付ける
時、ロッドホルダの全体を効率よく冷却できるレーザロ
ッドホルダ取付け構造を提供する。 【構成】 固体レーザ装置のケーシング11内部の冷却
水充填空間部14に配置されるレーザロッド15を支持
するロッドホルダ19をケーシングの開口部に挿通さ
せ、ロッドホルダの芯合わせ部27により開口部の中心
軸線と一致するように取付ける。芯合わせ部27が、レ
ーザロッド支持側の端部外径より大きい外径で形成し、
且つ開口部の内周面に直接又は間接に接触する周方向に
部分的に設けられた複数の円弧状外周面部27及びその
間に形成され、この円弧状外周面部の半径よりもロッド
ホルダの中心軸線からの径方向距離が短い位置に形成さ
れた外周面部27を備え、各外周面部と開口部内周面と
の間に現出する間隔部29を冷却水用通路とする。
(57) [Summary] (Modified) [Purpose] Laser rod holder mounting that can cool the entire rod holder efficiently when inserting the rod holder of the solid-state laser device through the opening so as to project from the casing. Provide structure. A rod holder 19 for supporting a laser rod 15 arranged in a cooling water filling space 14 inside a casing 11 of a solid-state laser device is inserted into an opening of a casing, and a centering portion 27 of the rod holder allows the opening of the opening. Mount so that it matches the central axis. The centering portion 27 is formed with an outer diameter larger than the outer diameter of the end portion on the laser rod supporting side,
Further, a plurality of arcuate outer peripheral surface portions 27 that are partially provided in the circumferential direction to directly or indirectly contact the inner peripheral surface of the opening portion and between them are formed, and the central axis of the rod holder is larger than the radius of the arcuate outer peripheral surface portions. The outer peripheral surface portion 27 is formed at a position where the radial distance from the outer peripheral surface is short, and the gap portion 29 that appears between each outer peripheral surface portion and the inner peripheral surface of the opening serves as a cooling water passage.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はレーザロッドホルダ取付
け構造に関し、更に詳細には固体レーザ装置を構成する
レーザ発振器本体内でレーザ媒体であるレーザロッドを
支持するロッドホルダをこのレーザ発振器のケーシング
に挿通して取付ける構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure for mounting a laser rod holder, and more particularly, to a laser oscillator casing constituting a solid state laser device, in which a rod holder for supporting a laser rod which is a laser medium is mounted in a casing of the laser oscillator. It relates to a structure that is inserted and attached.

【0002】[0002]

【従来の方法】周知のように、固体レーザ装置はレーザ
発振器本体を備え、このレーザ発振器本体はボックス状
のケーシングとその上部開口を閉鎖する蓋とから構成さ
れているものがある。このようなレーザ発振器本体で
は、そのケーシング内に一般的には反射筒が配置されて
いる。この反射筒の軸方向に形成されている空間部には
レーザ媒質として、例えばNd:YAGレーザロッドが
配置され、更にこの空間部には励起源としての励起ラン
プが設置されている。
2. Description of the Related Art As is well known, some solid-state laser devices are provided with a laser oscillator main body, and the laser oscillator main body is composed of a box-shaped casing and a lid for closing the upper opening. In such a laser oscillator main body, a reflector is generally arranged in its casing. An Nd: YAG laser rod, for example, is arranged as a laser medium in a space formed in the axial direction of the reflecting cylinder, and an excitation lamp as an excitation source is installed in this space.

【0003】このようなレーザ発振器本体において、N
d:YAGレーザロッドは励起ランプで照射されてエネ
ルギーが注入される。この時、励起ランプのエネルギー
を効率よくロッドに吸収させるために空間部の内周面は
ロッドとランプとを囲む集光用の反射鏡として鏡面仕上
げされている。その意味からこの空間部を区画形成して
いる部材を反射筒と称しているのである。
In such a laser oscillator body, N
The d: YAG laser rod is irradiated with an excitation lamp and energy is injected. At this time, in order to allow the rod to efficiently absorb the energy of the excitation lamp, the inner peripheral surface of the space is mirror-finished as a reflecting mirror for converging the rod and the lamp. From that meaning, the member that defines the space is defined as a reflecting cylinder.

【0004】この空間部にはレーザロッド、励起ランプ
及び内周面である集光反射面を冷却するために冷却水が
満たされている。更に、この反射筒には冷却水通路が形
成され、この冷却水通路はケーシングに設けられた冷却
水流入管及び冷却水流出管に連通し、反射筒内の冷却水
通路に随時冷却水を流して反射筒の温度上昇を防いでい
る。
This space is filled with cooling water for cooling the laser rod, the excitation lamp, and the light collecting and reflecting surface which is the inner peripheral surface. Further, a cooling water passage is formed in the reflecting cylinder, the cooling water passage communicates with a cooling water inflow pipe and a cooling water outflow pipe provided in the casing, and the cooling water is flowed into the cooling water passage in the reflecting cylinder at any time. The temperature rise of the reflector is prevented.

【0005】レーザ発振器本体の反射筒内において冷却
水中に配置されるレーザロッドは、その両端が筒状のロ
ッドホルダの一端に挿入されて水密的シールが施されな
がら支持されている。そして、レーザロッドを一端で支
持したロッドホルダの他端は、レーザ発振器本体のケー
シングに形成された開口部に挿通されて外部へ突出する
ように取付けられている。
The laser rod, which is placed in the cooling water in the reflecting cylinder of the laser oscillator body, is supported at both ends by being inserted into one end of a cylindrical rod holder and being watertightly sealed. The other end of the rod holder that supports the laser rod at one end is inserted into an opening formed in the casing of the laser oscillator body and attached so as to project to the outside.

【0006】このケーシングにおける開口部を挿通する
ロッドホルダはこの挿通部において、軸ずれ即ち開口部
の中心軸線とロッドホルダのそれとの不一致を起こさな
いように精度の高い位置保持構造でケーシングに固定さ
れる。すなわち、ケーシング開口部でのロッドホルダ取
付け構造は、ロッドホルダの軸方向ほぼ中間部外径が他
の部分よりも大きく形成され、且つこの中間部外径はケ
ーシングの開口部内径とほぼ同じに形成され、これによ
りロッドホルダを開口部へ挿通させる時その最大外径部
が開口部内周面に正確に摺接するように嵌合装着され
る。
The rod holder which is inserted through the opening of the casing is fixed to the casing with a highly accurate position holding structure so as not to cause an axial deviation, that is, a disagreement between the center axis of the opening and that of the rod holder. It That is, in the rod holder mounting structure at the casing opening, the rod holder is formed such that the outer diameter of the rod holder in the axial direction is larger than that of the other portion, and the outer diameter of the middle portion is formed to be substantially the same as the inner diameter of the opening of the casing. As a result, when the rod holder is inserted into the opening, the maximum outer diameter portion is fitted and mounted so as to accurately slide on the inner peripheral surface of the opening.

【0007】他方、ケーシングの開口部には、ロッドホ
ルダの最大外径部が位置する部分に止めネジ取付け用の
小さなネジ穴が径方向へ伸長して形成されている。この
ネジ穴には止めネジが螺合され、その先端部をロッドホ
ルダ最大外径部周面に当接させることでロッドホルダの
軸方向移動が防止されている。
On the other hand, in the opening of the casing, a small screw hole for attaching a set screw is formed extending in the radial direction at a portion where the maximum outer diameter portion of the rod holder is located. A set screw is screwed into the screw hole, and the tip end of the set screw is brought into contact with the peripheral surface of the maximum outer diameter portion of the rod holder to prevent axial movement of the rod holder.

【0008】勿論、ロッドホルダが挿通するレーザ発振
器本体のケーシングに形成された開口部では反射筒内空
間部に充填されている冷却水がケーシング外部へ漏出し
ないように厳重なシールが施されている。
Of course, the opening formed in the casing of the laser oscillator body through which the rod holder is inserted is provided with a strict seal so that the cooling water filled in the space inside the reflecting cylinder does not leak out of the casing. .

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ロッド
ホルダをケーシングの開口部に挿通させて取付ける従来
の構造には、次のような問題があった。すなわち、前述
したようにレーザ発振器本体のケーシングに形成された
開口部にロッドホルダを挿通させて取付ける時、軸ずれ
の発生を防止するためロッドホルダの軸方向ほぼ中間部
に形成された大外径部が開口部内周面に正確に摺接して
嵌合するようにされている。
However, the conventional structure for mounting the rod holder by inserting it into the opening of the casing has the following problems. That is, as described above, when the rod holder is inserted through the opening formed in the casing of the laser oscillator body and attached, a large outer diameter formed in the axially substantially intermediate portion of the rod holder to prevent the occurrence of axis deviation. The portion is adapted to be accurately slidably fitted to the inner peripheral surface of the opening portion.

【0010】そのため、反射筒内空間部に充填された冷
却水は、開口部に進入してもロッドホルダの大外径部で
阻止され、それ以上の進入はできなかった。従って、ロ
ッドホルダは、その大外径部を含めてそれより外方部に
ついてほとんど冷却作用を受けることがなかった。その
結果、このロッドホルダの多くの部分で温度の上昇が起
こり、その結果レーザ光の発生に悪影響を与えると言う
問題があった。
Therefore, the cooling water filled in the internal space of the reflecting cylinder is blocked by the large outer diameter portion of the rod holder even if it enters the opening, so that it cannot enter further. Therefore, the rod holder was hardly subjected to the cooling action in the outer portion including the large outer diameter portion. As a result, there is a problem that the temperature rises in many parts of the rod holder, and as a result, the generation of laser light is adversely affected.

【0011】本発明の目的は、かかる従来の問題点を解
決するためになされたもので、固体レーザ装置のレーザ
発振器本体においてレーザロッドを支持するロッドホル
ダをレーザ発振器本体のケーシングから外部へ突出すべ
く開口部を挿通して取付ける時、ロッドホルダの全体を
効率よく冷却することのできるレーザロッドホルダ取付
け構造を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above conventional problems, and a rod holder for supporting a laser rod in a laser oscillator body of a solid-state laser device is projected outside from a casing of the laser oscillator body. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a laser rod holder mounting structure capable of efficiently cooling the entire rod holder when it is mounted by inserting it through the opening.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は固体レーザ装置
を構成するレーザ発振器本体10のケーシング11内部
の冷却水充填空間部14に配置されるレーザロッド15
を支持するロッドホルダ19を前記ケーシング11に形
成された開口部26に挿通させ、前記ロッドホルダ19
の中心軸線をその軸方向の一部に形成された芯合わせ部
27で前記開口部26のそれと一致させて取付ける構造
であり、前述の技術的課題を解決するために以下のよう
に構成されている。
According to the present invention, a laser rod 15 is arranged in a cooling water filling space 14 inside a casing 11 of a laser oscillator body 10 which constitutes a solid-state laser device.
The rod holder 19 supporting the rod holder 19 is inserted into the opening 26 formed in the casing 11,
Is a structure in which the center axis of the is aligned with that of the opening 26 by the centering portion 27 formed in a part of the axial direction, and is attached, and is configured as follows in order to solve the above-mentioned technical problem. There is.

【0013】すなわち、本発明のレーザロッドホルダ取
付け構造は、前記ロッドホルダ19の前記芯合わせ部2
7が、少なくとも前記レーザロッド支持側端部の外径よ
り大きい外径で形成され、且つ前記開口部26の内周面
に直接的又は間接的に接触する周方向に部分的に設けら
れた複数の第1の外周面部27aと、これら複数の第1
の外周面部27aの間に形成され、この第1の外周面部
27aの半径よりも前記ロッドホルダ19の中心軸線か
らの径方向距離が短い位置に形成された第2の外周面部
27bとを備え、前記第2の外周面部27bと前記ケー
シング11の前記開口部26内周面との間に現出する間
隔部29を前記ロッドホルダ19に沿う冷却水用通路と
したことを特徴とする(請求項1に対応)。以下、本発
明におけるレーザロッドホルダ取付け構造についての構
成要件を個別に説明する。
That is, in the laser rod holder mounting structure of the present invention, the centering portion 2 of the rod holder 19 is used.
A plurality of 7 are formed with an outer diameter that is at least larger than the outer diameter of the end portion of the laser rod supporting side, and are partially provided in the circumferential direction that directly or indirectly contact the inner circumferential surface of the opening 26. Of the first outer peripheral surface portion 27a of the
A second outer peripheral surface portion 27b which is formed between the outer peripheral surface portions 27a of the first outer peripheral surface portion 27a and is formed at a position where the radial distance from the central axis of the rod holder 19 is shorter than the radius of the first outer peripheral surface portion 27a, A space 29 that appears between the second outer peripheral surface portion 27b and the inner peripheral surface of the opening portion 26 of the casing 11 is used as a cooling water passage along the rod holder 19 (claim). 1). The constituent features of the laser rod holder mounting structure according to the present invention will be individually described below.

【0014】(ロッドホルダの芯合わせ部)ロッドホル
ダ19の芯合わせ部27は、前述したように開口部26
の内周面に直接的或いは間接的に接触する複数の第1の
外周面部27aとこれら複数の第1の外周面部27a間
に形成された複数の第2の外周面部27bとから構成さ
れるが、第2の外周面部27bは、この芯合わせ部27
を断面でみた時、周方向に60度の等間隔で形成された
6つの外周面で構成され、従って第1の外周面部27a
も周方向に等間隔な6つの外周面で構成することができ
る。
(Centering part of rod holder) The centering part 27 of the rod holder 19 has the opening 26 as described above.
Of the plurality of first outer peripheral surface portions 27a and the plurality of second outer peripheral surface portions 27b formed between the plurality of first outer peripheral surface portions 27a. , The second outer peripheral surface portion 27b is the centering portion 27
When viewed in cross section, the first outer peripheral surface portion 27a is composed of six outer peripheral surfaces formed at equal intervals of 60 degrees in the circumferential direction.
Can also be composed of six outer peripheral surfaces that are equally spaced in the circumferential direction.

【0015】勿論、これら第1及び第2の外周面部27
a、27bの数は任意でよい。しかし、その場合、第1
の外周面部27aの数が多ければ接触面積が大きくなっ
てロッドホルダ取付けの安定性はよくなるが、第2の外
周面部27bで区画形成される流路の断面積は小さくな
り、空気(気泡)が逃げにくく、従って冷却水が流れに
くくなると言う関係になるのでこれらのバランスを考慮
して設計することが好ましい。
Of course, these first and second outer peripheral surface portions 27
The numbers of a and 27b may be arbitrary. But in that case, the first
If the number of outer peripheral surface portions 27a is large, the contact area becomes large and the stability of the rod holder attachment is improved, but the cross-sectional area of the flow passage defined by the second outer peripheral surface portion 27b becomes small, and air (air bubbles) are generated. Since it is difficult for the cooling water to escape and therefore the cooling water will not flow easily, it is preferable to design in consideration of these balances.

【0016】(冷却水用通路)ロッドホルダ19におけ
る第2の外周面部27bの形成に伴ってこの第2の外周
面部27bと開口部26内周面部との間には軸方向に沿
う間隔部29が現出する。この間隔部29が冷却水用通
路である。
(Passage for Cooling Water) With the formation of the second outer peripheral surface portion 27b of the rod holder 19, a space 29 is formed between the second outer peripheral surface portion 27b and the inner peripheral surface portion of the opening 26 along the axial direction. Appears. The space 29 is a cooling water passage.

【0017】<本発明における付加的要件>本発明のレ
ーザロッドホルダ取付け構造は、前述した必須の構成要
素からなるが、更に以下の構成要素を付加した場合、或
いは必須の構成要素が具体的に以下のような場合であっ
ても成立する。
<Additional Requirement in the Present Invention> The laser rod holder mounting structure of the present invention comprises the above-mentioned essential components. However, when the following components are further added, or the essential components are specifically described. It holds even in the following cases.

【0018】すなわち、本発明のレーザロッドホルダ取
付け構造において、前記第2の外周面部27bが平坦面
で形成されている場合である(請求項2に対応)。更
に、本発明のレーザロッドホルダ取付け構造において、
前記開口部26が前記ケーシング11の壁部に一体的に
設けられ且つ前記ケーシング内側に突出したロッドホル
ダ取付け部30に形成され、このロッドホルダ取付け部
30には前記開口部26に向かってその径方向に設けら
れたネジ孔31に螺合され、先端部が前記開口部26を
挿通する前記ロッドホルダ19の芯合わせ部27外周面
に当接して固定する止めネジ32が設けられ、更にこの
止めネジ32による固定位置よりも前記ケーシングにつ
いて外方寄りで前記ロッドホルダ19と前記開口部26
との水密的シールを行うべく前記ロッドホルダ19の外
周にO−リング25が装着されている場合である(請求
項3に対応)。
That is, in the laser rod holder mounting structure of the present invention, the second outer peripheral surface portion 27b is formed as a flat surface (corresponding to claim 2). Furthermore, in the laser rod holder mounting structure of the present invention,
The opening 26 is formed integrally with the wall of the casing 11 and is formed in a rod holder mounting portion 30 that protrudes inside the casing. The rod holder mounting portion 30 has a diameter that extends toward the opening 26. Is provided with a set screw 32 that is screwed into a screw hole 31 provided in the direction, and has its tip end abutted and fixed to the outer peripheral surface of the centering portion 27 of the rod holder 19 through which the opening 26 is inserted. The rod holder 19 and the opening 26 are located outward of the casing with respect to the fixing position by the screw 32.
This is a case where an O-ring 25 is attached to the outer periphery of the rod holder 19 to perform a water-tight seal with (corresponding to claim 3).

【0019】また、本発明のレーザロッドホルダ取付け
構造において、前記ロッドホルダ取付け部30に前記開
口部26と連通する冷却水流通用の水路穴33が形成さ
れている場合である(請求項4に対応)。
Further, in the laser rod holder mounting structure of the present invention, the rod holder mounting portion 30 is provided with a water passage hole 33 for communicating cooling water which communicates with the opening 26 (corresponding to claim 4). ).

【0020】[0020]

【作用】本発明のレーザロッドホルダ取付け構造による
と、ロッドホルダがレーザ発振器本体10のケーシング
11に形成された開口部26に挿通され、その芯合わせ
部27がこの開口部26内に位置決めされる。この時、
芯合わせ部27を構成している複数の第1の外周面部2
7aは開口部26の内周面に直接的又は間接的に接触す
るため、ロッドホルダ19は開口部26に対して中心軸
線がずれることなく正確な位置に保持されることにな
る。
According to the laser rod holder mounting structure of the present invention, the rod holder is inserted into the opening portion 26 formed in the casing 11 of the laser oscillator body 10, and the centering portion 27 is positioned in the opening portion 26. . This time,
A plurality of first outer peripheral surface portions 2 forming the centering portion 27
Since 7a directly or indirectly contacts the inner peripheral surface of the opening 26, the rod holder 19 is held at an accurate position with respect to the opening 26 without deviation of the central axis line.

【0021】しかも、これら軸ずれを直接防止している
複数の第1の外周面部27aは周方向に間隔をあけて形
成されており、その間は開口部26の内周面と協働して
間隔部29を形成する第2の外周面部27bとされてい
るため、この間隔部29が冷却水用通路となってケーシ
ング内部に充填された冷却水がロッドホルダ19に沿っ
て開口部26の出口付近のシール部まで進入する。これ
により、ロッドホルダ19の全周及び全長における大部
分が冷却水による冷却作用を受け、温度上昇が抑制され
てレーザ光の好ましい発生環境が図られる。
Moreover, the plurality of first outer peripheral surface portions 27a which directly prevent these axial deviations are formed at intervals in the circumferential direction, and in the meantime, in cooperation with the inner peripheral surface of the opening 26, the intervals are formed. Since the second outer peripheral surface portion 27b that forms the portion 29 is formed, the gap portion 29 serves as a cooling water passage and the cooling water filled in the casing is provided along the rod holder 19 near the outlet of the opening portion 26. Enter up to the seal part. As a result, most of the entire circumference and the entire length of the rod holder 19 is subjected to the cooling action by the cooling water, the temperature rise is suppressed, and the preferable environment for generating the laser light is achieved.

【0022】[0022]

【実施例】以下、本発明のレーザロッドホルダ取付け構
造を図に示される実施例について更に詳細に説明する。
図1には固体レーザ装置におけるレーザ発振器本体10
が示されている。このレーザ発振器本体10の全体的な
構成は従来のものとほぼ同じで、ボックス状のケーシン
グ11とその上部開口を閉鎖する蓋12とから構成され
ている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The laser rod holder mounting structure of the present invention will now be described in more detail with reference to the embodiments shown in the drawings.
FIG. 1 shows a laser oscillator body 10 in a solid-state laser device.
It is shown. The overall structure of the laser oscillator main body 10 is almost the same as the conventional one, and is composed of a box-shaped casing 11 and a lid 12 that closes the upper opening.

【0023】そして、このケーシング11内には反射筒
13が配置されている。この反射筒13の軸方向に形成
されている空間部14にはレーザ媒質としての例えばN
d:YAGレーザロッド15が配置され、更にこの空間
部14には励起源としての励起ランプ16が設置されて
いる。この空間部14の内周面は、励起ランプ16のエ
ネルギーを効率よくロッド15に吸収させるためロッド
15とランプ16とを囲む集光用の反射鏡として鏡面仕
上げされている。
A reflecting cylinder 13 is arranged in the casing 11. In the space 14 formed in the axial direction of the reflecting cylinder 13, for example, N as a laser medium is used.
A d: YAG laser rod 15 is arranged, and an excitation lamp 16 as an excitation source is installed in this space 14. The inner peripheral surface of the space 14 is mirror-finished as a converging reflecting mirror that surrounds the rod 15 and the lamp 16 so that the energy of the excitation lamp 16 is efficiently absorbed by the rod 15.

【0024】この空間部14にはレーザロッド15、励
起ランプ16及び内周面である集光反射面を冷却するた
めに冷却水が満たされている。更に、この反射筒13に
は冷却水通路が形成され、この冷却水通路はケーシング
11に設けられた冷却水流入管17及び冷却水流出管1
8に連通し、反射筒13内の冷却水通路に随時冷却水を
流して反射筒13の温度上昇を防いでいる。
The space 14 is filled with cooling water for cooling the laser rod 15, the excitation lamp 16 and the light collecting and reflecting surface which is the inner peripheral surface. Further, a cooling water passage is formed in the reflection tube 13, and the cooling water passage is provided in the casing 11 and the cooling water inflow pipe 17 and the cooling water outflow pipe 1 are provided.
The cooling water is flowed through the cooling water passage in the reflecting cylinder 13 at any time to prevent the temperature of the reflecting cylinder 13 from rising.

【0025】このようにレーザ発振器本体10の反射筒
13内において冷却水中に配置されるレーザロッド15
は、その両端が筒状のロッドホルダ19に挿入されて水
密的シールが施されながら支持されている。ここで、ロ
ッドホルダ19によるレーザロッド15の水密的シール
状態での支持構造を簡単に説明すると、筒状のロッドホ
ルダ19は図2及び図3に示されるようにレーザロッド
取付け側端部における入口部19a内周面に形成された
ネジ部20と、この入口部19aから軸方向所定位置に
形成された径方向内方への膨出部21とを備えている。
In this way, the laser rod 15 arranged in the cooling water in the reflecting cylinder 13 of the laser oscillator body 10 is arranged.
Both ends thereof are inserted into a cylindrical rod holder 19 and supported while being watertightly sealed. Here, the support structure of the laser rod 15 in the watertightly sealed state by the rod holder 19 will be briefly described. The cylindrical rod holder 19 has an inlet at the end portion on the laser rod mounting side as shown in FIGS. 2 and 3. A screw portion 20 formed on the inner peripheral surface of the portion 19a and a radially inwardly bulging portion 21 formed at a predetermined axial position from the inlet portion 19a are provided.

【0026】通常、このロッドホルダ19はステンレス
等の金属材料から製作される。しかし、固体レーザ装置
として好ましいものである限り、他の材料から製作され
たものであってもよいことは言うまでもない。
Usually, the rod holder 19 is made of a metal material such as stainless steel. However, it goes without saying that the solid-state laser device may be made of other materials as long as it is preferable.

【0027】レーザロッド15の端部は、このロッドホ
ルダ19の入口部19aから内部に挿入されている。そ
の際、ロッドホルダ19に挿入されるレーザロッド15
の端部外周にはシール部材であるバックアップリング2
2と2つのO−リング23とが取り付けられ、レーザロ
ッド端部と共にロッドホルダ19内に挿入されている。
ロッドホルダ19の入口部19aには、外周にネジ部
を形成したプラグ24が入口部内周面のネジ部20に螺
合されて装着されている。バックアップリング22と2
つのO−リング23とは、このプラグ24のロッドホル
ダへの進入圧力により軸方向内方へ押圧され、これによ
りバックアップリング23と2つのO−リング23がロ
ッドホルダ19内の膨出部21とプラグ24とに挟まれ
て圧縮される。
The end of the laser rod 15 is inserted into the rod holder 19 through the inlet 19a. At that time, the laser rod 15 inserted into the rod holder 19
Backup ring 2 which is a seal member on the outer circumference of the end of
Two and two O-rings 23 are attached and inserted into the rod holder 19 together with the laser rod end.
A plug 24 having a threaded portion formed on the outer circumference is attached to the inlet portion 19a of the rod holder 19 by being screwed into the threaded portion 20 on the inner peripheral surface of the inlet portion. Backup rings 22 and 2
The two O-rings 23 are pressed inward in the axial direction by the pressure of the plug 24 entering the rod holder, whereby the backup ring 23 and the two O-rings 23 and the bulging portion 21 in the rod holder 19 are formed. It is compressed by being sandwiched by the plug 24.

【0028】バックアップリング22と2つのO−リン
グ23が圧縮されると、これらはレーザロッド15に強
く密着し、レーザロッド15はこれらのシール部材によ
り安定的に支持されることにもなる。尚、バックアップ
リング23は、テフロン樹脂から形成されることが好ま
しいが、他の弾性部材などからも形成することができ
る。
When the backup ring 22 and the two O-rings 23 are compressed, they closely adhere to the laser rod 15, and the laser rod 15 is also stably supported by these sealing members. The backup ring 23 is preferably made of Teflon resin, but may be made of another elastic member or the like.

【0029】このような構造でレーザロッド15をレー
ザ発振器本体10の反射筒13内空間部14においてロ
ッドホルダ19に水密的シール状態で取付けた場合、反
射筒13の空間部14内の冷却水はロッドホルダ19の
入口部19aから内部へ進入しようとする。
When the laser rod 15 having such a structure is attached to the rod holder 19 in a watertight sealed state in the space 14 inside the reflection cylinder 13 of the laser oscillator body 10, the cooling water in the space 14 of the reflection cylinder 13 is The rod holder 19 tries to enter the inside from the inlet portion 19a.

【0030】しかし、2つのO−リング23はこの入口
部19aよりも軸方向内方に位置していることから、O
−リング23の設置位置について見た時の冷却水の進入
経路はレーザロッド15に沿う軸方向からのみとなる。
その結果、この方向からの冷却水の進入は、通常、O−
リング23の設計通りの方向であり、従って当初設計さ
れたシール性能を発揮することができる。
However, since the two O-rings 23 are located axially inward of the inlet portion 19a, O
When the installation position of the ring 23 is viewed, the entry path of the cooling water is only in the axial direction along the laser rod 15.
As a result, the entry of cooling water from this direction is usually O-
The direction is as designed for the ring 23, and therefore the originally designed sealing performance can be exhibited.

【0031】なお、ロッドホルダ19がレーザ発振器本
体10のケーシング11から外部へ貫通する部分におい
て水密的シールを図って冷却水の漏出を防止するため、
ロッドホルダ19の外周にO−リング25が装着され、
これによりロッドホルダ19の外周部とケーシング11
の開口部内周面との間がシールされている。
In order to prevent leakage of the cooling water by making a watertight seal in the portion where the rod holder 19 penetrates the casing 11 of the laser oscillator body 10 to the outside,
An O-ring 25 is attached to the outer circumference of the rod holder 19,
Thereby, the outer peripheral portion of the rod holder 19 and the casing 11
The inner peripheral surface of the opening is sealed.

【0032】ところで、このようにレーザロッド15の
各端部を水密的にシールしながら支持している2つのロ
ッドホルダ19には、このロッドホルダ19をレーザ発
振器本体10のケーシング11に形成された開口部26
に挿通して取付ける時この開口部26の中心軸線とロッ
ドホルダ19のそれとが正確に一致するようにする芯合
わせ部27がその軸方向ほぼ中間部に形成されている。
By the way, in the two rod holders 19 which support the respective ends of the laser rod 15 while sealing in a watertight manner, the rod holders 19 are formed in the casing 11 of the laser oscillator body 10. Opening 26
A centering portion 27 is formed in the axially substantially middle portion of the rod holder 19 so that the center axis of the opening 26 and the rod holder 19 are exactly aligned with each other when the rod holder 19 is inserted into the rod holder 19.

【0033】この芯合わせ部27は、レーザロッド15
を支持している端部側の外径より大きい外径で形成され
且つ周方向に部分的に設けられた円弧状の複数の第1の
外周面部27aと、これら複数の第1の外周面部27a
の間に形成され、図4に示されるようにこの第1の外周
面部27aの半径rよりもロッドホルダ19の中心軸線
からの径方向距離sが短い位置即ちr>sの位置に形成
された第2の外周面部27bとを備えて構成されてい
る。
The centering portion 27 is formed by the laser rod 15
A plurality of arc-shaped first outer peripheral surface portions 27a that are formed with an outer diameter larger than the outer diameter of the end portion side that supports the arc, and are partially provided in the circumferential direction, and the plurality of first outer peripheral surface portions 27a.
4 and is formed at a position where the radial distance s from the central axis of the rod holder 19 is shorter than the radius r of the first outer peripheral surface portion 27a, that is, the position r> s, as shown in FIG. And a second outer peripheral surface portion 27b.

【0034】そして、このロッドホルダ19における芯
合わせ部27の周囲には外筒管28が嵌合されている。
この外筒管28は軸方向に割り溝28aが形成され、芯
合わせ部27に装着された時その内周面は芯合わせ部2
7の第1の外周面部27aに密着する。この外筒管28
はロッドホルダ19が軸方向に移動した時アクリル樹脂
で形成されているケーシング11に傷を付けないための
もので、所謂保護管として機能させるものである。
An outer tube 28 is fitted around the centering portion 27 of the rod holder 19.
This outer tube 28 has a split groove 28a formed in the axial direction, and when mounted on the centering portion 27, its inner peripheral surface has a centering portion 2a.
It adheres to the first outer peripheral surface portion 27a of No. 7. This outer tube 28
Is for preventing the casing 11 made of acrylic resin from being damaged when the rod holder 19 moves in the axial direction, and functions as a so-called protective tube.

【0035】そして、この外筒管28は、これがロッド
ホルダ19の芯合わせ部27に装着された時、その外径
がケーシング11に形成されたロッドホルダ挿通用の開
口部26の内径とほぼ等しくなるように形成されてい
る。
When the outer tube 28 is mounted on the centering portion 27 of the rod holder 19, the outer diameter thereof is substantially equal to the inner diameter of the opening 26 for inserting the rod holder formed in the casing 11. Is formed.

【0036】このように芯合わせ部27に外筒管28が
装着されたロッドホルダ19がケーシング11の開口部
26に挿入されると、外筒管28は開口部26に密接状
態で嵌合し、この結果開口部26の中心軸線とロッドホ
ルダ19のそれとは完全に一致した状態を維持させるこ
とができる。
When the rod holder 19 with the outer tube 28 attached to the centering portion 27 is inserted into the opening 26 of the casing 11 as described above, the outer tube 28 is fitted into the opening 26 in a close contact state. As a result, the central axis of the opening 26 and that of the rod holder 19 can be kept in perfect alignment.

【0037】このようにしてケーシング11の開口部2
6にロッドホルダ19が挿入されている時、ケーシング
11内の冷却水は開口部26の入口から進入する。そし
て、芯合わせ部27における軸ずれを直接防止すべく外
筒管28の内周面に接触する複数の第1の外周面部27
a間に形成された第2の外周面部27bが外筒管28の
内周面から離れて間隔部29を形成しているため、この
間隔部29が冷却水用通路となる。
In this way, the opening 2 of the casing 11
When the rod holder 19 is inserted in 6, the cooling water in the casing 11 enters from the inlet of the opening 26. Then, the plurality of first outer peripheral surface portions 27 contacting the inner peripheral surface of the outer tube 28 in order to directly prevent the axis deviation in the centering portion 27.
Since the second outer peripheral surface portion 27b formed between a and the interval portion 29 is formed apart from the inner peripheral surface of the outer tube 28, the interval portion 29 serves as a cooling water passage.

【0038】これにより、開口部26入口側から進入し
た冷却水は、ロッドホルダ19に沿って開口部の出口付
近のシール部(O−リング25の取付け部)まで進入す
る。これにより、ロッドホルダ19の全周及び全長にお
ける大部分が冷却水による冷却作用を受け、温度上昇が
抑制されてレーザ光の好ましい発生環境が図られる。
As a result, the cooling water that has entered from the inlet side of the opening 26 enters along the rod holder 19 to the seal portion (attachment portion of the O-ring 25) near the outlet of the opening. As a result, most of the entire circumference and the entire length of the rod holder 19 is subjected to the cooling action by the cooling water, the temperature rise is suppressed, and the preferable environment for generating the laser light is achieved.

【0039】レーザロッド15の両端部を支持する2つ
のロッドホルダ19の一方が挿通される開口部26は、
図1に示されるようにレーザ発振器本体10のケーシン
グ11の内側端面から突出して一体的に設けられたロッ
ドホルダ取付け部30に形成されている。このロッドホ
ルダ取付け部30の上面にはネジ孔31が形成され、こ
のネジ孔31は開口部26にまで達している。
The opening 26 through which one of the two rod holders 19 supporting both ends of the laser rod 15 is inserted,
As shown in FIG. 1, it is formed on a rod holder mounting portion 30 that is integrally provided so as to project from the inner end surface of the casing 11 of the laser oscillator body 10. A screw hole 31 is formed on the upper surface of the rod holder mounting portion 30, and the screw hole 31 reaches the opening 26.

【0040】このネジ孔31には止めネジ32が螺合さ
れ、その先端部は前述したように開口部26に挿通され
たロッドホルダ19の軸方向移動を防止するため外筒管
28の割り溝28aから芯合わせ部27の第1の外周面
部27aに直接当接している。そして、このロッドホル
ダ取付け部30の側面には前述したように開口部26内
へ入口側から進入した冷却水をケーシング11内部へ戻
すためと空気(気泡)を抜くための水路穴33が形成さ
れている。本実施例でホルダの外表面でネジ32の接点
の温度を測定したところレーザ出力800Wで最高温度
37℃であった。なお、この実施例に対して円筒形のホ
ルダを用いた他は同条件の比較例では最高60℃になっ
た。
A set screw 32 is screwed into the screw hole 31, and the tip end of the set screw 32 is a split groove of the outer tube 28 for preventing axial movement of the rod holder 19 inserted into the opening 26 as described above. 28a directly contacts the first outer peripheral surface portion 27a of the centering portion 27. Then, on the side surface of the rod holder mounting portion 30, as described above, water passage holes 33 are formed for returning the cooling water that has entered the opening 26 from the inlet side to the inside of the casing 11 and for removing air (air bubbles). ing. When the temperature of the contact point of the screw 32 was measured on the outer surface of the holder in this example, the laser output was 800 W and the maximum temperature was 37 ° C. It should be noted that the maximum temperature was 60 ° C. in the comparative example under the same conditions except that a cylindrical holder was used for this example.

【0041】前述した実施例において、止めネジ32の
先端はロッドホルダ19の芯合わせ部27における第1
の外周面部27aに当接させるように構成されたが、第
2の外周面部に当接させてもよい。但し、その場合1つ
の冷却水通路29が部分的に塞がれることになるため若
干の冷却水流量低下を招くことになる。
In the above-described embodiment, the tip of the set screw 32 is located at the first position in the centering portion 27 of the rod holder 19.
Although it is configured to be brought into contact with the outer peripheral surface portion 27a of the above, it may be brought into contact with the second outer peripheral surface portion. However, in that case, one cooling water passage 29 is partially blocked, which causes a slight decrease in the cooling water flow rate.

【0042】更に、前述の実施例において第1の外周面
部27aは外筒管28の内径とほぼ同じ半径で形成され
た円弧状外周面とされているが、円弧状の外周面でなく
とも線状の角部でもよい。その場合芯合わせ部27の外
周面は断面でみると多角形を呈することになる。また、
第2の外周面部27b形成の趣旨は、外筒管28の内周
面との間に空間部29を形成してこれを冷却水用通路と
することにあるので、この第2の外周面部は前述の実施
例のような平坦面に限定されるものではなく、凹状等種
々の形状に形成できることは言うまでもない。
Further, although the first outer peripheral surface portion 27a is an arcuate outer peripheral surface formed with a radius substantially the same as the inner diameter of the outer tube 28 in the above-mentioned embodiment, it is not limited to the arcuate outer peripheral surface. It may be a corner. In that case, the outer peripheral surface of the centering portion 27 has a polygonal shape when viewed in cross section. Also,
The purpose of forming the second outer peripheral surface portion 27b is to form the space portion 29 between the inner peripheral surface of the outer tubular pipe 28 and use this as a cooling water passage, so that the second outer peripheral surface portion is It is needless to say that the shape is not limited to the flat surface as in the above-described embodiment, and that it can be formed in various shapes such as a concave shape.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のレーザロ
ッドホルダ取付け構造によれば、レーザロッドを支持し
たロッドホルダがレーザ発振器本体のケーシングに形成
された開口部に挿通され、その芯合わせ部がこの開口部
内に位置決めされ時、芯合わせ部を構成している複数の
第1の外周面部は開口部の内周面に直接的又は間接的に
接触するため、ロッドホルダは開口部に対して中心軸線
がずれることなく正確な位置に保持されることになる。
As described above, according to the laser rod holder mounting structure of the present invention, the rod holder supporting the laser rod is inserted into the opening formed in the casing of the laser oscillator body, and its centering portion is inserted. Since the plurality of first outer peripheral surface portions constituting the centering portion directly or indirectly contact the inner peripheral surface of the opening portion when the rod holder is positioned in the opening portion, the rod holder is attached to the opening portion. The central axis will be held in the correct position without shifting.

【0044】しかも、ロッドホルダの芯合わせをしてい
る複数の第1の外周面部間の第2の外周面部は、開口部
の内周面と協働して間隔部を形成し、この間隔部が冷却
水用通路となってケーシング内部に充填された冷却水が
ロッドホルダに沿って開口部の出口付近のシール部まで
進入することから、ロッドホルダの全周及び全長におけ
る大部分が冷却水による冷却作用を受け、温度上昇が抑
制されてレーザ光の好ましい発生環境を得ることができ
る。
In addition, the second outer peripheral surface portion between the plurality of first outer peripheral surface portions which are aligned with each other in the rod holder cooperates with the inner peripheral surface of the opening to form a space portion, and the space portion is formed. Serves as a cooling water passage and the cooling water filled in the casing enters along the rod holder up to the seal near the outlet of the opening. By receiving the cooling action, the temperature rise is suppressed, and a preferable environment for generating the laser light can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のレーザロッドホルダ取付け構造が適用
される固体レーザ装置のレーザ発振器本体を概略的に示
す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view schematically showing a laser oscillator body of a solid-state laser device to which a laser rod holder mounting structure of the present invention is applied.

【図2】図1に示されるレーザ発振器本体においてレー
ザロッドをロッドホルダにシール状態で取付ける構造の
分解斜視図である。
2 is an exploded perspective view of a structure in which a laser rod is attached to a rod holder in a sealed state in the laser oscillator body shown in FIG.

【図3】本発明の一実施例に係るレーザロッドホルダ取
付け構造を示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing a laser rod holder mounting structure according to an embodiment of the present invention.

【図4】ケーシングのロッドホルダ取付け部における開
口部に挿通されて取付けられたロッドホルダを図3の4
−4線に沿って切断して示す断面図である。
4 is a perspective view of the rod holder attached through the opening of the casing of the casing of FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line -4.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 レーザ発振器本体 11 ケーシング 12 蓋 13 反射筒 14 空間部 15 レーザロッド 16 励起ランプ 17 冷却水流入管 18 冷却水流出管 19 ロッドホルダ 19a 入口部 20 ネジ部 21 膨出部 22 バックアップリング 23 O−リング 24 プラグ 25 O−リング 26 開口部 27 芯合わせ部 27a 弧状外周面部 27b 外周面部 28 外筒管 28a 割り溝 29 冷却水通路(間隔部) 30 ロッドホルダ取付け部 31 ネジ孔 32 止めネジ 33 水路穴 10 Laser Oscillator Main Body 11 Casing 12 Lid 13 Reflecting Tube 14 Space 15 Laser Rod 16 Excitation Lamp 17 Cooling Water Inflow Pipe 18 Cooling Water Outflow Pipe 19 Rod Holder 19a Inlet 20 Screw Part 21 Bulging Part 22 Backup Ring 23 O-Ring 24 Plug 25 O-ring 26 Opening portion 27 Centering portion 27a Arc-shaped outer peripheral surface portion 27b Outer peripheral surface portion 28 Outer cylinder tube 28a Split groove 29 Cooling water passage (interval portion) 30 Rod holder mounting portion 31 Screw hole 32 Set screw 33 Water passage hole

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 固体レーザ装置を構成するレーザ発振器
本体のケーシング内部の冷却水充填空間部に配置される
レーザロッドを支持するロッドホルダを前記ケーシング
に形成された開口部に挿通させ、前記ロッドホルダの中
心軸線をその軸方向の一部に形成された芯合わせ部で前
記開口部のそれと一致させて取付ける構造において、 前記ロッドホルダの前記芯合わせ部が、少なくとも前記
レーザロッド支持側端部の外径より大きい外径で形成さ
れ、且つ前記開口部の内周面に直接的又は間接的に接触
する周方向に部分的に設けられた複数の第1の外周面部
と、これら複数の第1の外周面部の間に形成され、この
第1の外周面部の半径よりも前記ロッドホルダの中心軸
線からの径方向距離が短い位置に形成された第2の外周
面部とを備え、 前記第2の外周面部と前記ケーシングの前記開口部内周
面との間に現出する間隔部を前記ロッドホルダに沿う冷
却水用通路としたことを特徴とするレーザロッドホルダ
取付け構造。
1. A rod holder for supporting a laser rod arranged in a cooling water filling space inside a casing of a laser oscillator body constituting a solid-state laser device is inserted into an opening formed in the casing, and the rod holder. In the structure in which the center axis of the rod holder is attached by aligning it with the centering portion formed in a part of the axial direction of the opening portion, the centering portion of the rod holder is at least outside the laser rod supporting side end portion. A plurality of first outer peripheral surface portions that are formed with an outer diameter larger than the diameter and that are partially provided in the circumferential direction that directly or indirectly contact the inner peripheral surface of the opening, and a plurality of these first outer peripheral surface portions. A second outer peripheral surface portion which is formed between the outer peripheral surface portions and is formed at a position where a radial distance from the central axis of the rod holder is shorter than a radius of the first outer peripheral surface portion, Laser rod holder mounting structure, characterized in that the spacing unit to emerge and cooled water path along the rod holder between the opening peripheral surface of the second outer peripheral surface the casing.
【請求項2】 前記第2の外周面部が平坦面で形成され
ていることを特徴とする請求項2に記載のレーザロッド
ホルダ取付け構造。
2. The laser rod holder mounting structure according to claim 2, wherein the second outer peripheral surface portion is formed as a flat surface.
【請求項3】 前記開口部が前記ケーシングの壁部に一
体的に設けられ且つ前記ケーシング内側に突出したロッ
ドホルダ取付け部に形成され、このロッドホルダ取付け
部には前記開口部に向かってその径方向に設けられたネ
ジ孔に螺合され、先端部が前記開口部を挿通する前記ロ
ッドホルダの外周面に当接して固定する固定ネジが設け
られ、更にこの固定ネジによる固定位置よりも前記ケー
シングについて外方寄りで前記ロッドホルダと前記開口
部との水密的シールを行うべく前記ロッドホルダの外周
にO−リングが装着されていることを特徴とする請求項
1又は2に記載のレーザロッドホルダ取付け構造。
3. The opening is formed in a rod holder attachment portion that is integrally provided in a wall portion of the casing and protrudes inside the casing, and the rod holder attachment portion has a diameter that increases toward the opening. A fixing screw that is screwed into a screw hole provided in the direction, and has its tip end abutting and fixing to the outer peripheral surface of the rod holder that is inserted through the opening, and further the casing is more fixed than the fixing position by the fixing screw. 3. The laser rod holder according to claim 1, wherein an O-ring is attached to the outer periphery of the rod holder so as to perform a watertight seal between the rod holder and the opening in the outward direction. Mounting structure.
【請求項4】 前記ロッドホルダ取付け部に前記開口部
と連通する冷却水流通用穴が形成されていることを特徴
とする請求項3に記載のレーザロッドホルダ取付け構
造。
4. The laser rod holder mounting structure according to claim 3, wherein the rod holder mounting portion is formed with a cooling water circulation hole communicating with the opening.
JP16442094A 1994-07-15 1994-07-15 Laser rod holder mounting structure Pending JPH0832154A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6380665B1 (en) 1998-12-08 2002-04-30 Canon Kabushiki Kaisha Electron-emitting device, electron source using the electron-emitting devices, and image-forming apparatus using the electron source

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6380665B1 (en) 1998-12-08 2002-04-30 Canon Kabushiki Kaisha Electron-emitting device, electron source using the electron-emitting devices, and image-forming apparatus using the electron source

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