JPH0832226A - レーザーリフロー装置及び方法 - Google Patents
レーザーリフロー装置及び方法Info
- Publication number
- JPH0832226A JPH0832226A JP16914094A JP16914094A JPH0832226A JP H0832226 A JPH0832226 A JP H0832226A JP 16914094 A JP16914094 A JP 16914094A JP 16914094 A JP16914094 A JP 16914094A JP H0832226 A JPH0832226 A JP H0832226A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser beam
- point
- temperature
- reflow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3494—Heating processes for reflow soldering
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】レーザーリフロー装置において、熱容量の異な
る半田付けポイントを同一の温度条件ではんだ付けを行
い、加熱の加不足による不具合を防ぎ、良好な半田付け
を行う。 【構成】プリセット段階において、レーザー照射ヘッド
5より照射されたレーザーによる実装パッド12の加熱
温度を赤外線温度センサー9にて測定し、レーザー照射
ヘッドの位置情報に対応して測定した加熱温度から本工
程のためのレーザー強度を設定し、記憶する。
る半田付けポイントを同一の温度条件ではんだ付けを行
い、加熱の加不足による不具合を防ぎ、良好な半田付け
を行う。 【構成】プリセット段階において、レーザー照射ヘッド
5より照射されたレーザーによる実装パッド12の加熱
温度を赤外線温度センサー9にて測定し、レーザー照射
ヘッドの位置情報に対応して測定した加熱温度から本工
程のためのレーザー強度を設定し、記憶する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半田付けのために対象
物に予め塗布された半田をレーザーにより溶かすレーザ
ーリフロー装置に及び方法に関し、特に多端子、多リー
ドの表面実装部品を基板に半田付けするためのレーザー
リフロー装置に関する。
物に予め塗布された半田をレーザーにより溶かすレーザ
ーリフロー装置に及び方法に関し、特に多端子、多リー
ドの表面実装部品を基板に半田付けするためのレーザー
リフロー装置に関する。
【0002】
【従来の技術】レーザリフローによる半田付けでは、プ
リント基板上にその実装パッドにリードを合わせてIC
等の表面実装部品を載置し、リード表面をレーザ光で照
射加熱し、実装パッドに予め塗布された半田を溶融させ
てプリント基板の実装パッドと表面実装部品のリードと
を半田付けする。
リント基板上にその実装パッドにリードを合わせてIC
等の表面実装部品を載置し、リード表面をレーザ光で照
射加熱し、実装パッドに予め塗布された半田を溶融させ
てプリント基板の実装パッドと表面実装部品のリードと
を半田付けする。
【0003】図4の従来のレーザーリフロー装置のブロ
ック図である。図において、レーザー駆動部7に駆動さ
れたレーザー装置6から出射されたレーザビームは、レ
ンズ、鏡、光ファイバ等からなる光化学系を介してレー
ザ照射ヘッド5に伝えられ、レーザ照射ヘッド5からプ
リント基板8上の一点に照射される。レーザ照射ヘッド
5はXY駆動部4によりXY方向(基板8に並行な平面
の方向に)一定速度で移動し、レーザービームの照射点
を基板8上のパッドと基板8に搭載される部品のリード
との接続点の列に沿って移動させてこれらを半田付けし
ていた。なお、XY駆動部4によりレーザー照射ヘッド
5を移動させる代わりにプリント基板8を載置するテー
ブルをXY方向に移動させる装置もある。
ック図である。図において、レーザー駆動部7に駆動さ
れたレーザー装置6から出射されたレーザビームは、レ
ンズ、鏡、光ファイバ等からなる光化学系を介してレー
ザ照射ヘッド5に伝えられ、レーザ照射ヘッド5からプ
リント基板8上の一点に照射される。レーザ照射ヘッド
5はXY駆動部4によりXY方向(基板8に並行な平面
の方向に)一定速度で移動し、レーザービームの照射点
を基板8上のパッドと基板8に搭載される部品のリード
との接続点の列に沿って移動させてこれらを半田付けし
ていた。なお、XY駆動部4によりレーザー照射ヘッド
5を移動させる代わりにプリント基板8を載置するテー
ブルをXY方向に移動させる装置もある。
【0004】制御部3に接続された入出力部1より作業
者が入力することによりレーザ照射ヘッド5からプリン
ト基板8に照射されるレーザビームの強度を設定するこ
とができる。また作業者が予め設定したレーザ照射ヘッ
ド5が移動する軌跡のXY座標値、移動速度及びレーザ
ビームを照射する部分のXY座標値等を入出力部1から
入力し、これらの情報を制御部3に接続された記憶部2
に格納する。
者が入力することによりレーザ照射ヘッド5からプリン
ト基板8に照射されるレーザビームの強度を設定するこ
とができる。また作業者が予め設定したレーザ照射ヘッ
ド5が移動する軌跡のXY座標値、移動速度及びレーザ
ビームを照射する部分のXY座標値等を入出力部1から
入力し、これらの情報を制御部3に接続された記憶部2
に格納する。
【0005】このレーザーリフロー装置の自動運転時に
は、制御部3が記憶部2に格納された情報に従い、XY
駆動部4及びレーザ駆動部7を制御し、作業者が予め設
定したレーザ照射ヘッド5の移動軌跡等に従い、予め設
定された強度のレーザビームで基板8上のレーザーリフ
ロー半田付けを行う。
は、制御部3が記憶部2に格納された情報に従い、XY
駆動部4及びレーザ駆動部7を制御し、作業者が予め設
定したレーザ照射ヘッド5の移動軌跡等に従い、予め設
定された強度のレーザビームで基板8上のレーザーリフ
ロー半田付けを行う。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザーリフロ
ー半田付け装置では、プリセット時の設定した一定のレ
ーザー照射ヘッドの速度およびレーザー照射強度にて全
リフローを行う。部品のリードをリフロー半田付けする
プリント基板上の実装パッドが一定幅にしてあるために
レーザービームにより各実装パッドに供給される熱量は
均一となる。しかし実装パッドの熱容量は接続される導
体パターンの有無そして幅及び予め塗布された半田量に
より異なる。そのためリフロー時の溶融半田温度は実装
パッド毎に異なることととなり、加熱の過不足が発生
し、その結果、熱損傷、半田未溶融等の半田付け品質に
関する問題が発生していた。
ー半田付け装置では、プリセット時の設定した一定のレ
ーザー照射ヘッドの速度およびレーザー照射強度にて全
リフローを行う。部品のリードをリフロー半田付けする
プリント基板上の実装パッドが一定幅にしてあるために
レーザービームにより各実装パッドに供給される熱量は
均一となる。しかし実装パッドの熱容量は接続される導
体パターンの有無そして幅及び予め塗布された半田量に
より異なる。そのためリフロー時の溶融半田温度は実装
パッド毎に異なることととなり、加熱の過不足が発生
し、その結果、熱損傷、半田未溶融等の半田付け品質に
関する問題が発生していた。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザーリフロ
ー装置は、対象物にレーザービームを照射するレーザー
照射ヘッドを前記対象物に対して相対的に移動させて前
記対象物上に予め塗布された半田をリフローするレーザ
ーリフロー装置において、前記レーザー照射ヘッドと共
に前記対象物に対して移動し前記対象物上の前記レーザ
ビームの照射点の移動直後の点の温度を測定する赤外線
温度センサーを備えている。
ー装置は、対象物にレーザービームを照射するレーザー
照射ヘッドを前記対象物に対して相対的に移動させて前
記対象物上に予め塗布された半田をリフローするレーザ
ーリフロー装置において、前記レーザー照射ヘッドと共
に前記対象物に対して移動し前記対象物上の前記レーザ
ビームの照射点の移動直後の点の温度を測定する赤外線
温度センサーを備えている。
【0008】本発明のレーザーリフロー方法は、対象物
上のレーザービームの照射点を移動させて前記対象物上
に予め塗布された半田をリフローするレーザーリフロー
方法において、試験用の対象物上に一定強度のレーザー
ビームの照射点を一定速度で軌跡を描かせて移動させる
と同時に前記試験用の対象物上の前記照射点の移動直後
の点の温度を測定することにより前記軌跡上の各点の前
記レーザービームの照射で上昇した温度を測定し、この
測定温度に基づいて前記軌跡上の各点ごとに目標温度ま
で加熱するように前記レーザビームの強度を調整し、こ
の後に前記試験用のものと同一種類の対象物に前記軌跡
点の各点ごとに調整後の強度の前記レーザービームによ
り前記照射点を前記一定の速度で移動させて前記軌跡を
描かせることを特徴とする。
上のレーザービームの照射点を移動させて前記対象物上
に予め塗布された半田をリフローするレーザーリフロー
方法において、試験用の対象物上に一定強度のレーザー
ビームの照射点を一定速度で軌跡を描かせて移動させる
と同時に前記試験用の対象物上の前記照射点の移動直後
の点の温度を測定することにより前記軌跡上の各点の前
記レーザービームの照射で上昇した温度を測定し、この
測定温度に基づいて前記軌跡上の各点ごとに目標温度ま
で加熱するように前記レーザビームの強度を調整し、こ
の後に前記試験用のものと同一種類の対象物に前記軌跡
点の各点ごとに調整後の強度の前記レーザービームによ
り前記照射点を前記一定の速度で移動させて前記軌跡を
描かせることを特徴とする。
【0009】または、上述の測定温度に基づいて前記軌
跡上の各点ごとに目標温度まで加熱するように前記照射
点の移動速度を調整し、この後に前記試験用のものと同
一種類の対象物に前記一定の強度の前記レーザービーム
の照射点を軌跡上の各点ごとに調整後の速度で移動させ
て前記軌跡を描かせることを特徴とする。
跡上の各点ごとに目標温度まで加熱するように前記照射
点の移動速度を調整し、この後に前記試験用のものと同
一種類の対象物に前記一定の強度の前記レーザービーム
の照射点を軌跡上の各点ごとに調整後の速度で移動させ
て前記軌跡を描かせることを特徴とする。
【0010】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【0011】図1は本発明の一実施例のブロック図であ
り、図2は本実施例のレーザ照射ヘッド5、赤外線温度
センサー9及び基板8を示す斜視図である。
り、図2は本実施例のレーザ照射ヘッド5、赤外線温度
センサー9及び基板8を示す斜視図である。
【0012】図2に示すようにプリント基板8には複数
の一定幅の実装パッド12が配列され、実装パッド12
の一部分のものには各種の導体パターン13が接続され
ている。プリント基板8の上側にレーザ照射ヘッド5及
び赤外線温度センサー9が並べて配置され、プリント基
板8のレーザ照射ヘッド5によるレーザービームの照射
点の直後(レーザ照射ヘッド5の移動における)の点の
温度を赤外線温度センサー9で計測する。このようにす
るため赤外線温度センサー9はレーザ照射ヘッド5を中
心として常にレーザ照射ヘッド5の進行方向の逆側に位
置するように旋回する。
の一定幅の実装パッド12が配列され、実装パッド12
の一部分のものには各種の導体パターン13が接続され
ている。プリント基板8の上側にレーザ照射ヘッド5及
び赤外線温度センサー9が並べて配置され、プリント基
板8のレーザ照射ヘッド5によるレーザービームの照射
点の直後(レーザ照射ヘッド5の移動における)の点の
温度を赤外線温度センサー9で計測する。このようにす
るため赤外線温度センサー9はレーザ照射ヘッド5を中
心として常にレーザ照射ヘッド5の進行方向の逆側に位
置するように旋回する。
【0013】図1において赤外線温度センサ9は温度測
定部10から電源を供給され、赤外線温度センサ9の出
力信号は温度測定部10で増幅されて制御部3に送られ
る。また赤外線温度センサ9は旋回駆動部11によりレ
ーザ照射ヘッド5の回りを旋回させられ、旋回駆動部1
1はXY駆動部4と供に制御部3により制御される。
定部10から電源を供給され、赤外線温度センサ9の出
力信号は温度測定部10で増幅されて制御部3に送られ
る。また赤外線温度センサ9は旋回駆動部11によりレ
ーザ照射ヘッド5の回りを旋回させられ、旋回駆動部1
1はXY駆動部4と供に制御部3により制御される。
【0014】本実施例ではレーザー照射ヘッド5からプ
リント基板8に照射されるレーザービームの強度を入出
力部1からの入力により予め設定しておくほか、レーザ
ーリフローの自動運転中にも制御部3からの指令により
随時変更することができる。
リント基板8に照射されるレーザービームの強度を入出
力部1からの入力により予め設定しておくほか、レーザ
ーリフローの自動運転中にも制御部3からの指令により
随時変更することができる。
【0015】本実施例ではプリセット時にリフロー時の
各実装パッドについての最適なレーザービームの強度を
設定するために、試験用のプリント基板8を用い、レー
ザービーム照射による各実装パッドの温度上昇を測定す
る。この測定は記憶部2に格納された情報に従い、自動
運転によるレーザーリフローを行うものでレーザービー
ムの照射点がプリント基板8上の実装パッドの列に沿っ
て軌跡を描くようにレーザー照射ヘッド5を一定速度で
移動させ、照射点が実装パッド上を通る間予め設定した
一定強度でレーザービームの照射を行い、その照射直後
の加熱された点の上昇した温度を赤外線温度センサ9で
測定し、各測定点のXY座標と供に測定した温度を記憶
部2に記憶させる。
各実装パッドについての最適なレーザービームの強度を
設定するために、試験用のプリント基板8を用い、レー
ザービーム照射による各実装パッドの温度上昇を測定す
る。この測定は記憶部2に格納された情報に従い、自動
運転によるレーザーリフローを行うものでレーザービー
ムの照射点がプリント基板8上の実装パッドの列に沿っ
て軌跡を描くようにレーザー照射ヘッド5を一定速度で
移動させ、照射点が実装パッド上を通る間予め設定した
一定強度でレーザービームの照射を行い、その照射直後
の加熱された点の上昇した温度を赤外線温度センサ9で
測定し、各測定点のXY座標と供に測定した温度を記憶
部2に記憶させる。
【0016】次に、測定結果の温度に基づき各実装パッ
ドの上昇温度が同一となるようにレーザービームの強度
を調整して設定する。例えば、測定温度が目標とする温
度範囲内であった実装パッドについては測定時に設定し
たものと同一の強度を設定し、目標、温度範囲外であっ
た実装パッドについては測定温度から目標温度を減算し
たものに比例定数を掛けた値を前の設定強度から減算し
たものを調整後のレーザービームの強度として設定す
る。このように設定したレーザービームの強度を記憶部
3に実装パッドのXY座標に対応ずけて格納する。
ドの上昇温度が同一となるようにレーザービームの強度
を調整して設定する。例えば、測定温度が目標とする温
度範囲内であった実装パッドについては測定時に設定し
たものと同一の強度を設定し、目標、温度範囲外であっ
た実装パッドについては測定温度から目標温度を減算し
たものに比例定数を掛けた値を前の設定強度から減算し
たものを調整後のレーザービームの強度として設定す
る。このように設定したレーザービームの強度を記憶部
3に実装パッドのXY座標に対応ずけて格納する。
【0017】以上のプリセットの後に記憶部2に格納さ
れた情報に従い自動運転によりレーザ照射ヘッド5を移
動させると共に実装パッドごとに設定した最適な強度の
レーザービームを照射して製品用のプリント基板8のレ
ーザーリフローを行う。
れた情報に従い自動運転によりレーザ照射ヘッド5を移
動させると共に実装パッドごとに設定した最適な強度の
レーザービームを照射して製品用のプリント基板8のレ
ーザーリフローを行う。
【0018】なお、上述のように1回のみの温度測定で
レーザービームの強度を決定せずに、図3に示すように
調整後のレーザービーム強度で前のものとは別の試験用
プリント基板を用いて再度、各実装パッドの上昇温度を
測定し、すべての実装パッドについて上昇温度が目標範
囲内となるまで、温度測定と強度調整を繰り返すように
してもよい。
レーザービームの強度を決定せずに、図3に示すように
調整後のレーザービーム強度で前のものとは別の試験用
プリント基板を用いて再度、各実装パッドの上昇温度を
測定し、すべての実装パッドについて上昇温度が目標範
囲内となるまで、温度測定と強度調整を繰り返すように
してもよい。
【0019】また、レーザービームの強度を調整する代
わりに実装パッドごとにレーザ照射ヘッド5の移動速度
を調整するようにしてもよい。すなわち、試験用プリン
ト基板での測定温度が高過ぎた実装パッドについてはレ
ーザ照射ヘッド5の移動をより高速にし、温度が低過ぎ
た実装パッドについては移動をより低速にする。
わりに実装パッドごとにレーザ照射ヘッド5の移動速度
を調整するようにしてもよい。すなわち、試験用プリン
ト基板での測定温度が高過ぎた実装パッドについてはレ
ーザ照射ヘッド5の移動をより高速にし、温度が低過ぎ
た実装パッドについては移動をより低速にする。
【0020】なお、本実施例では赤外線温度センサー9
がレーザー照射ヘッド5の回りを旋回するようにした
が、半田リフローを行うのにレーザー照射ヘッドが±X
方向及び±Y方向の4方向のみしか移動しない場合は、
レーザー照射ヘッドの周囲の±X方向及び±Y方向の4
箇所に4個の赤外線温度センサーを設けてレーザー照射
ヘッドの移動方向によりいずれかの赤外線温度センサー
を選択してレーザービーム照射点の移動直後の点の温度
を測るようにすれば、赤外線温度センサーを旋回させる
必要はない。
がレーザー照射ヘッド5の回りを旋回するようにした
が、半田リフローを行うのにレーザー照射ヘッドが±X
方向及び±Y方向の4方向のみしか移動しない場合は、
レーザー照射ヘッドの周囲の±X方向及び±Y方向の4
箇所に4個の赤外線温度センサーを設けてレーザー照射
ヘッドの移動方向によりいずれかの赤外線温度センサー
を選択してレーザービーム照射点の移動直後の点の温度
を測るようにすれば、赤外線温度センサーを旋回させる
必要はない。
【0021】また、赤外線温度センサー9により測定し
た温度に基づき、調整したレーザービームの強度又はレ
ーザー照射ヘッド5の移動速度を測定するのは所定のプ
ログラムに従って制御部3で機械的に算出するようにも
できるし、測定結果を入出力部1に表示し、人がこれを
見て調整後の値を決定し、その調整後の値を入出力部1
から入力して記憶部2に格納するように人が介在するよ
うにしてもよい。
た温度に基づき、調整したレーザービームの強度又はレ
ーザー照射ヘッド5の移動速度を測定するのは所定のプ
ログラムに従って制御部3で機械的に算出するようにも
できるし、測定結果を入出力部1に表示し、人がこれを
見て調整後の値を決定し、その調整後の値を入出力部1
から入力して記憶部2に格納するように人が介在するよ
うにしてもよい。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように本発明のレーザーリ
フロー装置及び方法は、レーザーリフローにおいて、熱
容量の異なる半田付けポイント(対象物のレーザービー
ム照射点の移動軌跡上の各点)全てを同一の温度条件で
半田リフローが行える為、加熱の加不足による熱損傷、
半田未溶融のない良好な半田付けが可能であり、信頼性
を保証する上で極めて有効な効果を発揮する。
フロー装置及び方法は、レーザーリフローにおいて、熱
容量の異なる半田付けポイント(対象物のレーザービー
ム照射点の移動軌跡上の各点)全てを同一の温度条件で
半田リフローが行える為、加熱の加不足による熱損傷、
半田未溶融のない良好な半田付けが可能であり、信頼性
を保証する上で極めて有効な効果を発揮する。
【図1】本発明の一実施例のブロック図である。
【図2】図1に示すレーザー照射ヘッド5、赤外線温度
センサー9及びプリント基板8の関係を示す斜視図であ
る。
センサー9及びプリント基板8の関係を示す斜視図であ
る。
【図3】図1の実施例において赤外線温度センサー9に
よる温度測定を繰り返す場合の手順を示す流れ図であ
る。
よる温度測定を繰り返す場合の手順を示す流れ図であ
る。
【図4】従来のレーザーリフロー半田付け装置のブロッ
ク図である。
ク図である。
1 入出力 2 記憶部 3 制御部 4 XY駆動部 5 レーザー照射ヘッド 6 レーザー装置 7 レーザー駆動部 8 プリント基板 9 赤外線温度センサー 10 温度測定部 11 旋回駆動部 12 パッド 13 パターン
Claims (3)
- 【請求項1】 対象物にレーザービームを照射するレー
ザー照射ヘッドを前記対象物に対して相対的に移動させ
て前記対象物上に予め塗布された半田をリフローするレ
ーザーリフロー装置において、 前記レーザー照射ヘッドと共に前記対象物に対して移動
し前記対象物上の前記レーザビームの照射点の移動直後
の点の温度を測定する赤外線温度センサーを備えたこと
を特徴とするレーザーリフロー装置。 - 【請求項2】対象物上のレーザービームの照射点を移動
させて前記対象物上に予め塗布された半田をリフローす
るレーザーリフロー方法において、 試験用の対象物上に一定強度のレーザービームの照射点
を一定速度で軌跡を描かせて移動させると同時に前記試
験用の対象物上の前記照射点の移動直後の点の温度を測
定することにより前記軌跡上の各点の前記レーザービー
ムの照射で上昇した温度を測定し、この測定温度に基づ
いて前記軌跡上の各点ごとに目標温度まで加熱するよう
に前記レーザビームの強度を調整し、 この後に前記試験用のものと同一種類の対象物に前記軌
跡点の各点ごとに調整後の強度の前記レーザービームに
より前記照射点を前記一定の速度で移動させて前記軌跡
を描かせることを特徴とするレーザーリフロー方法。 - 【請求項3】 対象物上のレーザービームの照射点を移
動させて前記対象物上に予め塗布された半田をリフロー
するレーザーリフロー方法において、 試験用の対象物上に一定の強度のレーザービームの照射
点を一定の速度で軌跡を描かせて移動させると同時に前
記試験用の対象物上の前記照射点の移動直後の点の温度
を測定することにより前記軌跡上の各点の前記レーザー
ビーム照射により上昇した温度を測定しこの測定温度に
基づいて前記軌跡上の各点ごとに目標温度まで加熱する
ように前記照射点の移動速度を調整し、 この後に前記試験用のものと同一種類の対象物に前記一
定の強度の前記レーザービームの照射点を軌跡上の各点
ごとに調整後の速度で移動させて前記軌跡を描かせるこ
とを特徴とするレーザーリフロー方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16914094A JPH0832226A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | レーザーリフロー装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16914094A JPH0832226A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | レーザーリフロー装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0832226A true JPH0832226A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15881033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16914094A Pending JPH0832226A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | レーザーリフロー装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0832226A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008177307A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Toyota Motor Corp | 半導体素子の配線接合方法 |
| JP2011003630A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ照射装置、及びレーザ照射方法 |
| JP2013248651A (ja) * | 2012-06-01 | 2013-12-12 | Fujikura Ltd | 接合方法、接合装置、制御装置、およびプログラム |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6487713A (en) * | 1987-09-29 | 1989-03-31 | Toshiba Corp | Laser control equipment |
| JPH0444390A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ半田付け方法とその装置 |
| JPH0455079A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-02-21 | Toshiba F Ee Syst Eng Kk | レーザ加工装置 |
| JPH04140650A (ja) * | 1990-10-01 | 1992-05-14 | Toshiba Corp | プリント板検査装置 |
| JPH0555740A (ja) * | 1991-07-05 | 1993-03-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品半田付け方法および装置 |
| JPH06196852A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ接合方法 |
-
1994
- 1994-07-21 JP JP16914094A patent/JPH0832226A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6487713A (en) * | 1987-09-29 | 1989-03-31 | Toshiba Corp | Laser control equipment |
| JPH0444390A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ半田付け方法とその装置 |
| JPH0455079A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-02-21 | Toshiba F Ee Syst Eng Kk | レーザ加工装置 |
| JPH04140650A (ja) * | 1990-10-01 | 1992-05-14 | Toshiba Corp | プリント板検査装置 |
| JPH0555740A (ja) * | 1991-07-05 | 1993-03-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品半田付け方法および装置 |
| JPH06196852A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ接合方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008177307A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Toyota Motor Corp | 半導体素子の配線接合方法 |
| JP2011003630A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ照射装置、及びレーザ照射方法 |
| JP2013248651A (ja) * | 2012-06-01 | 2013-12-12 | Fujikura Ltd | 接合方法、接合装置、制御装置、およびプログラム |
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