JPH08323509A - 窒化珪素質切削工具およびその製造方法 - Google Patents

窒化珪素質切削工具およびその製造方法

Info

Publication number
JPH08323509A
JPH08323509A JP7133549A JP13354995A JPH08323509A JP H08323509 A JPH08323509 A JP H08323509A JP 7133549 A JP7133549 A JP 7133549A JP 13354995 A JP13354995 A JP 13354995A JP H08323509 A JPH08323509 A JP H08323509A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon nitride
cutting
sio
rare earth
cutting tool
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7133549A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3588162B2 (ja
Inventor
Masahiro Sato
政宏 佐藤
Yukiyasu Aoyama
幸保 青山
Nobuoki Takagi
信興 高木
Shoji Kosaka
祥二 高坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP13354995A priority Critical patent/JP3588162B2/ja
Priority to US08/655,388 priority patent/US5668069A/en
Publication of JPH08323509A publication Critical patent/JPH08323509A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3588162B2 publication Critical patent/JP3588162B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/593Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering
    • C04B35/5935Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering obtained by gas pressure sintering
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00Cutters, for shaping
    • Y10T407/27Cutters, for shaping comprising tool of specific chemical composition

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】窒化珪素粉末と、助剤成分として、希土類酸化
物、アルミニウム化合物および酸化珪素を合計で5〜2
5モル%含み、前記希土類酸化物(RE2 3 )と前記
酸化珪素(SiO2 )とのSiO2 /RE2 3 で表さ
れるモル比が2〜5の組成からなる混合物を切削工具形
状に成形した後、この成形体を少なくとも窒素ガス及び
SiOガスを含む雰囲気中で1700〜2000℃の範
囲で焼結して、場合によっては切削面を研磨し、少なく
とも切削面が焼き放し面あるいは焼き放し面を10μm
以下研磨除去した面から構成されるともに、該切削面の
鏡面におけるマイクロヴィッカース硬度が内部よりも高
く、且つ16GPa以上の窒化珪素質切削工具を得る。 【効果】切削面の加工が容易にできるために加工コスト
を低減できるとともに、高硬度層を有するために鋳鉄の
切削に適した長寿命の工具を提供できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、鋳鉄を切削するに適し
た窒化珪素質焼結体からなる安価な切削工具とその製造
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、窒化珪素質焼結体は、耐熱
性、耐熱衝撃性および耐酸化性に優れることからエンジ
ニアリングセラミックス、特にタ−ボロ−タ−等の熱機
関用として応用が進められている。またその高い靭性と
耐磨耗性から切削工具への応用も進められている。
【0003】近時、高密度で高強度の焼結体を切削工具
への応用することが特開昭55−32785号、特開昭
56−73670にて提案されている。
【0004】このような窒化珪素質焼結体は、通常、焼
結助剤としてY2 3 などの希土類酸化物や、Al2
3 、AlNなどのアルミニウム化合物を添加し、窒素を
含む非酸化性雰囲気中で焼成することにより得られてい
る。
【0005】ところが、窒化珪素質焼結体は、高温で焼
成すると窒化珪素が分解しやすくなるため焼結体の表面
が荒れるという問題がある。このような窒化珪素の分解
抑制のためには、従来より窒素ガスにより加圧した雰囲
気で焼成することが提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、窒素
雰囲気中で焼成したとしても、表面の荒れを完全に抑制
することができないという問題があった。従って、この
ような焼結体を切削工具に使用する場合には、その焼き
放し面から100μm以上を研磨除去して鏡面加工して
使用する必要があった。また、切削工具の形状も非常に
複雑になり表面を研磨加工するのに非常に時間を要し、
そのために加工コストが高くなり製造コストを高める大
きな要因になっていた。
【0007】また、一般に製造される窒化珪素質焼結体
は、鏡面におけるビッカース硬度はせいぜい15MPa
程度であり、切削工具としては、さらなる高硬度、高強
度化が望まれていた。
【0008】従って、本発明の目的は、切削工具を作製
する場合の加工を簡略してコストを大幅に低減できると
ともに、鋳鉄などの切削特性に優れた窒化珪素質焼結体
およびその製造方法を提供するにある。
【0009】
【問題点を解決するための手段】本発明者らは、まず、
第1に、加工を簡略化するためには、焼き放し面におけ
る機械的特性を向上させるとともに、焼き放し面の荒れ
を極力低減することが重要であるという見地に基づき検
討を重ねた結果、焼結助剤として、希土類酸化物、アル
ミニウム化合物および酸化珪素を用い、これを焼成する
際に窒素ガスとSiOガスを含む雰囲気中で焼成するこ
とにより焼結性が向上すると同時に表面の荒れが低減さ
れること、また、希土類酸化物と酸化珪素とを特定の組
成範囲に制御することにより、焼結後の表層部に焼結体
の内部より硬度の高い硬化層が形成されることを見いだ
し本発明に至った。
【0010】即ち、本発明の窒化珪素質切削工具は、β
−窒化珪素結晶相を主体とし、希土類元素、珪素、アル
ミニウム、酸素および窒素からなる粒界相を含む窒化珪
素質焼結体において、少なくとも切削面が焼き放し面あ
るいは焼き放し面を10μm以下研磨除去した面から構
成されるともに、該切削面の鏡面におけるマイクロヴィ
ッカース硬度が内部よりも高く、且つ16GPa以上で
あることを特徴とするものであり、かかる切削工具を作
製する方法として、窒化珪素粉末と、助剤成分として、
希土類酸化物、アルミニウム化合物および酸化珪素を合
計で5〜25モル%含み、前記希土類酸化物(RE2
3 )と前記酸化珪素(SiO2 )とのSiO2 /RE2
3 で表されるモル比が2〜5の組成からなる混合物を
工具形状に成形した後、この成形体を少なくとも窒素ガ
ス及びSiOガスを含む雰囲気中で1700〜2000
℃の範囲で焼結させることを特徴とするものである。
【0011】以下、本発明を詳述する。本発明の窒化珪
素質切削工具は、窒化珪素質焼結体からなるものであ
り、この焼結体は、β−窒化珪素結晶相を主相とし、希
土類元素、珪素、アルミニウム、酸素および窒素から構
成される粒界相を含有する。本発明によれば、焼結体の
少なくとも切削面が、焼き放し面であるか、または焼き
放し面から10μm以下研磨加工した面である。つま
り、焼き放し面においても荒れのない良好な表面を有す
るもので、研磨加工する場合も、せいぜい10μm研磨
することで良好な表面を形成することができるのであ
る。
【0012】しかも、本発明における切削工具は、表層
部に内部よりも硬度が高い高硬度層を有するものであ
る。その高硬度層は切削面の硬度がマイクロビッカース
硬度測定で16GPa以上の高い硬度を有するものであ
る。このように、表層部において高い硬度を有すること
により鋳鉄等に対して高い切削性能が発揮される。よっ
て、この硬度が16GPaより低いと優れた切削性能が
発揮されなくなる。なお、焼結体内部の硬度は15GP
a以上であることが望ましい。
【0013】また、この切削工具を構成する窒化珪素質
焼結体中には、窒化珪素以外に、希土類元素、Alおよ
び酸素を含むものであるが、これらは、希土類元素の酸
化物換算量、Alの酸化物換算量および不純物的酸素の
SiO2 換算量の合計で5〜25モル%、特に8〜20
モル%含有される。より具体的には、希土類元素が酸化
物換算で1〜10モル%、AlがAl2 3 換算で1〜
10モル%の割合、不純物的酸素はSiO2 換算で3〜
20モル%の割合で含有される。なお、不純物的酸素と
は、焼結体中の全酸素量から、希土類元素の酸化物、A
lの酸化物として結合する酸素量を除いた残りの酸素量
である。本発明では、この残りの酸素量のSiO2 換算
量と、希土類元素(RE)のRE2 3 換算量とのSi
2 /RE2 3 で表されるモル比が2〜5、特に2.
3〜4となる量で含有される。
【0014】なお、本発明に用いられる希土類元素とし
ては、Y、Er、Yb,Lu等が挙げられるが、これら
の中でも安価な点からYが望ましい。
【0015】次に、本発明の窒化珪素質切削工具を製造
する方法について説明する。まず、原料粉末として窒化
珪素粉末を準備する。窒化珪素粉末はα−Si3 4
好ましくは80%以上のα−Si3 4 を含有する窒化
珪素粉末を用いる。それらの粒径は0.4〜1.2μm
が好ましい。そして、この窒化珪素粉末に対して、添加
成分として希土類酸化物粉末、酸化珪素、Al2 3
AlNなどのAl化合物粉末を準備する。これらの成分
は、合量で5〜25モル%、特に8〜20モル%が含有
される。このときの酸化珪素としては、酸化珪素粉末と
して添加されたもの以外に、窒化珪素原料中に不可避的
に含まれる酸素をSiO2 換算したものも含まれる。
【0016】これら添加成分は、具体的には、希土類酸
化物を1〜10モル%、Al化合物をAl2 3 換算で
1〜10モル%の割合、酸化珪素を3〜20モル%の割
合で添加含有される。
【0017】また、本発明によれば、希土類酸化物(R
2 3 )と酸化珪素(SiO2 )とのSiO2 /RE
2 3 で表されるモル比が2〜5、特に、2.3〜4の
割合からなるように調合する。この比率を限定するの
は、2以上では焼結が進行するとともに耐酸化性も向上
するためで、5より大きいと表層部の分解が進行しボイ
ドが生成し硬度が低下するためである。
【0018】上述したような組成に調製された混合物を
所定の切削工具形状に成形した後、焼成する。成形方法
としては、例えば、プレス成形、鋳込み成形、押出し成
形、射出成形、冷間静水圧成形などが挙げられる。な
お、成形と焼成は、ホットプレス法のように同時に行う
ことも当然できる。
【0019】本発明によれば、焼成に際して、雰囲気中
に窒素ガスとSiOガスを存在させて、1700〜20
00℃、特に1750〜1850℃の温度で焼成する。
この時、雰囲気中にSiOガスが存在しないと表層部の
分解を完全に抑制できず、しかも窒素雰囲気のみでは窒
化珪素の分解を完全に抑制できず、そのため切削工具に
供与する場合、焼き放し面を10μmを越えて研磨する
必要がある。また、雰囲気がSiOガスのみで窒素が含
まれないと、上記の焼成温度で窒化珪素が分解し表面の
荒れを生じてしまう。
【0020】この雰囲気は、焼成炉内に窒素ガスを導入
するとともに、焼成炉内に成形体とともに、SiO2
末や、Si粉末とSiO2 粉末との混合粉末を成形体の
体積に応じて配置すればよい。
【0021】焼成温度を上記の範囲に限定したのは、2
000℃を越える温度では表層部の分解をおさえきれ
ず、また1700℃より低いと焼結が十分に進行せず、
緻密な焼結体が得られないためである。
【0022】焼成方法としては、例えば、ホットプレス
法、常圧焼成法、窒素ガス圧力焼成法、さらには、これ
らの焼成後に熱間静水圧焼成(HIP)や、前記の成形
体をガラスシ−ルしてHIP焼成等で焼成すればよい。
【0023】また、本発明における窒化珪素質焼結体中
には、上記の成分に加え、Ti、Ta、V、W、Moな
どの周期律表第4a、5a、6a族金属や、それらの炭
化物、窒化物、珪化物、あるいはSiCなどを分散粒子
やウィスカ−として焼結体中に分散させて特性の改善を
行うことも可能である。
【0024】このようにして得られた切削工具は、切削
面となるすくい面および逃げ面が焼き放し面の状態のま
まで使用できる他、研磨する場合においても10μm以
下の研磨で工具として使用することができる。仮に、研
磨を行う場合でもサンドブラスト等によっても安価に加
工することができる。
【0025】
【作用】本発明の切削工具によれば、前述したように、
窒化珪素に対する添加成分、特にを制御し、希土類酸化
物(RE2 3 )と前記酸化珪素(SiO2 )とのSi
2 /RE2 3 モル比を2〜5に制御し、これを窒素
ガスおよびSiOガスを含む雰囲気中で焼成することに
より、1700〜2000℃の比較的低温でしかも短時
間での焼成で緻密化することができると同時に、成形体
中の成分の分解を抑え焼き放し面でのボイドを発生を低
減することができる。また、焼結体の耐酸化性を向上し
切削特性を高めることができる。
【0026】また、上記のように焼結体組成と、焼成時
の雰囲気中にSiOガスを含有させたことにより、表層
部に内部よりも高硬度なマイクロビッカース硬度で16
GPa以上の高硬度層を形成することができる。
【0027】その結果、焼き放し面が良好で、切削面の
研磨加工も10μm以下の研磨量でボイドのない高緻密
質な表面を形成できる。そのために、従来のような加工
によるコストの低減を図ることができる。
【0028】また、本発明の切削工具は、その表層部が
内部よりも高硬度で16GPa以上の硬度を有するため
に耐摩耗性に優れ、特に鋳鉄の切削において優れた切削
特性と切削寿命の長寿命化を図ることができる。
【0029】
【実施例】
実施例1 窒化珪素粉末(BET比表面積9m2 /g、α率98
%、酸素量1.2重量%)と各種の希土類酸化物粉末と
酸化珪素粉末、酸化アルミニウム粉末を用いて、表1に
示す組成になるように調合後、1t/cm2 で工具形状
SNMN120412に金型成形した。
【0030】そして、窒化珪素質の匣鉢内に、成形体と
ともにSi粉末とSiO2 粉末とをモル比1/1で成形
体重量の10%程度の量を配置し、常圧窒素気流中で表
1に示す条件で焼成した。
【0031】得られたサンプルをサンドブラストにより
焼き放し面から表1に示す研磨量で研磨した後、下記の
条件で切削試験を行い、刃先のフランク摩耗が0.2m
mになるまで、あるいは欠損を生じるまでの時間で切削
性能を評価し表2に示した。また切削面の表面をダイヤ
モンドペーストで鏡面加工し、その鏡面に対してJIS
B7725に基づき、200gのダイヤモンド圧子を鏡
面に垂直に当てて圧痕を10箇所付け、この圧痕の形状
からマイクロヴィッカース硬度を算出しその平均を表2
に示した。
【0032】(切削試験条件) 被削材 FC−25 切削速度 400m/min 送り 0.2mm/rev 切り込み 2.0mm
【0033】
【表1】
【0034】
【表2】
【0035】表1および表2の結果によると、SiO2
/RE2 3 モル比が2未満もしくは5を越える試料N
o.8,9、さらにアルミナを含まない試料No.20は表
層部の硬度が低下した。また、焼成温度が1700℃未
満、2000℃を越える試料No.18、19も表層部の
硬度が低下しており、いずれも切削性能が低下した。こ
れらの比較例に対して、その他の本発明に基づく試料
は、いずれも表層部に16GPa以上の高硬度層が形成
され、また鋳鉄に対する切削性能に優れていた。
【0036】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
1700〜2000℃の比較的低温でしかも短時間での
焼成で緻密化することができると同時に、成形体中の成
分の分解を抑え焼き放し面でのボイドを発生を低減し良
好な焼き放し面を形成できる。また、焼結体の耐酸化性
を向上し切削特性を高めることができ、切削面の研磨加
工も10μm以下の研磨量でボイドのない高緻密質な表
面を形成できる。そのために、加工によるコストの低減
を図ることができる。
【0037】また、本発明の切削工具は、その表層部が
内部よりも高硬度で16GPa以上の硬度を有するため
に耐摩耗性に優れ、特に鋳鉄の切削において優れた切削
特性と切削寿命の長寿命化を図ることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高坂 祥二 鹿児島県国分市山下町1番4号 京セラ株 式会社総合研究所内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】β−窒化珪素結晶相を主体とし、希土類元
    素、珪素、アルミニウム、酸素および窒素からなる粒界
    相を含む窒化珪素質焼結体において、少なくとも切削面
    が焼き放し面あるいは焼き放し面を10μm以下研磨除
    去した面から構成されるともに、該切削面の鏡面におけ
    るマイクロヴィッカース硬度が内部よりも高く、且つ1
    6GPa以上であることを特徴とする窒化珪素質切削工
    具。
  2. 【請求項2】窒化珪素粉末と、助剤成分として、希土類
    酸化物、アルミニウム化合物および酸化珪素を合計で5
    〜25モル%含み、前記希土類酸化物(RE23 )と
    前記酸化珪素(SiO2 )とのSiO2 /RE2 3
    表されるモル比が2〜5の組成からなる混合物を切削工
    具形状に成形した後、この成形体を少なくとも窒素ガス
    及びSiOガスを含む雰囲気中で1700〜2000℃
    で焼成することを特徴とする窒化珪素質切削工具の製造
    方法。
JP13354995A 1995-05-31 1995-05-31 窒化珪素質切削工具およびその製造方法 Expired - Fee Related JP3588162B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13354995A JP3588162B2 (ja) 1995-05-31 1995-05-31 窒化珪素質切削工具およびその製造方法
US08/655,388 US5668069A (en) 1995-05-31 1996-05-30 Cutting tool composed of silicon nitride

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13354995A JP3588162B2 (ja) 1995-05-31 1995-05-31 窒化珪素質切削工具およびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08323509A true JPH08323509A (ja) 1996-12-10
JP3588162B2 JP3588162B2 (ja) 2004-11-10

Family

ID=15107418

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13354995A Expired - Fee Related JP3588162B2 (ja) 1995-05-31 1995-05-31 窒化珪素質切削工具およびその製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5668069A (ja)
JP (1) JP3588162B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008114752A1 (ja) 2007-03-22 2008-09-25 Ngk Spark Plug Co., Ltd. インサート及び切削工具

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19519864B4 (de) * 1994-05-31 2006-11-23 Kyocera Corp. Siliciumnitridsinterprodukt und Verfahren zu seiner Herstellung
SE513938C2 (sv) * 1996-07-19 2000-11-27 Sandvik Ab Skärverktygsmaterial av kiselnitrid
US5810849A (en) * 1997-06-09 1998-09-22 Cardiologics, L.L.C. Device and method for suturing blood vessels and the like
US6610113B1 (en) 1999-09-09 2003-08-26 Kennametal Pc Inc. Process for heat treating ceramics and articles of manufacture made thereby
JP2001163674A (ja) * 1999-11-15 2001-06-19 Ngk Insulators Ltd 窒化珪素焼結体およびその製造方法
US20080196319A1 (en) * 2007-02-20 2008-08-21 Advanced Ceramic Manufacturing, Llc Ceramic round tools for the machining of composite materials

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4881950A (en) * 1986-05-30 1989-11-21 Gte Valenite Corporation Silicon nitride cutting tool
DE4102628A1 (de) * 1991-01-30 1992-08-06 Bayer Ag Verfahren zur herstellung eines werkstoffes auf si(pfeil abwaerts)3(pfeil abwaerts)n(pfeil abwaerts)4(pfeil abwaerts)-basis, so hergestellte werkstoffe sowie deren verwendung
EP0499861B1 (en) * 1991-02-15 1996-01-17 Sumitomo Electric Industries, Limited Tool of silicon nitride sintered body
US5316586A (en) * 1992-06-26 1994-05-31 California Institute Of Technology Silicon sample holder for molecular beam epitaxy on pre-fabricated integrated circuits
US5382273A (en) * 1993-01-15 1995-01-17 Kennametal Inc. Silicon nitride ceramic and cutting tool made thereof
US5432132A (en) * 1994-05-25 1995-07-11 The Electrofuel Manufacturing Co. Silicon nitride based cutting tool insert

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008114752A1 (ja) 2007-03-22 2008-09-25 Ngk Spark Plug Co., Ltd. インサート及び切削工具
US8492300B2 (en) 2007-03-22 2013-07-23 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Insert and cutting tool

Also Published As

Publication number Publication date
US5668069A (en) 1997-09-16
JP3588162B2 (ja) 2004-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100417967B1 (ko) 내마모성 부재와 그 제조방법
JP2719941B2 (ja) 窒化珪素焼結体
JPH0680470A (ja) 窒化ケイ素焼結体の製造方法
JP5362758B2 (ja) 耐摩耗性部材
JP2829229B2 (ja) 窒化ケイ素系セラミックス焼結体
JP3588162B2 (ja) 窒化珪素質切削工具およびその製造方法
JP2855243B2 (ja) 耐摩耗性の優れた窒化珪素質焼結体
JPH0777986B2 (ja) 炭化珪素質焼結体の製法
JP2507480B2 (ja) SiC−Al▲下2▼O▲下3▼複合焼結体及びその製造法
JPH11217258A (ja) アルミナ基セラミックス焼結体とその製造方法
JP3145470B2 (ja) 炭化タングステン−アルミナ質焼結体およびその製法
JPH10279360A (ja) 窒化珪素質構造部品およびその製造方法
JP3426823B2 (ja) 窒化珪素質焼結体およびその製造方法
JPH06329470A (ja) 窒化ケイ素基焼結体およびその被覆焼結体
JP3124865B2 (ja) 窒化珪素質焼結体及びその製造方法
JP2604155B2 (ja) 被覆層を有するセラミックス工具
JP2980342B2 (ja) セラミックス焼結体
JP2851721B2 (ja) 切削工具用窒化珪素質焼結体
JPH1029869A (ja) 窒化珪素/炭化珪素複合焼結体及びその製造方法
JP2771335B2 (ja) 切削工具用窒化珪素質焼結体
JPH07267738A (ja) 耐摩耗性窒化珪素質焼結体及びその製造方法
JP3318466B2 (ja) 窒化珪素質焼結体およびその製造方法
JPH06219837A (ja) 窒化珪素セラミックス焼結体およびその製造方法
JP2665755B2 (ja) β−サイアロン質複合セラミックスの製造方法
JP2592267B2 (ja) 炭化珪素ウィスカー強化サイアロン

Legal Events

Date Code Title Description
A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040812

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080820

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080820

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090820

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090820

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100820

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100820

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110820

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120820

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130820

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees