JPH08328020A - 液晶表示素子製造方法およびその装置 - Google Patents
液晶表示素子製造方法およびその装置Info
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- JPH08328020A JPH08328020A JP13144095A JP13144095A JPH08328020A JP H08328020 A JPH08328020 A JP H08328020A JP 13144095 A JP13144095 A JP 13144095A JP 13144095 A JP13144095 A JP 13144095A JP H08328020 A JPH08328020 A JP H08328020A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高品位な液晶表示素子を製造する。
【構成】 予めラビング処理した基板1の絶縁層12を
正に帯電させ、内部電極24を接地する。この状態にし
た基板1に対して、正に帯電させたギャップ剤20をノ
ズル40から散布すると、画素領域32からギャップ剤
20が静電力によりはじき飛ばされ、電位が低い遮光領
域34のみにギャップ剤20が付着する。さらに、遮光
領域34に付着したギャップ剤20を固定し、画素領域
32に充填される液晶の厚さを保つスペーサを形成す
る。
正に帯電させ、内部電極24を接地する。この状態にし
た基板1に対して、正に帯電させたギャップ剤20をノ
ズル40から散布すると、画素領域32からギャップ剤
20が静電力によりはじき飛ばされ、電位が低い遮光領
域34のみにギャップ剤20が付着する。さらに、遮光
領域34に付着したギャップ剤20を固定し、画素領域
32に充填される液晶の厚さを保つスペーサを形成す
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、誘電体基板の遮光領域
に配線用の内部電極を有する液晶表示素子を製造する液
晶表示素子製造方法およびその装置に関する。
に配線用の内部電極を有する液晶表示素子を製造する液
晶表示素子製造方法およびその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】所定の表示装置に画像を表示し、投影用
光線を通過させてスクリーン等に投影する画像投影装置
(プロジェクター)が盛んに用いられている。このよう
なプロジェクターの表示装置には、液晶表示素子が用い
られることが多い。一般に、液晶表示素子は、2枚の基
板間に数μmの間隔をもたせて張り合わせ、この間隔に
液晶を充填して製造される。2枚の基板間の間隔は、液
晶の材質に応じて調整する必要がある。この必要を満た
すために、従来から、例えば特開昭63−287824
号公報、特開昭63−285517号公報あるいは特開
平2−110432号公報に開示された、2枚の基板間
のスペーサとして粒状の誘電体(ギャップ剤)を用いる
方法が知られている。
光線を通過させてスクリーン等に投影する画像投影装置
(プロジェクター)が盛んに用いられている。このよう
なプロジェクターの表示装置には、液晶表示素子が用い
られることが多い。一般に、液晶表示素子は、2枚の基
板間に数μmの間隔をもたせて張り合わせ、この間隔に
液晶を充填して製造される。2枚の基板間の間隔は、液
晶の材質に応じて調整する必要がある。この必要を満た
すために、従来から、例えば特開昭63−287824
号公報、特開昭63−285517号公報あるいは特開
平2−110432号公報に開示された、2枚の基板間
のスペーサとして粒状の誘電体(ギャップ剤)を用いる
方法が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開昭63−287824号公報に開示された方法による
と、TFT等を配設した基板の遮光領域(ブラックマト
リクス)だけでなく、液晶が存在する画素領域にもギャ
ップ剤が散布され、固定されるので、画素領域の内、ギ
ャップ剤が付着した部分が常に投影用光線を通過させる
状態、あるいは、常に投影用光線を遮断する状態となっ
てしまう。従って、投影される画面全体が白っぽい場合
には、常に投影用光線を遮断する状態になった部分が白
い点(輝点)として目立ち、逆に、投影される画面全体
が黒っぽい場合には、常に投影用光線を通過させる状態
になった部分が黒い点(滅点)として目立ってしまう。
この問題は、特開昭63−285517号公報に開示さ
れた方法によっても完全には解決できない。
開昭63−287824号公報に開示された方法による
と、TFT等を配設した基板の遮光領域(ブラックマト
リクス)だけでなく、液晶が存在する画素領域にもギャ
ップ剤が散布され、固定されるので、画素領域の内、ギ
ャップ剤が付着した部分が常に投影用光線を通過させる
状態、あるいは、常に投影用光線を遮断する状態となっ
てしまう。従って、投影される画面全体が白っぽい場合
には、常に投影用光線を遮断する状態になった部分が白
い点(輝点)として目立ち、逆に、投影される画面全体
が黒っぽい場合には、常に投影用光線を通過させる状態
になった部分が黒い点(滅点)として目立ってしまう。
この問題は、特開昭63−285517号公報に開示さ
れた方法によっても完全には解決できない。
【0004】また、上記特開平2−110432号公報
に開示された方法によると、ギャップ剤を固定した後で
なければTFT等を配設した基板をラビング処理できな
い。従来のような低精細の液晶表示素子においては、ギ
ャップ剤の境界付近をラビング処理できないことになっ
ても液晶の配向状態に大きな影響を与えることはなかっ
た。しかし、現在盛んに用いられている高精細の液晶表
示素子に対するラビング処理の方向は45°であり、こ
の方向にラビング処理を行った場合には、固定されたギ
ャップ剤が液晶の配向状態に大きな影響を与え、投影さ
れた画像の画質に著しい劣化を与えることになる。
に開示された方法によると、ギャップ剤を固定した後で
なければTFT等を配設した基板をラビング処理できな
い。従来のような低精細の液晶表示素子においては、ギ
ャップ剤の境界付近をラビング処理できないことになっ
ても液晶の配向状態に大きな影響を与えることはなかっ
た。しかし、現在盛んに用いられている高精細の液晶表
示素子に対するラビング処理の方向は45°であり、こ
の方向にラビング処理を行った場合には、固定されたギ
ャップ剤が液晶の配向状態に大きな影響を与え、投影さ
れた画像の画質に著しい劣化を与えることになる。
【0005】本発明は、上述した従来技術の問題点に鑑
みてなされたものであり、TFT等を配設した基板の遮
光領域のみにギャップ剤を固定することができ、画素領
域にギャップ剤が固定されることがない液晶表示素子製
造方法およびその装置を提供することを目的とする。ま
た、本発明は、画素領域に固定されるギャップ剤をなく
すことにより、投影した画像の画質を向上させることが
できる液晶表示素子製造方法およびその装置を提供する
ことを目的とする。
みてなされたものであり、TFT等を配設した基板の遮
光領域のみにギャップ剤を固定することができ、画素領
域にギャップ剤が固定されることがない液晶表示素子製
造方法およびその装置を提供することを目的とする。ま
た、本発明は、画素領域に固定されるギャップ剤をなく
すことにより、投影した画像の画質を向上させることが
できる液晶表示素子製造方法およびその装置を提供する
ことを目的とする。
【0006】また、本発明は、ギャップ剤を固定する前
にTFT等を配設した基板をラビング処理することがで
き、高精細の液晶表示素子の液晶の配向状態に与える影
響を最小限とすることができ、高品位の画質を得ること
ができる液晶表示素子製造方法およびその装置を提供す
ることを目的とする。
にTFT等を配設した基板をラビング処理することがで
き、高精細の液晶表示素子の液晶の配向状態に与える影
響を最小限とすることができ、高品位の画質を得ること
ができる液晶表示素子製造方法およびその装置を提供す
ることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る液晶表示素子製造方法は、液晶表示素
子の誘電体基板の遮光領域と前記遮光領域以外の領域と
の間に電位差を与え、所定の大きさの粒状誘電体を、前
記遮光領域に集まるように帯電させて散布し、前記遮光
領域の表面に前記粒状誘電体を付着させ、液晶表示素子
の液晶の厚さに応じたスペーサを形成する。
に、本発明に係る液晶表示素子製造方法は、液晶表示素
子の誘電体基板の遮光領域と前記遮光領域以外の領域と
の間に電位差を与え、所定の大きさの粒状誘電体を、前
記遮光領域に集まるように帯電させて散布し、前記遮光
領域の表面に前記粒状誘電体を付着させ、液晶表示素子
の液晶の厚さに応じたスペーサを形成する。
【0008】好適には、 前記誘電体基板の遮光領域に
は、前記誘電体基板の表面と絶縁された内部電極が配設
され、前記誘電体基板を所定の極性に帯電させて前記内
部電極を接地し、前記誘電体基板の遮光領域と前記遮光
領域以外の領域との間に電位差を与え、所定の大きさの
粒状誘電体を前記所定の極性に帯電させて前記誘電体基
板の表面に散布し、前記誘電体基板の遮光領域に付着し
た前記粒状誘電体を固定し、前記スペーサを形成する。
は、前記誘電体基板の表面と絶縁された内部電極が配設
され、前記誘電体基板を所定の極性に帯電させて前記内
部電極を接地し、前記誘電体基板の遮光領域と前記遮光
領域以外の領域との間に電位差を与え、所定の大きさの
粒状誘電体を前記所定の極性に帯電させて前記誘電体基
板の表面に散布し、前記誘電体基板の遮光領域に付着し
た前記粒状誘電体を固定し、前記スペーサを形成する。
【0009】また、本発明にかかる液晶表示素子製造装
置は、誘電体基板の遮光領域に、前記誘電体基板の表面
と絶縁された内部電極を有する液晶表示素子を製造する
装置であって、前記誘電体基板を所定の極性に帯電させ
る誘電体基板帯電手段と、前記内部電極を接地する接地
手段と、所定の大きさの粒状誘電体を前記所定の極性に
帯電させ、前記誘電体基板の表面に散布する帯電散布手
段と、前記誘電体基板の遮光領域に付着した前記粒状誘
電体を固定する粒状誘電体固定手段とを有する。
置は、誘電体基板の遮光領域に、前記誘電体基板の表面
と絶縁された内部電極を有する液晶表示素子を製造する
装置であって、前記誘電体基板を所定の極性に帯電させ
る誘電体基板帯電手段と、前記内部電極を接地する接地
手段と、所定の大きさの粒状誘電体を前記所定の極性に
帯電させ、前記誘電体基板の表面に散布する帯電散布手
段と、前記誘電体基板の遮光領域に付着した前記粒状誘
電体を固定する粒状誘電体固定手段とを有する。
【0010】
【作用】本発明に係る液晶表示素子製造方法は、TFT
等が配設される誘電体基板の遮光領域に、表面と絶縁さ
れた配線用の内部電極を設けた液晶表示素子の遮光領域
のみにギャップ剤を固定する方法であって、誘電体基板
に所定の極性の電荷を与えて帯電させ、内部電極を接地
して誘電体基板の遮光領域と画素領域との間に電位差を
与える。
等が配設される誘電体基板の遮光領域に、表面と絶縁さ
れた配線用の内部電極を設けた液晶表示素子の遮光領域
のみにギャップ剤を固定する方法であって、誘電体基板
に所定の極性の電荷を与えて帯電させ、内部電極を接地
して誘電体基板の遮光領域と画素領域との間に電位差を
与える。
【0011】所定の大きさの粒状誘電体(ギャップ剤)
を、誘電体基板と同じ極性に帯電させて誘電体の表面に
散布し、ギャップ剤と同じ極性に帯電した画素領域に落
ちたギャップ剤をはじき、ほぼ接地電位となる遮光領域
にギャップ剤を集めて付着させる。さらに、遮光領域に
集まったギャップ剤を固定して液晶表示素子の液晶を所
定の厚さにするスペーサを形成する。
を、誘電体基板と同じ極性に帯電させて誘電体の表面に
散布し、ギャップ剤と同じ極性に帯電した画素領域に落
ちたギャップ剤をはじき、ほぼ接地電位となる遮光領域
にギャップ剤を集めて付着させる。さらに、遮光領域に
集まったギャップ剤を固定して液晶表示素子の液晶を所
定の厚さにするスペーサを形成する。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。図1は、
本発明に係る液晶表示素子製造方法の各工程が終了した
後の液晶表示素子の上面図である。図1に示すように、
本発明の液晶表示素子製造方法の各工程(図2および図
3)が終了した後には、基板1内部に配設された内部電
極24の上にギャップ剤20が付着してそれぞれ遮光領
域34となり、遮光領域34それぞれの間は、液晶が充
填される画素領域32となる。
本発明に係る液晶表示素子製造方法の各工程が終了した
後の液晶表示素子の上面図である。図1に示すように、
本発明の液晶表示素子製造方法の各工程(図2および図
3)が終了した後には、基板1内部に配設された内部電
極24の上にギャップ剤20が付着してそれぞれ遮光領
域34となり、遮光領域34それぞれの間は、液晶が充
填される画素領域32となる。
【0013】以下、図2および図3を参照して本発明に
係る液晶表示素子製造方法を説明する。図2は、本発明
に係る液晶表示素子製造方法を示す図であって、(A)
はラビング処理後の基板1の断面を示し、(B)は基板
1を正に帯電させ、内部電極24を接地して電位差を与
える工程(第1工程)を示し、(C)は正に帯電させた
ギャップ剤20を散布する工程(第2工程)を示し、
(D)はギャップ剤20を基板1の遮光領域34に付着
させる工程(第3工程)を示す。図3は、付着したギャ
ップ剤20を固定する工程(第4工程)終了後の基板1
の断面を示す。なお、図3は、図1に示した各工程終了
後の基板1をX−Z平面で切断した断面図に相当する。
係る液晶表示素子製造方法を説明する。図2は、本発明
に係る液晶表示素子製造方法を示す図であって、(A)
はラビング処理後の基板1の断面を示し、(B)は基板
1を正に帯電させ、内部電極24を接地して電位差を与
える工程(第1工程)を示し、(C)は正に帯電させた
ギャップ剤20を散布する工程(第2工程)を示し、
(D)はギャップ剤20を基板1の遮光領域34に付着
させる工程(第3工程)を示す。図3は、付着したギャ
ップ剤20を固定する工程(第4工程)終了後の基板1
の断面を示す。なお、図3は、図1に示した各工程終了
後の基板1をX−Z平面で切断した断面図に相当する。
【0014】図2(A)に示すように、基板1は、透明
なガラス基板10に薄膜トランジスタ層(TFT層)1
4を配設し、TFT層14の上の遮光領域34となる部
分に内部電極24を配設し、さらに、所定の透明な誘電
体で絶縁層12を設けた構成になっている。なお、基板
1の絶縁層12は、図2(B)〜(D)および図3に示
す本発明に係る液晶表示素子製造方法の第1工程〜第4
工程に入る前に、図1に矢印で示す方向、つまり、X,
Y軸に対して45°の方向に予めラビング処理される。
なガラス基板10に薄膜トランジスタ層(TFT層)1
4を配設し、TFT層14の上の遮光領域34となる部
分に内部電極24を配設し、さらに、所定の透明な誘電
体で絶縁層12を設けた構成になっている。なお、基板
1の絶縁層12は、図2(B)〜(D)および図3に示
す本発明に係る液晶表示素子製造方法の第1工程〜第4
工程に入る前に、図1に矢印で示す方向、つまり、X,
Y軸に対して45°の方向に予めラビング処理される。
【0015】図2(B)に示す第1工程においては、基
板1の絶縁層12が、例えば正の電荷が付加され、内部
電極24が接地される。絶縁層12の表面の内、内部電
極24の上の部分、つまり、遮光領域34となる領域の
電位は付加された電荷と内部電極24に生じた負の電荷
による電位とが相殺してほぼ接地電位となり、絶縁層1
2の他の領域、つまり、画素領域32となる領域の電位
は正の電位となる。
板1の絶縁層12が、例えば正の電荷が付加され、内部
電極24が接地される。絶縁層12の表面の内、内部電
極24の上の部分、つまり、遮光領域34となる領域の
電位は付加された電荷と内部電極24に生じた負の電荷
による電位とが相殺してほぼ接地電位となり、絶縁層1
2の他の領域、つまり、画素領域32となる領域の電位
は正の電位となる。
【0016】図2(C)に示す第2工程において、製造
する液晶表示素子の形式に応じた直径、例えば、TN
(ねじれネマティック;Twisted Nematic )セルを製造
する場合には4μm〜6μm、あるいは、FLC(強誘
電体液晶;Ferroelectric Liquid Crystal)セルを製造
する場合には2μm以下の直径の粒状プラスティック
(プラスティックボール)をギャップ剤20として、正
電圧VH を印加したノズル40から、霧状に散るように
散布する。このように、正電圧VH を印加したノズル4
0からギャップ剤20を散布することにより、ギャップ
剤20を正の電荷で帯電させて基板1に対して散布する
ことができる。
する液晶表示素子の形式に応じた直径、例えば、TN
(ねじれネマティック;Twisted Nematic )セルを製造
する場合には4μm〜6μm、あるいは、FLC(強誘
電体液晶;Ferroelectric Liquid Crystal)セルを製造
する場合には2μm以下の直径の粒状プラスティック
(プラスティックボール)をギャップ剤20として、正
電圧VH を印加したノズル40から、霧状に散るように
散布する。このように、正電圧VH を印加したノズル4
0からギャップ剤20を散布することにより、ギャップ
剤20を正の電荷で帯電させて基板1に対して散布する
ことができる。
【0017】図2(D)に示す第3工程において、電位
が低い遮光領域34に散布されたギャップ剤20が集ま
るとともに、電位が高い画素領域32に散布されたギャ
ップ剤20が静電力によりはじき飛ばされる。この結
果、遮光領域34のみにギャップ剤20が付着する。図
3に示す第4工程において、遮光領域34に付着したギ
ャップ剤20を固定し、この上にさらに重ねられる上部
基板(図示せず)と基板1との間に挟まれて、画素領域
32に充填される液晶(図示せず)を上述した適切な厚
さに保つスペーサが形成される。第4工程が終了した
後、基板1には、一般的な液晶表示素子と同様に、画素
領域32に液晶が充填され、さらに、上部基板が重ねら
れ、固定される。
が低い遮光領域34に散布されたギャップ剤20が集ま
るとともに、電位が高い画素領域32に散布されたギャ
ップ剤20が静電力によりはじき飛ばされる。この結
果、遮光領域34のみにギャップ剤20が付着する。図
3に示す第4工程において、遮光領域34に付着したギ
ャップ剤20を固定し、この上にさらに重ねられる上部
基板(図示せず)と基板1との間に挟まれて、画素領域
32に充填される液晶(図示せず)を上述した適切な厚
さに保つスペーサが形成される。第4工程が終了した
後、基板1には、一般的な液晶表示素子と同様に、画素
領域32に液晶が充填され、さらに、上部基板が重ねら
れ、固定される。
【0018】なお、ギャップ剤20に予め紫外線硬化型
接着剤等を塗付しておき、ギャップ剤20を散布した後
に紫外線を照射して硬化させてギャップ剤20を固定す
るようにしてもよい。基板1のように、上部基板にでは
なくTFT層14が配設された基板1側に遮光領域34
を形成する場合、上部基板として透明なものを使用する
ことが可能である。従って、紫外線硬化型接着剤を用い
ることにより、ギャップ剤20を上部基板を重ねる前に
固定することも、上部基板を基板1に重ねた後に一括し
て紫外線を照射してギャップ剤20の固定と上部基板の
接着とを1度に行うことができる。
接着剤等を塗付しておき、ギャップ剤20を散布した後
に紫外線を照射して硬化させてギャップ剤20を固定す
るようにしてもよい。基板1のように、上部基板にでは
なくTFT層14が配設された基板1側に遮光領域34
を形成する場合、上部基板として透明なものを使用する
ことが可能である。従って、紫外線硬化型接着剤を用い
ることにより、ギャップ剤20を上部基板を重ねる前に
固定することも、上部基板を基板1に重ねた後に一括し
て紫外線を照射してギャップ剤20の固定と上部基板の
接着とを1度に行うことができる。
【0019】また、ギャップ剤20に予め熱硬化型接着
剤を塗付しておいてもよい。熱硬化型接着剤を用いて
も、紫外線硬化型接着剤を用いる場合と同様に、ギャッ
プ剤20を上部基板を重ねる前に固定することも、ギャ
ップ剤20の固定と上部基板の接着とを1度に行うこと
も可能である。しかも、熱硬化型接着剤を用いた場合に
は、紫外線硬化型接着剤を用いた場合と異なり、上部基
板に透明でない場合にも同様な効果を得ることができる
という長所がある。
剤を塗付しておいてもよい。熱硬化型接着剤を用いて
も、紫外線硬化型接着剤を用いる場合と同様に、ギャッ
プ剤20を上部基板を重ねる前に固定することも、ギャ
ップ剤20の固定と上部基板の接着とを1度に行うこと
も可能である。しかも、熱硬化型接着剤を用いた場合に
は、紫外線硬化型接着剤を用いた場合と異なり、上部基
板に透明でない場合にも同様な効果を得ることができる
という長所がある。
【0020】なお、ギャップ剤20の直径は、上述した
2種類に限らず、液晶の厚さに合わせて任意の直径のも
のを使用することができるので、液晶表示素子のギャッ
プ制御を容易に行うことができる。また、ギャップ剤2
0の材質はプラスティックに限らず、例えば、シリカ等
の粒状の誘電体であってもよい。
2種類に限らず、液晶の厚さに合わせて任意の直径のも
のを使用することができるので、液晶表示素子のギャッ
プ制御を容易に行うことができる。また、ギャップ剤2
0の材質はプラスティックに限らず、例えば、シリカ等
の粒状の誘電体であってもよい。
【0021】また、実施例においては、ギャップ剤20
および絶縁層12のいずれをも正に帯電させる場合を例
に説明したが、これらを負に帯電させる、ギャップ剤2
0を正に帯電させ、内部電極24に負電圧を印加する、
あるいは、ギャップ剤20を負に帯電させ、内部電極2
4に正電圧を印加する等の方法を採ってもよい。また、
本発明に係る液晶表示素子製造方法の各段階あるいは全
段階を、所定の装置を用いて自動的に行ってもよい。ま
た、実施例においては、TFTを用いる液晶表示素子に
ついて説明したが、本発明に係る液晶表示素子製造方法
およびその装置は、他の方式の液晶表示素子にも適用可
能である。以上説明した実施例に示した他、例えばここ
に示した変形例のように、本発明に係る液晶表示素子製
造方法およびその方法は、種々の構成をとることができ
る。
および絶縁層12のいずれをも正に帯電させる場合を例
に説明したが、これらを負に帯電させる、ギャップ剤2
0を正に帯電させ、内部電極24に負電圧を印加する、
あるいは、ギャップ剤20を負に帯電させ、内部電極2
4に正電圧を印加する等の方法を採ってもよい。また、
本発明に係る液晶表示素子製造方法の各段階あるいは全
段階を、所定の装置を用いて自動的に行ってもよい。ま
た、実施例においては、TFTを用いる液晶表示素子に
ついて説明したが、本発明に係る液晶表示素子製造方法
およびその装置は、他の方式の液晶表示素子にも適用可
能である。以上説明した実施例に示した他、例えばここ
に示した変形例のように、本発明に係る液晶表示素子製
造方法およびその方法は、種々の構成をとることができ
る。
【0022】
【発明の効果】以上述べたように、本発明に係る液晶表
示素子製造方法およびその装置によれば、TFT等を配
設した基板の遮光領域のみにギャップ剤を固定すること
ができ、画素領域にギャップ剤が固定されることがな
い。また、本発明に係る液晶表示素子製造方法およびそ
の装置によれば、画素領域に固定されるギャップ剤がな
くなるので、投影した画像に輝点および滅点が生じず、
画質を向上させることができる。また、本発明に係る液
晶表示素子製造方法およびその装置によれば、ギャップ
剤を固定する前にTFT等を配設した基板をラビング処
理することができる。従って、高精細の液晶表示素子を
製造する場合にも、その液晶の配向状態に与える影響を
最小限とすることができ、高品位な画像を得ることがで
きる。
示素子製造方法およびその装置によれば、TFT等を配
設した基板の遮光領域のみにギャップ剤を固定すること
ができ、画素領域にギャップ剤が固定されることがな
い。また、本発明に係る液晶表示素子製造方法およびそ
の装置によれば、画素領域に固定されるギャップ剤がな
くなるので、投影した画像に輝点および滅点が生じず、
画質を向上させることができる。また、本発明に係る液
晶表示素子製造方法およびその装置によれば、ギャップ
剤を固定する前にTFT等を配設した基板をラビング処
理することができる。従って、高精細の液晶表示素子を
製造する場合にも、その液晶の配向状態に与える影響を
最小限とすることができ、高品位な画像を得ることがで
きる。
【図1】本発明に係る液晶表示素子製造方法の各工程が
終了した後の液晶表示素子の上面図である。
終了した後の液晶表示素子の上面図である。
【図2】本発明に係る液晶表示素子製造方法を示す図で
あって、(A)はラビング処理後の基板の断面を示し、
(B)は基板を正に帯電させ、内部電極を接地して電位
差を与える工程を示し、(C)は正に帯電させたギャッ
プ剤を散布する工程を示し、(D)はギャップ剤を基板
の遮光領域に付着させる工程を示す。
あって、(A)はラビング処理後の基板の断面を示し、
(B)は基板を正に帯電させ、内部電極を接地して電位
差を与える工程を示し、(C)は正に帯電させたギャッ
プ剤を散布する工程を示し、(D)はギャップ剤を基板
の遮光領域に付着させる工程を示す。
【図3】付着したギャップ剤を固定する工程終了後の基
板の断面を示す図である。
板の断面を示す図である。
1…基板、10…ガラス基板、12…絶縁層、14…T
FT層、20…ギャップ剤、24…内部電極、32…画
素領域、34…遮光領域、40…ノズル
FT層、20…ギャップ剤、24…内部電極、32…画
素領域、34…遮光領域、40…ノズル
Claims (3)
- 【請求項1】液晶表示素子の誘電体基板の遮光領域と前
記遮光領域以外の領域との間に電位差を与え、 所定の大きさの粒状誘電体を、前記遮光領域に集まるよ
うに帯電させて散布し、前記遮光領域の表面に前記粒状
誘電体を付着させ、 液晶表示素子の液晶の厚さに応じたスペーサを形成する
液晶表示素子製造方法。 - 【請求項2】前記誘電体基板の遮光領域には、前記誘電
体基板の表面と絶縁された内部電極が配設され、 前記誘電体基板を所定の極性に帯電させて前記内部電極
を接地し、前記誘電体基板の遮光領域と前記遮光領域以
外の領域との間に電位差を与え、 所定の大きさの粒状誘電体を前記所定の極性に帯電させ
て前記誘電体基板の表面に散布し、 前記誘電体基板の遮光領域に付着した前記粒状誘電体を
固定し、 前記スペーサを形成する請求項1に記載の液晶表示素子
製造方法。 - 【請求項3】誘電体基板の遮光領域に、前記誘電体基板
の表面と絶縁された内部電極を有する液晶表示素子を製
造する装置であって、 前記誘電体基板を所定の極性に帯電させる誘電体基板帯
電手段と、 前記内部電極を接地する接地手段と、 所定の大きさの粒状誘電体を前記所定の極性に帯電さ
せ、前記誘電体基板の表面に散布する帯電散布手段と、 前記誘電体基板の遮光領域に付着した前記粒状誘電体を
固定する粒状誘電体固定手段とを有する液晶表示素子製
造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13144095A JPH08328020A (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | 液晶表示素子製造方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13144095A JPH08328020A (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | 液晶表示素子製造方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08328020A true JPH08328020A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=15058017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13144095A Pending JPH08328020A (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | 液晶表示素子製造方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08328020A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1138419A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Nec Corp | スペーサ散布装置 |
| EP0992841A4 (en) * | 1997-06-13 | 2004-06-30 | Sekisui Chemical Co Ltd | LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND THEIR PRODUCTION METHOD |
-
1995
- 1995-05-30 JP JP13144095A patent/JPH08328020A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0992841A4 (en) * | 1997-06-13 | 2004-06-30 | Sekisui Chemical Co Ltd | LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND THEIR PRODUCTION METHOD |
| JPH1138419A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Nec Corp | スペーサ散布装置 |
| US6190456B1 (en) | 1997-07-17 | 2001-02-20 | Nec Corporation | Spacer spraying device |
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