JPH08330380A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JPH08330380A JPH08330380A JP7133591A JP13359195A JPH08330380A JP H08330380 A JPH08330380 A JP H08330380A JP 7133591 A JP7133591 A JP 7133591A JP 13359195 A JP13359195 A JP 13359195A JP H08330380 A JPH08330380 A JP H08330380A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板端面及び裏面を支持して搬送する基板搬
送装置において、ローラーと基板の接触によるゴミを基
板に付着しないように防止する。 【構成】 基板１の端面及び裏面を支持する搬送ローラ
ー８に関し、シャフト２に固定されたローラー３の基板
裏面接触部１４に逃げ溝１５を設け、個々のローラー３
上部にエアーノズル４を、ローラー３下部に排気ユニッ
ト６をそれぞれ設置している。このため、ローラー３と
基板１との接触によるゴミ１２を基板１に付着しないよ
うにエアー５の吹付けでゴミ１２を逃げ溝１５に払拭
し、排気ユニット６により排気することが可能となる。
送装置において、ローラーと基板の接触によるゴミを基
板に付着しないように防止する。 【構成】 基板１の端面及び裏面を支持する搬送ローラ
ー８に関し、シャフト２に固定されたローラー３の基板
裏面接触部１４に逃げ溝１５を設け、個々のローラー３
上部にエアーノズル４を、ローラー３下部に排気ユニッ
ト６をそれぞれ設置している。このため、ローラー３と
基板１との接触によるゴミ１２を基板１に付着しないよ
うにエアー５の吹付けでゴミ１２を逃げ溝１５に払拭
し、排気ユニット６により排気することが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板搬送装置に関し、
特にローラーに基板端面及び裏面を支持して基板を搬送
する基板搬送装置に関する。
特にローラーに基板端面及び裏面を支持して基板を搬送
する基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の基板搬送装置は、特開平
５−２７９８６０号公報に記載されるように基板の枚葉
処理及び次工程ユニットへ搬出するために基板を搬送す
ることを目的として用いられている。
５−２７９８６０号公報に記載されるように基板の枚葉
処理及び次工程ユニットへ搬出するために基板を搬送す
ることを目的として用いられている。
【０００３】図２は搬送処理を示す構成図である。図２
において、処理ユニット９の外部側面にモーター１１が
あり、内部側面に数本設置した搬送ローラー８と図示し
ていないギヤ又はベルトなどにより間接的に連結されて
いる。また１は基板，１０は搬送方向を示す。
において、処理ユニット９の外部側面にモーター１１が
あり、内部側面に数本設置した搬送ローラー８と図示し
ていないギヤ又はベルトなどにより間接的に連結されて
いる。また１は基板，１０は搬送方向を示す。
【０００４】図４は従来の基板搬送装置を示す正面図で
ある。図４において搬送ローラー８は、シャフト２にロ
ーラー３をシュパンリング方式にて固定されている。
ある。図４において搬送ローラー８は、シャフト２にロ
ーラー３をシュパンリング方式にて固定されている。
【０００５】次に図２，図４について動作を説明する。
図２に示したモーター１１が回転し、それをギヤ又はベ
ルトにより伝達することで搬送ローラー８が回転する。
図４に示したローラー３の基板端面接触部１３と基板裏
面接触部１４にて基板１を支持し、搬送ローラー８が回
転することで処理ユニット９に搬入する。処理ユニット
９内に基板１を搬送後、例えばＵＶや乾燥処理を行い処
理終了後、次ユニットに搬送ローラー８にて搬出する。
図２に示したモーター１１が回転し、それをギヤ又はベ
ルトにより伝達することで搬送ローラー８が回転する。
図４に示したローラー３の基板端面接触部１３と基板裏
面接触部１４にて基板１を支持し、搬送ローラー８が回
転することで処理ユニット９に搬入する。処理ユニット
９内に基板１を搬送後、例えばＵＶや乾燥処理を行い処
理終了後、次ユニットに搬送ローラー８にて搬出する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし上述した従来の
基板搬送装置では、図４に示すように基板１の幅方向へ
の滑りによるローラー３端面部と基板１との接触により
ローラー３よりも基板１が固い場合は、ローラー３の基
板端面接触部１３が削れてゴミ１２を発生し、基板裏面
接触部１４に付着する。又、基板１よりもローラー３が
固い場合は、逆に基板端面が削れてゴミ１２を発生し、
同様に基板裏面接触部１４に付着する。
基板搬送装置では、図４に示すように基板１の幅方向へ
の滑りによるローラー３端面部と基板１との接触により
ローラー３よりも基板１が固い場合は、ローラー３の基
板端面接触部１３が削れてゴミ１２を発生し、基板裏面
接触部１４に付着する。又、基板１よりもローラー３が
固い場合は、逆に基板端面が削れてゴミ１２を発生し、
同様に基板裏面接触部１４に付着する。
【０００７】この結果、ローラー３の基板裏面接触部１
４に付着したゴミ１２が基板１を搬送する際に基板１に
付着してしまうため、基板１を汚染し製品品質が低下す
る。
４に付着したゴミ１２が基板１を搬送する際に基板１に
付着してしまうため、基板１を汚染し製品品質が低下す
る。
【０００８】本発明の目的は、基板とローラーの接触に
よるゴミを基板に付着させないようにした基板搬送装置
を提供することにある。
よるゴミを基板に付着させないようにした基板搬送装置
を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る基板搬送装置は、搬送ローラーと、エ
アーノズルと、排気ユニットとを有する基板搬送装置で
あって、搬送ローラーは、基板端面接触部に基板の端面
をあてがい、基板裏面接触部に基板の裏面を支え、回転
することにより基板に送りを与えるものであり、エアー
ノズルは前記搬送ローラーと基板との接触部にエアーを
吹き付けて、該接触部に生ずるゴミを払拭するものであ
り、排気ユニットは前記エアーノズルのエアー吹き付け
により払拭されたゴミを排出するものである。
め、本発明に係る基板搬送装置は、搬送ローラーと、エ
アーノズルと、排気ユニットとを有する基板搬送装置で
あって、搬送ローラーは、基板端面接触部に基板の端面
をあてがい、基板裏面接触部に基板の裏面を支え、回転
することにより基板に送りを与えるものであり、エアー
ノズルは前記搬送ローラーと基板との接触部にエアーを
吹き付けて、該接触部に生ずるゴミを払拭するものであ
り、排気ユニットは前記エアーノズルのエアー吹き付け
により払拭されたゴミを排出するものである。
【００１０】また前記搬送ローラーは周方向に逃げ溝を
有し、前記エアーノズルは前記搬送ローラーの逃げ溝内
にゴミを吹き落すことにより、ゴミを払拭するものであ
る。
有し、前記エアーノズルは前記搬送ローラーの逃げ溝内
にゴミを吹き落すことにより、ゴミを払拭するものであ
る。
【００１１】また前記搬送ローラーは前記逃げ溝に隣接
して、基板裏面を支える基板端面接触部を有するもので
ある。
して、基板裏面を支える基板端面接触部を有するもので
ある。
【００１２】また前記搬送ローラーは基板端面接触部が
平面形状をなすものである。
平面形状をなすものである。
【００１３】また前記搬送ローラーは基板端面接触部が
円弧形状をなすものである。
円弧形状をなすものである。
【００１４】
【作用】搬送ローラーと基板との接触部分に発生するゴ
ミをエアーの吹き付けにより払拭し、ゴミの基板への付
着を阻止する。
ミをエアーの吹き付けにより払拭し、ゴミの基板への付
着を阻止する。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を図により説明する。
【００１６】（実施例１）図１は本発明の実施例１を示
す断面図である。
す断面図である。
【００１７】図において本発明に係る基板搬送装置は、
搬送ローラー８と、エアーノズル４と、排気ユニット６
とを有している。
搬送ローラー８と、エアーノズル４と、排気ユニット６
とを有している。
【００１８】各構成の機能を説明すると、搬送ローラー
８は、シャフト２にローラー３を基板１の巾方向間隔に
合わせてシュパンリング方式にて軸支させており、シャ
フト２は両端が装置本体に回転可能に支持され、モータ
等の駆動力を受けてローラー３を回転させ基板１に送り
を与えるようになっている。
８は、シャフト２にローラー３を基板１の巾方向間隔に
合わせてシュパンリング方式にて軸支させており、シャ
フト２は両端が装置本体に回転可能に支持され、モータ
等の駆動力を受けてローラー３を回転させ基板１に送り
を与えるようになっている。
【００１９】また搬送ローラー８は、ローラー３の側面
にテーパ状の基板端面接触部１３が形成され、基板端面
接触部１３の内側に平面状の基板裏面接触部１４が形成
されており、基板端面接触部１３に基板１の端面があて
がわれ、基板裏面接触部１４に基板１の裏面を支えて回
転することにより、基板１に送りを与えるようになって
いる。
にテーパ状の基板端面接触部１３が形成され、基板端面
接触部１３の内側に平面状の基板裏面接触部１４が形成
されており、基板端面接触部１３に基板１の端面があて
がわれ、基板裏面接触部１４に基板１の裏面を支えて回
転することにより、基板１に送りを与えるようになって
いる。
【００２０】また搬送ローラー８は、基板裏面接触部１
４に隣接したローラー３の周面を凹ませて、周方向に逃
げ溝１５を設けている。
４に隣接したローラー３の周面を凹ませて、周方向に逃
げ溝１５を設けている。
【００２１】エアーノズル４は基板１の端面がローラー
３の接触部１３にあてがわれる領域の上方に、その吹出
口を下向きにして配置され、エアー５を吹き付けて基板
１とローラ３との接触により発生するゴミ１２を逃げ溝
１５内に吹き落し、ゴミ１２を払拭するようになってい
る。
３の接触部１３にあてがわれる領域の上方に、その吹出
口を下向きにして配置され、エアー５を吹き付けて基板
１とローラ３との接触により発生するゴミ１２を逃げ溝
１５内に吹き落し、ゴミ１２を払拭するようになってい
る。
【００２２】排気ユニット６は、搬送ローラー８の下部
を取り囲んで設置された排気室６ａと、排気室６ａの底
部に接続された排気管６ｂとを有し、排気管６ｂよりポ
ンプ等により排気室６ａを排気して、搬送ローラー８の
逃げ溝１５内に吹き落されたゴミ１２を排出するように
なっている。
を取り囲んで設置された排気室６ａと、排気室６ａの底
部に接続された排気管６ｂとを有し、排気管６ｂよりポ
ンプ等により排気室６ａを排気して、搬送ローラー８の
逃げ溝１５内に吹き落されたゴミ１２を排出するように
なっている。
【００２３】次に図１，図２について動作を説明する。
図２に示したモーター１１が回転し、それをギヤ又はベ
ルトにより伝達することで搬送ローラー８が回転する。
図２に示したモーター１１が回転し、それをギヤ又はベ
ルトにより伝達することで搬送ローラー８が回転する。
【００２４】図１に示したローラー３の基板端面接触部
１３と逃げ溝１５部以外の基板裏面接触部１４にて基板
１を支持し、基板１を搬送ローラー８の回転により処理
ユニット９に搬入する。
１３と逃げ溝１５部以外の基板裏面接触部１４にて基板
１を支持し、基板１を搬送ローラー８の回転により処理
ユニット９に搬入する。
【００２５】処理ユニット９内に基板１を搬送後、例え
ばＵＶや乾燥処理を行い処理終了後、次ユニットに搬送
ローラー８にて搬出する。
ばＵＶや乾燥処理を行い処理終了後、次ユニットに搬送
ローラー８にて搬出する。
【００２６】基板１の搬送後は、搬送ローラー８を回転
した状態でノズル４にてローラー３に数分間エアー５を
吹き付けながら端面部や逃げ溝１５等に付着したゴミ１
２を剥がし、排気ユニット６にて排気の流れ方向７へ排
出する。
した状態でノズル４にてローラー３に数分間エアー５を
吹き付けながら端面部や逃げ溝１５等に付着したゴミ１
２を剥がし、排気ユニット６にて排気の流れ方向７へ排
出する。
【００２７】したがって本実施例によれば、基板１の搬
送の際に発生したゴミは、搬送ローラーから払拭され、
除去されることとなり、ゴミが基板に付着することを阻
止できる。
送の際に発生したゴミは、搬送ローラーから払拭され、
除去されることとなり、ゴミが基板に付着することを阻
止できる。
【００２８】（実施例２）図３は本発明の実施例２を示
す正面図である。図３に示す本実施例は、ローラー３の
基板裏面接触部１４の逃げ溝１５部を除く基板裏面接触
部１４の周面を円弧状にしたものである。従って本実施
例によれば、実施例１と同様の効果を得ることができる
ばかりでなく、基板１とローラ３との接触面積が少なく
なるため、ゴミ１２の付着を更に少なくすることができ
るという利点を有する。
す正面図である。図３に示す本実施例は、ローラー３の
基板裏面接触部１４の逃げ溝１５部を除く基板裏面接触
部１４の周面を円弧状にしたものである。従って本実施
例によれば、実施例１と同様の効果を得ることができる
ばかりでなく、基板１とローラ３との接触面積が少なく
なるため、ゴミ１２の付着を更に少なくすることができ
るという利点を有する。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
板とローラーとの接触によるゴミをエアーの吹付けによ
り払拭するため、基板へのゴミの付着を防止することが
できる。
板とローラーとの接触によるゴミをエアーの吹付けによ
り払拭するため、基板へのゴミの付着を防止することが
できる。
【００３０】さらにローラーの基板裏面接触部に逃げ溝
を設け、ゴミを逃げ溝に吹き落して除去することによ
り、基板とローラー端面部との接触によるゴミを捕捉す
ることができ、ゴミの基板への付着を確実に防止するこ
とができる。
を設け、ゴミを逃げ溝に吹き落して除去することによ
り、基板とローラー端面部との接触によるゴミを捕捉す
ることができ、ゴミの基板への付着を確実に防止するこ
とができる。
【００３１】さらにローラーの逃げ溝と基板は非接触で
あり、逃げ溝の部分に一時的に付着したゴミをエアーノ
ズルと排気ユニットを用いたダウンフロー方式にて排出
するため、処理ユニット内のクリーン化が可能となり、
基板のゴミによる汚染の発生率を０％にすることができ
る。
あり、逃げ溝の部分に一時的に付着したゴミをエアーノ
ズルと排気ユニットを用いたダウンフロー方式にて排出
するため、処理ユニット内のクリーン化が可能となり、
基板のゴミによる汚染の発生率を０％にすることができ
る。
【図１】本発明の実施例１を示す正面図である。
【図２】搬送処理を示す構成図である。
【図３】本発明の実施例２を示す正面図である。
【図４】従来の基板搬送装置を示す正面図である。
１ 基板 ２ シャフト ３ ローラー ４ エアーノズル ５ エアー ６ 排気ユニット ８ 搬送ローラー １３ 基板端面接触部 １４ 基板裏面接触部 １５ 逃げ溝
Claims (5)
- 【請求項１】 搬送ローラーと、エアーノズルと、排気
ユニットとを有する基板搬送装置であって、 搬送ローラーは、基板端面接触部に基板の端面をあてが
い、基板裏面接触部に基板の裏面を支え、回転すること
により基板に送りを与えるものであり、 エアーノズルは前記搬送ローラーと基板との接触部にエ
アーを吹き付けて、該接触部に生ずるゴミを払拭するも
のであり、 排気ユニットは前記エアーノズルのエアー吹き付けによ
り払拭されたゴミを排出するものであることを特徴とす
る基板搬送装置。 - 【請求項２】 前記搬送ローラーは周方向に逃げ溝を有
し、 前記エアーノズルは前記搬送ローラーの逃げ溝内にゴミ
を吹き落すことにより、ゴミを払拭するものであること
を特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。 - 【請求項３】 前記搬送ローラーは前記逃げ溝に隣接し
て、基板裏面を支える基板端面接触部を有するものであ
ることを特徴とする請求項２に記載の基板搬送装置。 - 【請求項４】 前記搬送ローラーは基板端面接触部が平
面形状をなすものであることを特徴とする請求項３に記
載の基板搬送装置。 - 【請求項５】 前記搬送ローラーは基板端面接触部が円
弧形状をなすものであることを特徴とする請求項３に記
載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7133591A JP2687931B2 (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7133591A JP2687931B2 (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08330380A true JPH08330380A (ja) | 1996-12-13 |
| JP2687931B2 JP2687931B2 (ja) | 1997-12-08 |
Family
ID=15108397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7133591A Expired - Fee Related JP2687931B2 (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2687931B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003086913A1 (de) * | 2002-04-15 | 2003-10-23 | Rena Sondermaschinen Gmbh | Transportrollen und transportsystem für flaches transportgut |
| WO2008093419A1 (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-07 | Hirata Corporation | 搬送装置及び搬送方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5994840A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-05-31 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
| JPS63230442A (ja) * | 1987-03-20 | 1988-09-26 | Tokyo Electron Ltd | ウエハ搬送装置 |
| JPS6417440A (en) * | 1987-07-13 | 1989-01-20 | Hitachi Ltd | Wafer transfer device |
| JPH02191355A (ja) * | 1989-01-19 | 1990-07-27 | Tokyo Electron Ltd | ウエハ分岐搬送装置 |
| JPH02132017U (ja) * | 1989-04-10 | 1990-11-02 | ||
| JPH04154118A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-05-27 | Toshiba Corp | 半導体ウエハの処理装置 |
| JPH05190645A (ja) * | 1992-01-09 | 1993-07-30 | Nec Kyushu Ltd | 半導体基板搬送機構 |
-
1995
- 1995-05-31 JP JP7133591A patent/JP2687931B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
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| DE10391511B4 (de) * | 2002-04-15 | 2007-01-11 | Rena Sondermaschinen Gmbh | Transportrollen und Transportsystem für flaches Transportgut |
| CN100364868C (zh) * | 2002-04-15 | 2008-01-30 | 里纳特种机械有限责任公司 | 压紧装置和用于扁平输送物品的输送系统 |
| WO2008093419A1 (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-07 | Hirata Corporation | 搬送装置及び搬送方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2687931B2 (ja) | 1997-12-08 |
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