JPH083402Y2 - 基板載置搬送装置の停止機構 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、基板を載置して、所定の経路に沿って移動
する搬送具を移動限界位置においてショックアブソーバ
を介して緩衝停止させるように構成した基板載置搬送装
置の停止機構に関する。

〈従来の技術〉 従来、この種の基板載置搬送装置の停止機構は、搬送
具にショックアブソーバを備え、搬送具が移動限界位置
近くに至ると、先ずショックアブソーバのピストンロッ
ドが装置固定部に備えられたストッパーの先端に当接
し、引続きピストンロッドが緩衝時に本体内に退入しな
がら搬送具が減速移動し、ピストンロッドが完全に退入
してショックアブソーバ本体がストッパーに当接して、
最終的に搬送具が一定の位置で停止するようになってい
る。

〈考案が解決しようとする課題〉 しかしながら、従来の停止機構には次のような問題点
がある。

すなわち、上記のようなショックアブソーバを用いる
ことで、搬送具を減速停止させることができるので、基
板をチャッキングすることなく搬送具に載置した状態で
あっても、ある程度は、精度よく基板を一定位置に移送
することができるのであるが、ショックアブソーバのピ
ストンロッドがストッパーに当接した際に僅かな衝撃が
発生するのを避けることができず、この衝撃によって基
板が搬送具上で振動して、僅かな位置ズレを起こした
り、基板裏面と搬送具とが擦過してパーティクルが発生
するという問題点がある。

これを避ける手段としては、ストッパー全体をゴム等
の弾性体で構成することも考えらるが、これによると、
衝突振動を低減することはできるが、その反面、ストッ
パー全体が変形して位置決め精度が低下することにな
り、実用的には難点がある。

本考案は、このような事情に鑑みてなされたものであ
って、衝突振動を抑制しながら位置決め精度の高い停止
を行うことができる基板載置搬送装置の停止機構を提供
することを目的とする。

〈課題を解決するための手段〉 本考案は、このような目的を達成するために、次のよ
うな構成をとる。

即ち、本考案は、基板を載置して、所定の経路に沿っ
て移動する搬送具を移動限界位置においてショックアブ
ソーバを介して緩衝停止させるよう構成した基板載置搬
送装置の停止機構において、 ショックアブソーバのピストンロッドの先端面また
は、ピストンロッドと当接するストッパーの先端面のう
ち、どちらか一方の先端面に凹部を設けて、凹部に弾性
体を部分的に挿入して弾性体の一部を凹部から突設し、
もう一方の先端面の外縁を、弾性体との当接時に弾性体
よりはみ出た形状に構成したことによって、 前記両先端面のうち弾性体の先端面が、もう一方の先
端面に当接して圧縮変形し、弾性体が前記凹部内に退入
した後、前記両先端面が当接するようにしたものであ
る。

〈作用〉 本考案の作用は次のとおりである。

ショックアブソーバのピストンロッドの先端面とスト
ッパーの先端面とが接触する前に、前記ピストンロッド
の先端、あるいはストッパーの先端に取り付けられた弾
性体が圧縮変形して、衝撃力を吸収し、搬送具上の基板
の振動を抑制する。前記弾性体の圧縮変形により、その
弾性体は、ピストンロッドあるいはストッパーに設けた
凹部内に退入するので、それ以降は、ピストンロッドの
先端面とストッパーの先端面とが当接しながら、ピスト
ンロッドが本体内に退入することによって搬送具が減速
していき、最終的にはショックアブソーバ本体とストッ
パーの剛性部材同士が当接することにより、搬送具は所
定位置で停止する。

〈実施例〉 以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

第１図は基板載置搬送装置の平面図、第２図はその正
面図である。

第２図に鎖線で示すように、この基板載置搬送装置に
は搬送具１が備えられていて、当該装置の左右に配備さ
れている図示しない処理装置間での基板Ｗの受渡しを行
う。

搬送具１は、ガイドレール２に案内され、かつロッド
レスシリンダ３によって左右水平に往復駆動される可動
ブロック４に支持アーム５を介して連結支持されてい
て、その基板載置部には、第１図に示すように、載置し
た基板Ｗを位置決め案内する上拡がり状のテーパーガイ
ド６と、基板Ｗを点接触状態で支持するための３個の小
突起７が備えられている。

また、可動ブロック４にはショックアブソーバ８が取
付けられ、その左右両端には緩衝的に退出するピストン
ロッド8aがそれぞれ突設されている。そして、ガイドレ
ール２及びロッドレスシリンダ３を支持したベース板９
の左右にはフレーム10が設けられ、このフレーム10にシ
ョックアブソーバ８のピストンロッド8aに対向するよう
にストッパー11がそれぞれ取付けられている。

このストッパー11は、第３図（ａ）に示すように、フ
レーム10にねじ込み装着されてロックナット12で固定さ
れたものであって、その中心を貫通するように中心孔11
aが形成され、その中心孔11aにゴム等から成る円柱状の
弾性体13が組込まれ、調節ネジ14によって前方への突出
量が調整できるようになっている。

なお、調整ネジ14によって一端が閉じられた前記中心
孔11aが、本考案の構成に言う「凹部」に対応する。

また、前記弾性体13はピストンロッド8aの先端面8bよ
り小径に設定されていて、ピストンロッドの先端面8bと
弾性体13とが当接したときに、ピストンロッドの先端面
8bが弾性体13よりはみ出るようになっている。こうした
ことによって、後述するように、弾性体13が圧縮変形し
て前記中心孔11a内に退入したら、ピストンロッドの先
端面8bがストッパー11の先端面11bに当接するようにな
っている。

本実施例の停止機構は以上のように構成されたもので
あり、次にその停止動作について説明する。

第３図（ａ）の状態から可動ブロック４が左方に移動
してくると、先ず、ピストンロッド8aの先端面8bが弾性
体13に当接する。

この当接によって、第３図（ｂ）に示すように、弾性
体13は圧縮力を受けてストッパー11内に退入し、ピスト
ンロッド8aがストッパー11の先端に緩衝的に受止められ
る。

更に可動ブロック４が作動することでピストンロッド
8aがショックアブソーバ本体内に退入し、最終的には第
３図（ｃ）に示すように、ショックアブソーバ８の先端
面8bがストッパー11の先端面11bに当接して、可動ブロ
ック４が一定位置で、剛性部材と剛性部材とが対面当接
する状態にて停止する。

尚、実施例では、弾性体13をストッパー11側に組込ん
だ場合を例示しているが、ピストンロッド8aの先端面8b
に弾性体13を圧縮退入可能に組込んで実施することも可
能である。

また、実施例では、弾性体としてゴム部材を用いた
が、圧縮コイルバネなどを使用してもよい。

〈考案の効果〉 以上説明したように、本考案によると、ショックアブ
ソーバのピストンロッドがストッパーに当接する際の衝
撃を弾性体で緩和低減することができ、これによって基
板の振動を抑えて、基板の位置ズレやパーティクルの発
生を回避することができる。

しかも、この緩衝作動の後、ピストンロッドとストッ
パーの剛性部材同士が直接に当接するので、柔軟な弾性
体を利用しても最終的な停止位置精度を高いものにする
ことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案に係る基板載置搬送装置の停止機構の一実
施例を示し、第１図は基板載置搬送装置の平面図、第２
図はその正面図、第３図は停止機構とその作動を示し、
第３図（ａ）は当接前の状態、第３図（ｂ）は途中の状
態、第３図（ｃ）は停止状態をそれぞれ示している。 １…搬送具、４…可動ブロック ７…小突起、８…ショックアブソーバ 8a…ピストンロッド 11…ストッパー、13…弾性体

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】基板を載置して、所定の経路に沿って移動
   する搬送具を移動限界位置においてショックアブソーバ
   を介して緩衝停止させるよう構成した基板載置搬送装置
   の停止機構において、 ショックアブソーバのピストンロッドの先端面または、
   ピストンロッドと当接するストッパーの先端面のうち、
   どちらか一方の先端面に凹部を設けて、凹部に弾性体を
   部分的に挿入して弾性体の一部を凹部から突設し、もう
   一方の先端面の外縁を、弾性体との当接時に弾性体より
   はみ出た形状に構成したことによって、 前記両先端面のうち弾性体の先端面が、もう一方の先端
   面に当接して圧縮変形し、弾性体が前記凹部内に退入し
   た後、前記両先端面が当接するようにしたことを特徴と
   する基板載置搬送装置の停止機構。