JPH0834769B2 - スペクトル分析装置のためのジユーテリウムランプ - Google Patents
スペクトル分析装置のためのジユーテリウムランプInfo
- Publication number
- JPH0834769B2 JPH0834769B2 JP2502583A JP50258390A JPH0834769B2 JP H0834769 B2 JPH0834769 B2 JP H0834769B2 JP 2502583 A JP2502583 A JP 2502583A JP 50258390 A JP50258390 A JP 50258390A JP H0834769 B2 JPH0834769 B2 JP H0834769B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- interference filter
- aluminum oxide
- quartz glass
- tube
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/38—Devices for influencing the colour or wavelength of the light
- H01J61/40—Devices for influencing the colour or wavelength of the light by light filters; by coloured coatings in or on the envelope
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は発生したビームが管の１帯域を貫通するスペ
クトル分析装置、特に分光光度計のための、石英ガラス
からなる放電管を有するジューテリウムランプに関す
る。
クトル分析装置、特に分光光度計のための、石英ガラス
からなる放電管を有するジューテリウムランプに関す
る。
前述の特徴ある性質のジューテリウムランプは例えば
説明書“Deuteriumlampen−Baureihe D800/900"（d310
686/2C 7.86/VNKO）der W.C.Heraeus GmhHから公知
である。このジューテリウムランプは連続の、線スペク
トルのないスペクトルを紫外スペクトル帯域160〜360nm
で放出する。これらは特に測光装置、有利には分光分析
装置に使用される。このジューテリウムランプの管は石
英ガラスからなり、その際合成石英ガラスを使用すると
きは波長に対する放光管の透明性は約160nmまで可能と
なる。この前述の種類のジューテリウムランプはその作
動が極めて有効であることが立証されている。これらは
長寿命および特に高いビーム安定性の特徴がある。それ
でもこのランプを非常に低い濃度の検出に使用する際は
ランプのビーム雑音が限界の要因であることがわかっ
た。公知のジューテリウムランプはビーム雑音レベル約
２×10-4Au（Ahsoption Units）を持っている。
説明書“Deuteriumlampen−Baureihe D800/900"（d310
686/2C 7.86/VNKO）der W.C.Heraeus GmhHから公知
である。このジューテリウムランプは連続の、線スペク
トルのないスペクトルを紫外スペクトル帯域160〜360nm
で放出する。これらは特に測光装置、有利には分光分析
装置に使用される。このジューテリウムランプの管は石
英ガラスからなり、その際合成石英ガラスを使用すると
きは波長に対する放光管の透明性は約160nmまで可能と
なる。この前述の種類のジューテリウムランプはその作
動が極めて有効であることが立証されている。これらは
長寿命および特に高いビーム安定性の特徴がある。それ
でもこのランプを非常に低い濃度の検出に使用する際は
ランプのビーム雑音が限界の要因であることがわかっ
た。公知のジューテリウムランプはビーム雑音レベル約
２×10-4Au（Ahsoption Units）を持っている。
従って本発明の課題は公知のジューテリウムランプの
前述の有利な特性を保持しつつ冒頭の特徴あるジューテ
リウムランプのビーム雑音レベルをさらに減少せしめる
ことである。
前述の有利な特性を保持しつつ冒頭の特徴あるジューテ
リウムランプのビーム雑音レベルをさらに減少せしめる
ことである。
冒頭の特徴ある種類のジューテリウムランプに対する
前記課題は本発明により、その外部表面上の少くとも管
−帯域が交互に酸化アルミニウムおよび二酸化ケイ素ま
たはフッ化マグネシウムからの干渉フィルタ−多重層を
有し、その際各層の物理的層厚が範囲10〜70nmにありか
つ干渉フィルタの管表面に向っている第１の有効層は酸
化アルミニウムからなり、干渉フィルタ−多重層は波長
約190〜200nmの範囲で一つの吸収定数を持ち、しかも20
0nmより大きい波長に対して最高の透過性を持つことに
より解決される。本発明によるジューテリウムランプで
は、干渉フィルタ−多重層のために少くとも10層対を装
備することに成功している。一つの層対とはその際酸化
アルミニウム−および二酸化ケイ素またはフッ化マグネ
シウムからの組合せである。該干渉フィルタ−多重層は
本発明により波長範囲約190〜200nmで急勾配の吸収端を
持っている。
前記課題は本発明により、その外部表面上の少くとも管
−帯域が交互に酸化アルミニウムおよび二酸化ケイ素ま
たはフッ化マグネシウムからの干渉フィルタ−多重層を
有し、その際各層の物理的層厚が範囲10〜70nmにありか
つ干渉フィルタの管表面に向っている第１の有効層は酸
化アルミニウムからなり、干渉フィルタ−多重層は波長
約190〜200nmの範囲で一つの吸収定数を持ち、しかも20
0nmより大きい波長に対して最高の透過性を持つことに
より解決される。本発明によるジューテリウムランプで
は、干渉フィルタ−多重層のために少くとも10層対を装
備することに成功している。一つの層対とはその際酸化
アルミニウム−および二酸化ケイ素またはフッ化マグネ
シウムからの組合せである。該干渉フィルタ−多重層は
本発明により波長範囲約190〜200nmで急勾配の吸収端を
持っている。
ジューテリウムランプの本発明による構成によりビー
ム雑音レベルは少くとも50％より多く減少せしめること
ができる。層対の数を上昇させる際には確かにビーム雑
音のレベルは約１桁だけ減少を達成できる、すなわちビ
ーム雑音のレベルは２×10-5AUの値に低下することがで
きる。本発明により構成した干渉フィルタを装備せるジ
ューテリウムランプは範囲190〜200nmで急勾配の吸収端
によるばかりでなく、それが200nmより大きい波長にお
いても波長のUVビームに対し異常に高い透過性を持つこ
とですぐれている。すなわち、まさに分光分析的研究の
実施に利用したいビームである。本発明によるランプは
その寿命に関しては干渉フィルタ−多重層なしのジュー
テリウムランプに比較して変らない；また200nmより大
きい波長を持つUVビームの透過性は不利な変化を、1500
時間を越える稼働時間でさえ受けることはなかった。さ
らに本発明によるジューテリウムランプの利点はなお、
分光分析ならびに操作員を悩ますオゾン生成が発生しな
いことを挙げることができる。
ム雑音レベルは少くとも50％より多く減少せしめること
ができる。層対の数を上昇させる際には確かにビーム雑
音のレベルは約１桁だけ減少を達成できる、すなわちビ
ーム雑音のレベルは２×10-5AUの値に低下することがで
きる。本発明により構成した干渉フィルタを装備せるジ
ューテリウムランプは範囲190〜200nmで急勾配の吸収端
によるばかりでなく、それが200nmより大きい波長にお
いても波長のUVビームに対し異常に高い透過性を持つこ
とですぐれている。すなわち、まさに分光分析的研究の
実施に利用したいビームである。本発明によるランプは
その寿命に関しては干渉フィルタ−多重層なしのジュー
テリウムランプに比較して変らない；また200nmより大
きい波長を持つUVビームの透過性は不利な変化を、1500
時間を越える稼働時間でさえ受けることはなかった。さ
らに本発明によるジューテリウムランプの利点はなお、
分光分析ならびに操作員を悩ますオゾン生成が発生しな
いことを挙げることができる。
特に酸化アルミニウムおよび二酸化ケイ素の干渉フィ
ルター層組合せが有利であることが実証された。この層
組合せの場合には干渉フィルタの石英ガラス管の表面か
ら離れた最外側層は二酸化けい素からなっている。
ルター層組合せが有利であることが実証された。この層
組合せの場合には干渉フィルタの石英ガラス管の表面か
ら離れた最外側層は二酸化けい素からなっている。
しかし酸化アルミニウムおよびふっ化マグネシウムか
らなる干渉フィルタ−層組合せを使用するときは、干渉
フィルタの石英ガラス管の表面から離れた層の最外部は
酸化アルミニウムから製造することが推奨される。
らなる干渉フィルタ−層組合せを使用するときは、干渉
フィルタの石英ガラス管の表面から離れた層の最外部は
酸化アルミニウムから製造することが推奨される。
本発明によるジューテリウムランプの際は干渉フィル
タ−多重層は特に真空蒸着層である。しかしこのことは
蒸着層の他にまた他の、通常のやり方で施した干渉フィ
ルタ層を使用することができることを排除するものでは
ない。
タ−多重層は特に真空蒸着層である。しかしこのことは
蒸着層の他にまた他の、通常のやり方で施した干渉フィ
ルタ層を使用することができることを排除するものでは
ない。
干渉フィルタの各層の厚さはλ/4で、ここにλは吸収
端の限界波長で、約190nmにある。
端の限界波長で、約190nmにある。
第１図に基づき本発明により構成し、模式図的に示し
たジューテリウムランプを次に説明する。
たジューテリウムランプを次に説明する。
参照番号１でジューテリウムランプを含む石英ガラス
管をあらわし、その表面に干渉多重層からなるフィルタ
３を施す。該ジューテリウムランプは電流導入路２を介
して電流が供給される。金属ケース４にはジューテリウ
ムランプの陰極および陽極が配設されている。発生され
たビームは番号５で示されるケース４の開口部を通過し
その後で石英ガラス管１およびフィルタ３を透過する。
管をあらわし、その表面に干渉多重層からなるフィルタ
３を施す。該ジューテリウムランプは電流導入路２を介
して電流が供給される。金属ケース４にはジューテリウ
ムランプの陰極および陽極が配設されている。発生され
たビームは番号５で示されるケース４の開口部を通過し
その後で石英ガラス管１およびフィルタ３を透過する。
第２図には本発明による干渉多重層を施したジューテ
リウムランプ放光管の透過曲線を示し、図中横軸には波
長［nm］および縦軸に透過率［％］を現してある。本透
過曲線は、本発明による干渉フィルタ多重層を装備せる
ジューテリウムランプは範囲190〜200nmで急勾配の吸収
端を有しかつ200nmより大きいUV−波長に対してはその
透過率は範囲80〜90％の値に上昇しかつ保持されること
を明らかに示す。
リウムランプ放光管の透過曲線を示し、図中横軸には波
長［nm］および縦軸に透過率［％］を現してある。本透
過曲線は、本発明による干渉フィルタ多重層を装備せる
ジューテリウムランプは範囲190〜200nmで急勾配の吸収
端を有しかつ200nmより大きいUV−波長に対してはその
透過率は範囲80〜90％の値に上昇しかつ保持されること
を明らかに示す。
干渉フィルタ多重層を石英ガラス放光管に施こすこと
は例えば次に記載するようにして行う。
は例えば次に記載するようにして行う。
形式A1100Q（メーカー:Leybold AG,Hanau）の真空蒸
着装置で石英ガラスランプ放光管に次の表に掲げた総計
40の層を有する層の組を製作した。直径30mmの管状石英
ガラス管はその際球冠状取付け具に挟み込み、蒸発源の
上部約50cmの距離で回転させた。石英ガラス管を被覆す
る間ビーム加熱により温度300℃にもたらした。一面二
酸化ケイ素および他面酸化アルミニウムの被覆物質は二
つの電子放射銃（形式ESV14）から交互に蒸発させた。
着装置で石英ガラスランプ放光管に次の表に掲げた総計
40の層を有する層の組を製作した。直径30mmの管状石英
ガラス管はその際球冠状取付け具に挟み込み、蒸発源の
上部約50cmの距離で回転させた。石英ガラス管を被覆す
る間ビーム加熱により温度300℃にもたらした。一面二
酸化ケイ素および他面酸化アルミニウムの被覆物質は二
つの電子放射銃（形式ESV14）から交互に蒸発させた。
蒸着装置は30分以内に圧力５×10-4Paに排気した。１
時間の加熱時間の後該石英ガラス管はアルゴン雰囲気中
で圧力5Paで10分間グロー放電で前処理した。引き続い
て酸化分圧２×10-2Paで二酸化ケイ素および酸化アルミ
ニウムからなる層を交互の順で報告した厚さ（表参照）
に蒸着した。
時間の加熱時間の後該石英ガラス管はアルゴン雰囲気中
で圧力5Paで10分間グロー放電で前処理した。引き続い
て酸化分圧２×10-2Paで二酸化ケイ素および酸化アルミ
ニウムからなる層を交互の順で報告した厚さ（表参照）
に蒸着した。
層の構成および気化源の制御は公知の構造の光学的層
厚測定器を使用して行った。
厚測定器を使用して行った。
このようにして製造した石英ガラス放光管はスペクト
ル範囲200nmより上部で最大90％を越える透過性を有
し、その際同時にその透過性は200nmより下部で20％よ
り少かった。
ル範囲200nmより上部で最大90％を越える透過性を有
し、その際同時にその透過性は200nmより下部で20％よ
り少かった。
石英ガラス放光管 干渉フィルタの第２の層−表中層No.2−ならびに（ｎ
−１）の層−表中層No.39−には、透過曲線の波形の減
少のためにいわゆる適応層が使用されていることに留意
されるべきである。
−１）の層−表中層No.39−には、透過曲線の波形の減
少のためにいわゆる適応層が使用されていることに留意
されるべきである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 クレムリング，ホルスト ドイツ連邦共和国 Ｄ‐6477 リメスハイ ン ２ リンドハイマー シユトラーセ 40 (72)発明者 トーマス，ギユンター ドイツ連邦共和国 Ｄ‐6455 エルレンゼ ー トーマス‐マン‐シユトラーセ ４ (72)発明者 ロツ，ハンス‐ゲオルク ドイツ連邦共和国 Ｄ‐6466 グリユンダ ウ ヒユーナーベルク ９ アー
Claims (6)
- 【請求項１】発生したビームが管の１帯域を貫通するス
ペクトル分析装置、特に分光光度計のための石英ガラス
からなる放電管を有するジューテリウムランプにおい
て、少くともその外側表面上の管−帯域が交互に酸化ア
ルミニウムおよび二酸化ケイ素またはフッ化マグネシウ
ムからなる干渉フィルタを有し、その際各層の物理的層
厚は範囲10〜70nmにありかつその干渉フィルタの管表面
に向いている最初の有機層は酸化アルミニウムから構成
され、その乾燥フィルタ−多重層は波長範囲約190〜200
nmで吸収定数を持つが、200nmより大きい波長に対して
は最高の透過性を持つことを特徴とする石英ガラスから
なる放光管を有するジューテリウムランプ。 - 【請求項２】干渉フィルタ−多重層が少くとも10層対か
らなり、その際層対は酸化アルミニウムおよび二酸化ケ
イ素またはフッ化マグネシウム層よりなる請求項１記載
のジューテリウムランプ。 - 【請求項３】干渉フィルタ−層組合せ酸化アルミニウム
／二酸化ケイ素の場合に干渉フィルタの最上部の、石英
ガラス管の表面から離れている層は二酸化ケイ素からな
る請求項１または２記載のジューテリウムランプ。 - 【請求項４】干渉フィルタ−層組合せ酸化アルミニウム
／フッ化マグネシウムの場合には干渉フィルタの最上部
で、石英ガラス管の表面から離れている層は酸化アルミ
ニウムからなる請求項１または２記載のジューテリウム
ランプ。 - 【請求項５】干渉フィルタ層が真空蒸着層である請求項
１から４までのいずれか１項記載のジューテリウムラン
プ。 - 【請求項６】干渉フィルタの各層の厚さがλ/4であり、
この場合λ＝吸収端の限界波長である請求項１から５ま
でのいずれか１項記載のジューテリウムランプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3902144A DE3902144A1 (de) | 1989-01-25 | 1989-01-25 | Deuterium-lampe fuer spektralanalyse-vorrichtungen |
| DE3902144.0 | 1989-01-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03503817A JPH03503817A (ja) | 1991-08-22 |
| JPH0834769B2 true JPH0834769B2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=6372769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2502583A Expired - Lifetime JPH0834769B2 (ja) | 1989-01-25 | 1990-01-20 | スペクトル分析装置のためのジユーテリウムランプ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5117150A (ja) |
| EP (1) | EP0407548B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0834769B2 (ja) |
| AT (1) | ATE127616T1 (ja) |
| DE (2) | DE3902144A1 (ja) |
| WO (1) | WO1990009032A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4120730C2 (de) * | 1991-06-24 | 1995-11-23 | Heraeus Noblelight Gmbh | Elektrodenlose Niederdruck-Entladungslampe |
| US5513039A (en) * | 1993-05-26 | 1996-04-30 | Litton Systems, Inc. | Ultraviolet resistive coated mirror and method of fabrication |
| US5353113A (en) * | 1993-07-15 | 1994-10-04 | Cetac Technologies Incorporated | Single and multiple radiation transparent afterglow electric discharge detector systems |
| US5382804A (en) * | 1993-07-15 | 1995-01-17 | Cetac Technologies Inc. | Compact photoinization systems |
| DE19619358C2 (de) * | 1996-05-14 | 2001-09-27 | Heraeus Noblelight Gmbh | Verwendung eines optischen Filters mit Interferenzfilter-Mehrfachschicht |
| US6078132A (en) * | 1998-01-21 | 2000-06-20 | Imaging & Sensing Technology Corporation | Miniature deuterium arc lamp |
| US5972469A (en) * | 1998-01-30 | 1999-10-26 | Imaging & Sensing Technology Corporation | Baffle for eliminating interference ring(s) from the output light pattern of a deuterium lamp |
| DE19931954A1 (de) * | 1999-07-10 | 2001-01-11 | Leica Microsystems | Beleuchtungseinrichtung für ein DUV-Mikroskop |
| US7390669B2 (en) * | 2000-02-24 | 2008-06-24 | Georgia Tech Research Corporation | Simultaneous and rapid determination of multiple component concentrations in a Kraft liquor process stream |
| DE102009014425B4 (de) | 2009-03-26 | 2011-02-03 | Heraeus Noblelight Gmbh | Deuteriumlampe |
| DE102011018986A1 (de) | 2011-04-28 | 2012-10-31 | Heraeus Noblelight Gmbh | Lampenmodul, insbesondere für Spektralanalysevorrichtungen |
| DE102013107694A1 (de) * | 2013-07-18 | 2015-01-22 | Heraeus Noblelight Gmbh | Gasentladungslampe und deren Verwendung |
| EP3150562B1 (de) | 2015-10-01 | 2022-02-16 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Verwendung von optischem filtermaterial aus dotiertem quarzglas sowie das optische filtermaterial enthaltende uv-lampe |
| CN116242481B (zh) * | 2023-05-12 | 2023-08-29 | 中国计量科学研究院 | 氘灯光源系统及校准方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1353566A (fr) * | 1963-01-15 | 1964-02-28 | Le I Kinoingenerov | Réflecteur interférentiel et son procédé de fabrication |
| DE1589095A1 (de) * | 1967-07-12 | 1970-03-05 | Braun Ag | Gasentladungslampe fuer Blitzgeraete |
| CH564785A5 (ja) * | 1972-12-08 | 1975-07-31 | Balzers Patent Beteilig Ag | |
| US3931536A (en) * | 1974-07-15 | 1976-01-06 | Gte Sylvania Incorporated | Efficiency arc discharge lamp |
| US4049987A (en) * | 1976-06-04 | 1977-09-20 | The Perkin-Elmer Corporation | Ozone absorbance controller |
| JPS6038681B2 (ja) * | 1978-09-27 | 1985-09-02 | キヤノン株式会社 | 紫外用多層膜 |
| NL8502966A (nl) * | 1985-10-30 | 1986-10-01 | Philips Nv | Hogedrukontladingslamp. |
| US4910431A (en) * | 1987-04-24 | 1990-03-20 | W. C. Heraeus Gmbh | Hydrogen discharge ultraviolet light source or lamp, and method of its manufacture |
| DE3713704A1 (de) * | 1987-04-24 | 1988-11-03 | Heraeus Gmbh W C | Wasserstoff-entladungslampe und verfahren zu ihrer herstellung |
| DE3726803C1 (de) * | 1987-08-12 | 1988-09-15 | Heraeus Gmbh W C | Licht- und Wetterechtheitspruefgeraet |
-
1989
- 1989-01-25 DE DE3902144A patent/DE3902144A1/de active Granted
-
1990
- 1990-01-20 JP JP2502583A patent/JPH0834769B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1990-01-20 EP EP90902241A patent/EP0407548B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-01-20 DE DE59009610T patent/DE59009610D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-01-20 US US07/572,962 patent/US5117150A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-01-20 WO PCT/EP1990/000114 patent/WO1990009032A1/de not_active Ceased
- 1990-01-20 AT AT90902241T patent/ATE127616T1/de not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1990009032A1 (de) | 1990-08-09 |
| ATE127616T1 (de) | 1995-09-15 |
| DE3902144C2 (ja) | 1992-03-12 |
| EP0407548A1 (de) | 1991-01-16 |
| EP0407548B1 (de) | 1995-09-06 |
| DE59009610D1 (de) | 1995-10-12 |
| DE3902144A1 (de) | 1990-08-02 |
| JPH03503817A (ja) | 1991-08-22 |
| US5117150A (en) | 1992-05-26 |
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