JPH0835865A - 流量計用熱式流速センサのゲイン補正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ゲイン補正の機会を増やし、全体としてより
正確なゲイン補正を行うことができるようにする。 【構成】 補正処理部５０は、フローセンサ３０と圧電
膜センサ３５の双方を用いて流量を測定する流量範囲に
おいて、流量の変動の許容範囲の異なる複数の条件を設
定し、許容範囲の狭い条件から順に、フローセンサ３０
の出力に基づく流量の変動が許容範囲内か否かを判断
し、最初に流量の変動が許容範囲内と判断された時点
で、圧電膜センサ３５の出力に基づいて求められた流量
を用いて、フローセンサ３０のゲインを補正し、ゲイン
補正回路４１の入出力の関係を決定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フルイディック流量計
と熱式流速センサを併用した流量計において、熱式流速
センサのゲインを補正する流量計用熱式流速センサのゲ
イン補正装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガスメータ等に利用される流量計とし
て、熱式流速センサを用いたものが知られている。熱式
流速センサは、配管中における熱の移動が配管中を流れ
る流体の流速と関係することを利用して流速を求めるも
のであり、この熱式流速センサを用いた流量計では、流
速から流量を演算して、これを表示するようになってい
る。また、熱式流速センサは小流量の測定に適している
ことから、フルイディック流量計と熱式流速センサと併
用した流量計もある。

【０００３】ところで、熱式流速センサは温度等によっ
て出力が変動する。そこで、従来、フルイディック流量
計と熱式流速センサと併用した流量計では、例えば特開
平３−９６８１７号公報に示されるように、フルイディ
ック発振を検出するセンサと熱式流速センサの双方で測
定を行う流量範囲を設け、流量がこの流量範囲内にあ
り、且つ流量変動が微小のときに、フルイディック発振
を検出するセンサによる測定値に基づいて、熱式流速セ
ンサの出力信号とこの出力信号に基づいて求められる流
量との関係（本発明において熱式流速センサのゲインと
いう。）を補正するようしていた。

【０００４】ここで、図４ないし図６を用いて、従来の
熱式流速センサのゲイン補正方法の一例を説明する。な
お、以下の説明において、フルイディック発振を検出す
るセンサは圧電膜センサとし、熱式流速センサはフロー
センサと呼ぶ。

【０００５】図４の流れ図に示すように、従来のフロー
センサのゲイン補正方法では、まず、圧電膜センサが流
量測定中か否かを判断し（ステップＳ２０１）、測定中
である場合（Ｙ）は、圧電膜センサを用いた測定流量を
取得する（ステップＳ２０２）。次に、この測定流量が
補正基準流量範囲内か否かを判断する（ステップＳ２０
３）。補正基準流量範囲とは、圧電膜センサとフローセ
ンサの双方で測定を行う流量範囲であり、例えば２５０
〜４００リットル／時間である。測定流量が補正基準流
量範囲内の場合（Ｙ）は、フローセンサによって流量を
測定する（ステップＳ２０４）。

【０００６】ここで、図５を参照して、圧電膜センサと
フローセンサを用いた流量測定の動作を説明する。図５
（ａ）に示すように、圧電膜センサの出力は波形整形回
路等によってパルス化される。流量計の流量演算部は、
所定のパルスの立上がりから例えば１２秒を計時し、そ
の後の最初のパルスの立上がりまでの時間ｔ（秒）と、
１２＋ｔ秒間におけるパルス数とを計測し、時間ｔとパ
ルス数とに基づいて、１２＋ｔ秒間における積算流量Ｑ
_FDを演算し、更に、次の式によって、６秒当たりの積算
流量Ｑ_FD´を求める。

【０００７】

【数１】Ｑ_FD´＝｛６／（１２＋ｔ）｝×Ｑ_FD

【０００８】流量計の流量演算部は、更に、この６秒当
たりの積算流量Ｑ_FD´に基づいて、瞬間流量を求め、こ
の瞬間流量が補正基準流量範囲内にある場合（ステップ
Ｓ２０３；Ｙ）には、所定のパルスの立上がりから１２
＋ｔ秒経過した後の例えば３秒後に、図５（ｂ）に示す
ように、フローセンサの駆動を開始する。この図に示す
ように、フローセンサは例えば６秒毎に間欠的に駆動す
る。

【０００９】図４に戻って、フローセンサによる流量測
定を行ったら（Ｓ２０４）、フローセンサを用いた測定
流量が補正基準流量範囲内か否かを判断する（ステップ
Ｓ２０５）。この補正基準流量範囲はステップＳ２０３
における補正基準流量範囲と同様のものであり、流量が
大きく変わっていないことを確認するため再度判断を行
うようにしている。測定流量が補正基準流量範囲内の場
合（Ｙ）は、所定時間内におけるフローセンサを用いた
測定流量の変動が流量変動範囲内か否かを判断する（ス
テップＳ２０６）。流量変動範囲は、例えば所定時間内
における測定流量の平均値の±２．５％以内である。流
量変動範囲内の場合（Ｙ）は、後述する感度変化率を計
算し（ステップＳ２０７）、この感度変化率に基づいて
補正テーブルを更新して（ステップＳ２０８）、処理を
終了する。なお、ステップＳ２０１で圧電膜センサが流
量測定中ではない場合（Ｎ）、ステップＳ２０３で補正
基準流量範囲内ではない場合（Ｎ）、ステップＳ２０５
で補正基準流量範囲内ではない場合（Ｎ）およびステッ
プＳ２０６で流量変動範囲内ではない場合（Ｎ）は、そ
のまま処理を終了する。

【００１０】次に、図６を用いて、感度変化率について
説明する。図６は、フローセンサの出力とフローセンサ
を用いた測定流量の関係を示すものである。この図に示
すように、フローセンサの出力とフローセンサを用いた
測定流量の関係を表す直線は、フローセンサの出力を表
す横軸上の固定点ｂ_n を中心として変化する。フローセ
ンサのゲイン補正は、フローセンサを用いた測定流量と
圧電膜センサを用いた測定流量が一致するように、圧電
膜センサを用いた測定流量に基づいて、この直線の傾き
を変えることである。ここで、フローセンサの出力がＰ
_FSのときに、ゲイン補正前のフローセンサを用いた測定
流量をＱ_C 、圧電膜センサを用いた測定流量をＱ_n とす
ると、ゲイン補正前の直線の傾きａ_n は次の式で求めら
れる。

【００１１】

【数２】ａ_n ＝Ｑ_C ／（Ｐ_FS−ｂ_n ）

【００１２】同様に、フローセンサを用いた測定流量と
圧電膜センサを用いた測定流量が一致するようにしたゲ
イン補正後の直線の傾きａ_n ´は次の式で求められる。

【００１３】

【数３】ａ_n ´＝Ｑ_n ／（Ｐ_FS−ｂ_n ）

【００１４】感度変化率をｒ＝ａ_n ´／ａ_n と定義する
と、上記の２つの式より、ｒ＝Ｑ_n／Ｑ_C となり、ａ_n
´は次の式で求められる。

【００１５】

【数４】ａ_n ´＝ｒａ_n ＝（Ｑ_n ／Ｑ_C ）ａ_n

【００１６】以上のようにして求められたゲイン補正後
の直線の傾きａ_n ´に基づいて、ゲイン補正回路におけ
る入出力の関係を示す補正テーブルが更新される（ステ
ップＳ２０８）。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
熱式流速センサのゲイン補正方法では、気体の圧力変動
等の外乱によって流量変動が大きいときにはゲイン補正
が行われないため、ゲイン補正の機会が少なくなり、測
定流量の誤差を生じ易いという問題点がある。

【００１８】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、ゲイン補正の機会を増やし、全体と
してより正確なゲイン補正を行うことができるようにし
た流量計用熱式流速センサのゲイン補正装置を提供する
ことにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明の流量計用熱式流
速センサのゲイン補正装置は、フルイディック発振を検
出するフルイディック発振検出センサと熱式流速センサ
とを併用して流量を測定する流量計に用いられ、所定の
流量範囲内において、フルイディック発振検出センサの
出力に基づく流量と熱式流速センサの出力に基づく流量
とを演算する流量演算手段と、流量の変動の許容範囲の
異なる複数の条件を設定し、許容範囲の狭い条件から順
に、流量演算手段によって求められたフルイディック発
振検出センサの出力に基づく流量と熱式流速センサの出
力に基づく流量の少なくとも一方の変動が許容範囲内か
否かを判断し、最初に流量の変動が許容範囲内と判断さ
れた時点で、フルイディック発振検出センサの出力に基
づいて求められた流量を用いて、熱式流速センサのゲイ
ンを補正するゲイン補正手段とを備えたものである。

【００２０】この流量計用熱式流速センサのゲイン補正
装置では、流量演算手段によって、所定の流量範囲内に
おいて、フルイディック発振検出センサの出力に基づく
流量と熱式流速センサの出力に基づく流量とが演算され
る。そして、ゲイン補正手段によって、流量の変動の許
容範囲の異なる複数の条件が設定され、許容範囲の狭い
条件から順に、流量演算手段によって求められたフルイ
ディック発振検出センサの出力に基づく流量と熱式流速
センサの出力に基づく流量の少なくとも一方の変動が許
容範囲内か否かが判断され、最初に流量の変動が許容範
囲内と判断された時点で、フルイディック発振検出セン
サの出力に基づいて求められた流量を用いて、熱式流速
センサのゲインが補正される。

【００２１】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。

【００２２】図２は本発明の一実施例に係る流量計用熱
式流速センサのゲイン補正装置を含む流量計の構成を示
す断面図である。この流量計はガスメータとして用いら
れるものである。図２に示すように、流量計は、気体
（ガス）を受け入れる入口部１１と気体を排出する出口
部１２とを有する本体１０を備えている。本体１０内に
は隔壁１３が設けられ、この隔壁１３と入口部１１との
間に第１の気体流路１４が形成され、隔壁１３と出口部
１２との間に第２の気体流路１５が形成されている。隔
壁１３には開口部１６が設けられ、第１の気体流路１４
内には、開口部１６を閉塞可能な遮断弁１７が設けられ
ている。また、本体１０の外側にはソレノイド１８が固
定され、このソレノイド１８のプランジャ１９が、本体
１０の側壁を貫通して遮断弁１７に接合されている。ま
た、遮断弁１７と本体１０との間におけるプランジャ１
９の周囲には、ばね２０が設けられ、このばね２０が遮
断弁１７を開口部１６側へ付勢している。

【００２３】第２の気体流路１５内には、入口部１１か
ら受け入れた気体を通過させて噴流を発生させるノズル
２１が設けられている。このノズル２１の上流側には気
体の流れを整えるための整流部材２２が設けられてい
る。また、ノズル２１の通路内には、熱式流速センサで
あるフローセンサ３０が配設されている。このフローセ
ンサ３０は、図示しないが、発熱部とこの発熱部の上流
側および下流側に配設された２つの温度センサを有し、
２つの温度センサによって検出される温度の差を一定に
保つために必要な発熱部に対する供給電力から流速に対
応する流量を求めたり、一定電流または一定電力で発熱
部を加熱し、２つの温度センサによって検出される温度
の差から流量を求めるようになっている。

【００２４】ノズル２１の下流側には、拡大された流路
を形成する一対の側壁２３、２４が設けられている。こ
の側壁２３、２４の間には、所定の間隔を開けて、上流
側に第１ターゲット２５、下流側に第２ターゲット２６
がそれぞれ配設されている。また、側壁２３、２４の外
側には、ノズル２１を通過した気体を各側壁２３、２４
の外周部に沿ってノズル２１の噴出口側へ帰還させる一
対のフィードバック流路２７、２８を形成するリターン
ガイド２９が配設されている。また、フィードバック流
路２７、２８の各出口部分と出口部１２との間には、リ
ターンガイド２９の背面と本体１０とによって、一対の
排出路３１、３２が形成されている。また、ノズル２１
の噴出口の近傍には導圧孔３３、３４が設けられ、本体
１０の底部の外側には、導圧孔３３と導圧孔３４におけ
る差圧を検出する圧電膜センサ３５（図２では図示せ
ず。）が設けられている。

【００２５】図１は図２に示した流量計の回路部分の構
成を示すブロック図である。この図に示すように、流量
計は、フローセンサ３０のゲインを補正するゲイン補正
回路４１と、このゲイン補正回路４１の出力信号をアナ
ログ−ディジタル（以下、Ａ／Ｄと記す。）変換するＡ
／Ｄ変換器４２と、圧電膜センサの３５の出力信号を増
幅するアナログ増幅器４３と、このアナログ増幅器４３
の出力を波形整形してパルスを生成する波形整形回路４
４とを備えている。流量計は、更に、Ａ／Ｄ変換器４２
と波形整形回路４４の各出力を入力し、流量および積算
流量を演算する流量演算部４５と、この流量演算部４５
によって演算された積算流量を表示する表示部４６と、
流量演算部４５によって制御され、ソレノイド１８を駆
動して遮断弁１７を制御する遮断弁制御部４７と、流量
演算部４５によって制御され、流量に応じてフローセン
サ３０と圧電膜センサ３５の動作状態を切り換えるセン
サ切換部４８とを備えている。

【００２６】流量計は、更に、流量演算部４５で求めら
れた流量に基づいてゲイン補正処理を行い、ゲイン補正
回路４１を制御する補正処理部５０を備えている。補正
処理部５０が行うゲイン補正処理では、フローセンサ３
０と圧電膜センサ３５の双方を用いて流量を測定する流
量範囲において、流量の変動の許容範囲の異なる複数の
条件を設定し、許容範囲の狭い条件から順に、フローセ
ンサ３０の出力に基づく流量の変動が許容範囲内か否か
を判断し、最初に流量の変動が許容範囲内と判断された
時点で、圧電膜センサ３５の出力に基づいて求められた
流量を用いて、フローセンサ３０のゲインを補正する。
ゲイン補正回路４１および補正処理部５０が本発明にお
けるゲイン補正手段を構成する。また、ゲイン補正回路
４１、流量演算部４５および補正処理部５０が本実施例
のゲイン補正装置を構成する。なお、流量演算部４５、
遮断弁制御部４７、センサ切換部４８および補正処理部
５０は、例えばマイクロコンピュータによって構成され
る。

【００２７】なお、図１に示した流量計では、フローセ
ンサ３０は小流量域での測定を行い、圧電膜センサ３５
は大流量域での測定を行うと共に、両センサ３０、３５
の測定領域は一部重複している。センサ切換部４８は、
流量がどのセンサの測定領域にあるかに応じてフローセ
ンサ３０と圧電膜センサ３５の動作状態を切り換えるよ
うになっている。

【００２８】また、遮断弁制御部４７は、例えば、流量
演算部４５が所定量以上の流量を検出した場合や所定の
流量を所定時間以上検出した場合等に、ソレノイド１８
を動作させ、遮断弁１７によって開口部１６を閉塞して
ガスを遮断するようになっている。

【００２９】次に、図１および図２に示した流量計の主
な動作について説明する。

【００３０】流量計の入口部１１から受け入れられた気
体は、第１の気体流路１４、開口部１６、第２の気体流
路１５、整流部材２２を順に経て、ノズル２１に入る。
流量がフローセンサ３０の測定領域にあるときは、流量
演算部４５は、ノズル２１の通路内に配設されたフロー
センサ３０の出力に基づいて、ノズル２１の通路を通過
する気体の流速に対応する流量を演算する。

【００３１】ノズル２１を通過した気体は、噴流となっ
て噴出口より噴出される。噴出口より噴出された気体
は、コアンダ効果により一方の側壁に沿って流れる。こ
こでは、まず側壁２３に沿って流れるものとする。側壁
２３に沿って流れた気体は、更にフィードバック流路２
７を経て、ノズル２１の噴出口側へ帰還され、排出路３
１を経て出口部１２より排出される。このとき、ノズル
２１より噴出された気体は、フィードバック流路２７を
流れてきた気体によって方向が変えられ、今度は他方の
側壁２４に沿って流れるようになる。この気体は、更に
フィードバック流路２８を経て、ノズル２１の噴出口側
へ帰還され、排出路３２を経て出口部１２より排出され
る。すると、ノズル２１より噴出された気体は、今度
は、フィードバック流路２８を流れてきた気体によって
方向が変えられ、再び側壁２３、フィードバック流路２
７に沿って流れるようになる。以上の動作を繰り返すこ
とにより、ノズル２１を通過した気体は一対のフィード
バック流路２７、２８を交互に流れるフルイディック発
振を行う。このフルイディック発振の周波数、周期は流
量と対応関係がある。

【００３２】フルイディック発振は、圧電膜センサ３５
によって検出される。流量が圧電膜センサ３５の測定領
域にあるときは、流量演算部４５は、波形整形回路４４
から出力されるパルスの周期に基づいて流量を演算す
る。

【００３３】表示部４６は流量演算部４５によって演算
された積算流量を表示する。また、遮断弁制御部４７
は、流量演算部４５が所定量以上の流量を検出した場合
や所定の流量を所定時間以上検出した場合等に、ソレノ
イド１８を動作させ、遮断弁１７によって開口部１６を
閉塞し、流量計の下流側への気体（ガス）の供給を停止
する。

【００３４】次に、図３の流れ図を用いて、補正処理部
５０におけるゲイン補正処理の動作について説明する。

【００３５】このゲイン補正処理では、まず、流量演算
部４５より圧電膜センサ３５を用いた測定流量を取得
し、この測定流量が補正基準流量範囲内か否かを判断す
る（ステップＳ１０１）。補正基準流量範囲とは、フロ
ーセンサ３０と圧電膜センサ３５の双方を用いて流量を
測定する流量範囲であり、例えば１８０〜４００リット
ル／時間である。測定流量が補正基準流量範囲内ではな
い場合（Ｎ）は、ゲイン補正処理を終了する。測定流量
が補正基準流量範囲内の場合（Ｙ）は、前回のゲイン補
正から１時間経過したか否かを判断する（ステップＳ１
０２）。１時間経過していない場合（Ｎ）は、ゲイン補
正処理を終了する。１時間経過している場合（Ｙ）は、
流量演算部４５でフローセンサ３０および圧電膜センサ
３５の双方を用いて流量を測定する（ステップＳ１０
３）。フローセンサ３０を用いた流量の測定は例えば６
秒間隔で５回行い、圧電膜センサ３５を用いた流量の測
定は例えば３０秒行う。次に、フローセンサ３０を用い
た測定流量と圧電膜センサ３５を用いた測定流量の差が
２％未満か否かを判断する（ステップＳ１０４）。２％
未満の場合（Ｙ）は、ゲイン補正処理を終了する。

【００３６】ステップＳ１０４において、測定流量の差
が２％未満ではない場合（Ｎ）は、流量の変動の許容範
囲の第１の条件として、フローセンサ３０を用いた測定
流量のばらつきが２％未満か否かを判断する（ステップ
Ｓ１０５）。測定流量のばらつきは、例えば、５回の測
定によって得られた測定流量の最大値と最小値の差を５
回の測定流量の平均値で割った値とする。測定流量のば
らつきが２％未満の場合（Ｙ）は、ゲイン補正を行う
（ステップＳ１０６）。このゲイン補正は、図６を用い
て説明したように、フローセンサ３０を用いた測定流量
と圧電膜センサ３５を用いた測定流量が一致するよう
に、圧電膜センサ３５を用いた測定流量に基づいて、フ
ローセンサ３０の出力とフローセンサ３０を用いた測定
流量の関係を表す直線の傾きを変えることである。そし
て、このようにして決定されたフローセンサ３０の出力
とフローセンサ３０を用いた測定流量の関係に従って、
ゲイン補正回路４１における入出力の関係が決定され
る。次に、１時間を計時するタイマをリセットして（ス
テップＳ１０７）、ゲイン補正処理を終了する。

【００３７】ステップＳ１０５において、測定流量のば
らつきが２％未満ではない場合（Ｎ）は、再度、流量演
算部４５でフローセンサ３０および圧電膜センサ３５の
双方を用いて流量を測定する（ステップＳ１０８）。こ
こでの、フローセンサ３０を用いた流量の測定は例えば
１秒間隔で３０回行い、圧電膜センサ３５を用いた流量
の測定は例えば３０秒行う。なお、フローセンサ３０を
用いた流量の測定は、ステップＳ１０３と同様に６秒間
隔で５回行っても良い。次に、流量の変動の許容範囲の
第２の条件として、フローセンサ３０を用いた測定流量
のばらつきが６％未満か否かを判断する（ステップＳ１
０９）。測定流量のばらつきが６％未満の場合（Ｙ）
は、ゲイン補正を行う（ステップＳ１０６）。

【００３８】ステップＳ１０９において、測定流量のば
らつきが６％未満ではない場合（Ｎ）は、再度、流量演
算部４５でフローセンサ３０および圧電膜センサ３５の
双方を用いて流量を測定する（ステップＳ１１０）。こ
こでの、フローセンサ３０を用いた流量の測定は例えば
１秒間隔で３０回行い、圧電膜センサ３５を用いた流量
の測定は例えば３０秒行う。なお、フローセンサ３０を
用いた流量の測定は、ステップＳ１０３と同様に６秒間
隔で５回行っても良い。次に、前回（ステップＳ１０
８）の測定データと今回（ステップＳ１１０）の測定デ
ータを加え（ステップＳ１１１）、加えた後の全測定デ
ータに対して、流量の変動の許容範囲の第３の条件とし
て、フローセンサ３０を用いた測定流量のばらつきが８
％未満か否かを判断する（ステップＳ１０９）。測定流
量のばらつきが８％未満の場合（Ｙ）は、ゲイン補正を
行う（ステップＳ１０６）。測定流量のばらつきが８％
未満ではない場合（Ｎ）は、ゲイン補正を行うことな
く、タイマをリセットして（ステップＳ１０７）、ゲイ
ン補正処理を終了する。

【００３９】以上のゲイン補正処理は、流量計全体の処
理の中で、繰り返し実行される。

【００４０】このように本実施例によれば、流量の変動
の許容範囲の異なる複数の条件を設定し、許容範囲の狭
い条件から順に、流量の変動が許容範囲内か否かを判断
し、最初に流量の変動が許容範囲内と判断された時点
で、フローセンサ３０のゲイン補正を行うようにしたの
で、気体の圧力変動等の外乱があっても、ゲイン補正の
機会が増え、全体としてより正確なゲイン補正を行うこ
とができる。また、外乱が小さいときには、許容範囲の
狭い条件のときにゲイン補正が行われるので、より正確
なゲイン補正を行うことができる。

【００４１】なお、本発明は上記実施例に限定されず、
例えば、ゲイン補正手段として、図１に示したゲイン補
正回路４１を設ける代わりに、Ａ／Ｄ変換後のデータを
マイクロコンピュータ等によって補正するようにしても
良い。

【００４２】また、実施例では、フローセンサ３０を用
いた測定流量の変動が許容範囲内か否かを判断するよう
にしたが、圧電膜センサ３５を用いた測定流量の変動が
許容範囲内か否かを判断するようにしても良いし、フロ
ーセンサ３０を用いた測定流量の変動と圧電膜センサ３
５を用いた測定流量の変動の双方が許容範囲内か否かを
判断するようにしても良い。また、流量の変動の許容範
囲の異なる複数の条件は、３つに限らず、２つでも良い
し、４つ以上でも良い。

【００４３】また、熱式流速センサとしては、発熱部と
２つの温度センサを有するものに限らず、例えば、１つ
の発熱部を有し、この発熱部の温度（抵抗）を一定に保
つために必要な発熱部に対する供給電力から流速を求め
たり、一定電流または一定電力で発熱部を加熱し、発熱
部の温度（抵抗）から流速を求めるものでも良い。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る流量計
用熱式流速センサのゲイン補正装置によれば、流量の変
動の許容範囲の異なる複数の条件を設定し、許容範囲の
狭い条件から順に、流量の変動が許容範囲内か否かを判
断し、最初に流量の変動が許容範囲内と判断された時点
で、熱式流速センサのゲイン補正を行うようにしたの
で、気体の圧力変動等の外乱があっても、ゲイン補正の
機会が増え、全体としてより正確なゲイン補正を行うこ
とができるという効果がある。また、外乱が小さいとき
には、許容範囲の狭い条件のときにゲイン補正が行われ
るので、より正確なゲイン補正を行うことができるとい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る流量計用熱式流速セン
サのゲイン補正装置を含む流量計の回路構成を表すブロ
ック図である。

【図２】本発明の一実施例に係る流量計用熱式流速セン
サのゲイン補正装置を含む流量計の構成を表す断面図で
ある。

【図３】図１における補正処理部の動作を表す流れ図で
ある。

【図４】従来の熱式流速センサのゲイン補正方法を説明
するための流れ図である。

【図５】従来の流量計における圧電膜センサとフローセ
ンサの流量測定の動作を表す説明図である。

【図６】フローセンサの出力とフローセンサを用いた測
定流量の関係を表す特性図である。

【符号の説明】

３０ フローセンサ ３５ 圧電膜センサ ４１ ゲイン補正回路 ４５ 流量演算部 ４６ 表示部 ５０ 補正処理部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フルイディック発振を検出するフルイデ
   ィック発振検出センサと熱式流速センサとを併用して流
   量を測定する流量計に用いられ、 所定の流量範囲内において、フルイディック発振検出セ
   ンサの出力に基づく流量と熱式流速センサの出力に基づ
   く流量とを演算する流量演算手段と、 流量の変動の許容範囲の異なる複数の条件を設定し、許
   容範囲の狭い条件から順に、前記流量演算手段によって
   求められたフルイディック発振検出センサの出力に基づ
   く流量と熱式流速センサの出力に基づく流量の少なくと
   も一方の変動が許容範囲内か否かを判断し、最初に流量
   の変動が許容範囲内と判断された時点で、フルイディッ
   ク発振検出センサの出力に基づいて求められた流量を用
   いて、熱式流速センサのゲインを補正するゲイン補正手
   段とを具備することを特徴とする流量計用熱式流速セン
   サのゲイン補正装置。