JPH08359Y2 - カーボン蒸着装置 - Google Patents
カーボン蒸着装置Info
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- JPH08359Y2 JPH08359Y2 JP1990402932U JP40293290U JPH08359Y2 JP H08359 Y2 JPH08359 Y2 JP H08359Y2 JP 1990402932 U JP1990402932 U JP 1990402932U JP 40293290 U JP40293290 U JP 40293290U JP H08359 Y2 JPH08359 Y2 JP H08359Y2
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 66
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、試料表面にカーボン蒸
着するカーボン蒸着装置に関するものである。
着するカーボン蒸着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のカーボン蒸着は、カーボン棒とカ
ーボン棒とを先端を細くして接触させ、この間に大電流
を流して当該カーボン接合面の温度を上げ、カーボンを
昇華させ、周囲に配置した試料上に蒸着するようにして
いる。
ーボン棒とを先端を細くして接触させ、この間に大電流
を流して当該カーボン接合面の温度を上げ、カーボンを
昇華させ、周囲に配置した試料上に蒸着するようにして
いる。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】このため、蒸着する時
間が長い程、カーボン棒の先端のみならずカーボン棒全
体が赤熱され、更にカーボン棒を保持する金具、周辺が
高温に加熱されてしまい、熱ダメージを受け易く熱絶縁
の良い試料の場合、試料表面の温度が上って熱変形が発
生してしまう。この蒸着時間の長いことによるカーボン
棒の先端、カーボン棒全体、更に保持具が加熱されるこ
とによる試料表面の温度上昇を避けるために、例えば図
３の（イ）に示すように、間歇的に数秒の間、カーボン
蒸着し、数秒の間、冷却時間をおくことを繰り返すこと
が考えられる。しかし、実際にカーボン蒸着を行って見
ると、熱ダメージを受け易く熱絶縁性が良い発砲ポリス
チロールや薄いポリエチレンフィルムでは、変形してし
まうなどの熱ダメージが発生するという問題があった。
間が長い程、カーボン棒の先端のみならずカーボン棒全
体が赤熱され、更にカーボン棒を保持する金具、周辺が
高温に加熱されてしまい、熱ダメージを受け易く熱絶縁
の良い試料の場合、試料表面の温度が上って熱変形が発
生してしまう。この蒸着時間の長いことによるカーボン
棒の先端、カーボン棒全体、更に保持具が加熱されるこ
とによる試料表面の温度上昇を避けるために、例えば図
３の（イ）に示すように、間歇的に数秒の間、カーボン
蒸着し、数秒の間、冷却時間をおくことを繰り返すこと
が考えられる。しかし、実際にカーボン蒸着を行って見
ると、熱ダメージを受け易く熱絶縁性が良い発砲ポリス
チロールや薄いポリエチレンフィルムでは、変形してし
まうなどの熱ダメージが発生するという問題があった。
【０００４】本考案は、試料表面の温度上昇を極力抑え
るために短時間蒸着してその後に試料表面の温度冷却時
間を設けることを繰り返し、熱ダメージの受け易く熱絶
縁性の良い試料のカーボンコーティングを自動的かつ簡
易に可能にすることを目的としている。
るために短時間蒸着してその後に試料表面の温度冷却時
間を設けることを繰り返し、熱ダメージの受け易く熱絶
縁性の良い試料のカーボンコーティングを自動的かつ簡
易に可能にすることを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】図１を参照して課題を解
決するための手段を説明する。図１において、間歇発振
器１は、カーボン棒６に短時間の間、加熱電流を供給
し、次の時間の間、加熱電流の供給を停止することを繰
り返すための信号を生成する発振器である。
決するための手段を説明する。図１において、間歇発振
器１は、カーボン棒６に短時間の間、加熱電流を供給
し、次の時間の間、加熱電流の供給を停止することを繰
り返すための信号を生成する発振器である。
【０００６】スイッチ２−１は、間歇発振器１によって
生成された信号をもとにカーボン棒６に供給する加熱電
流をＯＮ／ＯＦＦ制御するスイッチである。
生成された信号をもとにカーボン棒６に供給する加熱電
流をＯＮ／ＯＦＦ制御するスイッチである。
【０００７】
【作用】本考案は、図１に示すように、カーボン蒸着開
始指示に対応して、間歇発振器１が短時間の間、加熱電
流を供給する信号、次の時間の間、加熱電流の供給を停
止する信号を生成し、この信号をもとにスイッチ２−１
をＯＮ／ＯＦＦ制御し、短時間の間、加熱電流をカーボ
ン棒６に供給して昇華させ試料にカーボン蒸着し、次の
時間の間、加熱電流の供給を停止して試料表面温度を冷
却することを繰り返すようにしている。また、カーボン
棒６に加熱電流を供給する短時間および加熱電流を供給
しない次の時間を任意に設定、あるいは／およびカーボ
ン棒６に供給する加熱電流を任意の値に設定し得るよう
にしている。
始指示に対応して、間歇発振器１が短時間の間、加熱電
流を供給する信号、次の時間の間、加熱電流の供給を停
止する信号を生成し、この信号をもとにスイッチ２−１
をＯＮ／ＯＦＦ制御し、短時間の間、加熱電流をカーボ
ン棒６に供給して昇華させ試料にカーボン蒸着し、次の
時間の間、加熱電流の供給を停止して試料表面温度を冷
却することを繰り返すようにしている。また、カーボン
棒６に加熱電流を供給する短時間および加熱電流を供給
しない次の時間を任意に設定、あるいは／およびカーボ
ン棒６に供給する加熱電流を任意の値に設定し得るよう
にしている。
【０００８】従って、試料表面の温度上昇を極力抑える
ために短時間蒸着してその後に試料表面の温度冷却時間
を設けることを繰り返すことにより、熱ダメージの受け
易く熱絶縁性の良い試料のカーボンコーティングを自動
的かつ簡易に行うことが可能となる。
ために短時間蒸着してその後に試料表面の温度冷却時間
を設けることを繰り返すことにより、熱ダメージの受け
易く熱絶縁性の良い試料のカーボンコーティングを自動
的かつ簡易に行うことが可能となる。
【０００９】
【実施例】次に、図１ないし図３を用いて本考案の実施
例の構成および動作を順次詳細に説明する。図１におい
て、間欠発振器１は、カーボン棒６に短時間の間、加熱
電流を供給し、次の時間の間、加熱電流の供給を停止す
ることを繰り返すための信号を生成するものであって、
スイッチＳＷ１をＯＮにすると動作を開始し、ＯＮ時間
設定抵抗１−１を調整してＯＮ時間を設定およびＯＦＦ
時間設定抵抗１−２を調整してＯＦＦ時間を設定可能な
発振器である。
例の構成および動作を順次詳細に説明する。図１におい
て、間欠発振器１は、カーボン棒６に短時間の間、加熱
電流を供給し、次の時間の間、加熱電流の供給を停止す
ることを繰り返すための信号を生成するものであって、
スイッチＳＷ１をＯＮにすると動作を開始し、ＯＮ時間
設定抵抗１−１を調整してＯＮ時間を設定およびＯＦＦ
時間設定抵抗１−２を調整してＯＦＦ時間を設定可能な
発振器である。
【００１０】リレー２は、間歇発振器１によって生成さ
れた信号でスイッチ２−１をＯＮ／ＯＦＦ駆動し、カー
ボン棒６に通電する電流ＩをＯＮ／ＯＦＦ制御するもの
である。スライダック３は、電源（例えば１００ＡＣ）
から任意のＡＣ電圧を取り出し、カーボン棒６に流す加
熱電流（電流Ｉ）を調整するためのものである。
れた信号でスイッチ２−１をＯＮ／ＯＦＦ駆動し、カー
ボン棒６に通電する電流ＩをＯＮ／ＯＦＦ制御するもの
である。スライダック３は、電源（例えば１００ＡＣ）
から任意のＡＣ電圧を取り出し、カーボン棒６に流す加
熱電流（電流Ｉ）を調整するためのものである。
【００１１】トランス４は、スライダック３によって取
り出したＡＣ電圧についてスイッチ２−１を介して入力
し、２次コイルから低電圧で大電流の電流Ｉをカーボン
棒６に供給して加熱するための降圧トランスである。真
空チャンバ５は、ポンプによって真空排気するチャンバ
（室）であって、この中にカーボン棒６、試料７などを
納めてカーボン蒸着するためのものである。
り出したＡＣ電圧についてスイッチ２−１を介して入力
し、２次コイルから低電圧で大電流の電流Ｉをカーボン
棒６に供給して加熱するための降圧トランスである。真
空チャンバ５は、ポンプによって真空排気するチャンバ
（室）であって、この中にカーボン棒６、試料７などを
納めてカーボン蒸着するためのものである。
【００１２】カーボン棒６は、電流Ｉを流して直接加熱
してカーボンを昇華させ、近傍に配置した試料７の表面
にカーボン蒸着するためのものである。次に、図２の波
形図を用いて図１の構成の動作を詳細に説明する。 図２において、スイッチＳＷ１は、間歇発振器１を動
作させ、カーボン蒸着を開始させるスイッチである。
してカーボンを昇華させ、近傍に配置した試料７の表面
にカーボン蒸着するためのものである。次に、図２の波
形図を用いて図１の構成の動作を詳細に説明する。 図２において、スイッチＳＷ１は、間歇発振器１を動
作させ、カーボン蒸着を開始させるスイッチである。
【００１３】リレーは、間歇発振器１からの信号をも
とにカーボン棒６に加熱電流（電流Ｉ）を供給（ＯＮ）
したり、停止（ＯＦＦ）したりするものである。ＯＮの
時間ＴON、ＯＦＦの時間ＴOFF は間歇発振器１のＯＮ時
間設定抵抗１−１、ＯＦＦ時間設定抵抗１−２を調整し
て行う。 電流Ｉは、カーボン棒６に流す加熱電流である。この
電流Ｉの大きさは、スライダック３を調整して行う。ま
た、図示しないが、自動電圧調整装置あるいはＳＣＲな
どを用いて調整してもよい。
とにカーボン棒６に加熱電流（電流Ｉ）を供給（ＯＮ）
したり、停止（ＯＦＦ）したりするものである。ＯＮの
時間ＴON、ＯＦＦの時間ＴOFF は間歇発振器１のＯＮ時
間設定抵抗１−１、ＯＦＦ時間設定抵抗１−２を調整し
て行う。 電流Ｉは、カーボン棒６に流す加熱電流である。この
電流Ｉの大きさは、スライダック３を調整して行う。ま
た、図示しないが、自動電圧調整装置あるいはＳＣＲな
どを用いて調整してもよい。
【００１４】試料コーティング膜厚は、カーボン棒６
から昇華させたカーボンを近傍に配置した試料７の表面
に蒸着した厚さである。 試料表面温度は、カーボン棒６を加熱してカーボン蒸
着するときに、カーボン蒸着しようとする試料７の表面
温度である。以下図１の構成の動作を詳細に説明する。
から昇華させたカーボンを近傍に配置した試料７の表面
に蒸着した厚さである。 試料表面温度は、カーボン棒６を加熱してカーボン蒸
着するときに、カーボン蒸着しようとする試料７の表面
温度である。以下図１の構成の動作を詳細に説明する。
【００１５】（１） 操作員がスイッチＳＷ１をＯＮに
し（図２のスイッチＳＷ１の（Ａ））、間歇発振器１
を動作状態にする （２） （１）でスイッチＳＷ１をＯＮにしたことに対
応して、間歇発振器１が設定されたＯＮ時間設定抵抗１
−１に対応するＯＮ時間ＴONおよびＯＦＦ時間設定抵抗
１−２に対応するＯＦＦ時間ＴOFF で繰り返す信号を生
成し、リレー２を図示のようにＯＮ−ＯＦＦ制御する
（図２のリレーの波形参照）。
し（図２のスイッチＳＷ１の（Ａ））、間歇発振器１
を動作状態にする （２） （１）でスイッチＳＷ１をＯＮにしたことに対
応して、間歇発振器１が設定されたＯＮ時間設定抵抗１
−１に対応するＯＮ時間ＴONおよびＯＦＦ時間設定抵抗
１−２に対応するＯＦＦ時間ＴOFF で繰り返す信号を生
成し、リレー２を図示のようにＯＮ−ＯＦＦ制御する
（図２のリレーの波形参照）。
【００１６】（３） （２）のリレー２によるＴONの時
間の間、電流Ｉをカーボン棒６に流して加熱し（図２の
電流Ｉの波形参照）、カーボンを昇華させて試料７の
表面に蒸着させる。これにより、試料コーティング膜
厚が図示のように厚くなると共に試料表面温度が徐々
に上昇する。 （４） （２）のリレー２によるＴOFF の時間の間、電
流Ｉをカーボン棒６に流すことを停止し、試料表面温
度を徐々に低下させて、冷却する。
間の間、電流Ｉをカーボン棒６に流して加熱し（図２の
電流Ｉの波形参照）、カーボンを昇華させて試料７の
表面に蒸着させる。これにより、試料コーティング膜
厚が図示のように厚くなると共に試料表面温度が徐々
に上昇する。 （４） （２）のリレー２によるＴOFF の時間の間、電
流Ｉをカーボン棒６に流すことを停止し、試料表面温
度を徐々に低下させて、冷却する。
【００１７】（５） 同様に、（３）、（４）を繰り返
し行い、試料表面温度についてカーボン蒸着時のカー
ボン棒６からの熱放射によって上昇することを極力抑え
た状態でカーボン蒸着を所望のコーティング膜厚になる
まで自動的に続行する。尚、停止は、予め設定した所定
回数繰り返したときに自動停止させたり、あるいは図示
外の膜厚計によって所望の膜厚になったとき（例えば試
料７の近傍に配置した膜厚検出板にカーボン蒸着したこ
とによる周波数変化量が所定値になったとき）に自動停
止させる。また、カーボン棒６に供給する電流Ｉの大き
さは、試料表面温度上昇およびカーボン蒸着膜厚を考慮
して実験で予め求めた最適値（例えば熱ダメージし易く
熱絶縁性の良い試料は電流Ｉを小さ目）に設定する。
し行い、試料表面温度についてカーボン蒸着時のカー
ボン棒６からの熱放射によって上昇することを極力抑え
た状態でカーボン蒸着を所望のコーティング膜厚になる
まで自動的に続行する。尚、停止は、予め設定した所定
回数繰り返したときに自動停止させたり、あるいは図示
外の膜厚計によって所望の膜厚になったとき（例えば試
料７の近傍に配置した膜厚検出板にカーボン蒸着したこ
とによる周波数変化量が所定値になったとき）に自動停
止させる。また、カーボン棒６に供給する電流Ｉの大き
さは、試料表面温度上昇およびカーボン蒸着膜厚を考慮
して実験で予め求めた最適値（例えば熱ダメージし易く
熱絶縁性の良い試料は電流Ｉを小さ目）に設定する。
【００１８】次に、図３を用いて本考案の具体例につい
て説明する。図３の（イ）は、通常の間歇蒸着時のカ
ーボン通電電流Ｉと試料温度との関係を示す。ここで
は、ＯＮ時間ＴON＝２秒、ＯＦＦ時間ＴOFF ＝５秒と
し、これを繰り返して試料にカーボン蒸着したときの
試料温度を模式的に示す。この例では、（Ｂ）に示す温
度で試料７である発砲ポリスチロールやポリエチレンフ
ィルムなどが変形してしまった。
て説明する。図３の（イ）は、通常の間歇蒸着時のカ
ーボン通電電流Ｉと試料温度との関係を示す。ここで
は、ＯＮ時間ＴON＝２秒、ＯＦＦ時間ＴOFF ＝５秒と
し、これを繰り返して試料にカーボン蒸着したときの
試料温度を模式的に示す。この例では、（Ｂ）に示す温
度で試料７である発砲ポリスチロールやポリエチレンフ
ィルムなどが変形してしまった。
【００１９】一方、図３の（ロ）は、本考案の間歇蒸着
時のカーボン通電電流Ｉと試料温度との関係を示
す。ここでは、ＯＮ時間ＴON＝０．３秒、ＯＦＦ時間Ｔ
OFF ＝２秒とし、これを繰り返して試料にカーボン蒸着
したときの試料温度を模式的に示す。この例では、
（Ｃ）に示す温度まで上昇しなく、試料７である発砲ポ
リスチロールやポリエチレンフィルムなどが変形しな
く、きれいにカーボン蒸着することができた。このよう
に、本考案は、極めて短時間、例えば１秒以下の間の
み、カーボン棒６に加熱電流を供給し、次に数秒の間、
休止期間をおき、これを繰り返すことにより、熱ダメー
ジの受け易く熱絶縁性の良い試料に対して、変形させる
ことなくカーボン蒸着することができた。
時のカーボン通電電流Ｉと試料温度との関係を示
す。ここでは、ＯＮ時間ＴON＝０．３秒、ＯＦＦ時間Ｔ
OFF ＝２秒とし、これを繰り返して試料にカーボン蒸着
したときの試料温度を模式的に示す。この例では、
（Ｃ）に示す温度まで上昇しなく、試料７である発砲ポ
リスチロールやポリエチレンフィルムなどが変形しな
く、きれいにカーボン蒸着することができた。このよう
に、本考案は、極めて短時間、例えば１秒以下の間の
み、カーボン棒６に加熱電流を供給し、次に数秒の間、
休止期間をおき、これを繰り返すことにより、熱ダメー
ジの受け易く熱絶縁性の良い試料に対して、変形させる
ことなくカーボン蒸着することができた。
【００２０】
【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
試料表面の温度上昇を極力抑えるために短時間蒸着して
その後に試料表面の温度冷却時間を設けることを繰り返
す構成を採用しているため、熱ダメージの受け易く熱絶
縁性の良い試料のカーボンコーティングを自動的かつ簡
易に行うことができた。
試料表面の温度上昇を極力抑えるために短時間蒸着して
その後に試料表面の温度冷却時間を設けることを繰り返
す構成を採用しているため、熱ダメージの受け易く熱絶
縁性の良い試料のカーボンコーティングを自動的かつ簡
易に行うことができた。
【図１】本考案の１実施例構成図である。
【図２】本考案の動作波形図である。
【図３】間歇蒸着時の波形図である。
１：間歇発振器 １−１：ＯＮ時間設定抵抗 １−２：ＯＦＦ時間設定抵抗 ２：リレー ２−１：スイッチ ３：スライダック ４：トランス ５：真空チャンバ ６：カーボン棒 ７：試料
Claims (2)
- 【請求項１】試料表面にカーボン蒸着するカーボン蒸着
装置において、 カーボン棒（６）に１秒以下の間、加熱電流を供給し、
次の時間の間、加熱電流の供給を停止することを繰り返
すための信号を生成する間歇発振器（１）と、 この間歇発振器（１）によって生成された信号をもとに
カーボン棒（６）に供給する加熱電流をＯＮ／ＯＦＦ制
御するスイッチ（２−１）とを備えたことを特徴とする
カーボン蒸着装置。 - 【請求項２】上記カーボン棒（６）に加熱電流を供給す
る１秒以下の時間、および加熱電流を供給しない時間を
任意に設定、あるいは／および上記カーボン棒（６）に
供給する加熱電流を任意の値に設定するように構成した
ことを特徴とする請求項１記載のカーボン蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990402932U JPH08359Y2 (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | カーボン蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990402932U JPH08359Y2 (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | カーボン蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0489544U JPH0489544U (ja) | 1992-08-05 |
| JPH08359Y2 true JPH08359Y2 (ja) | 1996-01-10 |
Family
ID=31880780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990402932U Expired - Lifetime JPH08359Y2 (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | カーボン蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08359Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0730674Y2 (ja) * | 1989-04-04 | 1995-07-12 | サンユー電子株式会社 | カーボン蒸着装置 |
-
1990
- 1990-12-12 JP JP1990402932U patent/JPH08359Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0489544U (ja) | 1992-08-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |