JPH084077B2 - ボ−トロ−ダ−装置 - Google Patents
ボ−トロ−ダ−装置Info
- Publication number
- JPH084077B2 JPH084077B2 JP62187204A JP18720487A JPH084077B2 JP H084077 B2 JPH084077 B2 JP H084077B2 JP 62187204 A JP62187204 A JP 62187204A JP 18720487 A JP18720487 A JP 18720487A JP H084077 B2 JPH084077 B2 JP H084077B2
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- JP
- Japan
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- boat
- wafer
- boat loader
- stage
- diffusion furnace
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 半導体製造装置とくに熱処理炉に付随するボート挿入
引出に関わるボートローダー装置に関するものである。
引出に関わるボートローダー装置に関するものである。
従来の技術 近年、ウェハーの大口径化と製造の効率化のため、拡
散炉では大量の大口径ウェハーがバッチ方式で処理され
ている。ボートに例えば６インチウェハーを50〜100枚
と大量に充填すると、ボートおよびボートを支えるボー
トローダーも強度を増す必要があり、よって大径化し全
体として熱容量も増々大きくなってきている。拡散炉内
で熱処理を終えて引出されてきたウェハーの充填された
ボートは温度が上昇したまま拡散炉外に引出されてくる
ことになる。
散炉では大量の大口径ウェハーがバッチ方式で処理され
ている。ボートに例えば６インチウェハーを50〜100枚
と大量に充填すると、ボートおよびボートを支えるボー
トローダーも強度を増す必要があり、よって大径化し全
体として熱容量も増々大きくなってきている。拡散炉内
で熱処理を終えて引出されてきたウェハーの充填された
ボートは温度が上昇したまま拡散炉外に引出されてくる
ことになる。
第２図は従来の多段構成の拡散炉ボートローダー装置
の断面構成図である。この場合は３段構成ボートローダ
ー装置である。送風機１により外部から取込んだ空気は
フィルター２によって清浄空気となり、送風パンチング
板3A,3B,3Cから水平方向にボート移動路全域から、各段
一斉に一様に常時吹き出している。これは、ボートロー
ダー外部からダストが侵入しウェハーに附着汚染するの
を防止するためである。
の断面構成図である。この場合は３段構成ボートローダ
ー装置である。送風機１により外部から取込んだ空気は
フィルター２によって清浄空気となり、送風パンチング
板3A,3B,3Cから水平方向にボート移動路全域から、各段
一斉に一様に常時吹き出している。これは、ボートロー
ダー外部からダストが侵入しウェハーに附着汚染するの
を防止するためである。
拡散炉とボートローダー装置の間には通常スカベンジ
ャーが設けられており、拡散炉石英チューブ内の熱気お
よびボートが拡散炉から引出されてきたときの熱気を排
除するようになっている。しかし、近年ウェハーの大口
径化とボートの大径化によって熱容量が増々大きくなっ
てきているので、拡散炉内で熱処理を終えて引出されて
きたボートがボートローダー装置の最終引出位置に到達
してもまだ高温状態にあり、周囲温度近傍まで低下する
には長時間放置しなければならなくなってきている。
ャーが設けられており、拡散炉石英チューブ内の熱気お
よびボートが拡散炉から引出されてきたときの熱気を排
除するようになっている。しかし、近年ウェハーの大口
径化とボートの大径化によって熱容量が増々大きくなっ
てきているので、拡散炉内で熱処理を終えて引出されて
きたボートがボートローダー装置の最終引出位置に到達
してもまだ高温状態にあり、周囲温度近傍まで低下する
には長時間放置しなければならなくなってきている。
発明が解決しようとする問題点 拡散炉の熱処理のなかでも、とくにPH3ガス,PoCl3液
体ソースなどをリン不純物源として、リン不純物を蒸
着，拡散する熱処理においては、ボートが熱処理を終え
て拡散炉外へ引出されてきたときには、ボート，ウェハ
ーともまだ高温状態にあるため、同ボート，ウェハー表
面からはリンミストが大量に発散している。第２図の温
度，リンミスト濃度測定点14では、温度は100℃以上、
リンミストを浮遊微粒子として計測器で測定すると0.17
ミクロン以上の粒径総粒子数が数十万ヶ/ft3以上に達す
る。引き出されてきたときのボート，ウェハー温度が高
ければ高いほどリンミスト発生率は高くなる。このよう
に、従来の拡散炉においては、ボートがスカベンジャー
領域を通過し、最終位置に引き出されてきてもなお、リ
ンミストを大量に発生しているため、従来のスカベンジ
ャーだけではこのリンミストを排除することは不可能
で、第２図のように、フィルター２から送風パンチング
板3A,3B,3Cを通って水平に吹き出している清浄空気の気
流に乗ってリンミストはボートローダー装置全体に飛散
することになり、附近一帯がリンミストで汚染されるこ
とになる。リンミストは吸湿性があるため、装置表面が
ベトつき清浄な雰囲気を著しく害うという欠点があっ
た。またリンはＮ型不純物であるから、他の半導体装置
の製品にリン不純物が附着することになり、半導体装置
の製品性能を著しく害うという問題があった。また、第
２図の場合は三段炉用ボートローダー構成になっている
ので、三段共全てリン蒸着拡散炉であれば、リンミスト
の汚染は、一段炉の場合の三倍で拡大する。あるいは、
三段のうち一段だけがリン蒸着拡散炉で他の二段が他の
目的の炉であっても、拡散炉およびボートローダー装置
が設置されているクリーンルーム内気流は循環している
ので結局、他の炉にもリンの汚染は拡大するという問題
点があった。
体ソースなどをリン不純物源として、リン不純物を蒸
着，拡散する熱処理においては、ボートが熱処理を終え
て拡散炉外へ引出されてきたときには、ボート，ウェハ
ーともまだ高温状態にあるため、同ボート，ウェハー表
面からはリンミストが大量に発散している。第２図の温
度，リンミスト濃度測定点14では、温度は100℃以上、
リンミストを浮遊微粒子として計測器で測定すると0.17
ミクロン以上の粒径総粒子数が数十万ヶ/ft3以上に達す
る。引き出されてきたときのボート，ウェハー温度が高
ければ高いほどリンミスト発生率は高くなる。このよう
に、従来の拡散炉においては、ボートがスカベンジャー
領域を通過し、最終位置に引き出されてきてもなお、リ
ンミストを大量に発生しているため、従来のスカベンジ
ャーだけではこのリンミストを排除することは不可能
で、第２図のように、フィルター２から送風パンチング
板3A,3B,3Cを通って水平に吹き出している清浄空気の気
流に乗ってリンミストはボートローダー装置全体に飛散
することになり、附近一帯がリンミストで汚染されるこ
とになる。リンミストは吸湿性があるため、装置表面が
ベトつき清浄な雰囲気を著しく害うという欠点があっ
た。またリンはＮ型不純物であるから、他の半導体装置
の製品にリン不純物が附着することになり、半導体装置
の製品性能を著しく害うという問題があった。また、第
２図の場合は三段炉用ボートローダー構成になっている
ので、三段共全てリン蒸着拡散炉であれば、リンミスト
の汚染は、一段炉の場合の三倍で拡大する。あるいは、
三段のうち一段だけがリン蒸着拡散炉で他の二段が他の
目的の炉であっても、拡散炉およびボートローダー装置
が設置されているクリーンルーム内気流は循環している
ので結局、他の炉にもリンの汚染は拡大するという問題
点があった。
問題点を解決するための手段 本願発明は上記問題点を解決するために、ウエハーを
熱処理するための拡散炉及びこの拡散炉の前記ウエハー
を出し入れする側に設けられたスカベンジャーに隣接
し、前記拡散炉に熱処理する前に前記ウエハーを送出し
かつ前記熱処理後に前記拡散炉より前記ウエハーを取り
出すためのボートローダー及び同ボートローダーに置か
れた前記ウエハーが２段以上の多段構成になっており、
前記ボートローダー上の前記ウエハーが置かれた上方部
には各別に排気装置が取付けられたボートローダー装置
であって、前記排気装置には排気機能をそれぞれ独立に
制御するための制御手段が各別に備えられており、か
つ、各段のボートローダー装置にはそれぞれ空気送出手
段が備えられた構成になっている。また各段とも熱処理
を終えてボートが引出されてくるとき以外は、清浄空気
送出機能は定常動作し、排気機能は停止する構成になっ
ている。
熱処理するための拡散炉及びこの拡散炉の前記ウエハー
を出し入れする側に設けられたスカベンジャーに隣接
し、前記拡散炉に熱処理する前に前記ウエハーを送出し
かつ前記熱処理後に前記拡散炉より前記ウエハーを取り
出すためのボートローダー及び同ボートローダーに置か
れた前記ウエハーが２段以上の多段構成になっており、
前記ボートローダー上の前記ウエハーが置かれた上方部
には各別に排気装置が取付けられたボートローダー装置
であって、前記排気装置には排気機能をそれぞれ独立に
制御するための制御手段が各別に備えられており、か
つ、各段のボートローダー装置にはそれぞれ空気送出手
段が備えられた構成になっている。また各段とも熱処理
を終えてボートが引出されてくるとき以外は、清浄空気
送出機能は定常動作し、排気機能は停止する構成になっ
ている。
作用 上記構成にすることによって、熱処理を終えて引き出
されてきたボート，ウェハーから発散しているリンミス
トをボートローダー装置外へ飛散拡大するのを防止する
ことができる。
されてきたボート，ウェハーから発散しているリンミス
トをボートローダー装置外へ飛散拡大するのを防止する
ことができる。
実施例 本発明の一実施例を第１図で説明する。
拡散炉・ボートローダー装置は三段構成の場合であ
る。送風機1A,1B,1Cが各段独立に各々設置作動する構成
になっている。送風機1A,1B,1Cより外部から取込んだ空
気は、各段各々独立に設置されたフィルター2A,2B,2Cに
より清浄空気となり、ステンレス製送風パンチング板3
A,3B,3Cから水平方向にボート移動路全域に吹き出して
いる。これにより、ボートローダー外部からダストが侵
入しウェハーが附着汚染されるのを防止している。以上
の構成によって各段各々独立に清浄空気の送風，停止を
することができる。
る。送風機1A,1B,1Cが各段独立に各々設置作動する構成
になっている。送風機1A,1B,1Cより外部から取込んだ空
気は、各段各々独立に設置されたフィルター2A,2B,2Cに
より清浄空気となり、ステンレス製送風パンチング板3
A,3B,3Cから水平方向にボート移動路全域に吹き出して
いる。これにより、ボートローダー外部からダストが侵
入しウェハーが附着汚染されるのを防止している。以上
の構成によって各段各々独立に清浄空気の送風，停止を
することができる。
ウェハーが熱処理を終えてボートローダー装置内へ引
出されてきたとき、熱気およびリンミストはウェハーの
上方向へ、上昇気流となっている。この気流は、ボート
移動路の天井部全領域に各段各々独立に設けられた排気
パンチング板を通って排気装置6A,6B,6Cによってクリー
ンルーム外へ排気除外される。各段の排気装置6A,6B,6C
はダンパー7A,7B,7Cによって各々独立に吸引を停止する
ことができる。
出されてきたとき、熱気およびリンミストはウェハーの
上方向へ、上昇気流となっている。この気流は、ボート
移動路の天井部全領域に各段各々独立に設けられた排気
パンチング板を通って排気装置6A,6B,6Cによってクリー
ンルーム外へ排気除外される。各段の排気装置6A,6B,6C
はダンパー7A,7B,7Cによって各々独立に吸引を停止する
ことができる。
ウェハーが熱処理を終えてボートローダー装置内へ引
き出されてくるときには、該当段の清浄空気送出だけが
停止し、該当段の排気装置はダンパーの開によって吸引
動作される構成になっている。熱処理を終えてボートが
引出されてくるとき以外は、各段とも清浄空気送出機能
は定常動作し、排気機能は停止する構成にすることがで
きる。
き出されてくるときには、該当段の清浄空気送出だけが
停止し、該当段の排気装置はダンパーの開によって吸引
動作される構成になっている。熱処理を終えてボートが
引出されてくるとき以外は、各段とも清浄空気送出機能
は定常動作し、排気機能は停止する構成にすることがで
きる。
以上説明した構成にすることによって、高温状態で拡
散炉から引出されてきたボート，ウエハーから発散する
熱気，リンミストは、ウエハーの上方部すなわち、各段
のボートローダー装置の天井部に設けられた排気装置に
よって排除されるので、ボートローダー装置から熱気、
リンミストがクリーンルーム内に飛散することがなくな
り、クリーンルームの汚染を防ぐことができる。その結
果、半導体装置の製品の性能を著しく害うことを防止で
きる。
散炉から引出されてきたボート，ウエハーから発散する
熱気，リンミストは、ウエハーの上方部すなわち、各段
のボートローダー装置の天井部に設けられた排気装置に
よって排除されるので、ボートローダー装置から熱気、
リンミストがクリーンルーム内に飛散することがなくな
り、クリーンルームの汚染を防ぐことができる。その結
果、半導体装置の製品の性能を著しく害うことを防止で
きる。
以上の実施例は三段構成の場合についてであるが、そ
の他の多段構成でも適用できることは勿論である。また
リン蒸着拡散炉の場合について説明したが、他の用途の
拡散炉、あるいは熱処理炉についても適用できることは
勿論である。
の他の多段構成でも適用できることは勿論である。また
リン蒸着拡散炉の場合について説明したが、他の用途の
拡散炉、あるいは熱処理炉についても適用できることは
勿論である。
発明の効果 以上説明した様に本発明は、ボートローダー移動路全
域の天井部に排気装置を設け、高温状態で拡散炉からボ
ートが引出されてくるときのみ、該当段のみ排気装置を
吸引動作させ、該当段のみ清浄空気送出を停止させるこ
とによって、熱気およびリンシストがボートローダー前
面からクリーンルーム内へ飛散するのを防止することが
でき、ボートローダー装置周辺の雰囲気を清浄な状態に
維持管理することができ、附近に置いてある他の半導体
装置の性能劣化を防止することができる。
域の天井部に排気装置を設け、高温状態で拡散炉からボ
ートが引出されてくるときのみ、該当段のみ排気装置を
吸引動作させ、該当段のみ清浄空気送出を停止させるこ
とによって、熱気およびリンシストがボートローダー前
面からクリーンルーム内へ飛散するのを防止することが
でき、ボートローダー装置周辺の雰囲気を清浄な状態に
維持管理することができ、附近に置いてある他の半導体
装置の性能劣化を防止することができる。
第１図は本発明による一実施例の三段構成拡散炉ボート
ローダー装置の概要断面図、第２図は従来の三段構成拡
散炉ボートローダー装置の概要断面図である。 1,1A,1B,1C……送風機、2,2A,2B,2C……フィルター、3
A,3B,3C……送風パンチング板、5A,5B,5C……排気パン
チング板、6A,6B,6C……排気装置、7A,7B,7C……排気ダ
ンパー、10……ウェハー、11……ボート、12……ボート
ローダー、13……ボートローダー軌道、14……温度，リ
ンミスト濃度測定点。
ローダー装置の概要断面図、第２図は従来の三段構成拡
散炉ボートローダー装置の概要断面図である。 1,1A,1B,1C……送風機、2,2A,2B,2C……フィルター、3
A,3B,3C……送風パンチング板、5A,5B,5C……排気パン
チング板、6A,6B,6C……排気装置、7A,7B,7C……排気ダ
ンパー、10……ウェハー、11……ボート、12……ボート
ローダー、13……ボートローダー軌道、14……温度，リ
ンミスト濃度測定点。
Claims (2)
- 【請求項１】ウエハーを熱処理する拡散炉及びこの拡散
炉の前記ウエハーを出し入れする側に設けられ、前記拡
散炉に前記ウエハーを出し入れするためのボートローダ
ー装置を多段構成となし、前記各段のボートローダー装
置に置かれた前記ウエハーの上方部には各別に排気装置
が取付けられており、前記排気装置には排気機能を制御
する制御手段が各別に備えられており、かつ、前記各段
のボートローダー装置にはそれぞれ空気送出手段が備え
られていることを特徴とするボートローダー装置。 - 【請求項２】排気機能を制御する制御手段及び空気送出
手段が各段独立に作動可能になされた特許請求の範囲第
（１）項記載のボートローダー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62187204A JPH084077B2 (ja) | 1987-07-27 | 1987-07-27 | ボ−トロ−ダ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62187204A JPH084077B2 (ja) | 1987-07-27 | 1987-07-27 | ボ−トロ−ダ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6430214A JPS6430214A (en) | 1989-02-01 |
| JPH084077B2 true JPH084077B2 (ja) | 1996-01-17 |
Family
ID=16201913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62187204A Expired - Fee Related JPH084077B2 (ja) | 1987-07-27 | 1987-07-27 | ボ−トロ−ダ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH084077B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3011595A1 (de) * | 1980-03-26 | 1981-10-01 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Korrektureinrichtung fuer ein kraftstoffmesssystem bei einer brennkraftmaschine |
| JPS6049930A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-03-19 | Kobe Steel Ltd | タイヤユニフオミテイ機用リム装着方法及びリム装着装置 |
| JPS62121112A (ja) * | 1985-11-18 | 1987-06-02 | Teru Saamuko Kk | 保管装置 |
-
1987
- 1987-07-27 JP JP62187204A patent/JPH084077B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6430214A (en) | 1989-02-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |