JPH0841502A - 希土類永久磁石用合金粉末の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁化増加量と保磁力の双方の性能をバランス
良く備えた希土類永久磁石用合金粉を提供する。 【構成】 組成を適当に選択することにより、準安定な
希土類化合物を生成させ、熱処理によってＲ₂ Ｆe₁₄ Ｂ
相を生成させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は希土類元素（Ｙを含む）
と遷移金属（Ｆe を必須とする）及びＢを基本成分と
し、ボンド磁石に使用される希土類永久磁石用合金粉末
の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁石粉末と樹脂とを混合し、押出成形、
圧縮成形あるいは射出成形により、樹脂ボンド永久磁石
（複合磁石）を得ることは周知のことである。特に最近
希土類合金系の優れた磁気特性を活かした希土類ボンド
永久磁石が注目されてきている。本発明は、かかる希土
類ボンド永久磁石に用いられる高磁気特性の磁石粉末で
ある希土類永久磁石用合金粉末の製造方法に関するもの
である。希土類と遷移金属を主成分とした既知の永久磁
石材料は、Ｓm-Ｃo 系、Ｎd-Ｆe-Ｂ系が知られており、
その優れた特性から広範囲で使用されている。中でもＮ
d₂Ｆe₁₄ Ｂ化学量論組成よりも若干希土類リッチ側の組
成で、液体急冷と熱処理によって生成した数10nm程度の
微細なＮd₂Ｆe₁₄ Ｂ相からなる組織を有する等方性Ｎd-
Ｆe-Ｂ系材料は、コストパフォーマンスに優れるため生
産量が急増している。

【０００３】近年、この等方性Ｎd-Ｆe-Ｂ系材料におい
てハード磁性相のＮd₂Ｆe₁₄ Ｂ化学量論組成よりもＮd
量を減少し、磁化並びに最大エネルギー積を増加させた
材料に関する報告が、次世代のボンド磁石材料として注
目を集めている。それらは大きく２つのグル−プに分け
られるが、どちらも従来材同様、液体急冷と熱処理によ
って１００nm以下の微細組織を生成している。１つはＮ
d₂Ｆe₁₄ Ｂ化学量論組成よりも若干希土類量が少ない８
〜１０ａｔ％程度の材料である。単なるＮd 量の減少の
みではα−Ｆe が生成するため保磁力が激減するが、Ｚ
r 、Ｎb 、Ｖ等の添加で保磁力低下の抑制に成功してい
る（例えばProceeding of the 10th. Int'l. Workshop
on RE Magnets, Kyoto Japan,315(1989)）。以降この型
の材料を単純希土類減少型と呼ぶ。

【０００４】もう一つは、Ｎd₂Ｆe₁₄ Ｂ組成よりも極端
な低Ｎd 、高ＢであるＮd₄Ｆe₇₇ Ｂ₁₉近傍の組成に於
て、Ｎd₂Ｆe₁₄ Ｂ相とＦe₃Ｂ相からなる微細結晶粒組織
を生成し、１．２Ｔの極めて高い飽和磁化の発現に成功
している。（J.de Physique,C8,1988,P669-670参照）。
この材料の主相は磁気的にソフトなＦe₃Ｂ相であること
が、既存の永久磁石材料との大きな相違である。以降こ
の型の材料を低Ｎd 高Ｂ型と呼ぶ。しかし保磁力は３kO
e 程度であり、実用化には不十分であったため、以降幾
つかの保磁力増加に関する研究が発表されている。例え
ばＮd₃Ｄy₂Ｆe_{70. 5} Ｃo₅Ｇa₁Ｂ_18.5の組成では保磁力６
kOe と良好な角型性が得られたと報告された（日本応用
磁気学会誌17,1993,185-190 ）。ここではＮd の一部の
Ｄy 置換によるハード相Ｎd₂Ｆe₁₄ Ｂ相の異方性磁界増
加とＣo 、Ｇa の添加による組織微細化によって、磁性
の向上をもたらしたとしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】以上のように液体急冷
と熱処理による微細結晶粒組織を有する等方性Ｎd-Ｆe-
Ｂ系材料に於て、全く異なる２種類の方法で磁化の上昇
がなされたが、それぞれ以下のような課題を抱えてい
る。まず、前者の単純希土類減少型では、保磁力が８kO
e 以上であり、実用可能な能力を有しているが、従来材
に対する磁化増加量が少なく優位性が乏しい。

【０００６】一方、後者の低Ｎd 高Ｂ型であるが、非常
に大きな磁化を有する反面、保磁力は最高で６kOe と未
だ不十分であるため、実用化にはさらなる保磁力増加が
必要である。ハード相の異方性磁界増加と組織微細化以
外に保磁力を増加する最も簡単な方法は、ハード相の体
積率増加があげられる。しかし、これ以上にＮd₂Ｆe_{1 4}
Ｂ相の体積率を増加する組成、つまりＮd-Ｆe-Ｂ系３元
状態図上でＮd₂Ｆe₁₄Ｂ相方向に近づく組成では、準安
定なＮd₂Ｆe₂₃ Ｂ₃ 相がＮd₂Ｆe₁₄ Ｂ相に代って晶出す
るため、保磁力が低下することが知られている（J.Mag.
Mag.Mat. 80(1989)101-104）。なお、Ｎd₂Ｆe₂₃ Ｂ₃ 相
からなる組織を十分加熱すると主にα−Ｆe とＮd Ｆe₄
Ｂ₄ 相からなり、少量のＮd₂Ｆe₁₄ Ｂ相を含む組織とな
るが、Ｎd₂Ｆe₁₄ Ｂ相の体積率が低いため、保磁力が１
kOe 以下であることは本発明者が確認している。このＮ
d₂Ｆe₂₃ Ｂ₃ 相が晶出し、保磁力が発現しにくい組成域
を以降中間組成域と呼ぶ。図１にＮd-Ｆe-Ｂ系３元状態
図のＦe 近傍に上記各型磁石の組成域を示す。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者は液体急冷と熱
処理によって生成する微細結晶粒組織を有する等方性Ｎ
d-Ｆe-Ｂ系材料に於て、上記の単純希土類減少型の磁化
不足と低Ｎd 高Ｂ型の保磁力不足を解決する方法とし
て、両者の中間的な組成を有する中間組成域での構成相
の適性化について検討した。その結果、非晶質からＮd₂
Ｆe₂₃ Ｂ₃ 相が晶出する温度域における吸水素、さらに
脱水素処理によって、Ｎd₂Ｆe₂₃ Ｂ₃ 相が消失してＮd₂
Ｆe₁₄ Ｂ相を生成する事実を見出した。本発明はこれら
の知見に基づいてなされたものである。すなわち、本発
明は基本成分を希土類−鉄−ボロンとし、液体急冷と熱
処理によって生成した微細結晶粒組織を有する等方性永
久磁石材料に於いて、準安定な希土類化合物の生成によ
って、ハード相であるＲ₂ Ｆe₁₄ Ｂ相を生成しないた
め、磁石とならなかった組成域に於いて、吸水素、脱水
素処理を施すことによりＲ₂ Ｆe₁₄ Ｂ相の生成を可能と
することにより上記課題を解決したものである。

【０００８】次に本発明の構成を以下に詳細に記す。 (1) 組成 Ｒ（Ｙを含む希土類元素）とＴ（Ｆe が５０ａｔ％以上
である遷移金属）並びにＢを基本成分とし、 Ｒ：２〜１２ａｔ％ Ｂ：５〜２０ａｔ％ Ｔ：残部 であることを特徴とする。

【０００９】Ｒは２〜１２ａｔ％である。Ｒが２ａｔ％
以下であるとハード相であるＲ₂ Ｆe₁₄ Ｂ型化合物相の
体積率が不十分となり、保磁力の低下をもたらす。ま
た、１２ａｔ％以上であるとソフト磁性相の体積率が減
少するため、磁化の低下をもたらす。Ｒ種はＮd 、Ｐr
又はそれらの混合物が好ましい。また一部をＤy 等の重
希土類で置換するとＲ₂ Ｆe₁₄ Ｂ相の異方性磁界が増加
するため、保磁力が増加する。しかし同時に磁化が低下
するため、添加量はＲの５０％程度までが適当である。
Ｌa は非晶質又は微細結晶粒組織の生成を容易にする効
果がある。しかしＬa 添加によってＲ₂ Ｆe₁₄ Ｂ相の異
方性磁界が低下するため、過度の添加は保磁力の低下を
もたらす。したがってＬa 添加量はＲの２５％程度まで
が適当である。Ｒのより好ましい範囲は５〜８ａｔ％で
ある。

【００１０】Ｂは５〜２０ａｔ％である。Ｂが５ａｔ％
以下であると、α−Ｆe の体積率が増加するため保磁力
が低下する。また、２０ａｔ％以上であると磁化の低下
をもたらす。残部は遷移金属Ｔであり、その内５０％以
上がＦe である。Ｔの内Ｆe が５０％以下では各磁気特
性が低下する。Ｆe 以外のＴとしては３０％以内のＣo
添加が高温での磁気特性向上、組織微細化による保磁
力、角型性の向上に有効である。しかし、３０％以上の
Ｃo 添加は保磁力の低下を招く。その他少量のIVa 、Ｖ
a 族元素、さらにＣr 、Ｃu 、Ｓi 、Ａl 、Ｇa の添加
も組織微細化に有効であり、保磁力、角型性が向上す
る。

【００１１】(2) 水素吸蔵処理前の組織 非晶質または準安定結晶相組織、あるいは非晶質と準安
定結晶相の両方を含む組織であることを特徴とする。水
素吸蔵処理前の組織限定理由は以下の通りである。この
組成域に於ては平衡状態ではＲ₂ Ｆe₁₄ Ｂ相の他に、主
にα−Ｆe 、ＲＦe₄Ｂ₄ 相によって構成される。そして
一般的な鋳造凝固法に依れば、それら各相は数μｍ以上
の結晶粒となっている。このような組織に対し以下に述
べる水素吸蔵、脱水素処理を実施しても、各希土類化合
物の分解、再結合のみ起り、希土類を含まないα−Ｆe
等は変化しないため、良好な磁気特性の発現は不可能で
ある。ハード相とソフト相が共存する永久磁石材料で
は、微細混合組織とすることで、量子力学的な磁気的相
互作用である交換相互作用によりソフト相がもたらす高
い磁化とハード相がもたらす高保磁力の両立が可能とな
っている。したがって均一な微細混合組織を生成するに
は、組成的に均一な状態である非晶質あるいは単相組織
から出発する必要がある。しかし、この組成域内には平
衡相が存在しないため、非晶質あるいは配合組成近傍の
準安定相、例えばＲ₂ Ｆe₂₃ Ｂ₃ 相からなる組織とする
必要がある。

【００１２】本発明と同様のＲ−Ｔ−Ｂ系合金を水素吸
蔵、脱水素処理して等方性又は異方性の磁石粉を作製す
る方法が良く知られている（例えばProceeding of the
11th. Int'l. Workshop on RE Magnets,49(1990)）。し
かしこれはＮd₂Ｆe₁₄ Ｂ近傍の組成に於てＮd₂Ｆe₁₄ Ｂ
相の分解、再結合反応をもたらすことで、組織を微細化
するものである。それに対し本発明の組成域はＲ₂ Ｆe
₁₄ Ｂよりも低希土、高Ｂ側であるため、上記のように
組成的に均一な非晶質相あるいは配合組成近傍の準安定
相からなる組織である必要がある。Ｒ₂ Ｆe₁₄ Ｂ相を含
む場合には必然的にα−Ｆe 、ＲＦe₄Ｂ₄ 相等を含むこ
とになり、水素吸蔵、脱水素処理によって各磁性相が微
細に混合する組織の生成は困難である。

【００１３】(3) 水素吸蔵処理前の組織生成方法 水素吸蔵処理前の非晶質または準安定結晶相組織、ある
いは非晶質と準安定結晶相の両方を含む組織の生成は、
液体急冷法、気相急冷法、メカニカルアロイ法等によっ
て可能である。その中で液体急冷法が特性、コストの両
面で優れている。気相急冷法は冷却速度が大きく、非晶
質生成能力では最も優れているが、生産性が極めて悪
い。メカニカルアロイ法は液体急冷法で非晶質化不可能
である合金での非晶質化が報告されており、大変有力な
方法であるが、本発明の合金組成では液体急冷法で十分
非晶質化は可能である。また、生産性も液体急冷法が格
段に優れている。

【００１４】液体急冷法としてはロール法、アトマイズ
法、スプラットクエンチ法等が一般に良く知られてい
る。この中でロール法が冷却速度、処理量、均一性の全
てで優れており、本発明に最適な方法である。ロール法
の中でも双ロール法よりも単ロール法が冷却速度、作業
性の面で優れている。スプラットクエンチ法は最も高い
冷却速度が達成され、非晶質、又は準安定相組織の生成
能力は高いが、処理量が極端に少なく、同一試料内での
冷却速度の相違が大きいため、組織の均一性にも欠ける
ので実用的な生産には不向きである。アトマイズ法は処
理量、均一性は優れるが冷却速度が劣るため、本発明を
構成する組織の生成は困難である。

【００１５】(4) 水素吸蔵、脱水素処理 上記合金を水素を含む雰囲気中で熱処理し水素を吸蔵す
る工程、さらに実質的に水素を含まない雰囲気中で熱処
理し水素を放出する工程からなることを特徴とする。以
下、それぞれの工程について説明する。

【００１６】(A) 水素吸蔵 水素を含む雰囲気とは、純水素あるいは水素と不活性ガ
スの混合雰囲気であり、水素分圧によって適性処理条件
は変化する。処理温度は水素吸蔵によってＲの水素化物
を生成する範囲内で低温の方が好ましい。処理温度の上
昇は組織の粗大化を招き、脱水素後の組織粗大化につな
がり磁気特性が低下する。同様に処理時間もＲの水素化
物を生成する範囲内で短時間の方が好ましい。具体的に
は６００〜７５０℃程度で３０分以内が適当である。水
素吸蔵反応は発熱反応であるため、特に処理量が増加し
た際には速やかな反応熱の除去が、安定した試料の作製
には重要であり、蓄熱材の利用等が有効である。また、
雰囲気圧力の増加、Ｈe との混合によるガスの熱伝導度
増加も有効である。

【００１７】この水素吸蔵反応によって例えばＲ₂ Ｆe
₂₃ Ｂ₃ 近傍の組成においては、非晶質相（Ａm)は以下
のように変化する。 Ａm →（Ａm-Ｈ）→（Ｒ₂ Ｆe₂₃ Ｂ₃ ）→（Ｒ₂ Ｆe₂₃
Ｂ₃-Ｈ）→Ｒ−Ｈ＋α−Ｆe ＋Ｆe₂Ｂ ここで括弧内の状態の有無は組成に依って変化するもの
と推定される。なお“−Ｈ”はそれぞれ水素固溶状態を
示す。

【００１８】(B) 脱水素 上記水素吸蔵状態から水素が放出するのに、水素分圧が
十分に低い雰囲気中で加熱する。具体的には酸化防止、
速やかな水素放出の目的から０．１Torr以下の真空が好
ましい。処理温度は脱水素が可能な範囲内で低温の方が
好ましい。処理温度の上昇は水素吸蔵処理と同様に組織
の粗大化を招き、磁気特性が低下する。同様に処理時間
も脱水素が可能な範囲内で短時間の方が好ましい。具体
的には６００〜７５０℃程度で３０分以内が適当であ
る。

【００１９】この脱水素反応によって、上記Ｒ₂ Ｆe₂₃
Ｂ₃ 近傍の組成の水素吸蔵状態が以下のように変化す
る。 Ｒ−Ｈ＋α−Ｆe ＋Ｆe₂Ｂ → Ｒ₂ Ｆe₁₄ Ｂ＋α−Ｆ
e ＋Ｆe₂Ｂ このように水素吸脱処理によってＲ₂ Ｆe₂₃ Ｂ₃ 相の消
失、ハード磁性相Ｒ₂Ｆe₁₄ Ｂ相の生成によって磁石化
が可能となる。一方、先に触れたようにＲ₂ Ｆe₂₃ Ｂ₃
近傍組成の非晶質を単に加熱した際の変化は以下の通り
である。 Ａm → Ｒ₂ Ｆe₂₃ Ｂ₃ → α−Ｆe ＋ＲＦe₄Ｂ₄ ＋Ｒ
₂ Ｆe₁₄ Ｂ このようにＲ₂ Ｆe₁₄ Ｂ相を生成するものの生成量は極
少量であり、Ｒの大部分はＲＦe₄Ｂ₄ 相生成に費やされ
る。したがって、水素吸脱処理と比較してＲ₂Ｆe₁₄ Ｂ
相の体積率が低いため保磁力が低下し、ＲＦe₄Ｂ₄ 相は
非磁性であるため磁化も低下する。

【００２０】なお、本発明の効果は中間組成域以外に於
ても確認されている。低Ｎd 高Ｂ組成ではＮd のＤy 置
換による保磁力増加は極めて有効な方法であるが、半分
程度以上の置換では相関係が変化し、準安定なＲ₃ Ｆe
₆₂ Ｂ₁₄相の晶出を招き、Ｒ₂Ｆe₁₄ Ｂ相が不安定となる
ため保磁力が低下していた（J.Magn.Magn.Mat.83,1990,
228-230 ）。しかし本発明によれば、以下のようにＲ₃
Ｆe₆₂ Ｂ₁₄相を消失し、Ｒ₂ Ｆe₁₄ Ｂ相が生成されるた
め、磁石化が可能となる。 従来法：Ａm → Ｆe₃Ｂ＋Ａm → Ｆe₃Ｂ＋Ｒ₃ Ｆe₆₂
Ｂ₁₄ 本発明：Ａm → Ｆe₃Ｂ＋Ａm → Ｆe₃Ｂ＋Ｒ−Ｈ＋α
−Ｆe ＋Ｆe₂Ｂ→ Ｆe₃Ｂ＋Ｒ₂ Ｆe₁₄ Ｂ

【００２１】

【作用】本発明は基本成分を希土類−鉄−ボロンとし、
液体急冷と熱処理によって生成した微細結晶粒組織を有
する等方性永久磁石材料に於いて、準安定な希土類化合
物の生成によって、ハード相であるＲ₂ Ｆe₁₄ Ｂ相を生
成しないため、磁石とならなかった組成域に於いて、吸
水素、脱水素処理を施すことによりＲ₂ Ｆe₁₄ Ｂ相の生
成を可能とした。

【００２２】

【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
する。なお、各実施例、比較例の熱処理条件、磁気特性
を表１にまとめて示す。 実施例１ 合金組成として原子％でＮd₇Ｆe_79.38Ｂ_13.62 の組成と
なるようにアーク溶解炉を用いて合金塊を得た。液体急
冷は直径３０cmのＣu-Ｂe 合金製ロールを有する単ロー
ル型装置で実施した。約７mm角に切出した該合金を内径
１０mmの底部に直径０．５mmの穴（オリフィス）を有す
る石英管に投入し、１気圧中のＡr 雰囲気中で高周波加
熱により溶解した後、０．２kgf ／ｃｍ² の吹出し圧で
ロール回転数３０００rpm 、ノズルとロールの間隔０．
５mmで吐出させ、幅約２mm、厚さ約２０μｍのリボン状
試料を得た。得られたリボン状試料はＸＲＤより、非晶
質であることを確認した。このリボン状試料を真空炉に
入れ、１気圧の水素雰囲気下１０℃/min. の昇温速度で
７２５℃まで加熱し、３０分間保持した。引続いて炉内
をロータリーポンプと油拡散ポンプで真空排気し、１×
１０^-4Torrの真空度になるまで約３０分間そのままの温
度で保持した後、室温まで冷却して炉から取り出した。
取りだした試料はＶＳＭにより磁気特性を測定したとこ
ろ、残留磁化１１０emu/g 、保磁力２．５kOe であっ
た。また、熱処理後の同試料のＸＲＤ測定結果より、Ｒ
₂ Ｆe_{1 4} Ｂ型化合物相、α−Ｆe とＦe₂Ｂ相からなるこ
とが確認された。

【００２３】

【表１】

【００２４】実施例２〜８ 合金組成として表１の組成となるようにアーク溶解炉を
用いて合金塊を得た。次いで該各合金を用いて、実施例
１と同様の処理を実施したところ、表１のような特性を
示した。

【００２５】比較例１〜４ 合金組成として表１の組成となるようにアーク溶解炉を
用いて合金塊を得た。次いで該各合金を用いて、実施例
１と同様の処理を実施したところ、表１のような特性を
示した。

【００２６】実施例９ 実施例１と同じ組成の合金塊をアーク溶解炉で作成し
た。該合金塊をロール回転数のみ１０００rpm とし、他
の条件は実施例１と同様に処理し、幅約２mm、厚さ約３
５μｍのリボン状試料を得た。得られたリボン状試料は
ＸＲＤより、Ｒ₂Ｆe₂₃ Ｂ₃ 型化合物相からなることが
確認された。次いで該各合金を用いて、実施例１と同様
の処理を実施し、ＶＳＭにより磁気特性を測定したとこ
ろ、残留磁化１０３emu/g 、保磁力１．９kOe であっ
た。

【００２７】比較例５ 実施例１で作成した非晶質からなる液体急冷後のリボン
状試料を真空中のみで実施例１と同様の昇温、保持条件
で熱処理したところ保磁力は０．１kOe 以下であった。
また、ＸＲＤより同試料はＲ₂ Ｆe₂₃ Ｂ₃ 型化合物相か
らなることが確認され た。

【００２８】比較例６ 実施例１で作成した非晶質からなる液体急冷後のリボン
状試料を実施例１と同様の方法で水素中熱処理を実施し
た後、そのまま冷却して取り出したところ保磁力は０．
１kOe 以下であった。また、ＸＲＤより同試料はＲの水
素化物、α−Ｆe とＦe₂Ｂ型化合物相からなることを確
認した。

【００２９】比較例７ 実施例１と同じ組成の合金塊をアーク溶解炉で作成し
た。ＸＲＤより該合金塊はα−Ｆe 、ＲＦe₄Ｂ₄ 型化合
物相と若干のＲ₂ Ｆe₁₄ Ｂ型化合物相からなることを確
認した。該合金塊をジョークラッシャーで数mm程度に粉
砕した後、実施例１と同様の水素吸脱処理を実施したと
ころ、保磁力は０．１kOe 以下であった。また、ＸＲＤ
より同試料はα−Ｆe 、Ｆe₂Ｂ型化合物相、ＲＦe₄Ｂ₄
型化合物相と若干のＲ₂ Ｆe₁₄ Ｂ型化合物相からなるこ
とを確認した。

【００３０】

【発明の効果】本発明によれば基本成分を希土類−鉄−
ボロンとし、液体急冷と熱処理によって生成した微細結
晶粒組織を有する等方性永久磁石材料に於いて、準安定
な希土類化合物の生成によって、ハード相であるＲ₂ Ｆ
e₁₄ Ｂ相を生成しないため、磁石とならなかった組成域
に於いて、吸水素、脱水素処理を施すことによりＲ₂ Ｆ
e₁₄ Ｂ相を生成し、高い磁化と保磁力の両立を可能とし
た。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明と従来の等方性永久磁石材料の組成域を
Ｎd-Ｆe-Ｂ系３元状態図上に示した説明図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｆ 1/053 1/06 (72)発明者 長谷川 寛 埼玉県秩父市大字下影森1505番地 昭和電 工株式会社秩父研究所内 (72)発明者 広瀬 洋一 埼玉県秩父市大字下影森1505番地 昭和電 工株式会社秩父研究所内 (72)発明者 佐川 眞人 京都府京都市西京区松室追上町22番地の１ インターメタリックス株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｒ（Ｙを含む希土類元素）とＴ（Ｆe が
   ５０ａｔ％以上である遷移金属）並びにＢを基本成分と
   し、 Ｒ：２〜１２ａｔ％ Ｂ：５〜２０ａｔ％ Ｔ：残部 からなる合金の非晶質または準安定結晶相組織、あるい
   は非晶質と準安定結晶相の両方を含む組織を生成する工
   程と、これを水素を含む雰囲気中で熱処理し水素を吸蔵
   する工程と、さらに実質的に水素を含まない雰囲気中で
   熱処理し水素を放出する工程からなることを特徴とする
   希土類永久磁石用合金粉末の製造法。
2. 【請求項２】 実質的にＲ₂ Ｔ₁₄Ｂ型化合物相を含まな
   い組織に水素を吸蔵させＲの水素化物を生成し、水素を
   放出する工程においてＲ₂ Ｔ₁₄Ｂ型化合物相を含む組織
   を生成することを特徴とする請求項１記載の希土類永久
   磁石用合金粉末の製造法。
3. 【請求項３】 非晶質または準安定結晶相組織、あるい
   は非晶質と準安定結晶相の両方を含む組織を生成する工
   程が、液体急冷法であることを特徴とする請求項１又は
   ２に記載の希土類永久磁石用合金粉末の製造法。