JPH084162B2 - Gas laser device - Google Patents
Gas laser deviceInfo
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- JPH084162B2 JPH084162B2 JP62063266A JP6326687A JPH084162B2 JP H084162 B2 JPH084162 B2 JP H084162B2 JP 62063266 A JP62063266 A JP 62063266A JP 6326687 A JP6326687 A JP 6326687A JP H084162 B2 JPH084162 B2 JP H084162B2
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- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明はレーザガスを放電励起してレーザ光を出力
するガスレーザ装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention (Industrial field of application) The present invention relates to a gas laser device that discharges and excites laser gas to output laser light.
（従来の技術） 一般的なガスレーザ装置は、レーザガスとしての例え
ばCO2−N2−He混合ガス等のレーザ媒質が所定圧で収容
されたレーザ管内に陽極と陰極とからなる主電極を設
け、この主電極で発生する放電エネルギによって上記レ
ーザ媒質を励起する。これとともに、上記主電極が放電
を開始する前に、放電空間部を予備電離装置で予備電離
することで、主放電の安定化が行われている。(Prior Art) A general gas laser device is provided with a main electrode composed of an anode and a cathode in a laser tube in which a laser medium such as CO 2 —N 2 —He mixed gas as a laser gas is housed at a predetermined pressure. The laser medium is excited by the discharge energy generated at the main electrode. At the same time, the main discharge is stabilized by pre-ionizing the discharge space with the pre-ionization device before the main electrode starts to discharge.
従来、上記予備電離装置の予備電離方式としてはコロ
ナ放電、紫外線あるいはｘ線等を利用するものがある。Conventionally, as a preionization system of the preionization device, there is a system using corona discharge, ultraviolet rays, x-rays or the like.
上記紫外線（以下UV光）による予備電離方式を利用し
たガスレーザ装置を第８図を参照して説明する。図中に
おいて１は内部レーザガスとしての例えばCO2−N2−He
混合ガスが所定圧で封入されたレーザ管である。このレ
ーザ管１内には陽極２と陰極３がレーザ光の発振方向に
長手方向を有して設けられている。そして、この陽極２
と陰極３の互いに対向する放電面2a、3aの間には、放電
空間部４が形成されている。A gas laser device using a preionization system using the above-mentioned ultraviolet rays (hereinafter referred to as UV light) will be described with reference to FIG. In the figure, 1 is, for example, CO 2 —N 2 —He as an internal laser gas.
It is a laser tube in which a mixed gas is sealed at a predetermined pressure. In the laser tube 1, an anode 2 and a cathode 3 are provided having a longitudinal direction in the laser light oscillation direction. And this anode 2
A discharge space portion 4 is formed between the discharge surfaces 2a and 3a of the cathode 3 and the cathode 3 which face each other.
さらに、上記陽極２と陰極３は、それぞれプレート状
に形成された導電性を有する保持板５、６に保持されて
いる。つまり、上記保持板５、６はそれぞれの結合面5
a、6aを離間対向して上記レーザ管１内の長手方向に沿
って支持され，この結合面5a、6aの幅方向略中央に対し
て上記陽極２と陰極３がそれぞれ結合されている。Furthermore, the anode 2 and the cathode 3 are held by holding plates 5 and 6 each having a plate shape and having conductivity. That is, the holding plates 5 and 6 have their respective connecting surfaces 5
A and 6a are spaced apart and face each other, and are supported along the longitudinal direction in the laser tube 1, and the anode 2 and the cathode 3 are coupled to approximately the center of the coupling surfaces 5a and 6a in the width direction.
そして、上記陽極２と陰極３の幅方向の両側には基端
部を上記保持板５、６に結合されて、先端部が陽極２と
陰極３の間付近で離間対向する複数のピン電極対７…が
設けられている。これらのピン電極対７…は保持板５、
６の長手方向に亘って所定間隔で配設されれ、例えば陰
極３側の中途部にはピーキングコンデンサ８…がそれぞ
れ設けられている。A plurality of pin electrode pairs whose bases are joined to the holding plates 5 and 6 on both sides of the anode 2 and the cathode 3 in the width direction and whose tips are spaced apart and face each other in the vicinity of the anode 2 and the cathode 3. 7 ... are provided. These pin electrode pairs 7 ... Are holding plates 5,
6 are arranged at a predetermined interval along the longitudinal direction of 6, and, for example, peaking capacitors 8 ... Are provided in the middle of the cathode 3 side.
また、上記レーザ管１内には、レーザガスをこのレー
ザ管１内で強制循環させるファン９が設けられている。
このファン９は後述する熱交換器10で再生されたレーザ
ガスを上記陽極２と陰極３の放電空間部４の幅方向に循
環し、レーザ光発振にともなって汚染されたレーザガス
をこの放電空間部４から送り出すものである。A fan 9 for forcibly circulating the laser gas in the laser tube 1 is provided in the laser tube 1.
The fan 9 circulates the laser gas regenerated by a heat exchanger 10 described later in the width direction of the discharge space portion 4 of the anode 2 and the cathode 3, and the laser gas polluted by the laser light oscillation is discharged into the discharge space portion 4. Is sent from.
また、汚染されたレーザガスは上記熱交換器10を通過
することによって、冷却され、汚染物質が取除かれる。Further, the contaminated laser gas is cooled by passing through the heat exchanger 10 and the contaminants are removed.
また、上記保持板５および保持板６にはレーザ管１の
外側に設けられた高圧電源11から導出された配線が接続
されている。Further, the holding plate 5 and the holding plate 6 are connected to wirings derived from a high-voltage power source 11 provided outside the laser tube 1.
このように構成されたガスレーザ装置を動作させる場
合には上記高圧電源11の図示しないスイッチを閉成する
ことで、ピン電極対７…のそれぞれの先端間で予備電離
放電が発生する。このUV光で放電空間部４が予備電離さ
れるとともに、上記ピーキングコンデンサ８…が充電さ
れる。そして、上記予備電離と充電が充分進んだ時に上
記陽極２と陰極３の間で主放電が発生し、放電空間部４
が励起されレーザ光が発振される。When operating the gas laser device configured as described above, a switch (not shown) of the high-voltage power supply 11 is closed to cause preionization discharge between the tips of the pin electrode pairs 7. The UV light preionizes the discharge space 4 and charges the peaking capacitors 8 ... Then, when the preliminary ionization and the charging are sufficiently advanced, a main discharge is generated between the anode 2 and the cathode 3, and the discharge space 4
Are excited and laser light is oscillated.
このようにしてレーザ光を発振させるガスレーザ装置
において、安定で高効率なレーザ光発振を得るために
は、効率よく予備電離することが重要である。In a gas laser device that oscillates laser light in this manner, efficient preionization is important in order to obtain stable and highly efficient laser light oscillation.
そして、効率のよい予備電離を行なうためには次の２
種類の電子を発生させることが望ましい。その１つは予
備電離放電で発生するUV光によって放電空間部４のレー
ザガスを光電離して生成される電子であり、２つめはこ
のUV光の照射によって陰極３から放出される電子であ
る。In order to perform efficient preionization, the following 2
It is desirable to generate some kind of electron. One of them is an electron generated by photoionizing the laser gas in the discharge space 4 by the UV light generated by the preionization discharge, and the second is an electron emitted from the cathode 3 by the irradiation of this UV light.
そして、上記ピン電極対７…のそれぞれの先端間のギ
ヤップは、主に上記放電空間部４を照射するレベルに位
置している。つまり、予備電離放電によって生じるUV光
は主に放電空間部４のレーザガスを予備電離するため前
者の電子が多く発生し、予備電離時に発生する電子の大
半を占めており、後者の陰極３からの電子放出が少な
い。The gap between the tips of the pin electrode pairs 7 is located at a level that mainly irradiates the discharge space 4. That is, since the UV light generated by the preionization discharge mainly preionizes the laser gas in the discharge space 4, a lot of the former electrons are generated, and most of the electrons generated during the preionization are generated. Low electron emission.
ここで、陰極３をUV光で照射して得られる電子は、上
記レーザガスを光電離して得られる電子よりも、少ない
光エネルギで多くの量を発生させることができる。Here, the electrons obtained by irradiating the cathode 3 with UV light can generate a large amount with less light energy than the electrons obtained by photoionization of the laser gas.
ところが、一般的な構造のガスレーザ装置は上述のよ
うなピン電極対７…のみで予備電離するため、陰極３を
UV光で照射して得られる電子が不足している。このため
に、高効率の予備電離が不可能であった。However, the gas laser device having a general structure pre-ionizes only with the pin electrode pairs 7 ...
There are not enough electrons obtained by irradiation with UV light. For this reason, highly efficient preionization was impossible.
（発明が解決しようとする問題点） 上述のように、一般的なガスレーザ装置は、そのピン
電極対からのUV光で、主に陽極と陰極間にあるレーザガ
スを予備電離するが、陰極にこのUV光を照射する予備電
離が不足して、高効率の予備電離ができないという事情
があった。(Problems to be Solved by the Invention) As described above, the general gas laser device pre-ionizes the laser gas mainly between the anode and the cathode by the UV light from the pin electrode pair, but There was a circumstance that pre-ionization with high efficiency could not be performed due to lack of pre-ionization for UV light irradiation.
この発明は上記事情に着目してなされたものであり、
従来構造のピン電極対に加えて、主に陰極にUV光を照射
できるピン電極対を設けることで、高効率の予備電離を
行ない、これにより高出力のレーザ光を発振できるガス
レーザ装置を提供することを目的とする。The present invention has been made by focusing on the above circumstances,
By providing a pin electrode pair that can irradiate UV light mainly to the cathode in addition to the pin electrode pair of the conventional structure, a gas laser device that can perform high-efficiency preionization and thereby oscillate high-power laser light is provided. The purpose is to
（問題点を解決するための手段及び作用） この発明は、レーザガスが所定圧に保たれたレーザ管
内に陽極および陰極を配設し、この陽極と陰極の幅方向
側部に長手方向に沿って所定間隔で複数のピン電極対を
配設したガスレーザ装置において、上記複数のピン電極
対は、そのギャップを上記陰極と陽極の離間方向略中央
部分に配置させた第１のピン電極対と、上記陰極の放電
面をUV光で照射して電子を発生させるようにそのギャッ
プを上記陰極の放電面と略同じ高さに位置させた第２の
ピン電極対とから構成したことにより、陽極と陰極間の
レーザガスと、陰極の放電面を、ともにUV光で均一に照
射して予備電離できるガスレーザ装置にある。(Means and Actions for Solving Problems) In the present invention, an anode and a cathode are arranged in a laser tube in which a laser gas is kept at a predetermined pressure, and the anode and the cathode are arranged along the longitudinal direction along the widthwise side portions. In a gas laser device in which a plurality of pin electrode pairs are arranged at a predetermined interval, the plurality of pin electrode pairs include a first pin electrode pair in which the gap is arranged at a substantially central portion in the separating direction of the cathode and the anode, and The anode and the cathode are composed of a second pin electrode pair whose gap is positioned at substantially the same height as the discharge surface of the cathode so that the discharge surface of the cathode is irradiated with UV light to generate electrons. There is a gas laser device capable of pre-ionization by uniformly irradiating both the laser gas between and the discharge surface of the cathode with UV light.
（実施例） この発明の第１実施例について第１図乃至第３図を参
照して説明するが、ガスレーザ装置の基本的構成は上述
した従来例と略同様のため、同一構成部分に関しては同
一符号を付して説明を省略し改良点のみ説明する。(Embodiment) A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1 to FIG. 3, but since the basic configuration of the gas laser device is substantially the same as that of the conventional example described above, the same components are the same. Only the points of improvement will be described by giving reference numerals and omitting the description.
図中において３は図示しないレーザ管１内に支持され
た陰極である。この陰極３には対向離間して設けられた
陽極２が設けられている。そして、この陽極２と陰極３
のそれぞれの放電面2a、3a間には、主放電を発生する放
電空間部４が設けられている。In the figure, 3 is a cathode supported in the laser tube 1 not shown. The cathode 3 is provided with an anode 2 provided facing each other. And this anode 2 and cathode 3
A discharge space 4 for generating a main discharge is provided between the respective discharge surfaces 2a and 3a.
そして、上記陽極２をレーザ管１内に保持する保持板
５と、上記陰極３をレーザ管１内に保持する保持板６
は、それぞれが上記陽極２および陰極３よりも幅方向寸
法が大きく形成されている。そして、陽極２と陰極３の
幅方向両側には、その長手方向に沿って所定間隔で後述
する第１のピン電極対12と第２のピン電極対13が交互に
配設されている。A holding plate 5 for holding the anode 2 in the laser tube 1 and a holding plate 6 for holding the cathode 3 in the laser tube 1.
Are formed to have a larger widthwise dimension than the anode 2 and the cathode 3, respectively. Then, on both sides of the anode 2 and the cathode 3 in the width direction, first pin electrode pairs 12 and second pin electrode pairs 13 described later are alternately arranged at predetermined intervals along the longitudinal direction.
上記第１のピン電極対12は、その基端部が上記保持板
５、６に結合されており、予備電離放電のための放電先
端部のギャップ14は、上記放電空間部４の中央レベルに
設けられている。つまり、主に第２図および第３図に示
される矢印Ａ方向である放電空間部４に強いUV光を照射
し、レーザガスを光電離して電子を発生させる。The first pin electrode pair 12 has its base end coupled to the holding plates 5 and 6, and the gap 14 at the discharge tip for preionization discharge is at the center level of the discharge space 4. It is provided. That is, the discharge space portion 4, which is mainly in the direction of arrow A shown in FIGS. 2 and 3, is irradiated with strong UV light, and the laser gas is photoionized to generate electrons.
また、上記第２のピン電極対13は、その基端部が上記
保持板５、６に結合されており、予備電離放電のための
放電先端部のギャップ14は、上記陰極３の放電面3aのレ
ベルに設けられている。つまり、主に第２図および第３
図に示される矢印Ｂ方向である陰極３の放電面3aに強い
UV光を照射して、陰極３から電子を放出させる。Further, the second pin electrode pair 13 has its base end portion coupled to the holding plates 5 and 6, and the gap 14 at the discharge tip end portion for the preionization discharge is the discharge surface 3a of the cathode 3. It is provided at the level of. That is, mainly in FIGS. 2 and 3.
Strong against discharge surface 3a of cathode 3 in the direction of arrow B shown in the figure
UV light is irradiated to emit electrons from the cathode 3.
さらに、上記陽極２および陰極３の幅方向の両側に対
向して配置されたピン電極対は、第２図および第３図に
示されるように、一側に第１のピン電極対12が設けられ
た場合には、これに対応する他側に第２のピン電極対13
が設けられる。Further, the pin electrode pair arranged so as to face each other on both sides of the anode 2 and the cathode 3 in the width direction is provided with a first pin electrode pair 12 on one side as shown in FIGS. 2 and 3. If this occurs, the second pin electrode pair 13 corresponding to this is placed on the other side.
Is provided.
このように陽極２と陰極３の長手方向の両側に交互に
第１および第２のピン電極対12、13を配設することによ
り、放電空間部４のレーザガスへのUV光照射と、陰極３
へのUV光照射を上記長手方向および幅方向に亘って均一
に行なえる。Thus, by alternately arranging the first and second pin electrode pairs 12 and 13 on both sides of the anode 2 and the cathode 3 in the longitudinal direction, the laser gas in the discharge space 4 is irradiated with UV light and the cathode 3 is discharged.
UV light can be uniformly applied to the longitudinal direction and the width direction.
また、第２のピン電極対13からのUV光によって主に照
射される上記陰極３は例えばニッケルもしくは銅等から
形成されており、電子を放出させるために必要な光エネ
ルギは略３〜5eVである。これに対して従来のピン電極
対と同様に構成された第２のピン電極対13のUV光によっ
て主に照射されるレーザガスは例えばCO2、N2、Heおよ
びNe、Xe、HCl等の混合ガスが用いられているが、これ
らのガス体から電子を放出させるために必要な光エネル
ギは、これらの内で一番電離しやすいXeでも12.1eVであ
る。すなわち、レーザガスを直接光電離するよりも陰極
を光電離させた方が、より少ない光エネルギで有効に予
備電離できる。The cathode 3 which is mainly irradiated with the UV light from the second pin electrode pair 13 is made of, for example, nickel or copper, and the light energy required to emit electrons is about 3 to 5 eV. is there. On the other hand, the laser gas mainly irradiated by the UV light of the second pin electrode pair 13 configured similarly to the conventional pin electrode pair is, for example, CO 2 , N 2 , He and Ne, Xe, HCl and the like mixed. Although gas is used, the light energy required to emit electrons from these gas bodies is 12.1 eV even among these, which is the most easily ionized Xe. That is, pre-ionization can be effectively performed with less light energy when the cathode is ionized rather than the laser gas is directly ionized.
つまり、第２のピン電極対13で陰極３を照射して高効
率に電子を発生するとともに、第１のピン電極対12で放
電空間部４を照射して電子を発生させることで、従来に
比較してより高効率な予備電離と安定した主放電が可能
となり、これにより高出力のレーザ光を発振できる。That is, by irradiating the cathode 3 with the second pin electrode pair 13 to generate electrons with high efficiency and irradiating the discharge space 4 with the first pin electrode pair 12 to generate electrons, Compared with this, more efficient preionization and stable main discharge are possible, which makes it possible to oscillate high-power laser light.
なお、この発明は上述に限定されるものではない。例
えば、上記第１のピン電極対12と第２のピン電極対13
は、陽極２と陰極３の長手方向に交互に配設されている
が、これに限定されるものではなく、上述のような第１
および第２のピン電極対12、13のそれぞれの作用を効果
的に利用できるように配設されたものであればよい。The present invention is not limited to the above. For example, the first pin electrode pair 12 and the second pin electrode pair 13
Are alternately arranged in the longitudinal direction of the anode 2 and the cathode 3, but the present invention is not limited to this, and the first
The second pin electrode pair 12 and 13 may be arranged so as to effectively utilize their respective actions.
以下、この発明における第２実施例を第４図乃至第７
図を参照して説明するが、その基本的な構成は従来例お
よび第１実施例と略同様のため同一構成部分に関しては
同一符号を付して説明を省略し、改良点のみを説明す
る。Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
Although the description will be made with reference to the drawings, since the basic configuration thereof is substantially the same as that of the conventional example and the first embodiment, the same components are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted, and only the improvements will be described.
第４図において、５、６は上記予備電離電極２および
陰極３をそれぞれレーザ管１内に保持する保持板であ
る。上記陽極２と陰極３の両側部に延長されて対向す
る、保持板５、６の結合面5a、6aには、第１のピン電極
対12が上記放電空間部４側に近接され、これとは逆に第
２のピン電極対13が遠ざけて配設されている。In FIG. 4, reference numerals 5 and 6 are holding plates for holding the preionization electrode 2 and the cathode 3 in the laser tube 1, respectively. The first pin electrode pair 12 is disposed close to the discharge space portion 4 side on the coupling surfaces 5a and 6a of the holding plates 5 and 6 which are extended and opposed to both sides of the anode 2 and the cathode 3, respectively. On the contrary, the second pair of pin electrodes 13 are arranged apart from each other.
さらに、上記陽極２および陰極３の幅方向の両側に対
向して配置された２対のピン電極対は、第６図および第
７図に示されるように、一側に第１のピン電極対12が設
けられた場合には、これに対応する他側に第２のピン電
極対13が設けられる。Further, as shown in FIGS. 6 and 7, the two pairs of pin electrodes arranged so as to face each other on both sides of the anode 2 and the cathode 3 in the width direction are the first pin electrode pairs on one side. When 12 is provided, the second pin electrode pair 13 is provided on the other side corresponding to this.
この様に配設することで第５図に示されるように、そ
れぞれのピーキングコンデンサ８…を略千鳥状に位置さ
せることができる。つまり、従来隣接するピン電極はピ
ーキングコンデンサ８…の直径分以上の距離を離間して
配設されていたが、上述のように配設することで陽極２
および陰極３の長手方向の長さに対して密度の高いピン
電極対12、13の配設を行なうことができる。By arranging in this way, as shown in FIG. 5, the peaking capacitors 8 ... Can be arranged in a substantially zigzag pattern. That is, conventionally, the adjacent pin electrodes are arranged apart from each other by a distance equal to or larger than the diameter of the peaking capacitors 8 ...
Further, it is possible to dispose the pin electrode pairs 12 and 13 having a high density with respect to the length of the cathode 3 in the longitudinal direction.
そして、これにより予備電離を著しく安定させること
ができるとともに、より高出力のレーザ光を発振でき
る。Then, by this, pre-ionization can be remarkably stabilized, and laser light of higher output can be oscillated.
なお、この発明は上記各実施例に限定されるものでは
ない、例えば、第１および第２のピン電極対12、13の配
設状態は上記に限定されるものではない。また、電機回
路やピーキングコンデンサ８…の設けられる位置等も上
述に限定されるものではない。The present invention is not limited to the above-mentioned respective embodiments. For example, the disposition state of the first and second pin electrode pairs 12 and 13 is not limited to the above. Further, the positions where the electric circuit and the peaking capacitors 8 are provided are not limited to the above.
以上説明したように、この発明によれば予備電離放電
用のギャップを陽極と陰極の離間方向略中央部分に位置
された第１のピン電極対の他に、上記ギャップを陰極の
放電面と略同じ高さに位置させた第２のピン電極対を設
けることによって、陰極の放電面に従来よりも強い光エ
ネルギを照射できるため、高効率の予備電離を行なえ
る。そして、この高効率の予備電離により、安定した高
出力のレーザ光を発振できるガスレーザ装置を提供でき
る。As described above, according to the present invention, the gap for the pre-ionization discharge is substantially the same as the discharge surface of the cathode, in addition to the first pin electrode pair positioned substantially at the center of the anode and the cathode in the separating direction. By providing the second pin electrode pair located at the same height, the discharge surface of the cathode can be irradiated with light energy stronger than before, and thus highly efficient preionization can be performed. By this highly efficient preionization, it is possible to provide a gas laser device capable of oscillating stable and high-power laser light.
第１図乃至第３図はこの発明における第１実施例であ
り、第１図は予備電離用のピン電極対の配設状態を示す
側面図、第２図は第１図中のII−II線部分の断面図、第
３図は第１図中のIII−III線部分の断面図、第４図乃至
第７図はこの発明における第２実施例であり、第４図は
レーザ管の概略的構造を示す正断面図、第５図は第４図
における陰極側に設けられたピーキングコンデンサの配
設状態を示す平面図、第６図は第５図におけるVI−VI線
部分の断面図、第７図は第５図におけるVII−VII線部分
の断面図、第８図は従来における一般的なガスレーザ装
置の概略的構造を示す正断面図である。 １……レーザ管、２……陽極、３……陰極、８……ピー
キングコンデンサ、12……第１のピン電極対、13……第
２のピン電極対。1 to 3 show a first embodiment of the present invention, FIG. 1 is a side view showing a disposition state of pin electrode pairs for preionization, and FIG. 2 is II-II in FIG. Fig. 3 is a sectional view of a line portion, Fig. 3 is a sectional view of a portion taken along line III-III in Fig. 1, Figs. 4 to 7 show a second embodiment of the present invention, and Fig. 4 is a schematic view of a laser tube. 5 is a plan view showing an arrangement state of the peaking capacitor provided on the cathode side in FIG. 4, FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI in FIG. 5, FIG. 7 is a sectional view taken along the line VII-VII in FIG. 5, and FIG. 8 is a front sectional view showing a schematic structure of a conventional general gas laser device. 1 ... Laser tube, 2 ... Anode, 3 ... Cathode, 8 ... Peaking capacitor, 12 ... First pin electrode pair, 13 ... Second pin electrode pair.
Claims (3)
と、このレーザ管内に離間対向して配設された陰極およ
び陽極と、上記陰極と放電面の幅方向側部に長手方向に
沿って所定間隔で配設された複数のピン電極対と、これ
らピン電極対に設けられた複数のピーキングコンデンサ
とを具備するガスレーザ装置において、 上記複数のピン電極対はそのギャップを上記陰極と陽極
の離間方向略中央部分に位置させた第１のピン電極対
と、上記陰極の放電面をUV光で照射して電子を発生させ
るようにそのギャップを上記陰極の放電面と略同じ高さ
に位置させた第２のピン電極対とから構成されているこ
とを特徴とするガスレーザ装置。1. A laser tube in which a laser gas is kept at a predetermined pressure, a cathode and an anode arranged in the laser tube so as to face each other at a distance, and a width direction side portion of the cathode and the discharge surface along a longitudinal direction. In a gas laser device comprising a plurality of pin electrode pairs arranged at a predetermined interval and a plurality of peaking capacitors provided on the pin electrode pairs, the plurality of pin electrode pairs have a gap between the cathode and the anode. The first pin electrode pair positioned substantially in the central portion in the direction and the gap are positioned substantially at the same height as the discharge surface of the cathode so that the discharge surface of the cathode is irradiated with UV light to generate electrons. And a second pair of pin electrodes.
極および陽極の長手方向に沿って交互に配設したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装
置。2. The gas laser device according to claim 1, wherein the first pair of pin electrodes and the second pair of pin electrodes are arranged alternately along the longitudinal direction of the cathode and the anode.
極および陽極からの距離を互い違えることでピーキング
コンデンサを千鳥状に配置したことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のガスレーザ装置。3. The peaking capacitors are arranged in a staggered pattern by making the first pin electrode pair and the second pin electrode pair different in distance from the cathode and the anode. The gas laser device described.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62063266A JPH084162B2 (en) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | Gas laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62063266A JPH084162B2 (en) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | Gas laser device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63228774A JPS63228774A (en) | 1988-09-22 |
| JPH084162B2 true JPH084162B2 (en) | 1996-01-17 |
Family
ID=13224312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62063266A Expired - Lifetime JPH084162B2 (en) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | Gas laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH084162B2 (en) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63129681A (en) * | 1986-11-20 | 1988-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | excimer laser equipment |
-
1987
- 1987-03-18 JP JP62063266A patent/JPH084162B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63228774A (en) | 1988-09-22 |
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