JPH0843359A - 超音波濃度計等のセンサ及びこれを用いた超音波濃度測定方法 - Google Patents

超音波濃度計等のセンサ及びこれを用いた超音波濃度測定方法

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JPH0843359A
JPH0843359A JP6197685A JP19768594A JPH0843359A JP H0843359 A JPH0843359 A JP H0843359A JP 6197685 A JP6197685 A JP 6197685A JP 19768594 A JP19768594 A JP 19768594A JP H0843359 A JPH0843359 A JP H0843359A
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Japan
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container
ultrasonic
measured
temperature
sensor
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JP6197685A
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Katsuhisa Muramatsu
克久 村松
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Suzuki Motor Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/028Material parameters
    • G01N2291/02809Concentration of a compound, e.g. measured by a surface mass change
    • GPHYSICS
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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 一回の測定ごとに洗浄する必要がなく、少量
でも測定でき、しかも耐薬品性も不要とする。 【構成】 センサ10は、超音波伝播用液体L1 を満た
す第一の容器12と、第一の容器12の側壁12a,1
2bに装着された超音波トランスデューサ14a,14
bと、第一の容器12内に浸漬されると共に被測定液体
2 を満たす第二の容器16とを備えている。そして、
第二の容器16には、超音波トランスデューサ14a,
14bから放射された超音波Uを超音波トランスデュー
サ14a,14bへ向けて反射する内壁面18a,18
b及び外壁面20a,20bが形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば超音波濃度計等
に用いられるセンサ、及びこのセンサを用いた超音波濃
度測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図4は従来の超音波濃度計等のセンサを
示し、図4(1)は図4(2)におけるIV-IV 線縦断面
図、図4(2)は一部を切り欠いた平面図である。以
下、これらの図面に基づき説明する。
【0003】従来のセンサ50は、超音波トランスデュ
ーサ52と、超音波トランスデューサ52を装着すると
ともに超音波トランスデューサ52から発生した超音波
Uを放射する放射板54と、放射板54に被測定液体L
2 を挟んで対向するとともに超音波トランスデューサ5
2から放射された超音波Uを超音波トランスデューサ5
2へ向けて反射する反射板56と、反射板56と放射板
54とを連結する支柱58と、支柱58内に設けられた
測温素子60とを備えたものである。
【0004】次に、センサ50の動作を説明する。
【0005】まず、溶液等の被測定液体L2 の中にセン
サ50を浸漬する。ここで、超音波トランスデューサ5
2から発生した超音波Uは、放射板54から被測定液体
2へ放射される。超音波Uは、被測定液体L2 内を伝
播しながら、反射板56で反射して、再び超音波トラン
スデューサ52に戻る。反射板56と放射板54との間
の距離Dは一定であるから、超音波Uが放射されてから
戻ってくるまでの伝播時間tを測定することにより、超
音波Uの被測定液体L2 における音速v(v=2D/
t)が算出できる。そして、既に知られている音速vと
被測定液体L2 の濃度との関係に基づき、音速vに対応
する被測定液体L2 の濃度が得られる。
【0006】また、音速vは温度依存性を有しているの
で、測温素子60で超音波Uの伝播領域62の温度Tを
測定することにより、音速vを補正している。例えば、
蒸留水の超音波伝播速度は、0.1[℃] 当たり約0.3[m/s]
変化する。この場合、0.1[m/s]の測定分解能を保証する
ためには、0.03 [℃] の温度を正確に測定しなければな
らない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
センサ50には、次のような問題があった。
【0008】 被測定液体L2 の中にセンサ50を浸
漬するので、一回の測定ごとにセンサ50を洗浄する必
要がある。そのため、測定の作業性が低下していた。
【0009】 被測定液体L2 は、少なくともセンサ
50を浸漬できるだけの量が必要である。そのため、少
量の被測定液体L2 は測定できなかった。
【0010】 センサ50を構成する素材は、被測定
液体L2 に対する耐薬品性が要求される。そのような素
材は、一般に高価であり加工性も良くない。そのため、
センサ50の製造コストが高くなっていた。
【0011】 測温素子60がセンサ50内に設けら
れているので、実際の被測定液体L2 の温度との間に誤
差を生じる。
【0012】
【発明の目的】そこで、本発明の目的は、一回の測定ご
とに洗浄する必要がなく、少量でも測定でき、しかも耐
薬品性も要求されない超音波濃度計等のセンサ、及びこ
のセンサを用いた超音波濃度測定方法を提供することに
ある。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明に係るセンサは、
上記目的を達成するためになされたものであり、超音波
伝播用液体を満たす第一の容器と、この第一の容器の側
壁に装着された超音波トランスデューサと、前記第一の
容器内に浸漬されると共に被測定液体を満たす第二の容
器とを備えたものである。そして、この第二の容器に
は、前記超音波トランスデューサから放射された超音波
を前記超音波トランスデューサへ向けて反射する内壁面
及び外壁面が形成されている。
【0014】また、本発明に係る超音波濃度測定方法
は、本発明に係るセンサを用いる超音波濃度測定方法で
あって、以下の二通りである。
【0015】〔第一の超音波濃度測定方法〕
【0016】前記第二の容器の材質の温度−音速特性
を予め測定する。前記第二の容器の前記内壁面及び外
壁面間の壁厚を測定する。前記第一の容器内に前記第
二の容器を浸漬した状態で前記超音波トランスデューサ
から放射した超音波が前記内壁面及び外壁面に反射して
再び前記超音波トランスデューサに戻ってくるまでの伝
播時間を測定する。これらの伝播時間の差,前記温度
−音速特性及び前記壁厚に基づき前記第二の容器の温度
を測定する。この第二の容器の温度,前記壁厚及び前
記伝播時間に基づき前記被測定液体の濃度を算出する。
【0017】〔第二の超音波濃度測定方法〕
【0018】前記第二の容器の材質の温度−音速特性
を予め測定する。前記超音波伝播用液体内に測温素子
を入れて前記第二の容器の温度を測定する。前記第一
の容器内に前記第二の容器を浸漬した状態で前記超音波
トランスデューサから放射した超音波が前記内壁面及び
外壁面に反射して再び前記超音波トランスデューサに戻
ってくるまでの伝播時間を測定する。これらの伝播時
間の差,前記温度−音速特性及び前記第二の容器の温度
に基づき前記第二の容器の前記内壁面及び外壁面間の壁
厚を測定する。この壁厚,前記第二の容器の温度及び
前記伝播時間に基づき前記被測定液体の濃度を算出す
る。
【0019】
【作用】超音波トランスデューサから発生した超音波
は、超音波伝播用液体中に放射される。放射された超音
波は、超音波伝播用液体又は被測定液体を伝播しなが
ら、第二の容器の内壁面又は外壁面で反射して、再び超
音波トランスデューサに戻る。内壁面又は外壁面で反射
した超音波の伝播時間差に基づき、被測定液体における
超音波の伝播時間が算出される。
【0020】次の測定は、第二の容器を交換するだけで
よい。また、第二の容器の容積を小さくすることによ
り、被測定液体は少量にできる。さらに、第一の容器及
び超音波トランスデューサは、耐薬品性が要求されない
ので、安価な素材で形成できる。
【0021】
【実施例】図1は本発明に係るセンサの一実施例を示
し、図1(1)は図1(3)におけるI−I線縦断面
図、図1(2)は受信波の波形図、図1(3)は平面図
である。以下、これらの図面に基づき説明する。
【0022】センサ10は、超音波伝播用液体L1 を満
たす第一の容器12と、第一の容器12の側壁12a,
12bに装着された超音波トランスデューサ14a,1
4bと、第一の容器12内に浸漬されると共に被測定液
体L2 を満たす第二の容器16とを備えている。そし
て、第二の容器16には、超音波トランスデューサ14
a,14bから放射された超音波Uを超音波トランスデ
ューサ14a,14bへ向けて反射する内壁面18a,
18b及び外壁面20a,20bが形成されている。
【0023】超音波トランスデューサ14a,14b
は、例えば圧電セラミック等によって板状に形成された
ものである。なお、超音波トランスデューサ14a,1
4bの電極,配線等は省略して図示している。
【0024】第二の容器16は、例えば合成樹脂等によ
って直方体に形成され、内壁面18a,18b及び外壁
面20a,20bが超音波Uを反射しやすいように平面
になっている。
【0025】また、超音波トランスデューサ14a,1
4bは、高精度に間隔を保てるように、それぞれ側壁1
2a,12bに固定されている。さらに、超音波トラン
スデューサ14a,14bの表面と内壁面18a,18
b及び外壁面20a,20bとが平行になるように、第
一の容器12内に第二の容器16が載置されている。
【0026】次に、センサ10の動作を説明する。
【0027】例えば、超音波トランスデューサ14aか
ら発生した超音波Uは、超音波伝播用液体L1 中に放射
される。放射された超音波Uは、超音波伝播用液体L1
を伝播しながら、第二の容器16の外壁面20aで一部
が反射し、内壁面18aでさらに一部が反射し、残部が
被測定液体L2 に放射される。被測定液体L2 に放射さ
れた超音波Uは、内壁面18bで一部が反射する。超音
波トランスデューサ14aでは、外壁面20aで反射し
た超音波Uが受信波Wr1 、内壁面18aで反射した超
音波Uが受信波Wr2 、内壁面18bで反射した超音波
Uが受信波Wr3 にそれぞれ変換される。これらの受信
波Wr1 ,Wr2 ,Wr3 の測定された時間差、すなわ
ち、反射した超音波Uの伝播時間差に基づき、被測定液
体L2 における超音波Uの伝播時間が算出される。超音
波トランスデューサ14bから超音波Uを放射した場合
も、全く同様である。
【0028】続いて行われる測定では、第二の容器16
を交換するだけでよいので、洗浄が不要である。また、
第二の容器16の容積を小さくすることにより、被測定
液体L2 が少量でも測定可能である。さらに、第一の容
器12及び超音波トランスデューサ14a,14bは、
耐薬品性が要求されないので、安価な素材で形成でき
る。
【0029】図2は、図1のセンサ10によって構成し
た超音波濃度計のブロック図である。以下、図1及び図
2に基づき説明する。
【0030】超音波濃度計30は、センサ10と、送信
信号Stに付勢されて送信波Wtをセンサ10へ出力す
るパルサ32と、センサ10から入力した微弱な受信波
Wrを増幅する広帯域増幅器34と、広帯域増幅器34
で増幅された受信波Wrをデジタルの受信信号Srに変
換するコンパレータ36と、送信信号Stをパルサ32
へ出力してから受信信号Srをコンパレータ36から入
力するまでの時間を測定する時間測定部38とから構成
されている。
【0031】パルサ32からの送信波Wtは、超音波ト
ランスデューサ14a,14bで超音波Uに変換され
る。反射して戻ってきた超音波Uは、超音波トランスデ
ューサ14aで受信波Wrに変換される。受信波Wr
は、広帯域増幅器34で増幅される。
【0032】図3は、図1における第二の容器16につ
いて、材質ごとに温度−音速特性を測定した結果を示す
グラフである。この図において、材質イ,ロがメタクリ
ル樹脂、材質ハ,ホがポリアセタール樹脂、材質ニがポ
リブチレンテレフタレート、材質ヘ,トがポリカーボネ
ート樹脂である。以下、センサ10を用いた超音波濃度
測定方法の二例について、図1乃至図3に基づき説明す
る。なお、第一の容器12の距離D0 、及び、被測定液
体L2 の音速v2 及び温度Tに対する濃度の関係は、既
知であるとする。
【0033】〔第一の測定方法〕
【0034】予め、第二の容器16について、壁厚
2 ,D4 を測定しておく。
【0035】1)超音波伝播用液体L1 としての水は、
その音速v1 が不純物の混ざり具合により変化する。第
一の容器12から第二の容器16を取り出した状態で超
音波トランスデューサ14aから超音波Uを放射する
と、超音波トランスデューサ14bで反射した超音波U
が超音波トランスデューサ14aで受信波Wrとして得
られる。受信波Wrの伝播時間を測定することにより、
ここでの測定環境における音速v1 を求めておく。
【0036】2)第一の容器12内に第二の容器16を
浸漬した状態で超音波トランスデューサ14aから超音
波Uを放射し、超音波トランスデューサ14aで受信波
Wrを得る。同様に、超音波トランスデューサ14bか
ら超音波Uを放射し、超音波トランスデューサ14bで
受信波Wrを得る。
【0037】3)超音波トランスデューサ14aで得ら
れる受信波Wrは、図1(2)に示すようになる。受信
波Wr1 の伝播時間t1 と、1)で求めた音速v1 とか
ら距離D1 (D1 =t1 ・v1 /2)を求める。
【0038】4)受信波Wr2 の伝播時間t2 と受信波
Wr1 の伝播時間t1 との差から、音速v3 (v3 =2
2 /(t2 −t1 ))を求める。そして、この音速v
3 に対応する第二の容器16の温度Tを、既知の温度−
音速特性(図3)から求める。
【0039】5)同様にして、超音波トランスデューサ
14bを用いて、距離D5 を求める。
【0040】6)距離D3 (D3 =D0 −D1 −D2
4 −D5 )を求める。受信波Wr3 の伝播時間t3
受信波Wr2 の伝播時間t2 との差から、被測定液体L
2 の音速v2 (v2 =2D3 /(t3 −t2 ))を求め
る。この音速v2 と温度Tとから、これらに対応した被
測定液体L2 の濃度を求める。
【0041】〔第二の測定方法〕
【0042】1)第一の測定方法における1)〜3)と
同じ。ただし、温度Tは被測定液体L2 中に測温素子
(図示せず)を入れて測定する。
【0043】2)受信波Wr2 の伝播時間t2 と受信波
Wr1 の伝播時間t1 との差から、壁厚D2 (D2
(t2 −t1 )・v3 /2)を求める。音速v3 は、
1)で測定した温度T及び既知の温度−音速特性(図
3)から求める。
【0044】3)同様にして、超音波トランスデューサ
14bを用いて、距離D5 を求める。このとき、壁厚D
2 ≠D4 であれば、壁厚D4 も求める。
【0045】4)距離D3 (D3 =D0 −D1 −D2
4 −D5 )を求める。受信波Wr3 の伝播時間t3
受信波Wr2 の伝播時間t2 との差から、被測定液体L
2 の音速v2 (v2 =2D3 /(t3 −t2 ))を求め
る。この音速v2 と温度Tとから、これらに対応した被
測定液体L2 の濃度を求める。
【0046】また、図3において、温度Tが40[℃]程度
上昇すると、音速v3 はどのような材質でも100[m/s]程
度低下する。すなわち、1[℃]あたりの音速v3 の変化
量Δv3 は、Δv3 =2.5[m/s]である。したがって、温
度Tの分解能を1[℃]とするのに要求される伝播時間t
1 ,t2 の分解能Δtは、Δt=2D2 (1/v3 −1
/(v3 +Δv3 ))であるから、壁厚D2 を1[mm],
音速v3 を2500[m/s]とすれば、おおよそ0.8[ns] とな
る。
【0047】上記実施例では、超音波トランスデューサ
14aではなく超音波トランスデューサ14bを用いて
距離D5 等を求めているので、超音波Uの減衰の影響の
ない正確な値が求められる。なお、超音波トランスデュ
ーサ14a,14bは、必ずしも両方必要ではなく、例
えば壁厚D2 ,D4 ,距離D3 及び温度Tが既知であっ
て求める必要がなければ、どちらか一方だけでもよい。
【0048】本発明に係るセンサ10は、濃度の測定に
限定されるものではなく、被測定液体L2 の音速v2
び温度Tに対応する物性(例えば、密度,粘度等。)で
あれば、どのような測定にも適用できる。
【0049】
【発明の効果】請求項1記載のセンサによれば、従来一
回の測定ごとに必要であった洗浄を不要にできるので、
作業性を向上できる。また、第二の容器を小さくするこ
とにより、少量の被測定液体でも測定できる。さらに、
従来要求されていた耐薬品性を不要にできるので、安価
な材料で作製することにより原材料費を大幅に低減でき
る。
【0050】請求項2記載の超音波濃度測定方法によれ
ば、第二の容器の温度を正確に測定できるので、特に第
二の容器の温度の影響が多い場合に測定精度を向上でき
る。
【0051】請求項3記載の超音波濃度測定方法によれ
ば、第二の容器の壁厚を正確に測定できるので、特に第
二の容器の壁厚の影響が多い場合に測定精度を向上でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明に係る超音波濃度計等のセンサの
一実施例を示し、図1(1)は図1(3)におけるI−
I線縦断面図、図1(2)は受信波の波形図、図1
(3)は平面図である。
【図2】図1のセンサを用いて構成した超音波濃度計の
ブロック図である。
【図3】図1のセンサにおける第二の容器の材質の温度
−音速特性を示すグラフである。
【図4】従来の超音波濃度計等のセンサを示し、図4
(1)は図4(2)におけるIV-IV 線縦断面図、図4
(2)は一部を切り欠いた平面図である。
【符号の説明】
10 センサ 12 第一の容器 12a,12b 第一の容器の側壁 14a,14b 超音波トランスデューサ 16 第二の容器 18a,18b 第二の容器の内壁面 20a,20b 第二の容器の外壁面 L1 超音波伝播用液体 L2 被測定液体

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超音波伝播用液体を満たす第一の容器
    と、この第一の容器の側壁に装着された超音波トランス
    デューサと、前記第一の容器内に浸漬されると共に被測
    定液体を満たす第二の容器とを備え、この第二の容器に
    は、前記超音波トランスデューサから放射された超音波
    を前記超音波トランスデューサへ向けて反射する内壁面
    及び外壁面が形成されている超音波濃度計等のセンサ。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の超音波濃度計等のセンサ
    において、前記第二の容器の材質の温度−音速特性を予
    め測定しておき、前記第二の容器の前記内壁面及び外壁
    面間の壁厚を測定し、前記第一の容器内に前記第二の容
    器を浸漬した状態で前記超音波トランスデューサから放
    射した超音波が前記内壁面及び外壁面に反射して再び前
    記超音波トランスデューサに戻ってくるまでの伝播時間
    を測定し、これらの伝播時間の差,前記温度−音速特性
    及び前記壁厚に基づき前記第二の容器の温度を測定し、
    この第二の容器の温度,前記壁厚及び前記伝播時間に基
    づき前記被測定液体の濃度を算出する超音波濃度測定方
    法。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の超音波濃度計等のセンサ
    において、前記第二の容器の材質の温度−音速特性を予
    め測定しておき、前記超音波伝播用液体内に測温素子を
    入れて前記第二の容器の温度を測定し、前記第一の容器
    内に前記第二の容器を浸漬した状態で前記超音波トラン
    スデューサから放射した超音波が前記内壁面及び外壁面
    に反射して再び前記超音波トランスデューサに戻ってく
    るまでの伝播時間を測定し、これらの伝播時間の差,前
    記温度−音速特性及び前記第二の容器の温度に基づき前
    記第二の容器の前記内壁面及び外壁面間の壁厚を測定
    し、この壁厚,前記第二の容器の温度及び前記伝播時間
    に基づき前記被測定液体の濃度を算出する超音波濃度測
    定方法。
JP6197685A 1994-07-29 1994-07-29 超音波濃度計等のセンサ及びこれを用いた超音波濃度測定方法 Withdrawn JPH0843359A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011185706A (ja) * 2010-03-08 2011-09-22 Central Res Inst Of Electric Power Ind レーザ超音波を用いた表面欠陥監視方法及び表面欠陥監視装置
JP2012239690A (ja) * 2011-05-20 2012-12-10 Institute Of National Colleges Of Technology Japan 超音波流量計を用いた酸素濃度計

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