JPH0843807A - ガラス基板の吸着機構 - Google Patents
ガラス基板の吸着機構Info
- Publication number
- JPH0843807A JPH0843807A JP17519194A JP17519194A JPH0843807A JP H0843807 A JPH0843807 A JP H0843807A JP 17519194 A JP17519194 A JP 17519194A JP 17519194 A JP17519194 A JP 17519194A JP H0843807 A JPH0843807 A JP H0843807A
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- JP
- Japan
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- glass substrate
- glass substrates
- deflection
- color filters
- color filter
- Prior art date
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- Withdrawn
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 10
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス基板の反りや撓みを防止してガラス基
板のいずれの部分での光学センサの検出能力を一定にで
き、吸着固定できなくなるのを防止し得るガラス基板の
吸着機構を提供する。 【構成】 バキュームチャック２の開口部をガラス基板
９上のカラーフィルタやパネルの多面取りの形状に対応
させ、吸着のための真空引き用の溝６をバキュームチャ
ック２に形成することにより、ガラス基板９の反りや撓
みを防止する。
板のいずれの部分での光学センサの検出能力を一定にで
き、吸着固定できなくなるのを防止し得るガラス基板の
吸着機構を提供する。 【構成】 バキュームチャック２の開口部をガラス基板
９上のカラーフィルタやパネルの多面取りの形状に対応
させ、吸着のための真空引き用の溝６をバキュームチャ
ック２に形成することにより、ガラス基板９の反りや撓
みを防止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はガラス基板の吸着機構
に関し、特に、液晶表示装置に用いられるガラス基板上
のカラーフィルタを検査するために、ガラス基板をバキ
ュームチャックと呼ばれる治具に吸着させるような吸着
機構に関する。
に関し、特に、液晶表示装置に用いられるガラス基板上
のカラーフィルタを検査するために、ガラス基板をバキ
ュームチャックと呼ばれる治具に吸着させるような吸着
機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のカラーフィルタ検査装置の
側面図である。図４において、液晶パネルまたはカラー
フィルタ１は、バキュームチャック２の上に載置され、
バキュームチャック２の下部には蛍光灯などの光源３が
設けられていて、光源３からの光がカラーフィルタ１に
照射される。カラーフィルタ１を透過した光は結像レン
ズ４を介してＣＣＤラインセンサ５で撮像される。
側面図である。図４において、液晶パネルまたはカラー
フィルタ１は、バキュームチャック２の上に載置され、
バキュームチャック２の下部には蛍光灯などの光源３が
設けられていて、光源３からの光がカラーフィルタ１に
照射される。カラーフィルタ１を透過した光は結像レン
ズ４を介してＣＣＤラインセンサ５で撮像される。
【０００３】図４に示した検査装置において、カラーフ
ィルタ１はバキュームチャック２によって吸着固定され
る。すなわち、バキュームチャック２は平板の表面に形
成された溝６が細穴７を介して外部に設置された真空発
生装置８に接続されており、カラーフィルタ１をバキュ
ームチャック２上に載置することによって、溝６が負圧
となり、カラーフィルタ１がバキュームチャック２に吸
着固定される。
ィルタ１はバキュームチャック２によって吸着固定され
る。すなわち、バキュームチャック２は平板の表面に形
成された溝６が細穴７を介して外部に設置された真空発
生装置８に接続されており、カラーフィルタ１をバキュ
ームチャック２上に載置することによって、溝６が負圧
となり、カラーフィルタ１がバキュームチャック２に吸
着固定される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、最近では、
大型の液晶表示装置が実用化されつつあり、それに伴っ
てガラス基板も大型化しかつ薄型化してきている。この
ため、図４に示した従来の検査装置に大型のガラス基板
を載置すると、図５に示すようにガラス基板９が撓みを
生じたり、反りを生じたりする。このため、ＣＣＤライ
ンセンサ５を横方向に移動してガラス基板９の表面を検
出するときに、ＣＣＤラインセンサ５の検出能力が場所
によって異なり、正確な検査ができなくなる。また、ガ
ラス基板９の反りや撓みが大きくなると、バキュームチ
ャック２の溝６とガラス基板９との間に隙間を生じ、溝
６内の真空度が高まらず、ガラス基板９をバキュームチ
ャック２に吸着して固定できなくなるという欠点があ
る。
大型の液晶表示装置が実用化されつつあり、それに伴っ
てガラス基板も大型化しかつ薄型化してきている。この
ため、図４に示した従来の検査装置に大型のガラス基板
を載置すると、図５に示すようにガラス基板９が撓みを
生じたり、反りを生じたりする。このため、ＣＣＤライ
ンセンサ５を横方向に移動してガラス基板９の表面を検
出するときに、ＣＣＤラインセンサ５の検出能力が場所
によって異なり、正確な検査ができなくなる。また、ガ
ラス基板９の反りや撓みが大きくなると、バキュームチ
ャック２の溝６とガラス基板９との間に隙間を生じ、溝
６内の真空度が高まらず、ガラス基板９をバキュームチ
ャック２に吸着して固定できなくなるという欠点があ
る。
【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、ガ
ラス基板の反りや撓みを防止して、ガラス基板のいずれ
の部分での検出能力を一定にでき、吸着固定できなくな
るのを防止し得るガラス基板の吸着機構を提供すること
である。
ラス基板の反りや撓みを防止して、ガラス基板のいずれ
の部分での検出能力を一定にでき、吸着固定できなくな
るのを防止し得るガラス基板の吸着機構を提供すること
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は液晶用のカラ
ーフィルタなどのガラス基板を検査する検査装置におい
て、ガラス基板を治具に吸着するための吸着機構であっ
て、ガラス基板上のカラーフィルタやパネルの多面取り
の形状に対応し、吸着のための真空引き用の溝を治具に
形成したものである。
ーフィルタなどのガラス基板を検査する検査装置におい
て、ガラス基板を治具に吸着するための吸着機構であっ
て、ガラス基板上のカラーフィルタやパネルの多面取り
の形状に対応し、吸着のための真空引き用の溝を治具に
形成したものである。
【０００７】
【作用】この発明に係るガラス基板の吸着機構は、治具
の真空引き用の溝をガラス基板上のカラーフィルタやパ
ネルの多面取りの形状に対応して形成したので、ガラス
基板の反りや撓みを防止できる。
の真空引き用の溝をガラス基板上のカラーフィルタやパ
ネルの多面取りの形状に対応して形成したので、ガラス
基板の反りや撓みを防止できる。
【０００８】
【実施例】この発明の一実施例では、カラーフィルタや
液晶パネルの多面取りに着目してバキュームチャック構
造にしたものであり、図４に示したバキュームチャック
２の開口部を口字型から日または田字型にしてガラス基
板の反りや撓みが防止される。
液晶パネルの多面取りに着目してバキュームチャック構
造にしたものであり、図４に示したバキュームチャック
２の開口部を口字型から日または田字型にしてガラス基
板の反りや撓みが防止される。
【０００９】図１はカラーフィルタの多面取りの例を示
す図であり、図１（ａ）は２枚取りにして日字型にした
ものであり、図１（ｂ）は４枚取りで田字型にした例を
示す。この他に６枚取りなどがある。この図１に示した
実施例では、ガラス基板１１のうちカラーフィルタ１２
でない部分（検査対象外）を利用してバキュームチャッ
クで吸着するものであり、従来のように周辺のみなら
ず、中央の部分も吸着される。その様子を４枚取りを例
にとって図２に示す。比較のために、従来のバキューム
チャックを図３に示す。
す図であり、図１（ａ）は２枚取りにして日字型にした
ものであり、図１（ｂ）は４枚取りで田字型にした例を
示す。この他に６枚取りなどがある。この図１に示した
実施例では、ガラス基板１１のうちカラーフィルタ１２
でない部分（検査対象外）を利用してバキュームチャッ
クで吸着するものであり、従来のように周辺のみなら
ず、中央の部分も吸着される。その様子を４枚取りを例
にとって図２に示す。比較のために、従来のバキューム
チャックを図３に示す。
【００１０】図２において、バキュームチャック２は田
字型に形成され、十字部分にも溝６が形成される。そし
て、ガラス基板９の支持スパンＬｓはＬ／２となってい
る。ガラス基板１の自重による撓みはスパンＬｓの４乗
に比例するため、結局図２に示す構造を採用することに
より、ガラスの撓みは１／１６になることが期待でき
る。
字型に形成され、十字部分にも溝６が形成される。そし
て、ガラス基板９の支持スパンＬｓはＬ／２となってい
る。ガラス基板１の自重による撓みはスパンＬｓの４乗
に比例するため、結局図２に示す構造を採用することに
より、ガラスの撓みは１／１６になることが期待でき
る。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、ガラ
ス基板上のカラーフィルタやパネルの多面取りの形状に
対応し、吸着のための真空引き用の溝を治具に形成した
ことによって、ガラス基板の反りや撓みを少なくでき、
光学センサの検出能力がいずれの部分でもほぼ一定にす
ることができ、しかもガラス基板の反りや撓みによって
吸着固定ができなくなるのを防止できる。
ス基板上のカラーフィルタやパネルの多面取りの形状に
対応し、吸着のための真空引き用の溝を治具に形成した
ことによって、ガラス基板の反りや撓みを少なくでき、
光学センサの検出能力がいずれの部分でもほぼ一定にす
ることができ、しかもガラス基板の反りや撓みによって
吸着固定ができなくなるのを防止できる。
【図１】カラーフィルタの多面取りの例を示す図であ
る。
る。
【図２】多面取りしたカラーフィルタのバキュームチャ
ックの一実施例を示す図である。
ックの一実施例を示す図である。
【図３】従来のバキュームチャックの一例を示す図であ
る。
る。
【図４】従来の検査装置の側面図である。
【図５】従来のバキュームチャックに載置したガラス基
板が撓みを生じている様子を示す断面図である。
板が撓みを生じている様子を示す断面図である。
２ バキュームチャック ６ 溝 ９ ガラス基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５０５
Claims (1)
- 【請求項１】 液晶用のカラーフィルタなどのガラス基
板を検査する検査装置において、前記ガラス基板を治具
に吸着するための吸着機構であって、 前記ガラス基板上のカラーフィルタやパネルの多面取り
の形状に対応し、吸着のための真空引き用の溝を前記治
具に形成したことを特徴とする、ガラス基板の吸着機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17519194A JPH0843807A (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | ガラス基板の吸着機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17519194A JPH0843807A (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | ガラス基板の吸着機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0843807A true JPH0843807A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=15991883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17519194A Withdrawn JPH0843807A (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | ガラス基板の吸着機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0843807A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001242432A (ja) * | 2000-02-25 | 2001-09-07 | Sharp Corp | 液晶パネル用吸着機構 |
| CN100407364C (zh) * | 2003-12-24 | 2008-07-30 | 乐金显示有限公司 | 硅结晶设备及硅结晶方法 |
-
1994
- 1994-07-27 JP JP17519194A patent/JPH0843807A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001242432A (ja) * | 2000-02-25 | 2001-09-07 | Sharp Corp | 液晶パネル用吸着機構 |
| CN100407364C (zh) * | 2003-12-24 | 2008-07-30 | 乐金显示有限公司 | 硅结晶设备及硅结晶方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011002 |