JPS62174608A - パタ−ン検出装置 - Google Patents
パタ−ン検出装置Info
- Publication number
- JPS62174608A JPS62174608A JP1663086A JP1663086A JPS62174608A JP S62174608 A JPS62174608 A JP S62174608A JP 1663086 A JP1663086 A JP 1663086A JP 1663086 A JP1663086 A JP 1663086A JP S62174608 A JPS62174608 A JP S62174608A
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- JP
- Japan
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- base member
- detection device
- pattern detection
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はパターン検出装置、特にフォトマスクのように
撓み易く、透過光検出を必要とする対象の場合に用いる
パターン検出装置に関するものである。
撓み易く、透過光検出を必要とする対象の場合に用いる
パターン検出装置に関するものである。
光学的方法によってパターンを検出し、検出信号を画像
処理して欠陥の検査などを行うパターン検出装置ではご
般に対象物を光学系の焦点深度内に平面度を保って取付
ける必要がある。例えば、プリント基板やフォトマスク
、その他回路基板の光学的自動検査装置では、検出分解
能の関係から等倍〜拡大してパターン検出する場合が多
く、焦、ｄ深度は０．２ｔａｙｓ程度であることが多い
、しかし対象となるプリント基板やフォトマスクはそり
。
処理して欠陥の検査などを行うパターン検出装置ではご
般に対象物を光学系の焦点深度内に平面度を保って取付
ける必要がある。例えば、プリント基板やフォトマスク
、その他回路基板の光学的自動検査装置では、検出分解
能の関係から等倍〜拡大してパターン検出する場合が多
く、焦、ｄ深度は０．２ｔａｙｓ程度であることが多い
、しかし対象となるプリント基板やフォトマスクはそり
。
ねじれ、たわみがあり、平面度を保って取付ける必要が
ある。このため従来は平面度の良いテーブル上に真空吸
引して固定したり、ガラス板などで押えつけたりしてい
た。
ある。このため従来は平面度の良いテーブル上に真空吸
引して固定したり、ガラス板などで押えつけたりしてい
た。
第６図に示したものは真空吸引して取付けるのに用いる
固定装置の断面図で、１は検査対象２を保持する面に真
空吸引用の穴３が設けられているステージ部、４は吸引
装置を示している。
固定装置の断面図で、１は検査対象２を保持する面に真
空吸引用の穴３が設けられているステージ部、４は吸引
装置を示している。
この固定装置は、上方から照明してパターンを検出する
場合に多く用いられるもので、検査対象２を乗せるステ
ージ部１は内部に部屋を持ち、真空ポンプや吸引ブロア
などの吸引袋［４に接続されており、上面に設けられた
多数の穴３を通して検査対象を吸引固定するようになっ
ている。この固定装置は内部にリブを設は自重や負圧に
よる変形を防ぐ構造が可能であり、上面の平面度を確保
しておけば、検査対象２はこれに沿って固定されるので
、吸引固定すると同時に平面度を得ることができる。し
かし、透過光検出を行う場合に使用できないのは明らか
である。また、透明なフィルムマスクのような検査対象
を反射光式で検出しようとする場合には吸引用の穴の影
響を無視できない。
場合に多く用いられるもので、検査対象２を乗せるステ
ージ部１は内部に部屋を持ち、真空ポンプや吸引ブロア
などの吸引袋［４に接続されており、上面に設けられた
多数の穴３を通して検査対象を吸引固定するようになっ
ている。この固定装置は内部にリブを設は自重や負圧に
よる変形を防ぐ構造が可能であり、上面の平面度を確保
しておけば、検査対象２はこれに沿って固定されるので
、吸引固定すると同時に平面度を得ることができる。し
かし、透過光検出を行う場合に使用できないのは明らか
である。また、透明なフィルムマスクのような検査対象
を反射光式で検出しようとする場合には吸引用の穴の影
響を無視できない。
しかし、パターン検出装置の検査対象には種々のものが
あり、それぞれ最した照明法、検出法がある。すなわち
、フォトマスクの様に透明、不透明が明確な対象では透
過光を検出する方法が適しているが、従来の真空吸引し
てテーブル上に固定する方法では照明部で吸引するため
両立せず、ガラス板などを乗せる方法では平面度が悪く
なる欠点を持っていた。
あり、それぞれ最した照明法、検出法がある。すなわち
、フォトマスクの様に透明、不透明が明確な対象では透
過光を検出する方法が適しているが、従来の真空吸引し
てテーブル上に固定する方法では照明部で吸引するため
両立せず、ガラス板などを乗せる方法では平面度が悪く
なる欠点を持っていた。
本発明の目的は、透過光を検出する場合でも平面度を保
って精度良く検査対象を固定することのできるパターン
検出装置を提供することにある。
って精度良く検査対象を固定することのできるパターン
検出装置を提供することにある。
本発明は、負圧で吸引して固定装置に平面度を保って取
付けられる検査対象のパターンを光学的方法によって検
出するパターン検出装置において、前記固定装置が、前
記検査対象を保持するベース部材と、該ベース部材上の
前記検査対象を覆う透明可撓膜と、該ベース部材の周囲
をとりまいて設けられ該ベース部材及び前記透明可撓膜
が気密に取付けられ負圧吸引用の流路を形成するフレー
ム部材とからなっていることを特徴とするものである。
付けられる検査対象のパターンを光学的方法によって検
出するパターン検出装置において、前記固定装置が、前
記検査対象を保持するベース部材と、該ベース部材上の
前記検査対象を覆う透明可撓膜と、該ベース部材の周囲
をとりまいて設けられ該ベース部材及び前記透明可撓膜
が気密に取付けられ負圧吸引用の流路を形成するフレー
ム部材とからなっていることを特徴とするものである。
本発明は透明可撓膜を用いることによって検査対象を平
面度を保ったテーブルへ真空吸引するようにすれば、吸
引口を検査対象の周囲に配置できることに着目してなさ
れたものである。
面度を保ったテーブルへ真空吸引するようにすれば、吸
引口を検査対象の周囲に配置できることに着目してなさ
れたものである。
以下、実施例について説明する。
第５図は本発明のパターン検出装置の一実施例の概念を
示す説明図、第１図は第５図の固定装置の説明図である
。なお、第５図では検査対象の固定装置の詳細は省略し
である。第５図に示したパターン検出装置では、検査し
ようとする検査対象２は固定装置５によって所定の位置
に固定されるが、この時、検査対象２は検出光学系６に
対して平面度が保たれていることが必要である。検査対
象２のパターンを透過光で検出しようとする場合、照明
光学系７は検出光学系６と検査対象２をはさんで配置さ
れる。光学系６，７と検査対象２はその検査範囲内を相
対的に移動する必要があり、この例では固定袋［５が駆
動機構８によって移動させられる。したがって、透過光
を検出する場合。
示す説明図、第１図は第５図の固定装置の説明図である
。なお、第５図では検査対象の固定装置の詳細は省略し
である。第５図に示したパターン検出装置では、検査し
ようとする検査対象２は固定装置５によって所定の位置
に固定されるが、この時、検査対象２は検出光学系６に
対して平面度が保たれていることが必要である。検査対
象２のパターンを透過光で検出しようとする場合、照明
光学系７は検出光学系６と検査対象２をはさんで配置さ
れる。光学系６，７と検査対象２はその検査範囲内を相
対的に移動する必要があり、この例では固定袋［５が駆
動機構８によって移動させられる。したがって、透過光
を検出する場合。
固定装置５は、検査範囲内を移動しても光軸を遮ぎるこ
とがあってはならず、光学的に同一特性でなければなら
ない、すなわち検査対象２をガラス板などではさんで固
定する場合、たわみや厚みの変化によって光軸が変化し
たり焦点位置が変化してはならないのである。検査装置
は一般的に、検出光学系６で得られた電気信号をディジ
タル化する２値化回路９と、画像信号から欠陥部を摘出
する欠陥判定部１０、及び装置全体の動作を制御する制
御部１１からなる。
とがあってはならず、光学的に同一特性でなければなら
ない、すなわち検査対象２をガラス板などではさんで固
定する場合、たわみや厚みの変化によって光軸が変化し
たり焦点位置が変化してはならないのである。検査装置
は一般的に、検出光学系６で得られた電気信号をディジ
タル化する２値化回路９と、画像信号から欠陥部を摘出
する欠陥判定部１０、及び装置全体の動作を制御する制
御部１１からなる。
第１図において、２は検査対象、１２は検査対象を保持
するベース板、１３はベース板１２上の検査対象２を覆
う透明可撓膜、１４はベース板１２をとりまいて設けら
れ、ベース板１２及び透明可撓膜１３が気密に取付けら
れ負圧吸引用の流路を形成するフレーム部、４は吸引装
置を示している。この固定装置ではベース板１２上に保
持された検査対象２の上部にマイラフィルムのような薄
い透明可撓膜１３を重ね、フレーム部１４の吸引口に接
続された吸引装置４によって負圧に吸引される。このよ
うに負圧に吸引すると、透明可撓膜１３は検査対象２に
密着し一様に大気圧で固定される。この際ベース板１２
には上下の方向から大気が印加されることになり変形は
極めて小さい。
するベース板、１３はベース板１２上の検査対象２を覆
う透明可撓膜、１４はベース板１２をとりまいて設けら
れ、ベース板１２及び透明可撓膜１３が気密に取付けら
れ負圧吸引用の流路を形成するフレーム部、４は吸引装
置を示している。この固定装置ではベース板１２上に保
持された検査対象２の上部にマイラフィルムのような薄
い透明可撓膜１３を重ね、フレーム部１４の吸引口に接
続された吸引装置４によって負圧に吸引される。このよ
うに負圧に吸引すると、透明可撓膜１３は検査対象２に
密着し一様に大気圧で固定される。この際ベース板１２
には上下の方向から大気が印加されることになり変形は
極めて小さい。
第２図は他の実施例の透過光検出用のパターン検出装置
の固定装置の説明図で、第５図及び第１図と同一部分に
は同一符号が付しである。この実施例ではベース板１５
をガラス板のような透明部材で構成してあり、それによ
って検査すべき全域に渡って光路が確保され、変形が少
いため、光軸変化を生じさせることはない。
の固定装置の説明図で、第５図及び第１図と同一部分に
は同一符号が付しである。この実施例ではベース板１５
をガラス板のような透明部材で構成してあり、それによ
って検査すべき全域に渡って光路が確保され、変形が少
いため、光軸変化を生じさせることはない。
第３図はさらに他の実施例の上方照明の検出系を有する
パターン検出装置の固定装置の説明図で。
パターン検出装置の固定装置の説明図で。
第５図及び第１図と同一部分には同一符号が付しである
。透明材料上にパターンが形成されている場合、パター
ンの反射率が低ければ、ベース板１２を高反射率表面に
、逆にパターンが金属蒸着のように高反射率であればベ
ース板１２を低反射率表面にすることによって、コント
ラストの良いパターン検出が可能となる。
。透明材料上にパターンが形成されている場合、パター
ンの反射率が低ければ、ベース板１２を高反射率表面に
、逆にパターンが金属蒸着のように高反射率であればベ
ース板１２を低反射率表面にすることによって、コント
ラストの良いパターン検出が可能となる。
第４図はさらに他の実施例の厚さの異なる検査対象に適
用するパターン検出装置の固定装置の説明図で、第５図
及び第１図と同一部分には同一符号が付しである。この
ように検査対象の厚さが異なる場合には、その厚さに応
じたシート１７を検査対象２とベース板との間に敷くこ
とによって常にパターン面を同一位置に固定することが
できるので、検出系の焦点調整を行う必要がない。
用するパターン検出装置の固定装置の説明図で、第５図
及び第１図と同一部分には同一符号が付しである。この
ように検査対象の厚さが異なる場合には、その厚さに応
じたシート１７を検査対象２とベース板との間に敷くこ
とによって常にパターン面を同一位置に固定することが
できるので、検出系の焦点調整を行う必要がない。
これらの実施例によれば次のような効果がある。
（１）検査対象の上下を透明材料で構成することが可能
で、照明部から検出部に至る光路を遮ぎる位置に他の機
構を配置する必要がないので透過光検出に適用できる。
で、照明部から検出部に至る光路を遮ぎる位置に他の機
構を配置する必要がないので透過光検出に適用できる。
（２）吸引中には上下方向から大気圧が作用するので、
真空吸引による機構の変形はなく、構造を小形にできる
。
真空吸引による機構の変形はなく、構造を小形にできる
。
（３）真空吸引による変形がないので、ベース部の平面
度に沿って検査対象を固定できる。
度に沿って検査対象を固定できる。
（４）ベース部を高反射面とするか、高反射面を有する
シートを敷けば、透明材料表面に低反射（例えば黒色）
部のパターンを有する検査対象を反射光で検出できる。
シートを敷けば、透明材料表面に低反射（例えば黒色）
部のパターンを有する検査対象を反射光で検出できる。
（５）ベース部を低反射面とするか、低反射面を有する
シートを敷けば、透明材料表面に高反射（たとえば金属
蒸着）部のパターンを有する検査対象を反射光で検出で
きる。
シートを敷けば、透明材料表面に高反射（たとえば金属
蒸着）部のパターンを有する検査対象を反射光で検出で
きる。
（６）ベース部に検査対象の厚さに応じたシートを敷く
ことによって、常にパターン面を同一高さにすることが
できるので、厚さの異なる対象に対しても特別な調整機
構が不要となる。
ことによって、常にパターン面を同一高さにすることが
できるので、厚さの異なる対象に対しても特別な調整機
構が不要となる。
本発明は、透明光を検出する場合でも平面度を保って精
度良く検査対象を固定することのできるパターン検出装
置を提供可能とするもので、産業上の効果の大なるもの
である。
度良く検査対象を固定することのできるパターン検出装
置を提供可能とするもので、産業上の効果の大なるもの
である。
第１図は本発明のパターン検出装置の一実施例の固定装
置の説明図、第２図、第３図及び第４図は同じくそれぞ
れ異なる実施例の固定装置の説明図、第５図は本発明の
パターン検出装置の一実施例の概念を示す説明図、第６
図は従来のパターン検出装置の固定装置の説明図である
６ ２・・・検査対象、４・・・吸引装置、５・・・固定装
置、６・・・検出光学系、７・・・照明光学系、８・・
・駆！ｌ！ＩＪ機構、１２・・・ベース板、１３・・・
透明可撓膜、１４・・・フレーム部。 代理人 弁理士 長崎博男８１．．：、、、、：、ｅ”
ｌｙ−＋− （ほか１名） 芋 １ 月 ４・・・ 唄ダ１表！ １４・・・ ツム−ＡＨ ＃ ３ 口 芽４ 目
置の説明図、第２図、第３図及び第４図は同じくそれぞ
れ異なる実施例の固定装置の説明図、第５図は本発明の
パターン検出装置の一実施例の概念を示す説明図、第６
図は従来のパターン検出装置の固定装置の説明図である
６ ２・・・検査対象、４・・・吸引装置、５・・・固定装
置、６・・・検出光学系、７・・・照明光学系、８・・
・駆！ｌ！ＩＪ機構、１２・・・ベース板、１３・・・
透明可撓膜、１４・・・フレーム部。 代理人 弁理士 長崎博男８１．．：、、、、：、ｅ”
ｌｙ−＋− （ほか１名） 芋 １ 月 ４・・・ 唄ダ１表！ １４・・・ ツム−ＡＨ ＃ ３ 口 芽４ 目
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、負圧で吸引して固定装置に平面度を保つて取付けら
れる検査対象のパターンを光学的方法によつて検出する
パターン検出装置において、前記固定装置が、前記検査
対象を保持するベース部材と、該ベース部材上の前記検
査対象を覆う透明可撓膜と、該ベース部材の周囲をとり
まいて設けられ該ベース部材及び前記透明可撓膜が気密
に取付けられ負圧吸引用の流路を形成するフレーム部材
とからなつていることを特徴とするパターン検出装置。 ２、前記ベース部材が、透明材である特許請求の範囲第
１項記載のパターン検出装置。 ３、前記ベース部材の前記検査対象を保持する表面が、
高反射率を有している特許請求の範囲第１項記載のパタ
ーン検出装置。 ４、前記ベース部材の前記検査対象を保持する表面が、
低反射率を有している特許請求の範囲第１項記載のパタ
ーン検出装置。 ５、前記ベース部材が、その表面に前記検査対象の表面
の高さを一定にするため挿入するシートを有している特
許請求の範囲第１項記載のパターン検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1663086A JPS62174608A (ja) | 1986-01-28 | 1986-01-28 | パタ−ン検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1663086A JPS62174608A (ja) | 1986-01-28 | 1986-01-28 | パタ−ン検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62174608A true JPS62174608A (ja) | 1987-07-31 |
Family
ID=11921682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1663086A Pending JPS62174608A (ja) | 1986-01-28 | 1986-01-28 | パタ−ン検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62174608A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2338026A1 (de) * | 2008-09-30 | 2011-06-29 | Airbus Operations GmbH | Verfahren zum messen und/oder prüfen einer welligkeit eines flächigen textils |
| CN102879180A (zh) * | 2011-07-14 | 2013-01-16 | 致茂电子股份有限公司 | 发光二极管测量装置 |
| JP2013024584A (ja) * | 2011-07-15 | 2013-02-04 | Topcon Corp | 検査装置 |
| JP2013024860A (ja) * | 2011-07-14 | 2013-02-04 | Chroma Ate Inc | Ｌｅｄ用試験装置 |
| WO2018014720A1 (zh) * | 2016-07-22 | 2018-01-25 | 大连理工大学 | 一种蜂窝芯面形的测量方法及装置 |
-
1986
- 1986-01-28 JP JP1663086A patent/JPS62174608A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2338026A1 (de) * | 2008-09-30 | 2011-06-29 | Airbus Operations GmbH | Verfahren zum messen und/oder prüfen einer welligkeit eines flächigen textils |
| CN102879180A (zh) * | 2011-07-14 | 2013-01-16 | 致茂电子股份有限公司 | 发光二极管测量装置 |
| JP2013024860A (ja) * | 2011-07-14 | 2013-02-04 | Chroma Ate Inc | Ｌｅｄ用試験装置 |
| JP2013024584A (ja) * | 2011-07-15 | 2013-02-04 | Topcon Corp | 検査装置 |
| WO2018014720A1 (zh) * | 2016-07-22 | 2018-01-25 | 大连理工大学 | 一种蜂窝芯面形的测量方法及装置 |
| JP2019521364A (ja) * | 2016-07-22 | 2019-07-25 | 大連理工大学 | ハニカムコアの表面形状の測定方法及び装置 |
| US10852129B2 (en) | 2016-07-22 | 2020-12-01 | Dalian University Of Technology | Method and device for measuring surface shape of honeycomb core |
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