JPH0843832A - PARTICLE SPRAYING METHOD AND PARTICLE SPRAYING APPARATUS - Google Patents

PARTICLE SPRAYING METHOD AND PARTICLE SPRAYING APPARATUS

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Publication number
JPH0843832A
JPH0843832A JP18233894A JP18233894A JPH0843832A JP H0843832 A JPH0843832 A JP H0843832A JP 18233894 A JP18233894 A JP 18233894A JP 18233894 A JP18233894 A JP 18233894A JP H0843832 A JPH0843832 A JP H0843832A
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JP
Japan
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fine particles
filter
fine
spraying
charged
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP18233894A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akio Suzuki
昭夫 鈴木
Michiya Kobayashi
道哉 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸湿または静電気等でもともと凝集している
散布材料粉末が使用された場合でも、団塊状として被散
布体上に散布されることなく、微粒子の均一な散布を行
なうことを可能とした微粒子散布方法および微粒子散布
装置を提供する。 【構成】 乾式散布法において、微粒子5をフィルタ4
に通過させる際に、まず物理的に個々の微粒子5に分解
する。しかもこの分解の際にフィルタ4の材質によって
は微粒子5を帯電させ、この微粒子5に帯電器でさらに
帯電させる。このときの帯電は同一極性に帯電させてそ
の電気的排斥力を用いて微粒子5を再凝集しないように
する。あるいは帯電した微粒子5どうしの正又は負の電
荷の違い等により再凝集するということを避けるべく、
電気的に中和させる。
(57) [Abstract] [Purpose] Even if a dusting material powder that is originally aggregated due to moisture absorption or static electricity is used, it is possible to spray fine particles uniformly without being spread as a nodule on the material to be spread. Provided are a fine particle spraying method and a fine particle spraying device. [Constitution] In the dry spray method, the fine particles 5 are filtered by
When it is passed through, the particles are first physically decomposed into individual fine particles 5. Moreover, during this decomposition, the fine particles 5 are charged depending on the material of the filter 4, and the fine particles 5 are further charged by the charger. At this time, charging is performed with the same polarity so that the fine particles 5 are not reaggregated by using the electric repulsion force. Alternatively, in order to avoid re-aggregation due to difference in positive or negative charge between the charged fine particles 5,
Electrically neutralize.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、微粒子散布方法および
微粒子散布装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fine particle spraying method and a fine particle spraying apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、一般に使用されている散布方法に
は、微粒子に同一極性の静電気を帯電させて散布する乾
式散布法(静電散布法)と、速乾性溶剤に微粒子を混合
して散布する湿式散布法とがある。
2. Description of the Related Art Conventionally, generally used spraying methods include a dry spraying method (electrostatic spraying method) in which static electricity of the same polarity is charged on fine particles and spraying, and a spraying method in which fine particles are mixed with a quick-drying solvent. There is a wet spraying method.

【0003】微粒子散布において重要なことは、散布密
度が面内で均一なことと、大きな微粒子塊ができないこ
とである。また、散布作業の容易さも重要である。
What is important in fine particle application is that the application density is uniform in the surface and that a large particle mass cannot be formed. Also, ease of spraying work is important.

【0004】これらの観点から従来の微粒子散布技術を
見ると、湿式散布法では溶剤と微粒子の調合や混合作業
が必要である。その善し悪しが散布状態を左右する。
Looking at the conventional fine particle spraying technology from these viewpoints, the wet spraying method requires the work of mixing and mixing the solvent and the fine particles. The good and bad influences the state of spraying.

【0005】しかしながら、この湿式散布法では、溶剤
と微粒子との調合や混合作業の際に、微粒子が溶剤中で
再凝集してしまい、団塊が生じるという問題がある。
However, this wet spraying method has a problem that the fine particles are re-agglomerated in the solvent during the mixing and mixing operations of the solvent and the fine particles to cause nodules.

【0006】一方、乾式散布法(静電散布法)では、微
粒子を同一極性に帯電させて、その静電的な排斥力によ
って微粒子が凝集することを防いで分散させている。
On the other hand, in the dry spraying method (electrostatic spraying method), the fine particles are charged to the same polarity and dispersed by preventing the particles from aggregating due to the electrostatic repulsion force.

【0007】しかしながら、静電散布前の微粒子(いわ
ゆる散布材料粉末)が吸湿により凝集して団塊状となっ
ている場合には、そのまま団塊状として被散布体上(例
えば液晶表示装置の場合にはアレイ基板上など)に散布
される。このため、散布材料粉末を事前に乾燥させる作
業を付加する場合があり、工程が煩雑であるという問題
がある。
However, when the fine particles (so-called spraying material powder) before electrostatic spraying are aggregated by moisture absorption to form a nodule, the nodules are directly formed on the object to be scattered (for example, in the case of a liquid crystal display device). On the array substrate, etc.). Therefore, there is a case where an operation of drying the spray material powder in advance is added, which causes a problem that the process is complicated.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題を解決するために成されたもので、その目的は、吸湿
または静電気等で散布工程投入以前に既に凝集している
散布材料粉末が使用された場合でも、団塊状としては被
散布体上に散布されることなく、微粒子の均一な散布を
行なうことを可能とした微粒子散布方法およびそれを行
なう微粒子散布装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and its purpose is to obtain a powder of a spraying material which has already agglomerated before the spraying step is introduced due to moisture absorption or static electricity. It is an object of the present invention to provide a fine particle spraying method and a fine particle spraying device for performing the uniform spraying of fine particles even if they are used as a lump, without being sprayed on the object to be sprayed.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の微粒子散布方法
は、吹出口から気体とともに微粒子を噴出させる工程
と、前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開いているフィ
ルタの該孔に通過させて、前記微粒子のうち団塊状に集
合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる工程と、
前記微粒子を同一極性に帯電させて、該帯電している同
一極性の電荷により前記微粒子どうしを分離状態に保持
する工程と、前記帯電した微粒子を被散布体上に散布す
る工程と、を含むことを特徴とする微粒子散布方法であ
る。
The method for spraying fine particles of the present invention comprises the steps of ejecting fine particles together with gas from an outlet, and passing the fine particles through the holes of a filter having at least one hole, Of the fine particles, a step of separating the fine particles that have been aggregated into an agglomerate into individual fine particles,
Charging the fine particles to the same polarity and holding the fine particles in a separated state by the charged charges having the same polarity; and a step of spraying the charged fine particles on the object to be spread. Is a method for spraying fine particles.

【0010】また、吹出口から気体とともに微粒子粉体
を噴出させる工程と、前記微粒子を少なくとも 1つの孔
が開いているフィルタの該孔に通過させて、前記微粒子
のうち団塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分
離させるとともに前記微粒子を同一極性に帯電させる工
程と、前記微粒子を同一極性にさらに帯電させて、該帯
電している同一極性の電荷により前記微粒子どうしを分
離状態に保持する工程と、前記帯電した微粒子を被散布
体上に散布する工程と、を含むことを特徴とする微粒子
散布方法である。
Further, the step of ejecting the fine particle powder together with the gas from the air outlet and the fine particles are passed through the holes of the filter having at least one hole, and the fine particles are aggregated into a nodule. Separating the particles into individual particles and charging the particles to the same polarity; and further charging the particles to the same polarity and holding the particles in a separated state by the charged charges of the same polarity. A method for spraying fine particles, comprising: a step; and a step of spraying the charged fine particles on an object to be sprayed.

【0011】また、吹出口から気体とともに微粒子を噴
出させる工程と、前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開
いているフィルタの該孔に通過させて、前記微粒子のう
ち団塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分離さ
せるとともに前記微粒子を同一極性に帯電させて、該帯
電している同一極性の電荷により前記微粒子どうしを分
離状態に保持する工程と、前記フィルタで帯電した微粒
子を被散布体上に散布する工程と、を含むことを特徴と
する微粒子散布方法である。
Further, a step of ejecting fine particles together with a gas from a blowout port, and passing the fine particles through the holes of a filter having at least one hole, to remove the fine particles that have been aggregated into agglomerates among the fine particles. Separating the individual fine particles and charging the fine particles to the same polarity, and holding the fine particles in a separated state by the charged electric charges of the same polarity; and the fine particles charged by the filter on the sprayed body. And a step of spraying on the fine particles.

【0012】また、吹出口から気体とともに微粒子を噴
出させる工程と、前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開
いているフィルタの該孔に通過させて、前記微粒子のう
ち団塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分離さ
せる工程と、前記微粒子の帯電を除電して、前記微粒子
どうしを分離状態に保持する工程と、前記帯電した微粒
子を被散布体上に散布する工程と、を含むことを特徴と
する微粒子散布方法である。
[0012] Further, a step of ejecting fine particles together with a gas from the outlet, and passing the fine particles through the holes of a filter having at least one hole to remove the fine particles that have been aggregated in a nodule. Characterized in that it includes a step of separating the particles into individual particles, a step of removing the charge of the particles to maintain the particles in a separated state, and a step of spraying the charged particles on the object to be dispersed. This is a method for spraying fine particles.

【0013】また、上記のうちいずれかに記載の微粒子
散布方法において、前記フィルタとして、大きさが前記
微粒子 1個乃至 3個を一度に通過可能な大きさの孔が開
口されたフィルタを用いることを特徴とする微粒子散布
方法である。
Further, in the method for spraying fine particles according to any one of the above, as the filter, a filter having a hole having a size capable of passing one to three fine particles at a time is used. Is a method for spraying fine particles.

【0014】また、上記のうちいずれかに記載の微粒子
散布方法において、前記フィルタとして、前記微粒子に
対する帯電序列が正であって該フィルタの通過により前
記微粒子の帯電極性を負にする材質からなるフィルタを
用いるとともに、帯電器により前記微粒子をさらに負に
帯電することを特徴とする微粒子散布方法である。
Further, in the method for spraying fine particles according to any one of the above, as the filter, a filter made of a material having a positive charging order with respect to the fine particles and making the charge polarity of the fine particles negative by passing through the filter. Is used, and the fine particles are further negatively charged by a charging device.

【0015】また、上記のうちいずれかに記載の微粒子
散布方法において、前記フィルタとして、前記微粒子に
対する帯電序列が負であって該フィルタの通過により前
記微粒子の帯電極性を正にする材質からなるフィルタを
用いるとともに、帯電器により前記微粒子をさらに正に
帯電することを特徴とする微粒子散布方法である。
Further, in the method for spraying fine particles according to any one of the above, the filter is made of a material having a negative charging order with respect to the fine particles and making the charge polarity of the fine particles positive by passing through the filter. Is used and the fine particles are further positively charged by a charging device.

【0016】また、本発明の微粒子散布装置は、気体と
ともに微粒子を噴出させる吹出口と、前記微粒子が通過
する際に前記微粒子のうち団塊状に集合していた微粒子
を各個の微粒子に分離させる少なくとも 1つの孔が開い
ているフィルタと、前記微粒子を同一極性に帯電させる
帯電器と、前記微粒子が散布される被散布体を載置する
載置台と、を具備することを特徴とする微粒子散布装置
である。
Further, in the fine particle spraying apparatus of the present invention, at least an outlet for ejecting the fine particles together with the gas, and at the time of passing the fine particles, the fine particles that have been aggregated in the agglomerate form are separated into individual fine particles. A fine particle spraying device comprising a filter having one hole, a charger for charging the fine particles to the same polarity, and a mounting table on which a sprayed body on which the fine particles are sprayed is placed. Is.

【0017】また、気体とともに微粒子を噴出させる吹
出口と、前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団
塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる
とともに前記微粒子を同一極性に帯電させる少なくとも
1つの孔が開いているフィルタと、前記微粒子を同一極
性に帯電させる帯電器と、前記微粒子が散布される被散
布体を載置する載置台と、を具備することを特徴とする
微粒子散布装置である。 また、気体とともに微粒子を
噴出させる吹出口と、前記微粒子が通過する際に前記微
粒子のうち団塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子
に分離させるとともに前記微粒子を同一極性に帯電させ
る少なくとも 1つの孔が開いているフィルタと、前記フ
ィルタで帯電した微粒子が散布される被散布体を載置す
る載置台と、を具備することを特徴とする微粒子散布装
置である。
Further, a blowout port for ejecting the fine particles together with the gas and the fine particles, which are aggregated in the agglomerate of the fine particles when passing through the fine particles, are separated into individual fine particles and the fine particles are charged to the same polarity. at least
A fine particle spraying device comprising a filter having one hole, a charger for charging the fine particles to the same polarity, and a mounting table on which a sprayed body on which the fine particles are sprayed is placed. Is. Also, at least one of an outlet for ejecting fine particles together with gas and at least one for separating the fine particles that have been aggregated into aggregates among the fine particles when passing through the fine particles into individual fine particles and charging the fine particles to the same polarity A fine particle spraying device comprising: a filter having holes; and a mounting table on which a sprayed body on which fine particles charged by the filter are sprayed is mounted.

【0018】また、気体とともに微粒子を噴出させる吹
出口と、前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団
塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる
少なくとも 1つの孔が開いているフィルタと、前記微粒
子の帯電を除電する除電器と、前記微粒子が散布される
被散布体を載置する載置台と、を具備することを特徴と
する微粒子散布装置である。
Further, there is provided a blowout port for ejecting fine particles together with the gas, and a filter having at least one hole for separating the fine particles, which are aggregated in the agglomerate of the fine particles when passing through the fine particles, into individual fine particles. And a static eliminator for neutralizing the charge of the fine particles, and a mounting table on which a material to be dispersed on which the fine particles are dispersed are mounted.

【0019】また、上記のうちいずれかに記載の微粒子
散布装置において、前記フィルタとして、前記微粒子 1
個乃至 3個を一度に通過可能な大きさの孔が複数開口さ
れたフィルタを具備することを特徴とする微粒子散布装
置である。
In the fine particle spraying device according to any one of the above, the fine particles 1 may be used as the filter.
A fine particle spraying device comprising a filter having a plurality of holes each having a size capable of passing one to three at a time.

【0020】上記のうちいずれかに記載の微粒子散布装
置において、前記フィルタとして、前記微粒子に対する
帯電序列が負であり該フィルタの通過により前記微粒子
の帯電極性を正にする材質からなるフィルタを用いるこ
とを特徴とする微粒子散布装置である。
In the fine particle spraying device according to any one of the above, as the filter, a filter made of a material having a negative charging order with respect to the fine particles and positively charging the fine particles by passing through the filter is used. Is a fine particle spraying device.

【0021】また、上記のうちいずれかに記載の微粒子
散布装置において、前記フィルタとして、前記微粒子に
対する帯電序列が正であり該フィルタの通過により前記
微粒子の帯電極性を負にする材質からなるフィルタを用
いることを特徴とする微粒子散布装置である。
Further, in the fine particle spraying device according to any one of the above, as the filter, a filter made of a material having a positive charging order for the fine particles and making the charge polarity of the fine particles negative by passing through the filter. A fine particle spraying device characterized by being used.

【0022】なお、上記のフィルタの孔の外周平面形状
としては、例えば円形でもよく、あるいは正多角形でも
よい。あるいは網目状でもよい。
The planar shape of the outer circumference of the holes of the filter may be circular or regular polygonal, for example. Alternatively, it may have a mesh shape.

【0023】[0023]

【作用】本発明においては、乾式散布法において、微粒
子をフィルタに通過させる際に、まず物理的に個々の微
粒子に分解する。しかもこの分解の際にフィルタの材質
によっては微粒子を帯電させ、この微粒子に帯電器でさ
らに帯電させる。このときの帯電は、同一極性に帯電さ
せて、その電気的排斥力を用いて、微粒子を再凝集しな
いようにする。あるいは、帯電した微粒子どうしの正又
は負の電荷の違い等により再凝集しないように電気的に
中和させる。このようにして各微粒子を分散させた状態
で被散布体に散布する。従って、被散布体上には、団塊
状に凝集することなく均一に微粒子が散布できる。
In the present invention, in the dry spraying method, when the fine particles are passed through the filter, they are first physically decomposed into individual fine particles. Moreover, during this decomposition, fine particles are charged depending on the material of the filter, and the fine particles are further charged by a charger. At this time, the electric charges are charged to the same polarity, and the electric repulsive force is used to prevent re-aggregation of the fine particles. Alternatively, the particles are electrically neutralized so as not to reaggregate due to a difference in positive or negative charge between charged fine particles. In this way, the respective fine particles are dispersed and sprayed onto the spray target. Therefore, it is possible to uniformly disperse the fine particles on the object to be dispersed without agglomerating them into aggregates.

【0024】[0024]

【実施例】以下、本発明に係る微粒子散布方法および微
粒子散布装置の実施例を、図面に基づいて詳細に説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a fine particle spraying method and a fine particle spraying apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0025】(実施例1)以下、本発明に係る微細粉末
の散布方法を、液晶表示装置の液晶セル用基板上に微粒
子としてスペーサを散布する場合を例に取って説明す
る。
(Embodiment 1) Hereinafter, the method for spraying fine powder according to the present invention will be described with reference to the case where spacers are sprayed as fine particles on a liquid crystal cell substrate of a liquid crystal display device.

【0026】図1は、本発明に係る微粒子散布装置の構
造の概要を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing the outline of the structure of a fine particle spraying device according to the present invention.

【0027】散布槽1の下部に被散布体である基板2を
置き、そのほぼ真上に散布ノズル3が配置されている。
A substrate 2 which is an object to be scattered is placed under the spraying tank 1, and a spraying nozzle 3 is arranged almost directly above the substrate 2.

【0028】散布ノズル3内にはイオナイザを組み入れ
てある。なお、このイオナイザは必ずしも必要であるこ
とには限定しない。本実施例では、散布ノズル3を包む
ように細かいメッシュの網目状のフィルタ4を円筒状に
設け、フィルタ4の内部の散布ノズル3の真下には散布
用の微粒子5の材料粉末を載置する材料粉末載置皿6を
配置した。またフィルタ4の近傍にはイオナイザ7を配
置した。
An ionizer is incorporated in the spray nozzle 3. Note that this ionizer is not necessarily required. In the present embodiment, a mesh-like filter 4 having a fine mesh is provided in a cylindrical shape so as to surround the spray nozzle 3, and a material for depositing the material powder of the fine particles 5 for spraying is placed directly below the spray nozzle 3 inside the filter 4. The powder plate 6 was placed. An ionizer 7 is arranged near the filter 4.

【0029】散布ノズル3により吹き飛ばされた微粒子
5は、フィルタ4を通過し散布槽1内に吹き出され、被
散布体である基板2上に自然落下する。このとき、フィ
ルタ4のメッシュサイズ(つまり孔の開口の大きさ)に
対応して通過する微粒子5の大きさが制限され、このメ
ッシュサイズを適当なサイズにすれば団塊状となった微
粒子は通過しない。この団塊は強固に結合したものでは
ないので、フィルタ4の網目に衝突した段階で互いに分
離されて個々の微粒子として通過する。
The fine particles 5 blown off by the spraying nozzle 3 pass through the filter 4 and are blown out into the spraying tank 1 and fall naturally onto the substrate 2 which is the sprayed object. At this time, the size of the fine particles 5 passing therethrough is limited in accordance with the mesh size of the filter 4 (that is, the size of the opening of the hole). do not do. Since these nodules are not strongly bonded, they are separated from each other when they collide with the mesh of the filter 4 and pass as individual particles.

【0030】本実施例では、微粒子5としては、液晶表
示装置のスペーサとして用いられる樹脂系材料からなる
粒径 5μmの球形のスペーサを用いた。そしてフィルタ
4の網目の粗さは、微粒子5の粒径の約 1.8倍つまり 9
μmのものを用いた。
In the present embodiment, as the fine particles 5, spherical spacers made of a resin material used as a spacer of a liquid crystal display device and having a particle diameter of 5 μm were used. The roughness of the mesh of the filter 4 is about 1.8 times the particle diameter of the fine particles 5, that is, 9
The thing with a micrometer was used.

【0031】本発明に係る微粒子の粒径としては、上記
の微粒子5のように液晶表示装置に用いられるスペーサ
の場合には 1μm〜20μmが好ましい。しかしてさらに
一般に本発明に係る微粒子の粒径としては、20μm以上
も可能である。その上限としては、球体の場合、一般に
粒径が大きくなるに従って同一の電荷量に対する球体ど
うしの静電吸引力の影響はその体積に比較して極めて小
さくなるので、理論的には制限はない。これらを考慮し
て、粒径20μm〜 1mmの大きさの微粒子にも本発明は
適用可能である。
The particle diameter of the fine particles according to the present invention is preferably 1 μm to 20 μm in the case of a spacer used in a liquid crystal display device like the fine particles 5 described above. However, more generally, the particle size of the fine particles according to the present invention can be 20 μm or more. As for the upper limit, in the case of a sphere, generally, as the particle size increases, the influence of the electrostatic attraction force between the spheres on the same amount of charge becomes extremely small compared to the volume thereof, so there is no theoretical limit. In consideration of these, the present invention can be applied to fine particles having a particle size of 20 μm to 1 mm.

【0032】図2は、本発明の効果を示す図である。散
布密度と微粒子塊の発生頻度の相関を取ったものであ
る。上記実施例ではフィルタ4の網目の粗さを微粒子5
の粒径の約 1.8倍としたが、本発明者らは網目の粗さを
種々変更して実験した結果、目の粗さを粒径の 1〜 3倍
にすれば微粒子塊発生率が低減することを見出だした。
目の粗さが大きくなればなるほど、団塊の発生率は大き
くなることはいうまでもないが、団塊の許容値に応じて
網目の粗さ(つまりフィルタ4の孔の大きさ)を設定す
ることができる。例えば、各個の微粒子5を全く団塊を
形成することなく分散させるためには、微粒子5の粒径
よりその寸法公差程度の余裕を持たせた網目の粗さつま
り大きさの孔が形成されたフィルタ4を用いる。
FIG. 2 is a diagram showing the effect of the present invention. This is the correlation between the spray density and the frequency of occurrence of fine particle lumps. In the above embodiment, the roughness of the mesh of the filter 4 is set to the fine particles 5.
However, as a result of experiments by changing the roughness of the mesh, the occurrence rate of fine particle lumps is reduced by increasing the roughness of the mesh from 1 to 3 times the particle diameter. I found out what to do.
It goes without saying that as the coarseness of the mesh increases, the rate of occurrence of the nodule increases, but the roughness of the mesh (that is, the size of the pores of the filter 4) should be set according to the permissible value of the nodule. You can For example, in order to disperse the individual fine particles 5 without forming nodules at all, a filter in which pores having a mesh size, that is, a size having a margin of the size tolerance of the fine particles 5 is provided. 4 is used.

【0033】(実施例2)本発明者らは、上記のフィル
タ4を通過した後の、微粒子5の帯電の極性につき検討
した。
(Embodiment 2) The present inventors examined the charging polarity of the fine particles 5 after passing through the filter 4.

【0034】散布する微粒子5として、その形成材料の
主成分がジビニルベンゼンからなるものを用いた。また
フィルタ4としては、網目がステンレスで形成されたも
のを用いた。そしてフィルタ4の網目を通過した後の微
粒子5に帯電器としてイオナイザ7によって負イオンを
当てた場合と正イオンを当てた場合につき微粒子の団塊
の発生率を調べた。
As the fine particles 5 to be sprayed, those whose main component is divinylbenzene were used. As the filter 4, a filter having a mesh made of stainless steel was used. Then, the generation rate of the nodule of the fine particles was examined when the negative ions were applied to the fine particles 5 after passing through the mesh of the filter 4 by the ionizer 7 as a charger and when the positive ions were applied.

【0035】その結果、負イオンを当てた場合には、 3
個の微粒子が凝集して成る団塊の発生率は 0.5%、正イ
オンを当てた場合には、 0.9%であった。
As a result, when negative ions are applied, 3
The incidence of nodules formed by agglomeration of individual fine particles was 0.5%, and 0.9% when positive ions were applied.

【0036】この違いは次のような理由であることを我
々は見出した。即ち、フィルタ4の網目を通過した微粒
子5の帯電を調べたところ、負に帯電していることが分
かった。これは、フィルタ4の形成材料であるステンレ
スと微粒子5の形成材料であるジビニルベンゼンの摩擦
帯電序列によるものである。
We have found that this difference is due to the following reasons. That is, when the charge of the fine particles 5 passing through the mesh of the filter 4 was examined, it was found that they were negatively charged. This is due to the triboelectrification order of stainless steel, which is the material for forming the filter 4, and divinylbenzene, which is the material for forming the fine particles 5.

【0037】従って、フィルタ4の網目を通過した後の
微粒子5に負イオンを当てた方が微粒子5どうしの間の
静電的排斥力(反発)が強くなり団塊発生率が小さくな
ったものと理解できる。
Therefore, when the negative ions are applied to the fine particles 5 after passing through the mesh of the filter 4, the electrostatic repulsion force (repulsion) between the fine particles 5 becomes stronger and the nodule generation rate becomes smaller. Understandable.

【0038】なお、上記実施例においては、フィルタ4
にステンレス、微粒子5にジビニルベンゼンを用いた
が、微粒子5にシリカを用いる場合には、帯電序列にし
たがってフィルタ4を通過後の微粒子5は正に帯電する
ので、この場合、フィルタ4を通過した後の微粒子5に
は正イオンを当てるのがよい。
In the above embodiment, the filter 4
Stainless steel was used for the fine particles 5 and divinylbenzene was used for the fine particles 5. However, when silica is used for the fine particles 5, the fine particles 5 after passing through the filter 4 are positively charged according to the charging order. It is preferable to apply positive ions to the subsequent fine particles 5.

【0039】その他、フィルタ4の材質および微粒子5
の材質に対応してフィルタ4通過後のイオナイザ7の極
性を変更すればよい。つまり、フィルタ4を通過した時
点での微粒子5が正に帯電する場合、微粒子5をさらに
帯電させてその静電的排斥力で分散させるためには、フ
ィルタ4通過後に微粒子5に対してさらに正に帯電させ
るようにイオナイザ7から正イオンを当てる。フィルタ
4を通過した時点での微粒子5が負に帯電する場合に
は、イオナイザ7から負イオンを当てる。
In addition, the material of the filter 4 and the fine particles 5
The polarity of the ionizer 7 after passing through the filter 4 may be changed according to the material of the. That is, when the fine particles 5 are positively charged after passing through the filter 4, in order to further charge the fine particles 5 and disperse them by the electrostatic repulsion force, the fine particles 5 are further positively charged after passing through the filter 4. Positive ions are applied from the ionizer 7 so as to be charged. When the fine particles 5 are negatively charged after passing through the filter 4, negative ions are applied from the ionizer 7.

【0040】(実施例3)上記第1の実施例では、イオ
ナイザ7により微粒子5を同一極性に帯電させる例を紹
介したが、上記と同一の装置を用いて、フィルタ4を通
過して分解、摩擦等により帯電した微粒子5を、イオナ
イザ7により静電的に中和させて散布する方法もまた可
能である。この場合には、上記の第1の実施例とは逆
に、フィルタ4を通過した時点での微粒子5の帯電とは
逆極性で同じ程度の電荷の帯電を行なう。つまり、フィ
ルタ4を通過した時点で微粒子5が正に帯電している場
合には、イオナイザ7から負イオンを微粒子5に当て
て、この負イオンの負電荷(負のチャージ)で微粒子5
の正電荷の帯電を中和する。このように微粒子5を静電
的に中和させることによっても、個々の微粒子5の帯電
のばらつきに起因した静電的吸引力による団塊の発生を
解消して、団塊のない均一な微粒子5の散布を行なうこ
とができる。このような除電は、例えば被散布基板がア
クティブマトリックス型液晶表示装置のTFTアレイ基
板のような基板の場合、その基板上に帯電した状態の微
粒子5を散布すると、その電荷がTFTアレイ基板側に
移動してTFTの静電破壊などを引き起こすこともある
ので、このような静電気による被散布基板への悪影響を
防ぐことに極めて有効である。
(Embodiment 3) In the first embodiment, an example in which the fine particles 5 are charged to the same polarity by the ionizer 7 was introduced, but the same apparatus as described above is used to pass through the filter 4 to decompose the particles. A method of electrostatically neutralizing the fine particles 5 charged by friction or the like and spraying the fine particles 5 is also possible. In this case, contrary to the first embodiment described above, charging is performed with the same degree of charge as the polarity opposite to that of the particles 5 when they pass through the filter 4. That is, when the fine particles 5 are positively charged when they pass through the filter 4, negative ions are applied to the fine particles 5 from the ionizer 7 and the negative charges (negative charge) of the negative ions are applied to the fine particles 5.
Neutralize the positive charge of. By electrostatically neutralizing the fine particles 5 as described above, the generation of nodules due to electrostatic attraction due to the variation in the charging of the individual fine particles 5 is eliminated, and the uniform fine particles 5 having no nodules are formed. Can be sprayed. In the case of such static elimination, for example, when the substrate to be dispersed is a substrate such as a TFT array substrate of an active matrix type liquid crystal display device, when the charged fine particles 5 are dispersed on the substrate, the charge is transferred to the TFT array substrate side. Since it may move to cause electrostatic breakdown of the TFT, it is extremely effective in preventing such a bad influence on the substrate to be scattered by static electricity.

【0041】(実施例4)第1の実施例においては、フ
ィルタ4としてステンレスからなる網目を使用して微粒
子5の団塊を分解する例を紹介したが、フィルタ4を通
気性多孔質金属に置き換え、これをイオンチャージ電極
にすれば、微粒子5の団塊を個々に分解しながらイオン
チャージを行なうことを効果的に達成できることを、そ
のような通気性多孔質金属材料からなるフィルタ4を用
いた実験により、我々発明者らは確認した。
(Embodiment 4) In the first embodiment, an example in which a nodule of fine particles 5 is decomposed by using a mesh made of stainless steel as the filter 4 was introduced. However, the filter 4 was replaced with a gas permeable porous metal. By using this as an ion charge electrode, it is possible to effectively achieve the ion charge while individually decomposing the nodules of the fine particles 5, that is, an experiment using the filter 4 made of such a permeable porous metal material. Confirmed by the inventors.

【0042】なお、上記各実施例においては、本発明を
液晶表示装置の液晶セル基板上にマイクロビーズのよう
なスペーサを散布する場合について示したが、本発明に
係る散布方法および散布装置の適用はこれのみには限定
しない。この他にも、例えば、微粒子を散布して道路標
識等に用いられる反射板を形成する場合などにも適用可
能である。つまり、本発明の技術を用いれば、反射板の
反射機能を実現するための微粒子を団塊状になることな
く均一に散布することができる。その結果、微粒子が団
塊状になることに起因して生じていた見苦しい反射輝点
欠陥等の発生を避けることができる。従来は上記のよう
な道路標識等に用いられる反射板の形成にあたっては、
その反射機能を実現するための微粒子を塗料の中に混入
してよく攪拌等を行なって、団塊状になることを避けよ
うとしていた。しかし、例えば石油系塗料の中に微粒子
を混入して攪拌すると、微粒子が静電気を帯びるなどし
て団塊状に凝集することがあった。しかし、本発明をこ
れに適用すれば、微粒子が団状になることなく均一に散
布することができる。
In each of the above embodiments, the present invention has been described in the case where spacers such as microbeads are dispersed on the liquid crystal cell substrate of the liquid crystal display device. Is not limited to this. In addition to this, for example, it can be applied to a case where fine particles are scattered to form a reflector used for a road sign or the like. That is, by using the technique of the present invention, it is possible to uniformly disperse the fine particles for realizing the reflection function of the reflection plate without forming an agglomerate. As a result, it is possible to avoid the generation of unsightly reflection bright spot defects and the like that have occurred due to the particles becoming agglomerated. Conventionally, when forming a reflector used for road signs as described above,
The fine particles for realizing the reflection function are mixed in the paint and well stirred to avoid the formation of nodule. However, for example, when fine particles are mixed in a petroleum-based paint and stirred, the fine particles may be charged with static electricity and aggregate in a nodule shape. However, if the present invention is applied to this, the fine particles can be uniformly dispersed without forming a cluster.

【0043】また、上記のフィルタの孔の外周平面形状
としては、上記のように網目状でもよいが、この他に
も、例えば円形でもよく、あるいは正多角形でもよい。
The planar shape of the outer periphery of the holes of the filter may be a mesh shape as described above, but may be, for example, a circular shape or a regular polygonal shape.

【0044】また、以上の各実施例においては微粒子5
を散布ノズル3から吹き出す際にノズル真下に微粒子5
を配置し、散布ノズル3からの空気または窒素等で微粒
子5を吹き飛ばす方式としたが、本発明の装置の構造や
方法は上記の態様のみには限定されないことは言うまで
もない。この他にも、例えば散布槽1の外部から微粒子
5を圧送する方式等にも適用できることは言うまでもな
い。
In each of the above embodiments, the fine particles 5 are used.
When the spraying nozzle 3 blows out the particles 5 just below the nozzle.
However, it is needless to say that the structure and method of the device of the present invention are not limited to the above-mentioned embodiment. In addition to this, it goes without saying that the present invention can be applied to, for example, a method of pressure-feeding the fine particles 5 from the outside of the spraying tank 1.

【0045】また、散布ノズル3とフィルタ4との距離
や吹き出し量等の条件を変更することができることは言
うまでもない。
Needless to say, the conditions such as the distance between the spray nozzle 3 and the filter 4 and the blowing amount can be changed.

【0046】また、上記実施例においては、微粒子5を
吹き出す際に用いる気体としては、N2 (ドライ窒素)
や空気など、微粒子5の吹き出しに用いられる一般的な
気体を用いることができる。
In the above embodiment, the gas used for blowing out the fine particles 5 is N 2 (dry nitrogen).
A general gas used for blowing out the fine particles 5 such as air or air can be used.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上、詳細な説明で明示したように、本
発明によれば、吸湿または静電気等でもともと凝集して
いる散布材料粉末が使用された場合でも、団塊状として
被散布体上に散布されることなく、微粒子の均一な散布
を行なうことを可能とした微粒子散布方法および微粒子
散布装置を提供することができる。
As is clear from the detailed description above, according to the present invention, even when the spraying material powder originally agglomerated by moisture absorption, static electricity or the like is used, it is formed as a nodule on the object to be sprayed. It is possible to provide a fine particle spraying method and a fine particle spraying apparatus that can uniformly spray fine particles without being sprayed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る微粒子散布装置の構造の概要を示
す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an outline of a structure of a fine particle spraying device according to the present invention.

【図2】本発明の効果を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an effect of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1………散布槽 2………被散布体である基板 3………散布ノズル 4………フィルタ 5………微粒子 6………材料粉末載置皿 7………イオナイザ 1 ... Spreading tank 2 ... Substrate which is the object to be spread 3 ... Spraying nozzle 4 ... Filter 5 ... Fine particles 6 ... Material powder loading plate 7 ... Ionizer

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 吹出口から気体とともに微粒子を噴出さ
せる工程と、 前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開いているフィルタ
の該孔に通過させて、前記微粒子のうち団塊状に集合し
ていた微粒子を各個の微粒子に分離させる工程と、 前記微粒子を同一極性に帯電させて、該帯電している同
一極性の電荷により前記微粒子どうしを分離状態に保持
する工程と、 前記帯電した微粒子を被散布体上に散布する工程と、を
含むことを特徴とする微粒子散布方法。
1. A step of ejecting fine particles together with a gas from a blow-out port; and passing the fine particles through the holes of a filter having at least one hole, so that the fine particles aggregated in a nodule among the fine particles are removed. Separating the individual fine particles, charging the fine particles to the same polarity, and holding the fine particles in a separated state by the charged electric charge of the same polarity, the charged fine particles on the sprayed body A method for spraying fine particles, which comprises:
【請求項2】 吹出口から気体とともに微粒子粉体を噴
出させる工程と、 前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開いているフィルタ
の該孔に通過させて、前記微粒子のうち団塊状に集合し
ていた微粒子を各個の微粒子に分離させるとともに前記
微粒子を同一極性に帯電させる工程と、 前記微粒子を同一極性にさらに帯電させて、該帯電して
いる同一極性の電荷により前記微粒子どうしを分離状態
に保持する工程と、 前記帯電した微粒子を被散布体上に散布する工程と、を
含むことを特徴とする微粒子散布方法。
2. A step of ejecting a fine particle powder together with a gas from an outlet, and passing the fine particles through the holes of a filter having at least one hole, so that the fine particles are aggregated in a nodule shape. Separating the fine particles into individual fine particles and charging the fine particles to the same polarity; further charging the fine particles to the same polarity and holding the fine particles in a separated state by the charged electric charges of the same polarity. A method for spraying fine particles, comprising: a step; and a step of spraying the charged fine particles on an object to be sprayed.
【請求項3】 吹出口から気体とともに微粒子を噴出さ
せる工程と、 前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開いているフィルタ
の該孔に通過させて、前記微粒子のうち団塊状に集合し
ていた微粒子を各個の微粒子に分離させるとともに前記
微粒子を同一極性に帯電させて、該帯電している同一極
性の電荷により前記微粒子どうしを分離状態に保持する
工程と、 前記フィルタで帯電した微粒子を被散布体上に散布する
工程と、を含むことを特徴とする微粒子散布方法。
3. A step of ejecting fine particles together with a gas from a blow-out port; and passing the fine particles through the holes of a filter having at least one hole, so that the fine particles aggregated in a nodule among the fine particles are removed. Separating the individual fine particles and charging the fine particles to the same polarity, and holding the fine particles in a separated state by the charged electric charges of the same polarity; and the fine particles charged by the filter on the object to be scattered. A method for spraying fine particles, which comprises:
【請求項4】 吹出口から気体とともに微粒子を噴出さ
せる工程と、 前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開いているフィルタ
の該孔に通過させて、前記微粒子のうち団塊状に集合し
ていた微粒子を各個の微粒子に分離させる工程と、 前記微粒子の帯電を除電して、前記微粒子どうしを分離
状態に保持する工程と、 前記帯電した微粒子を被散布
体上に散布する工程と、を含むことを特徴とする微粒子
散布方法。
4. A step of ejecting fine particles together with a gas from a blowout port; and passing the fine particles through the holes of a filter having at least one hole, to remove the fine particles that have been aggregated in the agglomerates. A step of separating each of the fine particles, a step of removing the charge of the fine particles, holding the fine particles in a separated state, and a step of spraying the charged fine particles on the object to be dispersed. A method of spraying fine particles.
【請求項5】 請求項1乃至4のうちいずれかに記載の
微粒子散布方法において、 前記フィルタとして、大きさが前記微粒子 1個乃至 3個
を一度に通過可能な大きさの孔が開口されたフィルタを
用いることを特徴とする微粒子散布方法。
5. The method for spraying fine particles according to claim 1, wherein the filter is provided with holes each having a size capable of passing one to three particles at a time. A method of spraying fine particles, characterized by using a filter.
【請求項6】 請求項1乃至3及び5のうちいずれかに
記載の微粒子散布方法において、 前記フィルタとして、前記微粒子に対する帯電序列が正
であって該フィルタの通過により前記微粒子の帯電極性
を負にする材質からなるフィルタを用いるとともに、帯
電器により前記微粒子をさらに負に帯電することを特徴
とする微粒子散布方法。
6. The method for spraying fine particles according to any one of claims 1 to 3 and 5, wherein the filter has a positive charging order with respect to the fine particles, and the particles have a negative charge polarity when passing through the filter. A method for spraying fine particles, characterized in that the fine particles are further negatively charged by a charger while using a filter made of the material described above.
【請求項7】 請求項1乃至3及び5のうちいずれかに
記載の微粒子散布方法において、 前記フィルタとして、前記微粒子に対する帯電序列が負
であって該フィルタの通過により前記微粒子の帯電極性
を正にする材質からなるフィルタを用いるとともに、帯
電器により前記微粒子をさらに正に帯電することを特徴
とする微粒子散布方法。
7. The method for spraying fine particles according to claim 1, wherein the filter has a negative charging order with respect to the fine particles, and the positive polarity of the fine particles is positive by passing through the filter. A fine particle spraying method, characterized in that the fine particles are further positively charged by a charger while using a filter made of the material described above.
【請求項8】 気体とともに微粒子を噴出させる吹出口
と、 前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団塊状に集
合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる少なくと
も 1つの孔が開いているフィルタと、 前記微粒子を同一極性に帯電させる帯電器と、 前記微粒子が散布される被散布体を載置する載置台と、
を具備することを特徴とする微粒子散布装置。
8. A filter having an air outlet for ejecting fine particles together with a gas and at least one hole for separating fine particles, which are aggregated in agglomerates among the fine particles when passing through the fine particles, into individual fine particles. A charger for charging the fine particles to the same polarity, and a mounting table on which the object to be dispersed on which the fine particles are dispersed is placed,
A fine particle spraying device comprising:
【請求項9】 気体とともに微粒子を噴出させる吹出口
と、 前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団塊状に集
合していた微粒子を各個の微粒子に分離させるとともに
前記微粒子を同一極性に帯電させる少なくとも1つの孔
が開いているフィルタと、 前記微粒子を同一極性に帯電させる帯電器と、 前記微粒子が散布される被散布体を載置する載置台と、
を具備することを特徴とする微粒子散布装置。
9. An outlet for ejecting fine particles together with a gas, and fine particles that have aggregated in agglomerates among the fine particles when the fine particles pass through are separated into individual fine particles and the fine particles are charged to the same polarity. A filter in which at least one hole is opened, a charger that charges the fine particles to the same polarity, and a mounting table on which a sprayed body to which the fine particles are dispersed is mounted.
A fine particle spraying device comprising:
【請求項10】 気体とともに微粒子を噴出させる吹出
口と、 前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団塊状に集
合していた微粒子を各個の微粒子に分離させるとともに
前記微粒子を同一極性に帯電させる少なくとも1つの孔
が開いているフィルタと、 前記フィルタで帯電した微粒子が散布される被散布体を
載置する載置台と、を具備することを特徴とする微粒子
散布装置。
10. An outlet for ejecting fine particles together with a gas, and separates the fine particles, which have been aggregated in agglomerates when the fine particles pass through, into individual fine particles and charges the fine particles to the same polarity. A fine particle spraying device comprising: a filter having at least one hole formed therein; and a mounting table on which a sprayed body on which fine particles charged by the filter are sprayed is mounted.
【請求項11】 気体とともに微粒子を噴出させる吹出
口と、 前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団塊状に集
合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる少なくと
も 1つの孔が開いているフィルタと、 前記微粒子の帯電を除電する除電器と、 前記微粒子が散布される被散布体を載置する載置台と、
を具備することを特徴とする微粒子散布装置。
11. A filter having an air outlet for ejecting fine particles together with a gas, and at least one hole for separating the fine particles that have been aggregated into aggregates into fine particles when the fine particles pass through. A static eliminator for removing static electricity of the fine particles, and a mounting table for mounting the sprayed body on which the fine particles are scattered,
A fine particle spraying device comprising:
【請求項12】 請求項8乃至11のうちいずれかに記
載の微粒子散布装置において、 前記フィルタとして、前記微粒子 1個乃至 3個を一度に
通過可能な大きさの孔が複数開口されたフィルタを具備
することを特徴とする微粒子散布装置。
12. The fine particle spraying device according to claim 8, wherein the filter is a filter having a plurality of holes each having a size capable of passing one to three fine particles at a time. A fine particle spraying device comprising:
【請求項13】 請求項8乃至12のうちいずれかに記
載の微粒子散布装置において、 前記フィルタとして、前記微粒子に対する帯電序列が負
であり該フィルタの通過により前記微粒子の帯電極性を
正にする材質からなるフィルタを用いることを特徴とす
る微粒子散布装置。
13. The fine particle spraying device according to claim 8, wherein the filter has a negative charging order with respect to the fine particles, and the positive polarity of the fine particles is made positive by passing through the filter. A fine particle spraying device characterized by using a filter consisting of.
【請求項14】 請求項8乃至12のうちいずれかに記
載の微粒子散布装置において、 前記フィルタとして、前記微粒子に対する帯電序列が正
であり該フィルタの通過により前記微粒子の帯電極性を
負にする材質からなるフィルタを用いることを特徴とす
る微粒子散布装置。
14. The fine particle spraying device according to claim 8, wherein the filter has a positive charging order with respect to the fine particles, and the negative polarity of the fine particles is caused by passing through the filter. A fine particle spraying device characterized by using a filter consisting of.
JP18233894A 1994-08-03 1994-08-03 PARTICLE SPRAYING METHOD AND PARTICLE SPRAYING APPARATUS Withdrawn JPH0843832A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1138419A (en) * 1997-07-17 1999-02-12 Nec Corp Spacer spreader
JP2020018268A (en) * 2018-08-03 2020-02-06 一般社団法人夢源 Koji making apparatus and koji making method

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