JPH0843832A - 微粒子散布方法および微粒子散布装置 - Google Patents
微粒子散布方法および微粒子散布装置Info
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- JPH0843832A JPH0843832A JP18233894A JP18233894A JPH0843832A JP H0843832 A JPH0843832 A JP H0843832A JP 18233894 A JP18233894 A JP 18233894A JP 18233894 A JP18233894 A JP 18233894A JP H0843832 A JPH0843832 A JP H0843832A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸湿または静電気等でもともと凝集している
散布材料粉末が使用された場合でも、団塊状として被散
布体上に散布されることなく、微粒子の均一な散布を行
なうことを可能とした微粒子散布方法および微粒子散布
装置を提供する。 【構成】 乾式散布法において、微粒子５をフィルタ４
に通過させる際に、まず物理的に個々の微粒子５に分解
する。しかもこの分解の際にフィルタ４の材質によって
は微粒子５を帯電させ、この微粒子５に帯電器でさらに
帯電させる。このときの帯電は同一極性に帯電させてそ
の電気的排斥力を用いて微粒子５を再凝集しないように
する。あるいは帯電した微粒子５どうしの正又は負の電
荷の違い等により再凝集するということを避けるべく、
電気的に中和させる。
散布材料粉末が使用された場合でも、団塊状として被散
布体上に散布されることなく、微粒子の均一な散布を行
なうことを可能とした微粒子散布方法および微粒子散布
装置を提供する。 【構成】 乾式散布法において、微粒子５をフィルタ４
に通過させる際に、まず物理的に個々の微粒子５に分解
する。しかもこの分解の際にフィルタ４の材質によって
は微粒子５を帯電させ、この微粒子５に帯電器でさらに
帯電させる。このときの帯電は同一極性に帯電させてそ
の電気的排斥力を用いて微粒子５を再凝集しないように
する。あるいは帯電した微粒子５どうしの正又は負の電
荷の違い等により再凝集するということを避けるべく、
電気的に中和させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、微粒子散布方法および
微粒子散布装置に関する。
微粒子散布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、一般に使用されている散布方法に
は、微粒子に同一極性の静電気を帯電させて散布する乾
式散布法（静電散布法）と、速乾性溶剤に微粒子を混合
して散布する湿式散布法とがある。
は、微粒子に同一極性の静電気を帯電させて散布する乾
式散布法（静電散布法）と、速乾性溶剤に微粒子を混合
して散布する湿式散布法とがある。
【０００３】微粒子散布において重要なことは、散布密
度が面内で均一なことと、大きな微粒子塊ができないこ
とである。また、散布作業の容易さも重要である。
度が面内で均一なことと、大きな微粒子塊ができないこ
とである。また、散布作業の容易さも重要である。
【０００４】これらの観点から従来の微粒子散布技術を
見ると、湿式散布法では溶剤と微粒子の調合や混合作業
が必要である。その善し悪しが散布状態を左右する。
見ると、湿式散布法では溶剤と微粒子の調合や混合作業
が必要である。その善し悪しが散布状態を左右する。
【０００５】しかしながら、この湿式散布法では、溶剤
と微粒子との調合や混合作業の際に、微粒子が溶剤中で
再凝集してしまい、団塊が生じるという問題がある。
と微粒子との調合や混合作業の際に、微粒子が溶剤中で
再凝集してしまい、団塊が生じるという問題がある。
【０００６】一方、乾式散布法（静電散布法）では、微
粒子を同一極性に帯電させて、その静電的な排斥力によ
って微粒子が凝集することを防いで分散させている。
粒子を同一極性に帯電させて、その静電的な排斥力によ
って微粒子が凝集することを防いで分散させている。
【０００７】しかしながら、静電散布前の微粒子（いわ
ゆる散布材料粉末）が吸湿により凝集して団塊状となっ
ている場合には、そのまま団塊状として被散布体上（例
えば液晶表示装置の場合にはアレイ基板上など）に散布
される。このため、散布材料粉末を事前に乾燥させる作
業を付加する場合があり、工程が煩雑であるという問題
がある。
ゆる散布材料粉末）が吸湿により凝集して団塊状となっ
ている場合には、そのまま団塊状として被散布体上（例
えば液晶表示装置の場合にはアレイ基板上など）に散布
される。このため、散布材料粉末を事前に乾燥させる作
業を付加する場合があり、工程が煩雑であるという問題
がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題を解決するために成されたもので、その目的は、吸湿
または静電気等で散布工程投入以前に既に凝集している
散布材料粉末が使用された場合でも、団塊状としては被
散布体上に散布されることなく、微粒子の均一な散布を
行なうことを可能とした微粒子散布方法およびそれを行
なう微粒子散布装置を提供することにある。
題を解決するために成されたもので、その目的は、吸湿
または静電気等で散布工程投入以前に既に凝集している
散布材料粉末が使用された場合でも、団塊状としては被
散布体上に散布されることなく、微粒子の均一な散布を
行なうことを可能とした微粒子散布方法およびそれを行
なう微粒子散布装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の微粒子散布方法
は、吹出口から気体とともに微粒子を噴出させる工程
と、前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開いているフィ
ルタの該孔に通過させて、前記微粒子のうち団塊状に集
合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる工程と、
前記微粒子を同一極性に帯電させて、該帯電している同
一極性の電荷により前記微粒子どうしを分離状態に保持
する工程と、前記帯電した微粒子を被散布体上に散布す
る工程と、を含むことを特徴とする微粒子散布方法であ
る。
は、吹出口から気体とともに微粒子を噴出させる工程
と、前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開いているフィ
ルタの該孔に通過させて、前記微粒子のうち団塊状に集
合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる工程と、
前記微粒子を同一極性に帯電させて、該帯電している同
一極性の電荷により前記微粒子どうしを分離状態に保持
する工程と、前記帯電した微粒子を被散布体上に散布す
る工程と、を含むことを特徴とする微粒子散布方法であ
る。
【００１０】また、吹出口から気体とともに微粒子粉体
を噴出させる工程と、前記微粒子を少なくとも 1つの孔
が開いているフィルタの該孔に通過させて、前記微粒子
のうち団塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分
離させるとともに前記微粒子を同一極性に帯電させる工
程と、前記微粒子を同一極性にさらに帯電させて、該帯
電している同一極性の電荷により前記微粒子どうしを分
離状態に保持する工程と、前記帯電した微粒子を被散布
体上に散布する工程と、を含むことを特徴とする微粒子
散布方法である。
を噴出させる工程と、前記微粒子を少なくとも 1つの孔
が開いているフィルタの該孔に通過させて、前記微粒子
のうち団塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分
離させるとともに前記微粒子を同一極性に帯電させる工
程と、前記微粒子を同一極性にさらに帯電させて、該帯
電している同一極性の電荷により前記微粒子どうしを分
離状態に保持する工程と、前記帯電した微粒子を被散布
体上に散布する工程と、を含むことを特徴とする微粒子
散布方法である。
【００１１】また、吹出口から気体とともに微粒子を噴
出させる工程と、前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開
いているフィルタの該孔に通過させて、前記微粒子のう
ち団塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分離さ
せるとともに前記微粒子を同一極性に帯電させて、該帯
電している同一極性の電荷により前記微粒子どうしを分
離状態に保持する工程と、前記フィルタで帯電した微粒
子を被散布体上に散布する工程と、を含むことを特徴と
する微粒子散布方法である。
出させる工程と、前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開
いているフィルタの該孔に通過させて、前記微粒子のう
ち団塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分離さ
せるとともに前記微粒子を同一極性に帯電させて、該帯
電している同一極性の電荷により前記微粒子どうしを分
離状態に保持する工程と、前記フィルタで帯電した微粒
子を被散布体上に散布する工程と、を含むことを特徴と
する微粒子散布方法である。
【００１２】また、吹出口から気体とともに微粒子を噴
出させる工程と、前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開
いているフィルタの該孔に通過させて、前記微粒子のう
ち団塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分離さ
せる工程と、前記微粒子の帯電を除電して、前記微粒子
どうしを分離状態に保持する工程と、前記帯電した微粒
子を被散布体上に散布する工程と、を含むことを特徴と
する微粒子散布方法である。
出させる工程と、前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開
いているフィルタの該孔に通過させて、前記微粒子のう
ち団塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分離さ
せる工程と、前記微粒子の帯電を除電して、前記微粒子
どうしを分離状態に保持する工程と、前記帯電した微粒
子を被散布体上に散布する工程と、を含むことを特徴と
する微粒子散布方法である。
【００１３】また、上記のうちいずれかに記載の微粒子
散布方法において、前記フィルタとして、大きさが前記
微粒子 1個乃至 3個を一度に通過可能な大きさの孔が開
口されたフィルタを用いることを特徴とする微粒子散布
方法である。
散布方法において、前記フィルタとして、大きさが前記
微粒子 1個乃至 3個を一度に通過可能な大きさの孔が開
口されたフィルタを用いることを特徴とする微粒子散布
方法である。
【００１４】また、上記のうちいずれかに記載の微粒子
散布方法において、前記フィルタとして、前記微粒子に
対する帯電序列が正であって該フィルタの通過により前
記微粒子の帯電極性を負にする材質からなるフィルタを
用いるとともに、帯電器により前記微粒子をさらに負に
帯電することを特徴とする微粒子散布方法である。
散布方法において、前記フィルタとして、前記微粒子に
対する帯電序列が正であって該フィルタの通過により前
記微粒子の帯電極性を負にする材質からなるフィルタを
用いるとともに、帯電器により前記微粒子をさらに負に
帯電することを特徴とする微粒子散布方法である。
【００１５】また、上記のうちいずれかに記載の微粒子
散布方法において、前記フィルタとして、前記微粒子に
対する帯電序列が負であって該フィルタの通過により前
記微粒子の帯電極性を正にする材質からなるフィルタを
用いるとともに、帯電器により前記微粒子をさらに正に
帯電することを特徴とする微粒子散布方法である。
散布方法において、前記フィルタとして、前記微粒子に
対する帯電序列が負であって該フィルタの通過により前
記微粒子の帯電極性を正にする材質からなるフィルタを
用いるとともに、帯電器により前記微粒子をさらに正に
帯電することを特徴とする微粒子散布方法である。
【００１６】また、本発明の微粒子散布装置は、気体と
ともに微粒子を噴出させる吹出口と、前記微粒子が通過
する際に前記微粒子のうち団塊状に集合していた微粒子
を各個の微粒子に分離させる少なくとも 1つの孔が開い
ているフィルタと、前記微粒子を同一極性に帯電させる
帯電器と、前記微粒子が散布される被散布体を載置する
載置台と、を具備することを特徴とする微粒子散布装置
である。
ともに微粒子を噴出させる吹出口と、前記微粒子が通過
する際に前記微粒子のうち団塊状に集合していた微粒子
を各個の微粒子に分離させる少なくとも 1つの孔が開い
ているフィルタと、前記微粒子を同一極性に帯電させる
帯電器と、前記微粒子が散布される被散布体を載置する
載置台と、を具備することを特徴とする微粒子散布装置
である。
【００１７】また、気体とともに微粒子を噴出させる吹
出口と、前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団
塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる
とともに前記微粒子を同一極性に帯電させる少なくとも
1つの孔が開いているフィルタと、前記微粒子を同一極
性に帯電させる帯電器と、前記微粒子が散布される被散
布体を載置する載置台と、を具備することを特徴とする
微粒子散布装置である。 また、気体とともに微粒子を
噴出させる吹出口と、前記微粒子が通過する際に前記微
粒子のうち団塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子
に分離させるとともに前記微粒子を同一極性に帯電させ
る少なくとも 1つの孔が開いているフィルタと、前記フ
ィルタで帯電した微粒子が散布される被散布体を載置す
る載置台と、を具備することを特徴とする微粒子散布装
置である。
出口と、前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団
塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる
とともに前記微粒子を同一極性に帯電させる少なくとも
1つの孔が開いているフィルタと、前記微粒子を同一極
性に帯電させる帯電器と、前記微粒子が散布される被散
布体を載置する載置台と、を具備することを特徴とする
微粒子散布装置である。 また、気体とともに微粒子を
噴出させる吹出口と、前記微粒子が通過する際に前記微
粒子のうち団塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子
に分離させるとともに前記微粒子を同一極性に帯電させ
る少なくとも 1つの孔が開いているフィルタと、前記フ
ィルタで帯電した微粒子が散布される被散布体を載置す
る載置台と、を具備することを特徴とする微粒子散布装
置である。
【００１８】また、気体とともに微粒子を噴出させる吹
出口と、前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団
塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる
少なくとも 1つの孔が開いているフィルタと、前記微粒
子の帯電を除電する除電器と、前記微粒子が散布される
被散布体を載置する載置台と、を具備することを特徴と
する微粒子散布装置である。
出口と、前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団
塊状に集合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる
少なくとも 1つの孔が開いているフィルタと、前記微粒
子の帯電を除電する除電器と、前記微粒子が散布される
被散布体を載置する載置台と、を具備することを特徴と
する微粒子散布装置である。
【００１９】また、上記のうちいずれかに記載の微粒子
散布装置において、前記フィルタとして、前記微粒子 1
個乃至 3個を一度に通過可能な大きさの孔が複数開口さ
れたフィルタを具備することを特徴とする微粒子散布装
置である。
散布装置において、前記フィルタとして、前記微粒子 1
個乃至 3個を一度に通過可能な大きさの孔が複数開口さ
れたフィルタを具備することを特徴とする微粒子散布装
置である。
【００２０】上記のうちいずれかに記載の微粒子散布装
置において、前記フィルタとして、前記微粒子に対する
帯電序列が負であり該フィルタの通過により前記微粒子
の帯電極性を正にする材質からなるフィルタを用いるこ
とを特徴とする微粒子散布装置である。
置において、前記フィルタとして、前記微粒子に対する
帯電序列が負であり該フィルタの通過により前記微粒子
の帯電極性を正にする材質からなるフィルタを用いるこ
とを特徴とする微粒子散布装置である。
【００２１】また、上記のうちいずれかに記載の微粒子
散布装置において、前記フィルタとして、前記微粒子に
対する帯電序列が正であり該フィルタの通過により前記
微粒子の帯電極性を負にする材質からなるフィルタを用
いることを特徴とする微粒子散布装置である。
散布装置において、前記フィルタとして、前記微粒子に
対する帯電序列が正であり該フィルタの通過により前記
微粒子の帯電極性を負にする材質からなるフィルタを用
いることを特徴とする微粒子散布装置である。
【００２２】なお、上記のフィルタの孔の外周平面形状
としては、例えば円形でもよく、あるいは正多角形でも
よい。あるいは網目状でもよい。
としては、例えば円形でもよく、あるいは正多角形でも
よい。あるいは網目状でもよい。
【００２３】
【作用】本発明においては、乾式散布法において、微粒
子をフィルタに通過させる際に、まず物理的に個々の微
粒子に分解する。しかもこの分解の際にフィルタの材質
によっては微粒子を帯電させ、この微粒子に帯電器でさ
らに帯電させる。このときの帯電は、同一極性に帯電さ
せて、その電気的排斥力を用いて、微粒子を再凝集しな
いようにする。あるいは、帯電した微粒子どうしの正又
は負の電荷の違い等により再凝集しないように電気的に
中和させる。このようにして各微粒子を分散させた状態
で被散布体に散布する。従って、被散布体上には、団塊
状に凝集することなく均一に微粒子が散布できる。
子をフィルタに通過させる際に、まず物理的に個々の微
粒子に分解する。しかもこの分解の際にフィルタの材質
によっては微粒子を帯電させ、この微粒子に帯電器でさ
らに帯電させる。このときの帯電は、同一極性に帯電さ
せて、その電気的排斥力を用いて、微粒子を再凝集しな
いようにする。あるいは、帯電した微粒子どうしの正又
は負の電荷の違い等により再凝集しないように電気的に
中和させる。このようにして各微粒子を分散させた状態
で被散布体に散布する。従って、被散布体上には、団塊
状に凝集することなく均一に微粒子が散布できる。
【００２４】
【実施例】以下、本発明に係る微粒子散布方法および微
粒子散布装置の実施例を、図面に基づいて詳細に説明す
る。
粒子散布装置の実施例を、図面に基づいて詳細に説明す
る。
【００２５】（実施例１）以下、本発明に係る微細粉末
の散布方法を、液晶表示装置の液晶セル用基板上に微粒
子としてスペーサを散布する場合を例に取って説明す
る。
の散布方法を、液晶表示装置の液晶セル用基板上に微粒
子としてスペーサを散布する場合を例に取って説明す
る。
【００２６】図１は、本発明に係る微粒子散布装置の構
造の概要を示す断面図である。
造の概要を示す断面図である。
【００２７】散布槽１の下部に被散布体である基板２を
置き、そのほぼ真上に散布ノズル３が配置されている。
置き、そのほぼ真上に散布ノズル３が配置されている。
【００２８】散布ノズル３内にはイオナイザを組み入れ
てある。なお、このイオナイザは必ずしも必要であるこ
とには限定しない。本実施例では、散布ノズル３を包む
ように細かいメッシュの網目状のフィルタ４を円筒状に
設け、フィルタ４の内部の散布ノズル３の真下には散布
用の微粒子５の材料粉末を載置する材料粉末載置皿６を
配置した。またフィルタ４の近傍にはイオナイザ７を配
置した。
てある。なお、このイオナイザは必ずしも必要であるこ
とには限定しない。本実施例では、散布ノズル３を包む
ように細かいメッシュの網目状のフィルタ４を円筒状に
設け、フィルタ４の内部の散布ノズル３の真下には散布
用の微粒子５の材料粉末を載置する材料粉末載置皿６を
配置した。またフィルタ４の近傍にはイオナイザ７を配
置した。
【００２９】散布ノズル３により吹き飛ばされた微粒子
５は、フィルタ４を通過し散布槽１内に吹き出され、被
散布体である基板２上に自然落下する。このとき、フィ
ルタ４のメッシュサイズ（つまり孔の開口の大きさ）に
対応して通過する微粒子５の大きさが制限され、このメ
ッシュサイズを適当なサイズにすれば団塊状となった微
粒子は通過しない。この団塊は強固に結合したものでは
ないので、フィルタ４の網目に衝突した段階で互いに分
離されて個々の微粒子として通過する。
５は、フィルタ４を通過し散布槽１内に吹き出され、被
散布体である基板２上に自然落下する。このとき、フィ
ルタ４のメッシュサイズ（つまり孔の開口の大きさ）に
対応して通過する微粒子５の大きさが制限され、このメ
ッシュサイズを適当なサイズにすれば団塊状となった微
粒子は通過しない。この団塊は強固に結合したものでは
ないので、フィルタ４の網目に衝突した段階で互いに分
離されて個々の微粒子として通過する。
【００３０】本実施例では、微粒子５としては、液晶表
示装置のスペーサとして用いられる樹脂系材料からなる
粒径 5μｍの球形のスペーサを用いた。そしてフィルタ
４の網目の粗さは、微粒子５の粒径の約 1.8倍つまり 9
μｍのものを用いた。
示装置のスペーサとして用いられる樹脂系材料からなる
粒径 5μｍの球形のスペーサを用いた。そしてフィルタ
４の網目の粗さは、微粒子５の粒径の約 1.8倍つまり 9
μｍのものを用いた。
【００３１】本発明に係る微粒子の粒径としては、上記
の微粒子５のように液晶表示装置に用いられるスペーサ
の場合には 1μｍ〜20μｍが好ましい。しかしてさらに
一般に本発明に係る微粒子の粒径としては、20μｍ以上
も可能である。その上限としては、球体の場合、一般に
粒径が大きくなるに従って同一の電荷量に対する球体ど
うしの静電吸引力の影響はその体積に比較して極めて小
さくなるので、理論的には制限はない。これらを考慮し
て、粒径20μｍ〜 1ｍｍの大きさの微粒子にも本発明は
適用可能である。
の微粒子５のように液晶表示装置に用いられるスペーサ
の場合には 1μｍ〜20μｍが好ましい。しかしてさらに
一般に本発明に係る微粒子の粒径としては、20μｍ以上
も可能である。その上限としては、球体の場合、一般に
粒径が大きくなるに従って同一の電荷量に対する球体ど
うしの静電吸引力の影響はその体積に比較して極めて小
さくなるので、理論的には制限はない。これらを考慮し
て、粒径20μｍ〜 1ｍｍの大きさの微粒子にも本発明は
適用可能である。
【００３２】図２は、本発明の効果を示す図である。散
布密度と微粒子塊の発生頻度の相関を取ったものであ
る。上記実施例ではフィルタ４の網目の粗さを微粒子５
の粒径の約 1.8倍としたが、本発明者らは網目の粗さを
種々変更して実験した結果、目の粗さを粒径の 1〜 3倍
にすれば微粒子塊発生率が低減することを見出だした。
目の粗さが大きくなればなるほど、団塊の発生率は大き
くなることはいうまでもないが、団塊の許容値に応じて
網目の粗さ（つまりフィルタ４の孔の大きさ）を設定す
ることができる。例えば、各個の微粒子５を全く団塊を
形成することなく分散させるためには、微粒子５の粒径
よりその寸法公差程度の余裕を持たせた網目の粗さつま
り大きさの孔が形成されたフィルタ４を用いる。
布密度と微粒子塊の発生頻度の相関を取ったものであ
る。上記実施例ではフィルタ４の網目の粗さを微粒子５
の粒径の約 1.8倍としたが、本発明者らは網目の粗さを
種々変更して実験した結果、目の粗さを粒径の 1〜 3倍
にすれば微粒子塊発生率が低減することを見出だした。
目の粗さが大きくなればなるほど、団塊の発生率は大き
くなることはいうまでもないが、団塊の許容値に応じて
網目の粗さ（つまりフィルタ４の孔の大きさ）を設定す
ることができる。例えば、各個の微粒子５を全く団塊を
形成することなく分散させるためには、微粒子５の粒径
よりその寸法公差程度の余裕を持たせた網目の粗さつま
り大きさの孔が形成されたフィルタ４を用いる。
【００３３】（実施例２）本発明者らは、上記のフィル
タ４を通過した後の、微粒子５の帯電の極性につき検討
した。
タ４を通過した後の、微粒子５の帯電の極性につき検討
した。
【００３４】散布する微粒子５として、その形成材料の
主成分がジビニルベンゼンからなるものを用いた。また
フィルタ４としては、網目がステンレスで形成されたも
のを用いた。そしてフィルタ４の網目を通過した後の微
粒子５に帯電器としてイオナイザ７によって負イオンを
当てた場合と正イオンを当てた場合につき微粒子の団塊
の発生率を調べた。
主成分がジビニルベンゼンからなるものを用いた。また
フィルタ４としては、網目がステンレスで形成されたも
のを用いた。そしてフィルタ４の網目を通過した後の微
粒子５に帯電器としてイオナイザ７によって負イオンを
当てた場合と正イオンを当てた場合につき微粒子の団塊
の発生率を調べた。
【００３５】その結果、負イオンを当てた場合には、 3
個の微粒子が凝集して成る団塊の発生率は 0.5％、正イ
オンを当てた場合には、 0.9％であった。
個の微粒子が凝集して成る団塊の発生率は 0.5％、正イ
オンを当てた場合には、 0.9％であった。
【００３６】この違いは次のような理由であることを我
々は見出した。即ち、フィルタ４の網目を通過した微粒
子５の帯電を調べたところ、負に帯電していることが分
かった。これは、フィルタ４の形成材料であるステンレ
スと微粒子５の形成材料であるジビニルベンゼンの摩擦
帯電序列によるものである。
々は見出した。即ち、フィルタ４の網目を通過した微粒
子５の帯電を調べたところ、負に帯電していることが分
かった。これは、フィルタ４の形成材料であるステンレ
スと微粒子５の形成材料であるジビニルベンゼンの摩擦
帯電序列によるものである。
【００３７】従って、フィルタ４の網目を通過した後の
微粒子５に負イオンを当てた方が微粒子５どうしの間の
静電的排斥力（反発）が強くなり団塊発生率が小さくな
ったものと理解できる。
微粒子５に負イオンを当てた方が微粒子５どうしの間の
静電的排斥力（反発）が強くなり団塊発生率が小さくな
ったものと理解できる。
【００３８】なお、上記実施例においては、フィルタ４
にステンレス、微粒子５にジビニルベンゼンを用いた
が、微粒子５にシリカを用いる場合には、帯電序列にし
たがってフィルタ４を通過後の微粒子５は正に帯電する
ので、この場合、フィルタ４を通過した後の微粒子５に
は正イオンを当てるのがよい。
にステンレス、微粒子５にジビニルベンゼンを用いた
が、微粒子５にシリカを用いる場合には、帯電序列にし
たがってフィルタ４を通過後の微粒子５は正に帯電する
ので、この場合、フィルタ４を通過した後の微粒子５に
は正イオンを当てるのがよい。
【００３９】その他、フィルタ４の材質および微粒子５
の材質に対応してフィルタ４通過後のイオナイザ７の極
性を変更すればよい。つまり、フィルタ４を通過した時
点での微粒子５が正に帯電する場合、微粒子５をさらに
帯電させてその静電的排斥力で分散させるためには、フ
ィルタ４通過後に微粒子５に対してさらに正に帯電させ
るようにイオナイザ７から正イオンを当てる。フィルタ
４を通過した時点での微粒子５が負に帯電する場合に
は、イオナイザ７から負イオンを当てる。
の材質に対応してフィルタ４通過後のイオナイザ７の極
性を変更すればよい。つまり、フィルタ４を通過した時
点での微粒子５が正に帯電する場合、微粒子５をさらに
帯電させてその静電的排斥力で分散させるためには、フ
ィルタ４通過後に微粒子５に対してさらに正に帯電させ
るようにイオナイザ７から正イオンを当てる。フィルタ
４を通過した時点での微粒子５が負に帯電する場合に
は、イオナイザ７から負イオンを当てる。
【００４０】（実施例３）上記第１の実施例では、イオ
ナイザ７により微粒子５を同一極性に帯電させる例を紹
介したが、上記と同一の装置を用いて、フィルタ４を通
過して分解、摩擦等により帯電した微粒子５を、イオナ
イザ７により静電的に中和させて散布する方法もまた可
能である。この場合には、上記の第１の実施例とは逆
に、フィルタ４を通過した時点での微粒子５の帯電とは
逆極性で同じ程度の電荷の帯電を行なう。つまり、フィ
ルタ４を通過した時点で微粒子５が正に帯電している場
合には、イオナイザ７から負イオンを微粒子５に当て
て、この負イオンの負電荷（負のチャージ）で微粒子５
の正電荷の帯電を中和する。このように微粒子５を静電
的に中和させることによっても、個々の微粒子５の帯電
のばらつきに起因した静電的吸引力による団塊の発生を
解消して、団塊のない均一な微粒子５の散布を行なうこ
とができる。このような除電は、例えば被散布基板がア
クティブマトリックス型液晶表示装置のＴＦＴアレイ基
板のような基板の場合、その基板上に帯電した状態の微
粒子５を散布すると、その電荷がＴＦＴアレイ基板側に
移動してＴＦＴの静電破壊などを引き起こすこともある
ので、このような静電気による被散布基板への悪影響を
防ぐことに極めて有効である。
ナイザ７により微粒子５を同一極性に帯電させる例を紹
介したが、上記と同一の装置を用いて、フィルタ４を通
過して分解、摩擦等により帯電した微粒子５を、イオナ
イザ７により静電的に中和させて散布する方法もまた可
能である。この場合には、上記の第１の実施例とは逆
に、フィルタ４を通過した時点での微粒子５の帯電とは
逆極性で同じ程度の電荷の帯電を行なう。つまり、フィ
ルタ４を通過した時点で微粒子５が正に帯電している場
合には、イオナイザ７から負イオンを微粒子５に当て
て、この負イオンの負電荷（負のチャージ）で微粒子５
の正電荷の帯電を中和する。このように微粒子５を静電
的に中和させることによっても、個々の微粒子５の帯電
のばらつきに起因した静電的吸引力による団塊の発生を
解消して、団塊のない均一な微粒子５の散布を行なうこ
とができる。このような除電は、例えば被散布基板がア
クティブマトリックス型液晶表示装置のＴＦＴアレイ基
板のような基板の場合、その基板上に帯電した状態の微
粒子５を散布すると、その電荷がＴＦＴアレイ基板側に
移動してＴＦＴの静電破壊などを引き起こすこともある
ので、このような静電気による被散布基板への悪影響を
防ぐことに極めて有効である。
【００４１】（実施例４）第１の実施例においては、フ
ィルタ４としてステンレスからなる網目を使用して微粒
子５の団塊を分解する例を紹介したが、フィルタ４を通
気性多孔質金属に置き換え、これをイオンチャージ電極
にすれば、微粒子５の団塊を個々に分解しながらイオン
チャージを行なうことを効果的に達成できることを、そ
のような通気性多孔質金属材料からなるフィルタ４を用
いた実験により、我々発明者らは確認した。
ィルタ４としてステンレスからなる網目を使用して微粒
子５の団塊を分解する例を紹介したが、フィルタ４を通
気性多孔質金属に置き換え、これをイオンチャージ電極
にすれば、微粒子５の団塊を個々に分解しながらイオン
チャージを行なうことを効果的に達成できることを、そ
のような通気性多孔質金属材料からなるフィルタ４を用
いた実験により、我々発明者らは確認した。
【００４２】なお、上記各実施例においては、本発明を
液晶表示装置の液晶セル基板上にマイクロビーズのよう
なスペーサを散布する場合について示したが、本発明に
係る散布方法および散布装置の適用はこれのみには限定
しない。この他にも、例えば、微粒子を散布して道路標
識等に用いられる反射板を形成する場合などにも適用可
能である。つまり、本発明の技術を用いれば、反射板の
反射機能を実現するための微粒子を団塊状になることな
く均一に散布することができる。その結果、微粒子が団
塊状になることに起因して生じていた見苦しい反射輝点
欠陥等の発生を避けることができる。従来は上記のよう
な道路標識等に用いられる反射板の形成にあたっては、
その反射機能を実現するための微粒子を塗料の中に混入
してよく攪拌等を行なって、団塊状になることを避けよ
うとしていた。しかし、例えば石油系塗料の中に微粒子
を混入して攪拌すると、微粒子が静電気を帯びるなどし
て団塊状に凝集することがあった。しかし、本発明をこ
れに適用すれば、微粒子が団状になることなく均一に散
布することができる。
液晶表示装置の液晶セル基板上にマイクロビーズのよう
なスペーサを散布する場合について示したが、本発明に
係る散布方法および散布装置の適用はこれのみには限定
しない。この他にも、例えば、微粒子を散布して道路標
識等に用いられる反射板を形成する場合などにも適用可
能である。つまり、本発明の技術を用いれば、反射板の
反射機能を実現するための微粒子を団塊状になることな
く均一に散布することができる。その結果、微粒子が団
塊状になることに起因して生じていた見苦しい反射輝点
欠陥等の発生を避けることができる。従来は上記のよう
な道路標識等に用いられる反射板の形成にあたっては、
その反射機能を実現するための微粒子を塗料の中に混入
してよく攪拌等を行なって、団塊状になることを避けよ
うとしていた。しかし、例えば石油系塗料の中に微粒子
を混入して攪拌すると、微粒子が静電気を帯びるなどし
て団塊状に凝集することがあった。しかし、本発明をこ
れに適用すれば、微粒子が団状になることなく均一に散
布することができる。
【００４３】また、上記のフィルタの孔の外周平面形状
としては、上記のように網目状でもよいが、この他に
も、例えば円形でもよく、あるいは正多角形でもよい。
としては、上記のように網目状でもよいが、この他に
も、例えば円形でもよく、あるいは正多角形でもよい。
【００４４】また、以上の各実施例においては微粒子５
を散布ノズル３から吹き出す際にノズル真下に微粒子５
を配置し、散布ノズル３からの空気または窒素等で微粒
子５を吹き飛ばす方式としたが、本発明の装置の構造や
方法は上記の態様のみには限定されないことは言うまで
もない。この他にも、例えば散布槽１の外部から微粒子
５を圧送する方式等にも適用できることは言うまでもな
い。
を散布ノズル３から吹き出す際にノズル真下に微粒子５
を配置し、散布ノズル３からの空気または窒素等で微粒
子５を吹き飛ばす方式としたが、本発明の装置の構造や
方法は上記の態様のみには限定されないことは言うまで
もない。この他にも、例えば散布槽１の外部から微粒子
５を圧送する方式等にも適用できることは言うまでもな
い。
【００４５】また、散布ノズル３とフィルタ４との距離
や吹き出し量等の条件を変更することができることは言
うまでもない。
や吹き出し量等の条件を変更することができることは言
うまでもない。
【００４６】また、上記実施例においては、微粒子５を
吹き出す際に用いる気体としては、Ｎ2 （ドライ窒素）
や空気など、微粒子５の吹き出しに用いられる一般的な
気体を用いることができる。
吹き出す際に用いる気体としては、Ｎ2 （ドライ窒素）
や空気など、微粒子５の吹き出しに用いられる一般的な
気体を用いることができる。
【００４７】
【発明の効果】以上、詳細な説明で明示したように、本
発明によれば、吸湿または静電気等でもともと凝集して
いる散布材料粉末が使用された場合でも、団塊状として
被散布体上に散布されることなく、微粒子の均一な散布
を行なうことを可能とした微粒子散布方法および微粒子
散布装置を提供することができる。
発明によれば、吸湿または静電気等でもともと凝集して
いる散布材料粉末が使用された場合でも、団塊状として
被散布体上に散布されることなく、微粒子の均一な散布
を行なうことを可能とした微粒子散布方法および微粒子
散布装置を提供することができる。
【図１】本発明に係る微粒子散布装置の構造の概要を示
す図である。
す図である。
【図２】本発明の効果を示す図である。
１………散布槽 ２………被散布体である基板 ３………散布ノズル ４………フィルタ ５………微粒子 ６………材料粉末載置皿 ７………イオナイザ
Claims (14)
- 【請求項１】 吹出口から気体とともに微粒子を噴出さ
せる工程と、 前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開いているフィルタ
の該孔に通過させて、前記微粒子のうち団塊状に集合し
ていた微粒子を各個の微粒子に分離させる工程と、 前記微粒子を同一極性に帯電させて、該帯電している同
一極性の電荷により前記微粒子どうしを分離状態に保持
する工程と、 前記帯電した微粒子を被散布体上に散布する工程と、を
含むことを特徴とする微粒子散布方法。 - 【請求項２】 吹出口から気体とともに微粒子粉体を噴
出させる工程と、 前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開いているフィルタ
の該孔に通過させて、前記微粒子のうち団塊状に集合し
ていた微粒子を各個の微粒子に分離させるとともに前記
微粒子を同一極性に帯電させる工程と、 前記微粒子を同一極性にさらに帯電させて、該帯電して
いる同一極性の電荷により前記微粒子どうしを分離状態
に保持する工程と、 前記帯電した微粒子を被散布体上に散布する工程と、を
含むことを特徴とする微粒子散布方法。 - 【請求項３】 吹出口から気体とともに微粒子を噴出さ
せる工程と、 前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開いているフィルタ
の該孔に通過させて、前記微粒子のうち団塊状に集合し
ていた微粒子を各個の微粒子に分離させるとともに前記
微粒子を同一極性に帯電させて、該帯電している同一極
性の電荷により前記微粒子どうしを分離状態に保持する
工程と、 前記フィルタで帯電した微粒子を被散布体上に散布する
工程と、を含むことを特徴とする微粒子散布方法。 - 【請求項４】 吹出口から気体とともに微粒子を噴出さ
せる工程と、 前記微粒子を少なくとも 1つの孔が開いているフィルタ
の該孔に通過させて、前記微粒子のうち団塊状に集合し
ていた微粒子を各個の微粒子に分離させる工程と、 前記微粒子の帯電を除電して、前記微粒子どうしを分離
状態に保持する工程と、 前記帯電した微粒子を被散布
体上に散布する工程と、を含むことを特徴とする微粒子
散布方法。 - 【請求項５】 請求項１乃至４のうちいずれかに記載の
微粒子散布方法において、 前記フィルタとして、大きさが前記微粒子 1個乃至 3個
を一度に通過可能な大きさの孔が開口されたフィルタを
用いることを特徴とする微粒子散布方法。 - 【請求項６】 請求項１乃至３及び５のうちいずれかに
記載の微粒子散布方法において、 前記フィルタとして、前記微粒子に対する帯電序列が正
であって該フィルタの通過により前記微粒子の帯電極性
を負にする材質からなるフィルタを用いるとともに、帯
電器により前記微粒子をさらに負に帯電することを特徴
とする微粒子散布方法。 - 【請求項７】 請求項１乃至３及び５のうちいずれかに
記載の微粒子散布方法において、 前記フィルタとして、前記微粒子に対する帯電序列が負
であって該フィルタの通過により前記微粒子の帯電極性
を正にする材質からなるフィルタを用いるとともに、帯
電器により前記微粒子をさらに正に帯電することを特徴
とする微粒子散布方法。 - 【請求項８】 気体とともに微粒子を噴出させる吹出口
と、 前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団塊状に集
合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる少なくと
も 1つの孔が開いているフィルタと、 前記微粒子を同一極性に帯電させる帯電器と、 前記微粒子が散布される被散布体を載置する載置台と、
を具備することを特徴とする微粒子散布装置。 - 【請求項９】 気体とともに微粒子を噴出させる吹出口
と、 前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団塊状に集
合していた微粒子を各個の微粒子に分離させるとともに
前記微粒子を同一極性に帯電させる少なくとも1つの孔
が開いているフィルタと、 前記微粒子を同一極性に帯電させる帯電器と、 前記微粒子が散布される被散布体を載置する載置台と、
を具備することを特徴とする微粒子散布装置。 - 【請求項１０】 気体とともに微粒子を噴出させる吹出
口と、 前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団塊状に集
合していた微粒子を各個の微粒子に分離させるとともに
前記微粒子を同一極性に帯電させる少なくとも1つの孔
が開いているフィルタと、 前記フィルタで帯電した微粒子が散布される被散布体を
載置する載置台と、を具備することを特徴とする微粒子
散布装置。 - 【請求項１１】 気体とともに微粒子を噴出させる吹出
口と、 前記微粒子が通過する際に前記微粒子のうち団塊状に集
合していた微粒子を各個の微粒子に分離させる少なくと
も 1つの孔が開いているフィルタと、 前記微粒子の帯電を除電する除電器と、 前記微粒子が散布される被散布体を載置する載置台と、
を具備することを特徴とする微粒子散布装置。 - 【請求項１２】 請求項８乃至１１のうちいずれかに記
載の微粒子散布装置において、 前記フィルタとして、前記微粒子 1個乃至 3個を一度に
通過可能な大きさの孔が複数開口されたフィルタを具備
することを特徴とする微粒子散布装置。 - 【請求項１３】 請求項８乃至１２のうちいずれかに記
載の微粒子散布装置において、 前記フィルタとして、前記微粒子に対する帯電序列が負
であり該フィルタの通過により前記微粒子の帯電極性を
正にする材質からなるフィルタを用いることを特徴とす
る微粒子散布装置。 - 【請求項１４】 請求項８乃至１２のうちいずれかに記
載の微粒子散布装置において、 前記フィルタとして、前記微粒子に対する帯電序列が正
であり該フィルタの通過により前記微粒子の帯電極性を
負にする材質からなるフィルタを用いることを特徴とす
る微粒子散布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18233894A JPH0843832A (ja) | 1994-08-03 | 1994-08-03 | 微粒子散布方法および微粒子散布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18233894A JPH0843832A (ja) | 1994-08-03 | 1994-08-03 | 微粒子散布方法および微粒子散布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0843832A true JPH0843832A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=16116567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18233894A Withdrawn JPH0843832A (ja) | 1994-08-03 | 1994-08-03 | 微粒子散布方法および微粒子散布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0843832A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1138419A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Nec Corp | スペーサ散布装置 |
| JP2020018268A (ja) * | 2018-08-03 | 2020-02-06 | 一般社団法人夢源 | 製麹装置及び製麹方法 |
-
1994
- 1994-08-03 JP JP18233894A patent/JPH0843832A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1138419A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Nec Corp | スペーサ散布装置 |
| US6190456B1 (en) | 1997-07-17 | 2001-02-20 | Nec Corporation | Spacer spraying device |
| JP2020018268A (ja) * | 2018-08-03 | 2020-02-06 | 一般社団法人夢源 | 製麹装置及び製麹方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011106 |