JPH084678Y2 - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPH084678Y2 JPH084678Y2 JP10131490U JP10131490U JPH084678Y2 JP H084678 Y2 JPH084678 Y2 JP H084678Y2 JP 10131490 U JP10131490 U JP 10131490U JP 10131490 U JP10131490 U JP 10131490U JP H084678 Y2 JPH084678 Y2 JP H084678Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- receiver
- panel receiver
- motor
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、カラーブラウン管のブラックマトリック
ス膜および蛍光膜の露光における露光装置の構造に関す
る。
ス膜および蛍光膜の露光における露光装置の構造に関す
る。
従来の技術 従来、露光装置のパネル固定機構において、そのパネ
ル受け部の位置出しは、第２図の要部断面図に示すよう
に、取手６を回すことによりパネル受け２を前後させパ
ネルを所定の位置に調節する構成となっていた。
ル受け部の位置出しは、第２図の要部断面図に示すよう
に、取手６を回すことによりパネル受け２を前後させパ
ネルを所定の位置に調節する構成となっていた。
考案が解決しようとする課題 ところで、パネル受け２はパネルの材質であるガラス
より軟らかい材質を使用する為摩耗し、パネルが所定の
位置に設定されず、露光時ズレるという欠点があった。
より軟らかい材質を使用する為摩耗し、パネルが所定の
位置に設定されず、露光時ズレるという欠点があった。
課題を解決するための手段 この考案は上記の課題を解決するためにパネル受け中
央部を空洞とし、その後部に距離測定センサおよびパネ
ル受けを前後するサーボモータおよびそれを制御するコ
ントロールユニットとで構成されている。
央部を空洞とし、その後部に距離測定センサおよびパネ
ル受けを前後するサーボモータおよびそれを制御するコ
ントロールユニットとで構成されている。
作用 上記の構成により、パネル受けが摩耗した場合距離セ
ンサにより測定データからサーボモータ駆動、パネル受
けを前後させ所定の位置に設定できる。
ンサにより測定データからサーボモータ駆動、パネル受
けを前後させ所定の位置に設定できる。
こにれより、パネル位置が常に所定の位置に設定でき
ることから、ズレによる不良の発生を防ぐと共に品質の
安定化が図れる。
ることから、ズレによる不良の発生を防ぐと共に品質の
安定化が図れる。
実施例 以下、この考案の実施例について図面を参照して説明
する。第１図はこの考案の一実施例のパネル受け部の要
部断面図である。
する。第１図はこの考案の一実施例のパネル受け部の要
部断面図である。
図において、パネル受け12がネジ部およびスプリング
13により外枠17に固定されている。
13により外枠17に固定されている。
更にパネル受け12の後部に測定用レーザセンサ14を有
する他、パネル受け12のギヤ部に取り付けたサーボモー
タ15を有する。
する他、パネル受け12のギヤ部に取り付けたサーボモー
タ15を有する。
上記の構成によれば、レーザセンサーはパネル受け12
の空洞部を通しパネル11迄の距離を測定しモータ15によ
りパネル受け12のギア部を回しパネル受けを前後し予め
設定した位置にパネルを固定できる。これにより常にパ
ネルの位置が所定の位置に固定できることから、パネル
の位置ズレによる露光不良を防止できる。
の空洞部を通しパネル11迄の距離を測定しモータ15によ
りパネル受け12のギア部を回しパネル受けを前後し予め
設定した位置にパネルを固定できる。これにより常にパ
ネルの位置が所定の位置に固定できることから、パネル
の位置ズレによる露光不良を防止できる。
考案の効果 この考案は以上のように距離測定用センサとパネル受
けを前後する駆動モータおよびそれを制御するコントロ
ールユニットによりパネルの固定位置を自動化システム
としたことにより、パネルの位置ズレによる露光不良を
防止することができる。
けを前後する駆動モータおよびそれを制御するコントロ
ールユニットによりパネルの固定位置を自動化システム
としたことにより、パネルの位置ズレによる露光不良を
防止することができる。
第１図はこの考案の一実施例のパネル受け部の要部断面
図及び第２図は従来のパネル受け部の要部断面図であ
る。 11……パネル、12……パネル受け、13……スプリング、
14……レーザセンサ、15……サーボモータ、15……サー
ボモータ、16……取手、17……外枠。
図及び第２図は従来のパネル受け部の要部断面図であ
る。 11……パネル、12……パネル受け、13……スプリング、
14……レーザセンサ、15……サーボモータ、15……サー
ボモータ、16……取手、17……外枠。
Claims (1)
- 【請求項１】露光用パネルの位置を測定する距離測定用
レーザセンサ、パネルを所定位置に移動調整するパネル
受け、このパネル受けを前記センサの信号に応じて駆動
するモータ、及び電気信号をモータ駆動に出力変換する
自動化システムとを具備することを特徴とする露光装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10131490U JPH084678Y2 (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10131490U JPH084678Y2 (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459046U JPH0459046U (ja) | 1992-05-20 |
| JPH084678Y2 true JPH084678Y2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=31844661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10131490U Expired - Lifetime JPH084678Y2 (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH084678Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-09-27 JP JP10131490U patent/JPH084678Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0459046U (ja) | 1992-05-20 |
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