JPH085004Y2 - ラッピング装置 - Google Patents
ラッピング装置Info
- Publication number
- JPH085004Y2 JPH085004Y2 JP1988067822U JP6782288U JPH085004Y2 JP H085004 Y2 JPH085004 Y2 JP H085004Y2 JP 1988067822 U JP1988067822 U JP 1988067822U JP 6782288 U JP6782288 U JP 6782288U JP H085004 Y2 JPH085004 Y2 JP H085004Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- lap
- holding frame
- sun gear
- lapping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、比較的大型の平面を精密に仕上げ加工する
ためのラッピング装置に関し、特にステンレススチール
板の鏡面研摩に適するラッピング装置に関するものであ
る。
ためのラッピング装置に関し、特にステンレススチール
板の鏡面研摩に適するラッピング装置に関するものであ
る。
遊星歯車機構使用型のロータリヘッドに取り付けた複
数の砥石車を自転並びに公転運動をさせつつ、このロー
タリヘッドに対して相対的に往復移動する被研摩板を研
削するようにした研削手段は、特開昭60-191750号公報
に記載されており、また調整可能なばねにより押圧力調
節型研磨具が多数並設されたボックスを被研摩板に対し
て前後左右へ移動させつつ被研摩板を研削するようにし
た研削手段は、特開昭63-11264号公報に記載されてお
り、更に研摩剤をラップの前面に供給しつつラッピング
加工をする装置も、特開昭61-265264号公報に記載され
て公知である。
数の砥石車を自転並びに公転運動をさせつつ、このロー
タリヘッドに対して相対的に往復移動する被研摩板を研
削するようにした研削手段は、特開昭60-191750号公報
に記載されており、また調整可能なばねにより押圧力調
節型研磨具が多数並設されたボックスを被研摩板に対し
て前後左右へ移動させつつ被研摩板を研削するようにし
た研削手段は、特開昭63-11264号公報に記載されてお
り、更に研摩剤をラップの前面に供給しつつラッピング
加工をする装置も、特開昭61-265264号公報に記載され
て公知である。
上記特開昭63-11264号公報に記載されている従来装置
においては、各研摩具を個々に設けたばねによる付勢に
より被研摩板に対する押圧力を付与している関係上、被
研摩板に対する押圧力は個々に調節しなければならない
ばかりでなく、研摩具の摩滅あるいはばねの劣化等の経
時変化に起因して、全数の研摩具の押圧力を常に均等に
保つことは極めて困難であり、被研摩板に対する押圧力
が個々に異なる場合には、平滑精度が低下する重大欠点
がある。
においては、各研摩具を個々に設けたばねによる付勢に
より被研摩板に対する押圧力を付与している関係上、被
研摩板に対する押圧力は個々に調節しなければならない
ばかりでなく、研摩具の摩滅あるいはばねの劣化等の経
時変化に起因して、全数の研摩具の押圧力を常に均等に
保つことは極めて困難であり、被研摩板に対する押圧力
が個々に異なる場合には、平滑精度が低下する重大欠点
がある。
また、特開昭61-265264号公報に記載されているラッ
ピング装置においては、工具に形成した上方解放型のカ
ップ状の隙間に研摩剤を供給パイプにより供給するよう
にしているが、このカップ状の隙間部分は工具と共に高
速回転するのであるから、液状研摩剤は遠心力により上
方解放部から周囲に散乱する不具合を生じる。
ピング装置においては、工具に形成した上方解放型のカ
ップ状の隙間に研摩剤を供給パイプにより供給するよう
にしているが、このカップ状の隙間部分は工具と共に高
速回転するのであるから、液状研摩剤は遠心力により上
方解放部から周囲に散乱する不具合を生じる。
そこで本考案の目的は、比較的小型装備のもとに広面
積平板面を平滑精度の高い無条痕の鏡面に研摩すること
ができるラッピング装置を提供することにあり、他の目
的は研摩剤を飛散することなく適確に供給することがで
きるラッピング装置を提供することにある。
積平板面を平滑精度の高い無条痕の鏡面に研摩すること
ができるラッピング装置を提供することにあり、他の目
的は研摩剤を飛散することなく適確に供給することがで
きるラッピング装置を提供することにある。
本考案は上記目的を達成するため、ラップを自転,公
転するように設けた複数のラッピングヘッドを垂下状態
のもとに設けてそのラップの前面を被研摩板に押圧しつ
つ前後左右方向へ移動するようにした型式のラッピング
装置に対して、各ラップを各別の空気圧シリンダー機構
に関連させるほか、全数の空気圧シリンダー機構はこれ
らを共通の加圧空気源に連通して全数のラップを均等圧
力のもとに被研摩板に押圧するようにしたことを主要特
徴とし、なお研摩剤供給のための装備として、保持枠の
下部にラップ軸を囲む状態の研摩剤供給用ジャケットを
形成するほか、ラップ軸の下端付近の中心に上端が前記
ジャケットに開口する研摩剤供給路を穿設し、前記ジャ
ケットおよび研摩剤供給路を経て研摩剤をラップの前面
へ供給するように構成し、また、太陽歯車軸をモーター
に接続して回転可能に構成したものである。
転するように設けた複数のラッピングヘッドを垂下状態
のもとに設けてそのラップの前面を被研摩板に押圧しつ
つ前後左右方向へ移動するようにした型式のラッピング
装置に対して、各ラップを各別の空気圧シリンダー機構
に関連させるほか、全数の空気圧シリンダー機構はこれ
らを共通の加圧空気源に連通して全数のラップを均等圧
力のもとに被研摩板に押圧するようにしたことを主要特
徴とし、なお研摩剤供給のための装備として、保持枠の
下部にラップ軸を囲む状態の研摩剤供給用ジャケットを
形成するほか、ラップ軸の下端付近の中心に上端が前記
ジャケットに開口する研摩剤供給路を穿設し、前記ジャ
ケットおよび研摩剤供給路を経て研摩剤をラップの前面
へ供給するように構成し、また、太陽歯車軸をモーター
に接続して回転可能に構成したものである。
ラップを自転させることによりラップの摺擦軌跡は小
さなトロコイド曲線を描きつつ、ラッピングヘッドの回
転動並びに縦送り機構および横送り機構によるジグザグ
動により大きなトロコイド曲線上を辿っていわゆる二重
トロコイド曲線となり、被研摩板面を微細かつ均斉に摺
擦しつつ無条痕の鏡面研摩が高能率のもとにラッピング
される。
さなトロコイド曲線を描きつつ、ラッピングヘッドの回
転動並びに縦送り機構および横送り機構によるジグザグ
動により大きなトロコイド曲線上を辿っていわゆる二重
トロコイド曲線となり、被研摩板面を微細かつ均斉に摺
擦しつつ無条痕の鏡面研摩が高能率のもとにラッピング
される。
全数のラップは共通の加圧空気源からの加圧空気によ
り被研摩面に押圧されて常時均等圧のもとに被研摩板面
を摺擦し、広面積にわたる平滑精度の高い均斉なラッピ
ング加工が行われる。
り被研摩面に押圧されて常時均等圧のもとに被研摩板面
を摺擦し、広面積にわたる平滑精度の高い均斉なラッピ
ング加工が行われる。
ラップ軸の周囲にラップ軸を部分的に包囲するジャケ
ットと、ラップ軸に穿設した研摩剤供給路とを経て研摩
剤が散乱することなく常時ラップの前面へ供給される。
ットと、ラップ軸に穿設した研摩剤供給路とを経て研摩
剤が散乱することなく常時ラップの前面へ供給される。
以下、本考案のラッピング装置を図面に示す実施例に
ついて詳細に説明する。
ついて詳細に説明する。
図面は一実施例を示すラッピング装置の一部縦断正面
図であって、大体において、上面部に被研摩板Wを不動
状態に載置することができる基台1と、この基台1の左
右両側に設けた前後方向のレール2,2に沿い移動するこ
とができる台枠3上において左右方向に設けたレール4,
4に沿い移動することができる支持枠5に垂下状態のも
とに回転自在に設けた複数のラッピングヘッド6,6と、
支持枠5を左右方向へ転動させるための横送り機構7
と、台枠3を前後方向へ転動させるための縦送り機構8
とから構成する。
図であって、大体において、上面部に被研摩板Wを不動
状態に載置することができる基台1と、この基台1の左
右両側に設けた前後方向のレール2,2に沿い移動するこ
とができる台枠3上において左右方向に設けたレール4,
4に沿い移動することができる支持枠5に垂下状態のも
とに回転自在に設けた複数のラッピングヘッド6,6と、
支持枠5を左右方向へ転動させるための横送り機構7
と、台枠3を前後方向へ転動させるための縦送り機構8
とから構成する。
前記台枠3にはその両側の脚部9,9に前後方向に適度
に間隔を保って上下動阻止用コロ10,10を設けると共
に、レール11,11を設けてこれらコロ10,10および11,11
を前記レール2,2に対接させたまま台枠3を前後方向に
スムーズに移動させることができるようにするほか、縦
送り機構8として、基台1の両側外方においてスプロケ
ット12,12に掛け渡した状態のもとに前後方向へ走行す
るチェーン13を設けてこれに台枠3を受動腕14において
係合してなり、また支持枠5にはその左右両側端部に前
後方向に適度の間隔を保って上下動阻止用コロ15,15を
設けると共に、レール4を挟持する状態の前後動阻止用
コロ16,16をレール4に対接させたまま支持枠5を左右
方向へスムーズに移動させることができるようにするほ
か、横送り機構7として、台枠3に左右方向軸線のねじ
杆17を受動輪18により回転することができるように設け
たまま、支持枠5の雌ねじ19に螺入したねじ送り型を採
択する。
に間隔を保って上下動阻止用コロ10,10を設けると共
に、レール11,11を設けてこれらコロ10,10および11,11
を前記レール2,2に対接させたまま台枠3を前後方向に
スムーズに移動させることができるようにするほか、縦
送り機構8として、基台1の両側外方においてスプロケ
ット12,12に掛け渡した状態のもとに前後方向へ走行す
るチェーン13を設けてこれに台枠3を受動腕14において
係合してなり、また支持枠5にはその左右両側端部に前
後方向に適度の間隔を保って上下動阻止用コロ15,15を
設けると共に、レール4を挟持する状態の前後動阻止用
コロ16,16をレール4に対接させたまま支持枠5を左右
方向へスムーズに移動させることができるようにするほ
か、横送り機構7として、台枠3に左右方向軸線のねじ
杆17を受動輪18により回転することができるように設け
たまま、支持枠5の雌ねじ19に螺入したねじ送り型を採
択する。
前記ラッピングヘッド6としては、支持枠5に垂直軸
線方向の軸受20,20を設けてこれに遊星歯車保持枠21の
中空軸22と太陽歯車軸23とを同軸関係のもとに貫通支承
させたまま、前記保持枠21内に太陽歯車24を太陽歯車軸
23に固着すると共に、この太陽歯車24に噛み合う2ない
し4個程度の複数個の遊星歯車25,25を設けてその軸を
ラップ軸26として垂下し、各ラップ軸26の下端に円盤状
ラップ27を固着し、かつ保持枠21の中空軸22の上端には
ギヤー型の受動プーリー28を設けて減速機および歯付ベ
ルト(いずれも図示せず)等を経てモーターにより比較
的低速のもとに保持枠21を回転させることができるよう
にし、更に太陽歯車軸23の上端寄りには、Vプーリー29
を固着してVベルト,モーター(図示せず)により比較
的高速あるいは低速等所望速度のもとに回転させ、ある
いは停止状態に保持するようにする等、要するにラップ
27を遊星歯車機構により自転,公転させることができる
ようにする。
線方向の軸受20,20を設けてこれに遊星歯車保持枠21の
中空軸22と太陽歯車軸23とを同軸関係のもとに貫通支承
させたまま、前記保持枠21内に太陽歯車24を太陽歯車軸
23に固着すると共に、この太陽歯車24に噛み合う2ない
し4個程度の複数個の遊星歯車25,25を設けてその軸を
ラップ軸26として垂下し、各ラップ軸26の下端に円盤状
ラップ27を固着し、かつ保持枠21の中空軸22の上端には
ギヤー型の受動プーリー28を設けて減速機および歯付ベ
ルト(いずれも図示せず)等を経てモーターにより比較
的低速のもとに保持枠21を回転させることができるよう
にし、更に太陽歯車軸23の上端寄りには、Vプーリー29
を固着してVベルト,モーター(図示せず)により比較
的高速あるいは低速等所望速度のもとに回転させ、ある
いは停止状態に保持するようにする等、要するにラップ
27を遊星歯車機構により自転,公転させることができる
ようにする。
各個ラップ27を均等圧のもとに被研摩板Wに押圧する
ためには、前記保持枠21の上部においてラップ軸26の上
端に空気圧シリンダー機構30を付設して、これら全数の
空気圧シリンダー機構30を共通の加圧空気源に連通させ
るようにし、またラップ軸26の下端付近には研摩剤供給
路31を穿設すると共に、ラップ軸26の下端寄りの周囲に
はラップ軸26を部分的に包囲する状態に研摩剤供給用ジ
ャケット32を形成してこれを保持枠21に設け、かつ前記
研摩剤供給路31の上端は前記ジャケット32に開口するほ
か下端をラップ27の前面に開口し、前記ジャケット32お
よび供給路31を経て研摩剤を周囲に飛散させることなく
ラップ27の前面へ供給するようにする。
ためには、前記保持枠21の上部においてラップ軸26の上
端に空気圧シリンダー機構30を付設して、これら全数の
空気圧シリンダー機構30を共通の加圧空気源に連通させ
るようにし、またラップ軸26の下端付近には研摩剤供給
路31を穿設すると共に、ラップ軸26の下端寄りの周囲に
はラップ軸26を部分的に包囲する状態に研摩剤供給用ジ
ャケット32を形成してこれを保持枠21に設け、かつ前記
研摩剤供給路31の上端は前記ジャケット32に開口するほ
か下端をラップ27の前面に開口し、前記ジャケット32お
よび供給路31を経て研摩剤を周囲に飛散させることなく
ラップ27の前面へ供給するようにする。
なお前記ラッピングヘッド6の個数については図示の
ように2個に限ることなく、1個でもよく、また3個以
上でもよいこと当然である。
ように2個に限ることなく、1個でもよく、また3個以
上でもよいこと当然である。
上記構成のともに、ラッピングヘッド6における各ラ
ップ27を遊星歯車機構の利用のもとに自転させつつ公転
させると共に、横送り機構7と縦送り機構8とによりラ
ッピングヘッド6をジグザグ状に掃引することにより、
各ラップ27の前面部を被研摩板W面上に均等な圧力のも
とに押圧したまま、二重トロコイド曲線が描かれるよう
に摺擦するのであり、ラップ27の摺擦軌跡は著しく複雑
かつ微細である。
ップ27を遊星歯車機構の利用のもとに自転させつつ公転
させると共に、横送り機構7と縦送り機構8とによりラ
ッピングヘッド6をジグザグ状に掃引することにより、
各ラップ27の前面部を被研摩板W面上に均等な圧力のも
とに押圧したまま、二重トロコイド曲線が描かれるよう
に摺擦するのであり、ラップ27の摺擦軌跡は著しく複雑
かつ微細である。
以上説明したように、本考案によれば、次のような効
果がある。
果がある。
a.全数のラップ27を共通の加圧空気源により連通するシ
リンダー機構30により進退可能に構成したから、これに
より全数のラップ27を均等圧のもとに被研摩板Wに押圧
しつつラッピングすることができ、従って広面積の平面
を平滑精度の高い均斉な鏡面に研摩することができる。
リンダー機構30により進退可能に構成したから、これに
より全数のラップ27を均等圧のもとに被研摩板Wに押圧
しつつラッピングすることができ、従って広面積の平面
を平滑精度の高い均斉な鏡面に研摩することができる。
b.ラップ軸26の周囲にラップ軸26を包囲する研摩剤供給
用ジャケット32を形成してこれを保持枠21に設けるほ
か、ラップ軸26に研摩剤供給路31を穿設してジャケット
32および研摩剤供給路31を経て研摩剤をラップ27の前面
に供給するように構成したから、研摩剤を周囲に飛散さ
せることなく必要カ所に効果的かつむらなく供給するこ
とができる。
用ジャケット32を形成してこれを保持枠21に設けるほ
か、ラップ軸26に研摩剤供給路31を穿設してジャケット
32および研摩剤供給路31を経て研摩剤をラップ27の前面
に供給するように構成したから、研摩剤を周囲に飛散さ
せることなく必要カ所に効果的かつむらなく供給するこ
とができる。
c.太陽歯車軸23をモーターにより回転可能に構成したこ
とにより、ラップ27の自転速度を公転速度に対して加減
することができ、従って装置全体の運転速度を変更する
ことなく、一部分の速度変更により仕上げ程度を任意に
選択することができ、前記平滑精度の高い研摩機能と相
俟って高い平滑度のもとに任意の仕上げ程度にラッピン
グ加工を容易に実施することができる。
とにより、ラップ27の自転速度を公転速度に対して加減
することができ、従って装置全体の運転速度を変更する
ことなく、一部分の速度変更により仕上げ程度を任意に
選択することができ、前記平滑精度の高い研摩機能と相
俟って高い平滑度のもとに任意の仕上げ程度にラッピン
グ加工を容易に実施することができる。
図面は一実施例における本考案のラッピング装置を示す
一部縦断正面図である。 1……基台 3……台枠 5……支持枠 6……ラッピングヘッド 7……横送り機構 8……縦送り機構 20……軸受 21……保持枠 22……中空軸 23……太陽歯車軸 24……太陽歯車 25……遊星歯車 26……ラップ軸 27……ラップ 30……空気圧シリンダー機構 31……研摩剤供給路 32……ジャケット W……被研摩板
一部縦断正面図である。 1……基台 3……台枠 5……支持枠 6……ラッピングヘッド 7……横送り機構 8……縦送り機構 20……軸受 21……保持枠 22……中空軸 23……太陽歯車軸 24……太陽歯車 25……遊星歯車 26……ラップ軸 27……ラップ 30……空気圧シリンダー機構 31……研摩剤供給路 32……ジャケット W……被研摩板
Claims (3)
- 【請求項1】上面部に被研摩板(W)を不動状態に載置
する基台(1)と、この基台(1)の上部において前後
方向へ移動する台枠(3)とを設けると共に、台枠
(3)上には左右方向に移動する支持枠(5)を設け、
かつ支持枠(5)を左右方向へ移動する横送り機構
(7)および台枠(3)を前後方向へ移動する縦送り機
構(8)を設け、更に前記支持枠(5)には回転自在に
設けた複数のラッピングヘッド(6),(6)を垂下状
態のもとに設け、前記ラッピングヘッド(6)として
は、支持枠(5)に垂直軸線方向の軸受(20)を設けて
これに遊星歯車保持枠(21)の中空軸(22)と太陽歯車
軸(23)とを同軸関係のもとに貫通支承させたまま、前
記保持枠(21)内に太陽歯車(24)を軸(23)に固着す
ると共に、この太陽歯車(24)に噛み合う遊星歯車(2
5)を設けてその各遊星歯車の軸をラップ軸(26)に充
当して垂下し、ラップ軸(26)の下端にラップ(27)を
その前面が前記被研摩板(W)に圧接するように固着
し、かつ保持枠(21)の中空軸(22)はこれを減速機の
介入のもとにモーターに接続し、ラップ(27)を自転,
公転するように構成し、前記保持枠(21)にはラップ
(27)を被研摩板(W)に押圧する空気圧シリンダー機
構(30)を各ラップ軸(26)に各別に関連する状態のも
とに付設し、かつ前記各空気圧シリンダー機構(30)は
これを共通の加圧空気源に連通させたことを特徴とする
ラッピング装置。 - 【請求項2】ラップ軸(26)を部分的に包囲する状態の
研摩剤供給用ジャケット(32)を保持枠(21)の下部に
設けると共に、ラップ軸(26)の下端方の中心に研摩剤
供給路(31)を穿設してその上端および下端をそれぞれ
前記ジャケット(32)およびラップ(27)の前面に開口
させ、このジャケット(32)および供給路(31)を経て
研摩剤をラップ(27)の前面へ供給するように構成した
請求項1に記載のラッピング装置。 - 【請求項3】太陽歯車軸(23)をモーターに接続して回
転可能に構成した請求項1または請求項2に記載のラッ
ピング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988067822U JPH085004Y2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | ラッピング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988067822U JPH085004Y2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | ラッピング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01170556U JPH01170556U (ja) | 1989-12-01 |
| JPH085004Y2 true JPH085004Y2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=31293164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988067822U Expired - Lifetime JPH085004Y2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | ラッピング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085004Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9060452B2 (en) | 2009-02-06 | 2015-06-16 | Lg Chem, Ltd. | Method for manufacturing insulated conductive pattern and laminate |
| KR101342952B1 (ko) * | 2009-10-08 | 2013-12-18 | 주식회사 엘지화학 | 유리판 연마 시스템 및 방법 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5049795A (ja) * | 1973-09-03 | 1975-05-02 | ||
| JPS5669071A (en) * | 1979-09-12 | 1981-06-10 | Mitsubishi Motors Corp | Lapping machine |
| JPS60191750A (ja) * | 1984-03-08 | 1985-09-30 | Tomoaki Goto | 平面研削法および装置 |
| JPH0767667B2 (ja) * | 1985-05-20 | 1995-07-26 | 日本電信電話株式会社 | 遊離砥粒加工工具 |
| JPS6311264A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-18 | Daiwa Shoji:Kk | 板面加工装置 |
-
1988
- 1988-05-23 JP JP1988067822U patent/JPH085004Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01170556U (ja) | 1989-12-01 |
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