JPH0850106A - コンデンサ用金属化フィルム欠陥検出方法 - Google Patents
コンデンサ用金属化フィルム欠陥検出方法Info
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- JPH0850106A JPH0850106A JP20420194A JP20420194A JPH0850106A JP H0850106 A JPH0850106 A JP H0850106A JP 20420194 A JP20420194 A JP 20420194A JP 20420194 A JP20420194 A JP 20420194A JP H0850106 A JPH0850106 A JP H0850106A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 基材フィルム上に連続して形成された金属蒸
着面と非蒸着面とが交互に縞状に形成されたコンデンサ
用金属化フィルムの欠陥検出方法を提供する。 【構成】 金属化フィルム２のシート面の片側に高周波
蛍光灯１を配置し、これと対応する他方側に幅方向のス
リット４ａを有する遮光板４および流れ方向に配列され
た２分割受光素子３を配置し、上記高周波蛍光灯からの
拡散光を金属化フィルムに照射して、この金属化フィル
ムの流れ方向の二つの測定領域３ａ，３ｂからの透過し
た光を２分割受光素子で受光するようにし、この二つの
受光素子からの信号Ａ，Ｂからの和信号Ａ＋Ｂおよび差
信号Ａ−Ｂを演算して出力させ、これによりコンデンサ
用金属化フィルムの欠陥を検出するようにしたコンデン
サ用金属化フィルム欠陥検出方法である。
着面と非蒸着面とが交互に縞状に形成されたコンデンサ
用金属化フィルムの欠陥検出方法を提供する。 【構成】 金属化フィルム２のシート面の片側に高周波
蛍光灯１を配置し、これと対応する他方側に幅方向のス
リット４ａを有する遮光板４および流れ方向に配列され
た２分割受光素子３を配置し、上記高周波蛍光灯からの
拡散光を金属化フィルムに照射して、この金属化フィル
ムの流れ方向の二つの測定領域３ａ，３ｂからの透過し
た光を２分割受光素子で受光するようにし、この二つの
受光素子からの信号Ａ，Ｂからの和信号Ａ＋Ｂおよび差
信号Ａ−Ｂを演算して出力させ、これによりコンデンサ
用金属化フィルムの欠陥を検出するようにしたコンデン
サ用金属化フィルム欠陥検出方法である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、基材フィルム上に連
続して形成された金属蒸着面（蒸着部）と非蒸着面（マ
ージン部）とが交互に縞状に形成されたコンデンサ用金
属化フィルムの、その製造中における欠陥の検出方法に
関するものである。
続して形成された金属蒸着面（蒸着部）と非蒸着面（マ
ージン部）とが交互に縞状に形成されたコンデンサ用金
属化フィルムの、その製造中における欠陥の検出方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、コンデンサ素子を製造するため
に用いる金属蒸着フィルムは、巻回コンデンサまたは積
層コンデンサ用基材としてよく知られている。この金属
蒸着フィルムは電気的な短絡を防止するため、金属蒸着
フィルムの流れ方向の一側縁に沿って連続的な金属非蒸
着部（マージン部）が設けられて製造されている。この
マージン部は、予め基材フィルムの表面に複数本の細幅
のテープを当てがい、またはオイルを塗布するなどの方
法によってマスキングを施してから金属を蒸着させ、そ
の後に上記マージン部の中央をスリッター装置の刃によ
りスリットしつつ巻き取ることによって、個々のコンデ
ンサ素子用蒸着フィルムとして製造している。
に用いる金属蒸着フィルムは、巻回コンデンサまたは積
層コンデンサ用基材としてよく知られている。この金属
蒸着フィルムは電気的な短絡を防止するため、金属蒸着
フィルムの流れ方向の一側縁に沿って連続的な金属非蒸
着部（マージン部）が設けられて製造されている。この
マージン部は、予め基材フィルムの表面に複数本の細幅
のテープを当てがい、またはオイルを塗布するなどの方
法によってマスキングを施してから金属を蒸着させ、そ
の後に上記マージン部の中央をスリッター装置の刃によ
りスリットしつつ巻き取ることによって、個々のコンデ
ンサ素子用蒸着フィルムとして製造している。
【０００３】このように製造されるコンデンサ素子用の
蒸着フィルムにあっては、品質管理のため金属蒸着部お
よびマージン部の幅を厳密に管理する必要があるととも
に、金属蒸着部蒸着面を厳密に管理する必要がある。こ
れは、後に製品として形成されるコンデンサの容量が金
属蒸着部の容量で決まり、この金属蒸着部にピンホール
や線状の欠陥があると容量が一定とならずバラついた製
品が得られるからである。このため、従来はマージン部
を切断するためのスリッタ装置においては主に目視によ
る検査を行っている。しかし、高速度で移動する金属蒸
着フィルムの欠陥を検出することは困難であり、そのた
め、ＣＣＤカメラを利用して金属化フィルムの欠陥を検
出する方法が行われていた。
蒸着フィルムにあっては、品質管理のため金属蒸着部お
よびマージン部の幅を厳密に管理する必要があるととも
に、金属蒸着部蒸着面を厳密に管理する必要がある。こ
れは、後に製品として形成されるコンデンサの容量が金
属蒸着部の容量で決まり、この金属蒸着部にピンホール
や線状の欠陥があると容量が一定とならずバラついた製
品が得られるからである。このため、従来はマージン部
を切断するためのスリッタ装置においては主に目視によ
る検査を行っている。しかし、高速度で移動する金属蒸
着フィルムの欠陥を検出することは困難であり、そのた
め、ＣＣＤカメラを利用して金属化フィルムの欠陥を検
出する方法が行われていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＣＣＤカメ
ラを利用して検出する方法では大きな撮像空間を必要と
し、入り混んだスリッター装置に組み込むことが困難で
ある。また、コンデンサ素子用金属化フィルムは、金属
蒸着面と透明なマージン部が移動方向に縞状に形成され
ており、金属化フィルムの幅方向にＣＣＤ素子の走査を
行うと、透明なマージン部からの強い光をカメラのＣＣ
Ｄが検出し、いわゆるスミヤと称されるＣＣＤ素子の隣
の画素に電荷の漏曳が生じ、欠陥の検出を困難にしてい
た。
ラを利用して検出する方法では大きな撮像空間を必要と
し、入り混んだスリッター装置に組み込むことが困難で
ある。また、コンデンサ素子用金属化フィルムは、金属
蒸着面と透明なマージン部が移動方向に縞状に形成され
ており、金属化フィルムの幅方向にＣＣＤ素子の走査を
行うと、透明なマージン部からの強い光をカメラのＣＣ
Ｄが検出し、いわゆるスミヤと称されるＣＣＤ素子の隣
の画素に電荷の漏曳が生じ、欠陥の検出を困難にしてい
た。
【０００５】この発明はこのような点に鑑みてなされた
もので、製造中におけるコンデンサ用金属化フィルムの
金属蒸着面におけるピンホール状および線状の欠陥を、
簡単な装置で確実に検出できる検出方法を提供すること
を目的とする。
もので、製造中におけるコンデンサ用金属化フィルムの
金属蒸着面におけるピンホール状および線状の欠陥を、
簡単な装置で確実に検出できる検出方法を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、金属化フィ
ルムのシート面の片側に高周波蛍光灯を配置し、これと
対応する他方側に幅方向のスリットを有する遮光板およ
び流れ方向に配列された２分割受光素子を配置し、上記
高周波蛍光灯からの拡散光を金属化フィルムに照射し
て、この金属化フィルムの流れ方向の二つの測定領域か
らの透過した光を上記２分割受光素子で受光するように
し、この二つの受光素子からの信号Ａ，Ｂからの和信号
Ａ＋Ｂおよび差信号Ａ−Ｂを演算して出力させ、これに
よりコンデンサ用金属化フィルムの欠陥を検出するよう
にしたコンデンサ用金属化フィルム欠陥検出方法であ
る。
ルムのシート面の片側に高周波蛍光灯を配置し、これと
対応する他方側に幅方向のスリットを有する遮光板およ
び流れ方向に配列された２分割受光素子を配置し、上記
高周波蛍光灯からの拡散光を金属化フィルムに照射し
て、この金属化フィルムの流れ方向の二つの測定領域か
らの透過した光を上記２分割受光素子で受光するように
し、この二つの受光素子からの信号Ａ，Ｂからの和信号
Ａ＋Ｂおよび差信号Ａ−Ｂを演算して出力させ、これに
よりコンデンサ用金属化フィルムの欠陥を検出するよう
にしたコンデンサ用金属化フィルム欠陥検出方法であ
る。
【０００７】
【作用】金属化フィルムの流れ方向に微小間隔へだてた
位置の異なる二つの測定領域ａ，ｂを全幅に亘り設定
し、この二つの測定領域を流れ方向に配列された２分割
受光素子の二つの受光センサでそれぞれ受光して得られ
た信号Ａ，Ｂの和信号Ａ＋Ｂと差信号Ａ−Ｂを利用する
ことにより、移動方向に金属蒸着部と非金属蒸着部の縞
のある金属化フィルムの金属蒸着部の欠陥の検出を簡単
な装置ながら確実に検出を行うことが可能となる。
位置の異なる二つの測定領域ａ，ｂを全幅に亘り設定
し、この二つの測定領域を流れ方向に配列された２分割
受光素子の二つの受光センサでそれぞれ受光して得られ
た信号Ａ，Ｂの和信号Ａ＋Ｂと差信号Ａ−Ｂを利用する
ことにより、移動方向に金属蒸着部と非金属蒸着部の縞
のある金属化フィルムの金属蒸着部の欠陥の検出を簡単
な装置ながら確実に検出を行うことが可能となる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図１は欠陥検出を行う検出装置の概略構成を示
す斜視図、図２は側面図である。即ち、高周波蛍光灯１
と２分割受光素子３が金属化フィルム２を挟んでその幅
方向に平行にそれぞれ反対側に対向するように設置され
る。光源装置としての高周波点灯蛍光灯１からの拡散光
を金属化フィルム２に幅方向に一様に照射し、金属化フ
ィルム２の照明された移動方向に位置の異なる二つの測
定領域ａ，ｂ部分の透過光を二分割受光素子３の二つの
受光センサ３ａ，３ｂて検出するである。
明する。図１は欠陥検出を行う検出装置の概略構成を示
す斜視図、図２は側面図である。即ち、高周波蛍光灯１
と２分割受光素子３が金属化フィルム２を挟んでその幅
方向に平行にそれぞれ反対側に対向するように設置され
る。光源装置としての高周波点灯蛍光灯１からの拡散光
を金属化フィルム２に幅方向に一様に照射し、金属化フ
ィルム２の照明された移動方向に位置の異なる二つの測
定領域ａ，ｂ部分の透過光を二分割受光素子３の二つの
受光センサ３ａ，３ｂて検出するである。
【０００９】幅６４０ｍｍを有する金属化フィルム２上
には、例えば幅４０ｍｍの金属蒸着部２ａが非蒸着部
（マージン部）２ｂを設けて１６条縞状に形成されてい
る（図では６条の場合を示す）。この実施例では、金属
化フィルム２の主に金属蒸着部２ａ上に存在するピンホ
ール状の欠陥および線状の欠陥を検出するのである。金
属化フィルム２は矢印で示す方向に高速で移動してお
り、その移動速度は５０ｍ／分〜３００ｍ／分である。
には、例えば幅４０ｍｍの金属蒸着部２ａが非蒸着部
（マージン部）２ｂを設けて１６条縞状に形成されてい
る（図では６条の場合を示す）。この実施例では、金属
化フィルム２の主に金属蒸着部２ａ上に存在するピンホ
ール状の欠陥および線状の欠陥を検出するのである。金
属化フィルム２は矢印で示す方向に高速で移動してお
り、その移動速度は５０ｍ／分〜３００ｍ／分である。
【００１０】金属化フィルム２の二つの測定領域ａ，ｂ
を透過した光は遮光板４の幅方向に設けられたスリット
４ａを通り、その後に配置された金属化フィルム２の流
れ方向に配列された２分割受光素子３に到達する。この
とき、金属化フィルム２の流れ方向に前後してａ，ｂ二
つの測定領域が２分割受光素子３の二つの受光素子３
ａ，３ｂの遮光板４のスリット４ａである入射窓を通し
て形成される。この二つの受光素子３ａ，３ｂは、従っ
て金属化フィルム２に縞状に形成された一条の不透明な
金属蒸着部２ａと透明な非蒸着部であるマージン部２ｂ
の幅方向を透過した二つの測定領域ａ，ｂからの光量を
それぞれ受光し、全幅を測定するときには２分割受光素
子３を１６個幅方向に直線状に並べて測定することにな
る。これにより、金属化フィルム２の移動方向に約１ｍ
ｍ間隔を有して前後する測定領域ａ，ｂの全幅を透過し
た全光量を受光することになる。
を透過した光は遮光板４の幅方向に設けられたスリット
４ａを通り、その後に配置された金属化フィルム２の流
れ方向に配列された２分割受光素子３に到達する。この
とき、金属化フィルム２の流れ方向に前後してａ，ｂ二
つの測定領域が２分割受光素子３の二つの受光素子３
ａ，３ｂの遮光板４のスリット４ａである入射窓を通し
て形成される。この二つの受光素子３ａ，３ｂは、従っ
て金属化フィルム２に縞状に形成された一条の不透明な
金属蒸着部２ａと透明な非蒸着部であるマージン部２ｂ
の幅方向を透過した二つの測定領域ａ，ｂからの光量を
それぞれ受光し、全幅を測定するときには２分割受光素
子３を１６個幅方向に直線状に並べて測定することにな
る。これにより、金属化フィルム２の移動方向に約１ｍ
ｍ間隔を有して前後する測定領域ａ，ｂの全幅を透過し
た全光量を受光することになる。
【００１１】このとき、図３の金属化フィルム２の一部
分の拡大図に示すように、金属化フィルム２の金属蒸着
部２ａに例えば符号５で示すピンホールが存在すると、
金属化フィルム２の流れ方向に位置の異なる測定領域
ａ，ｂを通過するときに光量の変化として捉えることが
できる。従って、二つの受光素子３ａ，３ｂのそれぞれ
の信号Ａ，Ｂの差信号Ａ−Ｂを利用することにより、図
４に拡大して示すような欠陥検出信号Ｏを得ることが可
能となる。ここで、Ｃはノイズ信号であり、Ｏが差信号
である。
分の拡大図に示すように、金属化フィルム２の金属蒸着
部２ａに例えば符号５で示すピンホールが存在すると、
金属化フィルム２の流れ方向に位置の異なる測定領域
ａ，ｂを通過するときに光量の変化として捉えることが
できる。従って、二つの受光素子３ａ，３ｂのそれぞれ
の信号Ａ，Ｂの差信号Ａ−Ｂを利用することにより、図
４に拡大して示すような欠陥検出信号Ｏを得ることが可
能となる。ここで、Ｃはノイズ信号であり、Ｏが差信号
である。
【００１２】線状欠陥などの大欠陥の場合には、二つの
受光素子３ａ，３ｂのそれぞれの信号Ａ，Ｂの和信号Ａ
＋Ｂを利用することにより、図５に示すような和信号Ｐ
が得られる。これは測定領域ａ，ｂを透過する全光量で
あって、測定領域ａ，ｂに存在するマージン部の大きさ
により和信号Ｐは影響されるが、線状欠陥などの大欠陥
がなければ和信号Ｐは一定である。金属化フィルム２の
金属蒸着部２ａに存在する傷などの大欠陥があれば、そ
の欠陥が存在する位置からの和信号に更に傷などによる
欠陥信号（Ａ＋Ｂの変化分）が付加されるので和信号の
変化量から検出することが可能となる。
受光素子３ａ，３ｂのそれぞれの信号Ａ，Ｂの和信号Ａ
＋Ｂを利用することにより、図５に示すような和信号Ｐ
が得られる。これは測定領域ａ，ｂを透過する全光量で
あって、測定領域ａ，ｂに存在するマージン部の大きさ
により和信号Ｐは影響されるが、線状欠陥などの大欠陥
がなければ和信号Ｐは一定である。金属化フィルム２の
金属蒸着部２ａに存在する傷などの大欠陥があれば、そ
の欠陥が存在する位置からの和信号に更に傷などによる
欠陥信号（Ａ＋Ｂの変化分）が付加されるので和信号の
変化量から検出することが可能となる。
【００１３】上記差信号Ｏは、位置が若干ずれた測定領
域ａ，ｂからの光を二つの受光素子３ａ，３ｂでそれぞ
れ検出してそれぞれの信号を引き算しているので、外部
から光が入っても受光素子３ａ，３ｂともに信号が変化
するので、差信号Ｏは変化しない。このため、Ｓ／Ｎ比
に優れ、微小な欠陥も容易に検出することができる。こ
の例では、０．５ｍｍ×０．５ｍｍの微小な欠陥を検出
することができた。これに反し上記和信号Ｐは測定領域
ａ，ｂの全透過光量を与える信号であり、これは光量変
化を捕らえているため、透明なマージン部２ｂを含んだ
り、強い外乱光などがある場合にはこれらの影響を受け
ることになる。従って、ノイズ信号は大きくなり微小欠
陥の検出はできず、大きな欠陥のみの検出となる。
域ａ，ｂからの光を二つの受光素子３ａ，３ｂでそれぞ
れ検出してそれぞれの信号を引き算しているので、外部
から光が入っても受光素子３ａ，３ｂともに信号が変化
するので、差信号Ｏは変化しない。このため、Ｓ／Ｎ比
に優れ、微小な欠陥も容易に検出することができる。こ
の例では、０．５ｍｍ×０．５ｍｍの微小な欠陥を検出
することができた。これに反し上記和信号Ｐは測定領域
ａ，ｂの全透過光量を与える信号であり、これは光量変
化を捕らえているため、透明なマージン部２ｂを含んだ
り、強い外乱光などがある場合にはこれらの影響を受け
ることになる。従って、ノイズ信号は大きくなり微小欠
陥の検出はできず、大きな欠陥のみの検出となる。
【００１４】次に、第６図のブロック図に基づいて測定
方法を簡単に説明する。高周波蛍光灯により拡散光で照
射された金属化フィルムの移動方向に位置の異なる二つ
の測定領域ａ，ｂを透過した光は、遮光板４のスリット
４ａを通して二分割受光素子３ａ，３ｂにより検出され
る。この二分割受光素子３ａ，３ｂからの信号は電流電
圧変換器７で変換さる。一方の出力信号である交流成分
は、コンデンサを介して差動交流増幅器８により増幅さ
れてＡ−Ｂとなり、コンデンサを介して比較器１０に入
力する。もう一方の直流成分は、直流増幅器９を介して
Ａ＋Ｂとなり、ンデンサ１４を介して比較器１１に入力
することで、Ａ＋Ｂ信号の変化成分が比較器１１に入る
ことになる。
方法を簡単に説明する。高周波蛍光灯により拡散光で照
射された金属化フィルムの移動方向に位置の異なる二つ
の測定領域ａ，ｂを透過した光は、遮光板４のスリット
４ａを通して二分割受光素子３ａ，３ｂにより検出され
る。この二分割受光素子３ａ，３ｂからの信号は電流電
圧変換器７で変換さる。一方の出力信号である交流成分
は、コンデンサを介して差動交流増幅器８により増幅さ
れてＡ−Ｂとなり、コンデンサを介して比較器１０に入
力する。もう一方の直流成分は、直流増幅器９を介して
Ａ＋Ｂとなり、ンデンサ１４を介して比較器１１に入力
することで、Ａ＋Ｂ信号の変化成分が比較器１１に入る
ことになる。
【００１５】上記比較器１０，１１には、感度設定のた
めの電流電圧変換器１２，１３がそれぞれ接続されてい
て、これらで設定された値と二分割受光素子３ａ，３ｂ
からの信号Ａ−Ｂ，Ａ＋Ｂの変化分がそれぞれ比較さ
れ、設定値以上の検出値が入力された場合のみピンホー
ルなどの微小欠陥出力Ｑおよび線状の傷などの大欠陥出
力Ｒがそれぞれ出力されるように構成されている。
めの電流電圧変換器１２，１３がそれぞれ接続されてい
て、これらで設定された値と二分割受光素子３ａ，３ｂ
からの信号Ａ−Ｂ，Ａ＋Ｂの変化分がそれぞれ比較さ
れ、設定値以上の検出値が入力された場合のみピンホー
ルなどの微小欠陥出力Ｑおよび線状の傷などの大欠陥出
力Ｒがそれぞれ出力されるように構成されている。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したとおり、この発明のコンデ
ンサ用金属化フィルム欠陥検出方法によれば、高価なＣ
ＣＤを使用することなく簡単な二分割受光素子の差信号
および和信号を演算することにより確実に高速で移動す
る金属化フィルムの金属蒸着部の欠陥を検出することが
可能となる。そして、光源および検出器ともに細長い部
材で構成されており、しかも密着取り付けが可能であ
り、スペースを取らないで容易にスリッター装置のロー
ラ間に設置することが可能である。従って、品質管理が
極めて向上し、製品を高精度に製造することができる。
ンサ用金属化フィルム欠陥検出方法によれば、高価なＣ
ＣＤを使用することなく簡単な二分割受光素子の差信号
および和信号を演算することにより確実に高速で移動す
る金属化フィルムの金属蒸着部の欠陥を検出することが
可能となる。そして、光源および検出器ともに細長い部
材で構成されており、しかも密着取り付けが可能であ
り、スペースを取らないで容易にスリッター装置のロー
ラ間に設置することが可能である。従って、品質管理が
極めて向上し、製品を高精度に製造することができる。
【図１】この発明のコンデンサ用金属化フィルム欠陥検
出方法を説明する検出装置の概略構成を示す斜視図、
出方法を説明する検出装置の概略構成を示す斜視図、
【図２】図１の側面図、
【図３】金属化フィルムの一部分の拡大斜視図、
【図４】差信号の波形図、
【図５】和信号の波形図、
【図６】測定装置のブロック図である。
１ 高周波蛍光灯 ２ 金属化フィルム ３ 二分割受光素子 ４ 遮蔽板 ４ａ スリット ５ 点状欠陥 ７ 電流電圧変換器 ８ 差動ＡＣ増幅器 ９ ＤＣ増幅器 １０，１１ 比較器 １２、１３ 電流電圧変換器 １４ コンデンサ ａ，ｂ 測定領域
【手続補正書】
【提出日】平成６年９月２８日
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】次に、第６図のブロック図に基づいて測定
方法を簡単に説明する。高周波蛍光灯により拡散光で照
射された金属化フィルムの移動方向に位置の異なる二つ
の測定領域ａ，ｂを透過した光は、遮光板４のスリット
４ａを通して二分割受光素子３ａ，３ｂにより検出され
る。この二分割受光素子３ａ，３ｂからの信号は電流電
圧変換器７で変換される。一方の出力信号である交流成
分は、コンデンサを介して差動交流増幅器８により増幅
されてＡ−Ｂとなり、コンデンサを介して比較器１０に
入力する。もう一方の直流成分は、直流増幅器９を介し
てＡ＋Ｂとなり、コンデンサ１４を介して比較器１１に
入力することで、Ａ＋Ｂ信号の変化成分が比較器１１に
入ることになる。 ─────────────────────────────────────────────────────
方法を簡単に説明する。高周波蛍光灯により拡散光で照
射された金属化フィルムの移動方向に位置の異なる二つ
の測定領域ａ，ｂを透過した光は、遮光板４のスリット
４ａを通して二分割受光素子３ａ，３ｂにより検出され
る。この二分割受光素子３ａ，３ｂからの信号は電流電
圧変換器７で変換される。一方の出力信号である交流成
分は、コンデンサを介して差動交流増幅器８により増幅
されてＡ−Ｂとなり、コンデンサを介して比較器１０に
入力する。もう一方の直流成分は、直流増幅器９を介し
てＡ＋Ｂとなり、コンデンサ１４を介して比較器１１に
入力することで、Ａ＋Ｂ信号の変化成分が比較器１１に
入ることになる。 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１１月２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の詳細な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、基材フィルム上に連
続して形成された金属蒸着面（蒸着部）と非蒸着面（マ
ージン部）とが交互に縞状に形成されたコンデンサ用金
属化フィルムの、その製造中における欠陥の検出方法に
関するものである。
続して形成された金属蒸着面（蒸着部）と非蒸着面（マ
ージン部）とが交互に縞状に形成されたコンデンサ用金
属化フィルムの、その製造中における欠陥の検出方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、コンデンサ素子を製造するため
に用いる金属蒸着フィルムは、巻回コンデンサまたは積
層コンデンサ用基材としてよく知られている。この金属
蒸着フィルムは電気的な短絡を防止するため、金属蒸着
フィルムの流れ方向の一側縁に沿って連続的な金属非蒸
着部（マージン部）が設けられて製造されている。この
マージン部は、予め基材フィルムの表面に複数本の細幅
のテープを当てがい、またはオイルを塗布するなどの方
法によってマスキングを施してから金属を蒸着させ、そ
の後に上記マージン部の中央をスリッター装置の刃によ
りスリットしつつ巻き取ることによって、個々のコンデ
ンサ素子用蒸着フィルムとして製造している。
に用いる金属蒸着フィルムは、巻回コンデンサまたは積
層コンデンサ用基材としてよく知られている。この金属
蒸着フィルムは電気的な短絡を防止するため、金属蒸着
フィルムの流れ方向の一側縁に沿って連続的な金属非蒸
着部（マージン部）が設けられて製造されている。この
マージン部は、予め基材フィルムの表面に複数本の細幅
のテープを当てがい、またはオイルを塗布するなどの方
法によってマスキングを施してから金属を蒸着させ、そ
の後に上記マージン部の中央をスリッター装置の刃によ
りスリットしつつ巻き取ることによって、個々のコンデ
ンサ素子用蒸着フィルムとして製造している。
【０００３】このように製造されるコンデンサ素子用の
蒸着フィルムにあっては、品質管理のため金属蒸着部お
よびマージン部の幅を厳密に管理する必要があるととも
に、金属蒸着部蒸着面を厳密に管理する必要がある。こ
れは、後に製品として形成されるコンデンサの容量が金
属蒸着部の容量で決まり、この金属蒸着部にピンホール
や線状の欠陥があると容量が一定とならずバラついた製
品が得られるからである。このため、従来はマージン部
を切断するためのスリッタ装置においては主に目視によ
る検査を行っている。しかし、高速度で移動する金属蒸
着フィルムの欠陥を検出することは困難であり、そのた
め、ＣＣＤカメラを利用して金属化フィルムの欠陥を検
出する方法が行われていた。
蒸着フィルムにあっては、品質管理のため金属蒸着部お
よびマージン部の幅を厳密に管理する必要があるととも
に、金属蒸着部蒸着面を厳密に管理する必要がある。こ
れは、後に製品として形成されるコンデンサの容量が金
属蒸着部の容量で決まり、この金属蒸着部にピンホール
や線状の欠陥があると容量が一定とならずバラついた製
品が得られるからである。このため、従来はマージン部
を切断するためのスリッタ装置においては主に目視によ
る検査を行っている。しかし、高速度で移動する金属蒸
着フィルムの欠陥を検出することは困難であり、そのた
め、ＣＣＤカメラを利用して金属化フィルムの欠陥を検
出する方法が行われていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＣＣＤカメ
ラを利用して検出する方法では大きな撮像空間を必要と
し、入り混んだスリッター装置に組み込むことが困難で
ある。また、コンデンサ素子用金属化フィルムは、金属
蒸着面と透明なマージン部が移動方向に縞状に形成され
ており、金属化フィルムの幅方向にＣＣＤ素子の走査を
行うと、透明なマージン部からの強い光をカメラのＣＣ
Ｄが検出し、いわゆるスミヤと称されるＣＣＤ素子の隣
の画素に電荷の漏曳が生じ、欠陥の検出を困難にしてい
た。
ラを利用して検出する方法では大きな撮像空間を必要と
し、入り混んだスリッター装置に組み込むことが困難で
ある。また、コンデンサ素子用金属化フィルムは、金属
蒸着面と透明なマージン部が移動方向に縞状に形成され
ており、金属化フィルムの幅方向にＣＣＤ素子の走査を
行うと、透明なマージン部からの強い光をカメラのＣＣ
Ｄが検出し、いわゆるスミヤと称されるＣＣＤ素子の隣
の画素に電荷の漏曳が生じ、欠陥の検出を困難にしてい
た。
【０００５】この発明はこのような点に鑑みてなされた
もので、製造中におけるコンデンサ用金属化フィルムの
金属蒸着面におけるピンホール状および線状の欠陥を、
簡単な装置で確実に検出できる検出方法を提供すること
を目的とする。
もので、製造中におけるコンデンサ用金属化フィルムの
金属蒸着面におけるピンホール状および線状の欠陥を、
簡単な装置で確実に検出できる検出方法を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、金属化フィ
ルムのシート面の片側に高周波蛍光灯を配置し、これと
対応する他方側に幅方向のスリットを有する遮光板およ
び流れ方向に配列された２分割受光素子を配置し、上記
高周波蛍光灯からの拡散光を金属化フィルムに照射し
て、この金属化フィルムの流れ方向の二つの測定領域か
らの透過した光を上記２分割受光素子で受光するように
し、この二つの受光素子からの信号Ａ，Ｂからの和信号
Ａ＋Ｂおよび差信号Ａ−Ｂを演算して出力させ、これに
よりコンデンサ用金属化フィルムの欠陥を検出するよう
にしたコンデンサ用金属化フィルム欠陥検出方法であ
る。
ルムのシート面の片側に高周波蛍光灯を配置し、これと
対応する他方側に幅方向のスリットを有する遮光板およ
び流れ方向に配列された２分割受光素子を配置し、上記
高周波蛍光灯からの拡散光を金属化フィルムに照射し
て、この金属化フィルムの流れ方向の二つの測定領域か
らの透過した光を上記２分割受光素子で受光するように
し、この二つの受光素子からの信号Ａ，Ｂからの和信号
Ａ＋Ｂおよび差信号Ａ−Ｂを演算して出力させ、これに
よりコンデンサ用金属化フィルムの欠陥を検出するよう
にしたコンデンサ用金属化フィルム欠陥検出方法であ
る。
【０００７】
【作用】２分割受光素子とスリットを有する遮光板とに
より金属化フィルムの流れ方向上流側と下流側に二つの
測定領域ａ，ｂが設定されるので、この二つの測定領域
ａ，ｂから２分割受光素子を通じて得られる信号Ａ，Ｂ
の和信号Ａ＋Ｂと差信号Ａ−Ｂを利用することにより、
移動方向に金属蒸着部と非金属蒸着部が縞状に形成され
た金属化フィルムの金属蒸着部にある欠陥の検出を簡単
でコンパクトな装置ながら確実に検出を行うことが可能
となる。
より金属化フィルムの流れ方向上流側と下流側に二つの
測定領域ａ，ｂが設定されるので、この二つの測定領域
ａ，ｂから２分割受光素子を通じて得られる信号Ａ，Ｂ
の和信号Ａ＋Ｂと差信号Ａ−Ｂを利用することにより、
移動方向に金属蒸着部と非金属蒸着部が縞状に形成され
た金属化フィルムの金属蒸着部にある欠陥の検出を簡単
でコンパクトな装置ながら確実に検出を行うことが可能
となる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図１は欠陥検出を行う検出装置の概略構成を示
す斜視図、図２は側面図である。即ち、高周波蛍光灯１
と複数の２分割受光素子３が金属化フィルム２を挟んで
その幅方向に平行にそれぞれ反対側に対向するように設
置される。各２分割受光素子３と金属化フィルム２の間
に所定の長さと幅を有するスリット４ａを設けた遮光板
４が配される。この遮光板４に設けられたスリット４ａ
から各２分割受光素子３の二つの受光部３ａ，３ｂに入
射する光信号Ａ，Ｂを得る。
明する。図１は欠陥検出を行う検出装置の概略構成を示
す斜視図、図２は側面図である。即ち、高周波蛍光灯１
と複数の２分割受光素子３が金属化フィルム２を挟んで
その幅方向に平行にそれぞれ反対側に対向するように設
置される。各２分割受光素子３と金属化フィルム２の間
に所定の長さと幅を有するスリット４ａを設けた遮光板
４が配される。この遮光板４に設けられたスリット４ａ
から各２分割受光素子３の二つの受光部３ａ，３ｂに入
射する光信号Ａ，Ｂを得る。
【０００９】幅６４０ｍｍ以下を有する金属化フィルム
２上には、例えば幅２５ｍｍの金属蒸着部２ａが幅５ｍ
ｍの非蒸着部（マージン部）２ｂを設けて１８条縞状に
形成されている（図では６条の場合を示す）。この実施
例では、金属化フィルム２の主に金属蒸着部２ａ上に存
在するピンホール状の欠陥および線状の欠陥を検出する
のである。金属化フィルム２は矢印で示す方向に高速で
移動しており、その移動速度は５０ｍ／分〜３００ｍ／
分である。
２上には、例えば幅２５ｍｍの金属蒸着部２ａが幅５ｍ
ｍの非蒸着部（マージン部）２ｂを設けて１８条縞状に
形成されている（図では６条の場合を示す）。この実施
例では、金属化フィルム２の主に金属蒸着部２ａ上に存
在するピンホール状の欠陥および線状の欠陥を検出する
のである。金属化フィルム２は矢印で示す方向に高速で
移動しており、その移動速度は５０ｍ／分〜３００ｍ／
分である。
【００１０】金属化フィルム２の上流側と下流側の二つ
の測定領域ａ，ｂを透過した光は、金属化フィルム２の
幅方向に設けられた遮光板４上の複数のスリット４ａを
通り、その各スリット４ａに対応する所定の距離に設け
られたの幅方向に２分割受光素子３の受光部３ａ，３ｂ
に到達する。金属化フィルム２上から受光部３ａに到達
する領域ａと受光部３ｂに到達する領域ｂとは金属化フ
ィルム２の流れ方向の上流側と下流側にずれた位置とな
る。これが測定領域ａ，ｂとなる。
の測定領域ａ，ｂを透過した光は、金属化フィルム２の
幅方向に設けられた遮光板４上の複数のスリット４ａを
通り、その各スリット４ａに対応する所定の距離に設け
られたの幅方向に２分割受光素子３の受光部３ａ，３ｂ
に到達する。金属化フィルム２上から受光部３ａに到達
する領域ａと受光部３ｂに到達する領域ｂとは金属化フ
ィルム２の流れ方向の上流側と下流側にずれた位置とな
る。これが測定領域ａ，ｂとなる。
【００１１】例えば、２分割受光素子３と遮光板４との
距離および金属化フィルム２と遮光板４との距離が３０
ｍｍと等しく、遮光板４に設けたスリット４ａの長さが
２０ｍｍであり、スリット幅，受光部３ａ，３ｂの各幅
並びに二つの受光部３ａ，３ｂの間隔がすべて０．２ｍ
ｍと等しい（即ち、受光部３ａ，３ｂのピッチが０．４
ｍｍ）とき、受光部３ａ，３ｂの長さはスリットの長さ
に比べて小さいので無視すれば、２分割受光素子３と遮
光板４との対で構成される金属化フィルム２上の二つの
測定領域ａ，ｂの長さは４０ｍｍ，測定領域ａ，ｂの各
幅は０．２ｍｍ，測定領域ａ，ｂのピッチは０．４ｍｍ
となる。金属化フィルム２の幅が６４０ｍｍのとき、幅
全域に測定領域ａ，ｂを設けるには、２分割受光素子と
遮光板との対を４０ｍｍのピッチで１６対配列すればよ
いことになる。
距離および金属化フィルム２と遮光板４との距離が３０
ｍｍと等しく、遮光板４に設けたスリット４ａの長さが
２０ｍｍであり、スリット幅，受光部３ａ，３ｂの各幅
並びに二つの受光部３ａ，３ｂの間隔がすべて０．２ｍ
ｍと等しい（即ち、受光部３ａ，３ｂのピッチが０．４
ｍｍ）とき、受光部３ａ，３ｂの長さはスリットの長さ
に比べて小さいので無視すれば、２分割受光素子３と遮
光板４との対で構成される金属化フィルム２上の二つの
測定領域ａ，ｂの長さは４０ｍｍ，測定領域ａ，ｂの各
幅は０．２ｍｍ，測定領域ａ，ｂのピッチは０．４ｍｍ
となる。金属化フィルム２の幅が６４０ｍｍのとき、幅
全域に測定領域ａ，ｂを設けるには、２分割受光素子と
遮光板との対を４０ｍｍのピッチで１６対配列すればよ
いことになる。
【００１２】この場合、測定幅を広げるための２分割受
光素子３と遮光板４との対をいくら配置しても、金属化
フィルム２と遮光板４との距離距離は常に３０ｍｍと極
めて小さな値でよい。このことは言い換えれば、遮光板
４と２分割受光素子３と（必要に応じて電子回路部）を
一体に構成すればその大きさは金属化フィルム２上の必
要な全検出領域の長さに関係なく、金属化フィルム２に
近接して構成することが可能であることを意味してい
る。また、この場合、高周波蛍光管１の径に比べ、測定
領域のピッチが十分小さいので、光源とセンサとの相対
位置の公差は極めて大きくなり、結果として設置時の精
密な位置の調整が不要となる。以後、一つの２分割受光
素子３とそれに対応する遮光板４のスリット４ａとによ
り構成される測定領域ａ，ｂについて説明していくこと
にする。
光素子３と遮光板４との対をいくら配置しても、金属化
フィルム２と遮光板４との距離距離は常に３０ｍｍと極
めて小さな値でよい。このことは言い換えれば、遮光板
４と２分割受光素子３と（必要に応じて電子回路部）を
一体に構成すればその大きさは金属化フィルム２上の必
要な全検出領域の長さに関係なく、金属化フィルム２に
近接して構成することが可能であることを意味してい
る。また、この場合、高周波蛍光管１の径に比べ、測定
領域のピッチが十分小さいので、光源とセンサとの相対
位置の公差は極めて大きくなり、結果として設置時の精
密な位置の調整が不要となる。以後、一つの２分割受光
素子３とそれに対応する遮光板４のスリット４ａとによ
り構成される測定領域ａ，ｂについて説明していくこと
にする。
【００１３】図３に金属化フィルム２の一部分の拡大図
を示す。金属化フィルム２の金属蒸着部２ａに例えば符
号５で示すピンホールが存在すると、金属化フィルム２
の流れ方向の上流側と下流側の位置の異なる測定領域
ａ，ｂを通過するときに光量の変化として捉えることが
できる。従って、二つの受光部３ａ，３ｂのそれぞれの
信号Ａ，Ｂの差信号Ａ−Ｂを利用することにより、図４
に拡大して示すような欠陥検出信号Ｏを得ることが可能
となる。ここで、Ｃはノイズ信号であり、Ｏが差信号で
ある。
を示す。金属化フィルム２の金属蒸着部２ａに例えば符
号５で示すピンホールが存在すると、金属化フィルム２
の流れ方向の上流側と下流側の位置の異なる測定領域
ａ，ｂを通過するときに光量の変化として捉えることが
できる。従って、二つの受光部３ａ，３ｂのそれぞれの
信号Ａ，Ｂの差信号Ａ−Ｂを利用することにより、図４
に拡大して示すような欠陥検出信号Ｏを得ることが可能
となる。ここで、Ｃはノイズ信号であり、Ｏが差信号で
ある。
【００１４】線状欠陥などの大欠陥の場合には、二つの
受光部３ａ，３ｂのそれぞれの信号Ａ，Ｂの和信号Ａ＋
Ｂを利用することにより、図５に示すような和信号Ｐが
得られる。これは測定領域ａ，ｂを透過する全光量であ
って、測定領域ａ，ｂに存在するマージン部２ｂの大き
さにより和信号Ｐは影響されるが、線状欠陥などの大欠
陥がなければ和信号Ｐは一定である。金属化フィルム２
の金属蒸着部２ａに存在する傷などの大欠陥があれば、
その欠陥が存在する位置からの和信号に更に傷などによ
る欠陥信号（Ａ＋Ｂの変化分）が付加されるので和信号
Ｐの変化量から検出することが可能となる。
受光部３ａ，３ｂのそれぞれの信号Ａ，Ｂの和信号Ａ＋
Ｂを利用することにより、図５に示すような和信号Ｐが
得られる。これは測定領域ａ，ｂを透過する全光量であ
って、測定領域ａ，ｂに存在するマージン部２ｂの大き
さにより和信号Ｐは影響されるが、線状欠陥などの大欠
陥がなければ和信号Ｐは一定である。金属化フィルム２
の金属蒸着部２ａに存在する傷などの大欠陥があれば、
その欠陥が存在する位置からの和信号に更に傷などによ
る欠陥信号（Ａ＋Ｂの変化分）が付加されるので和信号
Ｐの変化量から検出することが可能となる。
【００１５】上記差信号Ｏは、位置が若干ずれた測定領
域ａ，ｂからの光を二つの受光部３ａ，３ｂでそれぞれ
検出してそれぞれの信号を引き算しているので、外部か
ら光が入っても受光部３ａ，３ｂともに信号が変化する
ので、差信号Ｏは変化しない。このため、Ｓ／Ｎ比に優
れ、微小な欠陥も容易に検出することができる。この例
では、０．５ｍｍ×０．５ｍｍの微小な欠陥を検出する
ことができた。これに反し上記和信号Ｐは測定領域ａ，
ｂの全透過光量を与える信号であり、これは光量変化を
捉えているため、透明なマージン部２ｂを含んだり、強
い外乱光などがある場合にはこれらの影響を受けること
になる。従って、ノイズ信号は大きくなり微小欠陥の検
出はできず、大きな欠陥のみの検出となる。
域ａ，ｂからの光を二つの受光部３ａ，３ｂでそれぞれ
検出してそれぞれの信号を引き算しているので、外部か
ら光が入っても受光部３ａ，３ｂともに信号が変化する
ので、差信号Ｏは変化しない。このため、Ｓ／Ｎ比に優
れ、微小な欠陥も容易に検出することができる。この例
では、０．５ｍｍ×０．５ｍｍの微小な欠陥を検出する
ことができた。これに反し上記和信号Ｐは測定領域ａ，
ｂの全透過光量を与える信号であり、これは光量変化を
捉えているため、透明なマージン部２ｂを含んだり、強
い外乱光などがある場合にはこれらの影響を受けること
になる。従って、ノイズ信号は大きくなり微小欠陥の検
出はできず、大きな欠陥のみの検出となる。
【００１６】次に、第６図のブロック図に基づいて測定
方法を簡単に説明する。高周波蛍光灯１により照射され
た金属化フィルム２の移動方向に位置の異なる二つの測
定領域ａ，ｂを透過した光は、遮光板４のスリット４ａ
を通して２分割受光素子３の受光部３ａ，３ｂにより検
出される。この２分割受光素子３の受光部３ａ，３ｂか
らの信号は電流電圧変換器７で変換さる。一方の信号経
路であるＡ−Ｂはコンデンサを介して差動ＡＣ増幅器８
で差信号増幅し、コンデンサを介して交流分のみを比較
器１０に入力する。他方の信号経路であるＡ＋ＢはＤＣ
増幅器９により直流増幅された後コンデンサを介してそ
の変化成分が比較器１１に入ることになる。
方法を簡単に説明する。高周波蛍光灯１により照射され
た金属化フィルム２の移動方向に位置の異なる二つの測
定領域ａ，ｂを透過した光は、遮光板４のスリット４ａ
を通して２分割受光素子３の受光部３ａ，３ｂにより検
出される。この２分割受光素子３の受光部３ａ，３ｂか
らの信号は電流電圧変換器７で変換さる。一方の信号経
路であるＡ−Ｂはコンデンサを介して差動ＡＣ増幅器８
で差信号増幅し、コンデンサを介して交流分のみを比較
器１０に入力する。他方の信号経路であるＡ＋ＢはＤＣ
増幅器９により直流増幅された後コンデンサを介してそ
の変化成分が比較器１１に入ることになる。
【００１７】上記比較器１０，１１には、感度設定のた
めの電流電圧変換器１２，１３がそれぞれ接続されてい
て、これらで設定された値と２分割受光素子３の受光部
３ａ，３ｂからの信号Ａ−Ｂ，Ａ＋Ｂの変化分がそれぞ
れ比較され、設定値以上の検出値が入力された場合のみ
ピンホールなどの微小欠陥出力Ｑおよび線状の傷などの
大欠陥出力Ｒがそれぞれ出力されるように構成されてい
る。
めの電流電圧変換器１２，１３がそれぞれ接続されてい
て、これらで設定された値と２分割受光素子３の受光部
３ａ，３ｂからの信号Ａ−Ｂ，Ａ＋Ｂの変化分がそれぞ
れ比較され、設定値以上の検出値が入力された場合のみ
ピンホールなどの微小欠陥出力Ｑおよび線状の傷などの
大欠陥出力Ｒがそれぞれ出力されるように構成されてい
る。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したとおり、この発明のコンデ
ンサ用金属化フィルム欠陥検出方法によれば、高価なＣ
ＣＤを使用することなく簡単な２分割受光素子の差信号
および和信号を演算することにより確実に高速で移動す
る縞状に形成された金属化フィルムにおける金属蒸着部
の欠陥を検出することが可能となる。そして、光源およ
び検出器ともに細長い部材で構成されており、しかも近
接した取り付けが可能であり、スペースを取らないで容
易にスリッター装置のローラ間にも設置することが可能
である。従って、品質管理が極めて向上し、高精度の製
品を製造することができる。
ンサ用金属化フィルム欠陥検出方法によれば、高価なＣ
ＣＤを使用することなく簡単な２分割受光素子の差信号
および和信号を演算することにより確実に高速で移動す
る縞状に形成された金属化フィルムにおける金属蒸着部
の欠陥を検出することが可能となる。そして、光源およ
び検出器ともに細長い部材で構成されており、しかも近
接した取り付けが可能であり、スペースを取らないで容
易にスリッター装置のローラ間にも設置することが可能
である。従って、品質管理が極めて向上し、高精度の製
品を製造することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
Claims (1)
- 【請求項１】 金属化フィルムのシート面の片側に高周
波蛍光灯を配置し、これと対応する他方側に幅方向のス
リットを有する遮光板および流れ方向に配列された２分
割受光素子を配置し、上記高周波蛍光灯からの拡散光を
金属化フィルムに照射して、この金属化フィルムの流れ
方向の二つの測定領域からの透過した光を上記２分割受
光素子で受光するようにし、この二つの受光素子からの
信号Ａ，Ｂからの和信号Ａ＋Ｂおよび差信号Ａ−Ｂを演
算して出力させ、これによりコンデンサ用金属化フィル
ムの欠陥を検出するようにしたことを特徴とするコンデ
ンサ用金属化フィルム欠陥検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20420194A JP3349598B2 (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | コンデンサ用金属化フィルム欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20420194A JP3349598B2 (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | コンデンサ用金属化フィルム欠陥検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0850106A true JPH0850106A (ja) | 1996-02-20 |
| JP3349598B2 JP3349598B2 (ja) | 2002-11-25 |
Family
ID=16486512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20420194A Expired - Fee Related JP3349598B2 (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | コンデンサ用金属化フィルム欠陥検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3349598B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002280258A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 積層体の製造方法および製造装置 |
| JP2014130912A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミックコンデンサの方向識別方法、積層セラミックコンデンサの方向識別装置及び積層セラミックコンデンサの製造方法 |
| CN109738437A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-05-10 | 西安西电电力电容器有限责任公司 | 一种金属化薄膜电容器自愈点测量装置及方法 |
-
1994
- 1994-08-08 JP JP20420194A patent/JP3349598B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002280258A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 積層体の製造方法および製造装置 |
| JP2014130912A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミックコンデンサの方向識別方法、積層セラミックコンデンサの方向識別装置及び積層セラミックコンデンサの製造方法 |
| CN109738437A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-05-10 | 西安西电电力电容器有限责任公司 | 一种金属化薄膜电容器自愈点测量装置及方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3349598B2 (ja) | 2002-11-25 |
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