JPH0125311Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0125311Y2 JPH0125311Y2 JP1981156372U JP15637281U JPH0125311Y2 JP H0125311 Y2 JPH0125311 Y2 JP H0125311Y2 JP 1981156372 U JP1981156372 U JP 1981156372U JP 15637281 U JP15637281 U JP 15637281U JP H0125311 Y2 JPH0125311 Y2 JP H0125311Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection section
- output
- width
- comparator
- mask width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案の表面検査装置、特に被検体のエツジ部
をマスクするようにした被検体の表面検査装置に
関するものである。
をマスクするようにした被検体の表面検査装置に
関するものである。
一般に此の種の表面検査装置において被検体全
面を走査して検査するのが普通であるが合成樹脂
フイルム、板状体等のシートものを連続的に製造
してその欠陥を検査する場合効率的には、最終工
程で除去される部分は検査することなく、製品と
して使用する部分のみ検査することがよい。特に
感光性フイルムのように微小欠陥を探索する必要
のあるものにおいては不要部分のノイズをなるべ
く少なくして、精度を高める必要がある。そのた
めフイルム表面に感光性乳剤を塗布したものゝ検
査に際してはその両側端のエツジ部分は塗布ムラ
が多く、製品化に際して除去するのが一般的であ
る。
面を走査して検査するのが普通であるが合成樹脂
フイルム、板状体等のシートものを連続的に製造
してその欠陥を検査する場合効率的には、最終工
程で除去される部分は検査することなく、製品と
して使用する部分のみ検査することがよい。特に
感光性フイルムのように微小欠陥を探索する必要
のあるものにおいては不要部分のノイズをなるべ
く少なくして、精度を高める必要がある。そのた
めフイルム表面に感光性乳剤を塗布したものゝ検
査に際してはその両側端のエツジ部分は塗布ムラ
が多く、製品化に際して除去するのが一般的であ
る。
而して高速で搬送される被検体、例えばウエブ
は検査位置で蛇行（幅方向に偏位）するおそれが
あり、このとき両エツジの位置が変化する。従つ
てこのエツジ部の変位を検知して前記マスクの幅
もそれに応じて変える必要がある。
は検査位置で蛇行（幅方向に偏位）するおそれが
あり、このとき両エツジの位置が変化する。従つ
てこのエツジ部の変位を検知して前記マスクの幅
もそれに応じて変える必要がある。
然しながら従来のビデオ信号のレベル変化を検
出してマスクを行つていた装置ではその閾値によ
つてはマスク不良が生じたり、又はウエブ上の大
きな欠陥を検出した場合にビデオ信号が誤つてマ
スクされてしまう等の欠点があつた。
出してマスクを行つていた装置ではその閾値によ
つてはマスク不良が生じたり、又はウエブ上の大
きな欠陥を検出した場合にビデオ信号が誤つてマ
スクされてしまう等の欠点があつた。
本考案の表面検査装置はこのような欠点を除く
ようにしたものである。
ようにしたものである。
本考案の表面検査装置は長手方向に移動する被
検体の幅方向の位置を測定する手段と、この測定
手段の出力をデイジタル信号に変換し単位時間毎
に加算する手段と、多数のセンサーを被検体の幅
方向に並設して成り被検体の表面状態を検出する
ライン状検出部と、この検出部からの出力を位置
毎に取り出すアドレスカウンターと、コンパレー
タによつて前記加算手段の出力をマスク幅設定値
と比較する手段と、このコンパレータの比較結果
によつて前記ライン状検出部からのビデオ信号の
マスク幅を制御するためのマスク幅設定回路とよ
り成ることを特徴とする。
検体の幅方向の位置を測定する手段と、この測定
手段の出力をデイジタル信号に変換し単位時間毎
に加算する手段と、多数のセンサーを被検体の幅
方向に並設して成り被検体の表面状態を検出する
ライン状検出部と、この検出部からの出力を位置
毎に取り出すアドレスカウンターと、コンパレー
タによつて前記加算手段の出力をマスク幅設定値
と比較する手段と、このコンパレータの比較結果
によつて前記ライン状検出部からのビデオ信号の
マスク幅を制御するためのマスク幅設定回路とよ
り成ることを特徴とする。
上記長手方向に移動する被検体の幅方向の位置
を測定する手段は例えば被検体の蛇行に追従して
移動する追跡装置と、この追跡装置に連結した移
動鉄心を有する差動トランスとより成る。
を測定する手段は例えば被検体の蛇行に追従して
移動する追跡装置と、この追跡装置に連結した移
動鉄心を有する差動トランスとより成る。
以下図面によつて本考案の実施例を説明する。
第１図は表面検査装置における光学系を示し、
Ａは被検体を照明するタングステンランプでハロ
ゲンランプ等の光源である。Ｂは赤外線透過フイ
ルター、Ｃは光量を有効に用いる第１コンデンサ
レンズ、Ｄはシリンドリカルレンズ、Ｅは第２コ
ンデンサレンズ、Ｆは被検体を搬送するロール、
ＧはこのロールＦの表面を通る被検体でロールＦ
上を高速で搬送され、表面に塗布物を有するも
の、例えばウエブ、Ｈは１個の光源で照明される
被検査域、Ｉは被検体表面の傷等の欠陥箇所を表
し、Ｊは被検体Ｇの表面からの反射光を集光する
検出レンズ、Ｋは例えば多数のフオトエレメント
から構成されるCCD、フオトダイオードアレイ
等のライン状センサーより成る検出部を示し、こ
の検出部Ｋからは被検査域Ｈの欠陥箇所を見出し
たときに欠陥を示すビデオ信号が取り出される。
Ａは被検体を照明するタングステンランプでハロ
ゲンランプ等の光源である。Ｂは赤外線透過フイ
ルター、Ｃは光量を有効に用いる第１コンデンサ
レンズ、Ｄはシリンドリカルレンズ、Ｅは第２コ
ンデンサレンズ、Ｆは被検体を搬送するロール、
ＧはこのロールＦの表面を通る被検体でロールＦ
上を高速で搬送され、表面に塗布物を有するも
の、例えばウエブ、Ｈは１個の光源で照明される
被検査域、Ｉは被検体表面の傷等の欠陥箇所を表
し、Ｊは被検体Ｇの表面からの反射光を集光する
検出レンズ、Ｋは例えば多数のフオトエレメント
から構成されるCCD、フオトダイオードアレイ
等のライン状センサーより成る検出部を示し、こ
の検出部Ｋからは被検査域Ｈの欠陥箇所を見出し
たときに欠陥を示すビデオ信号が取り出される。
本考案においては第２図に示すようにウエブＧ
の蛇行に追従して移動する追跡装置１を設け、こ
の追跡装置１を支持する追跡装置支持台２に差動
トランス３の移動鉄心３ａを連結し、この差動ト
ランス３の固定コイル３ｂよりウエブＧの幅方向
位置をアナログ信号として取り出しこれを電圧―
周波数変換器４によりデイジタル信号に変換し、
これをカウンター５により単位時間（一定周期）
毎に加算して単位時間毎に平均蛇行量を求める。
の蛇行に追従して移動する追跡装置１を設け、こ
の追跡装置１を支持する追跡装置支持台２に差動
トランス３の移動鉄心３ａを連結し、この差動ト
ランス３の固定コイル３ｂよりウエブＧの幅方向
位置をアナログ信号として取り出しこれを電圧―
周波数変換器４によりデイジタル信号に変換し、
これをカウンター５により単位時間（一定周期）
毎に加算して単位時間毎に平均蛇行量を求める。
又、多数のセンサーをウエブＧの幅方向に並設
して成る検出部Ｋのライン状センサーの出力をア
ドレスカウンター６によつて位置毎に取り出すと
共に、前記ウエブＧの平均蛇行量を単位時間毎に
コンパレータ７によりマスク幅設定値８よりの設
定値と比較し、この比較結果に応じて、マスク幅
設定回路９を制御せしめ、前記比較結果に応じた
幅で検出部Ｋよりビデオ信号１０のエツジ部分１
１をマスクするようにする。
して成る検出部Ｋのライン状センサーの出力をア
ドレスカウンター６によつて位置毎に取り出すと
共に、前記ウエブＧの平均蛇行量を単位時間毎に
コンパレータ７によりマスク幅設定値８よりの設
定値と比較し、この比較結果に応じて、マスク幅
設定回路９を制御せしめ、前記比較結果に応じた
幅で検出部Ｋよりビデオ信号１０のエツジ部分１
１をマスクするようにする。
本考案装置によればビデオ信号の変化によらず
ウエブのエツジ位置信号のみを用いてエツジ部に
存在する雑情報、不要情報をマスクするので従来
の欠点を一掃でき、又設定値を変えることによつ
てマスク幅の変更を容易に行うことができ、更に
ウエブのエツジ位置信号をデイジタル信号に変換
して処理しているのでラインノイズに対する誤差
が少なく、これにより高速で移動する帯状物の検
査部を特定化し、不要部の検査を行わず精度を高
めることができる。更にマスク幅設定回路への入
力としてライン状センサーを駆動するために必要
となるアドレスカウンター６の出力をそのまゝ利
用でき装置が簡単となる等大きな利益がある。
ウエブのエツジ位置信号のみを用いてエツジ部に
存在する雑情報、不要情報をマスクするので従来
の欠点を一掃でき、又設定値を変えることによつ
てマスク幅の変更を容易に行うことができ、更に
ウエブのエツジ位置信号をデイジタル信号に変換
して処理しているのでラインノイズに対する誤差
が少なく、これにより高速で移動する帯状物の検
査部を特定化し、不要部の検査を行わず精度を高
めることができる。更にマスク幅設定回路への入
力としてライン状センサーを駆動するために必要
となるアドレスカウンター６の出力をそのまゝ利
用でき装置が簡単となる等大きな利益がある。
第１図は表面検査装置の光学系説明図、第２図
はその回路図である。 １……追跡装置、２……追跡装置支持台、３…
…差動トランス、３ａ……移動鉄心、３ｂ……固
定コイル、４……電圧―周波数変換器、５……カ
ウンター、６……アドレスカウンター、７……コ
ンパレータ、８……マスク幅設定器、９……マス
ク幅設定回路、１０……ビデオ信号、１１……エ
ツジ部分、Ａ……光源、Ｂ……赤外線透過フイル
ター、Ｃ……第１コンデンサレンズ、Ｄ……シリ
ンドリカルレンズ、Ｅ……第２コンデンサレン
ズ、Ｆ……ロール、Ｇ……ウエブ、Ｈ……被検査
域、Ｉ……欠陥箇所、Ｊ……検出レンズ、Ｋ……
検出部。
はその回路図である。 １……追跡装置、２……追跡装置支持台、３…
…差動トランス、３ａ……移動鉄心、３ｂ……固
定コイル、４……電圧―周波数変換器、５……カ
ウンター、６……アドレスカウンター、７……コ
ンパレータ、８……マスク幅設定器、９……マス
ク幅設定回路、１０……ビデオ信号、１１……エ
ツジ部分、Ａ……光源、Ｂ……赤外線透過フイル
ター、Ｃ……第１コンデンサレンズ、Ｄ……シリ
ンドリカルレンズ、Ｅ……第２コンデンサレン
ズ、Ｆ……ロール、Ｇ……ウエブ、Ｈ……被検査
域、Ｉ……欠陥箇所、Ｊ……検出レンズ、Ｋ……
検出部。
Claims (1)
- 長手方向に移動する被検体の幅方向の位置を測
定する手段と、この測定手段の出力をデジタル信
号に変換し単位時間毎に加算する手段と、多数の
センサーを被検体の幅方向に並設して成り被検体
の表面状態を検出するライン状検出部と、この検
出部からの出力を位置毎に取り出すアドレスカウ
ンターと、コンパレータによつて前記加算手段の
出力をマスク幅設定値と比較する手段と、このコ
ンパレータの比較結果によつて前記ライン状検出
部からのビデオ信号のマスク幅を制御するための
マスク幅設定回路とより成ることを特徴とする表
面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15637281U JPS5862252U (ja) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15637281U JPS5862252U (ja) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5862252U JPS5862252U (ja) | 1983-04-26 |
| JPH0125311Y2 true JPH0125311Y2 (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=29948915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15637281U Granted JPS5862252U (ja) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5862252U (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5434290A (en) * | 1977-08-22 | 1979-03-13 | Omron Tateisi Electronics Co | Defect inspecting apparatus |
| JPS5535276A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-12 | Nippon Steel Corp | Edge pin-hole detector |
| CA1127259A (en) * | 1978-10-19 | 1982-07-06 | Jean Burtin | Method and device for inspecting a moving sheet material for streaklike defects |
-
1981
- 1981-10-22 JP JP15637281U patent/JPS5862252U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5862252U (ja) | 1983-04-26 |
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