JPH08501768A - 酸化物粒子及びその製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、（ａ）水溶性３価セリウム塩と酸化剤から構成される水性溶液を形成することと、（ｂ）液体の状態にある前記混合物を４時間以上にわたりエイジングすることから成る、研磨作業に有用な、主としてCeO₂から成る、あるいは他の酸化物を伴ったCeO₂から成る化学的に活性を有する固形酸化粒子を調製する方法である。

Description

【発明の詳細な説明】酸化物粒子及びその製造法 発明の背景技術分野 本発明は研磨に有用な化学的に活性を有する主としてCeO₂またはCeO₂と他の酸 化物から成る固形酸化物粒子を調製する方法で、水溶性３価セリウム塩の水溶液 を酸化剤と混合する段階と、液体状の前記混合物を４時間以上にわたりエイジン グ（aging）する段階とを具備するものである。背景技術 本発明の粒子はガラスおよび他のシリカまたはシリコンを含有する物品の研磨 に有用である。研磨処理は回転する粘弾性パッドにより基質表面に圧着される小 さな固形磨耗粒子の懸濁による固形面の制御された磨耗から成る。原則的には、 任意の粒子のスラリーを表面を研磨するため用いることができるものの、実用的 には、経済的理由から十分に高い研磨速度を呈する特定種類の粒子のみが示され ている。化学的に活性を有する研磨コンパウンド（chemically active polish-i ng compounds）は酸化物の小範囲の種類、特にCeO₂、ZrO₂、Fe₂O₃およびSnO₂に 限定される。これら酸化物のうち、CeO₂は際立って最高の研磨活性を有し、市販 で入手できる大部分の研磨スラリーの好ましい基剤になっている。 上記酸化物は高研磨速度が観測される前に特定の活性シーケンスを必要とする ことが示されている。特に、すべての先行技術研磨コンパウンドが、か焼（cal- cination）、すなわち、所要の活性を生ずるため、酸化物の焼結点より下のある 温度で予め準備された固形粒子の焙焼を要する。か焼に対する部分的な理由が固 形の開始コンパウンド（例えば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩または硫酸塩）の 対応酸化物への変換であることが認識されているものの、その変換に直接関係し ない特定の焼結温度が研磨速度に顕著な効果を有することが立証されている。 研磨コンパウンドの製造では、か焼が一般的に実施されているものの、これに は幾つかの理由で欠点がある。第１に、場合によっては有毒性または腐食性を有 するガス状の副産物を生じる（CO、NOx、HF、SO₃）。第２に、か焼はエネルギー 集約的で、従って比較的高価である。第３に、炉環境への露出が耐火煉瓦または 環境漂積物による研磨コンパウンドの汚染につながり、異物によって擦り傷が形 成されて研磨性能が劣化する可能性がある。 か焼処理により生ずる最も顕著な間題は、最終生成物における擦り傷形成を防 止するのに十分に小さな粒子サイズ分布を生じるために、か焼後に生成物が粉砕 （mill）されなければならないことである。限界直径を上回る粒子は研磨された 面よりもむしろ擦り傷のある面を作る。このことは粗い研磨処理については余り 致命的ではないが、厳密な光学面、半導体ウェハおよび集積回路の生産には、粒 子サイズ分布が１ミクロンを下回る時にのみ達成できる、表面の欠陥が全く無い 状態が必要である。このような分布は、従来の粉砕技術によって生産することが 極めて困難であり、多くの場合、経済的に実現が不可能である。 今日までのところ、溶液から直接に固形酸化物を生産することが示された唯一 の技術は水熱合成（hydrothermal synthesis）である。この処理では、塊状（am orphous）金属含水酸化物が高温高圧で、さまざまな時間にわたって保持されて 、最終溶液で固形酸化物の小粒子を生ずる。この処理はアメリカ特許第4,619,81 7号におけるように構造用セラミックスにおいてその使用が広範囲に調査されて きたものの、研磨コンパウンドを調製する際のその有用性の示唆は全くなされて いない。今日までのところ、２件の刊行物のみが水熱合成によってCeO₂粒子を調 製する方法を開示しているにすぎない。これらを以下に示す。 ツ（Hsu）他（Langmuir vol. 4, pp.31-7, 1988）においては、低pH（0.5-2.0 ）におけるセリウム硫酸塩の極端に希釈された（10^-4モル濃度）溶液を90℃でエ イジングして、さまざまな量の硫酸塩の混じった立方結晶CeO₂のサブミクロン粒 子を得ている。研磨活性の評価は全くなされなかった。極端に低い開始濃度がこ のような合成を経済的に実現不可能にしている。 グラール−マドセン（Grahl-Madsen）及びライマン（Riman）（Proc．3rd Int ．Conf．on Ceramic Powder Science，pp．33-40，1990）においては、水熱合成 によって調製されたジルコニウム酸化粉末へのセリウムの導入が記載されている 。３価セリウム塩、Ce（NO₃）₃、が１モル濃度のZr（NO₃）₂*XH₂Oの基本溶液（p H9.5）に添加されてゲルを形成し、それが次いでさまざまな時間にわたり水熱状 態（250 ℃の閉止セル）にさらされ、それによりゲルを結晶酸化生成物に変形した。純粋 セリウム酸化物がCe（NO₃）₃の極限希釈（0.016M）開始溶液を用いて調製された 。立方結晶の非化学量的（non-stoichiometric）なCeO₂生成物で、40nmの主要結 晶子サイズを有するものが生成された。提案された反応メカニズムは、塊状含水 酸化ゲル前駆物質（precursor）の固形結晶酸化生成物への水熱変形であった。 研磨データは開示されなかった。 上記から、高溶液濃度の溶液から直接に適切なサイズと研磨活性を有する固形 酸化研磨コンパウンドを生成する技術が、極めて望ましいことは明らかである。 現在のところ生産に必要な製造工程の殆どすべてが省略できるからである。 発明の説明 本発明の方法は主として水中における３価セリウムの水溶塩（例えばCe（NO₃ ）₃）から成り、酸化剤を伴う溶液を調製する段階と、その溶液を開始材料を固 形酸化物のサブミクロン粒子に転換するに十分な時間にわたりエイジングする段 階とから構成される。予想外なことに、水自体が下記の反応に従う十分な酸化剤 となることが示されている。 しかしながら、他の酸化剤、特に過酸化水素を加えて下記の反応メカニズムを 得ることができる。 エイジングにおける反応生成物としての水素とプロトン双方の形成が、本発明 の合成の特性である。任意に、遊離水素に反応する塩基、緩衝剤または物質を加 えて反応の経過をさらに改変することもできる。形成されるプロトンを中性化し 、それにより反応を右側に駆動することでCeO₂の収量を改善し、反応の間に酸化 還元平衡を改変することで、結果として生じる生成物のCe³⁺／Ce⁴⁺比率を改変し 、水素を反応させるか燃焼させることで遊離水素反応生成物の形成による火炎ま たは爆発の可能性を除去し、或いは酸化物への転換完了に続き、再度反応生成物 に おけるプロトン濃度を制御することでさまざなpHの溶液を生じせしめることがで きる。 本発明のさらなる特徴は、任意に、本発明の生成物を新しい３価塩溶液を用い て再処理し、それにより単一工程の合成で生成され得るよりもかなり大きな結晶 を生成できることにある。このことは、例えば、研削研磨材等の種々の用途用に 、様々な粒子サイズを生ずることを可能にする。 本発明の他の特徴は、任意に、水性溶液に非セリウムコンパウンドを添加し、 それによりZrO₂、Fe₂O₃およびSnO₂のような他の酸化物の粒子がCeO₂粒子と共に 形成され得ることにある。 外見的には類似するものの、本発明はグラール−マドソン及びライマン（Grah l-Madsen and Rimaｎ）により示されたメカニズムと実質的に異なる。グラール −マドソン及びライマンは、それにより初期塊状Ce⁴⁺含水酸化物ゲルが250℃以 上の高温高圧への露出により結晶酸化物へ転換されるメカニズムを提案している 。これとは対照的に、我々は、反応メカニズムが実質的により複雑で、結晶酸化 物が生成されるにつれて水素ガスの生成をもたらす顕著な酸化還元反応から成る ことを示している。反応の酸化還元特性の認識が、上述したような多くの追加的 な微細処理を可能にしている。合成の間における制御された非化学量の導入が、 結果として生ずる結晶において研磨活性に確実な影響を及ぼすものと考えられる 効果である、格子欠陥の制御されたレベルの形成をもたらすため、結晶化学量を 制御する能力が特に重要であると考えられる。従って、非化学量の制御が、結果 として生ずる生成物における研磨均一性の制御を可能にする筈である。結晶CeO₂ の高収量を室温または水の沸点より遥か下の温度で生ずることができ、固形酸化 物の実用的な合成をかなり容易に、かつ経済的にしている。 例 次の例における溶液の乾燥は、周囲の温度および圧力で行われた。 〔例１〕試薬等級のCe（NO₃）₃、脱イオン水および28%NH₄OHを用いて、0.06モル と0.12モルのCe（NO₃）₃を有する溶液が準備された。pHは28%NH₄OHで約 9.5に調整された。閉止された容器中での210-250℃における２４時間にわたる反 応の後、透過電子顕微鏡法によって平均結晶サイズが測定され、0.06モル溶液に ついて約30nm、0.12モル溶液について約50nmの結果が得られた。双方の溶液が灰 色がかった白色（off-white）のスラリーを生じ、それが乾燥後に淡い褐色の粉 末になった。研磨試験は重量比で１％の固形物を有する２つのスラリーの組み合 わせを用いて実施された。試験はSiO₂において約1000オングストローム／分の除 去率を示した。 〔例２〕15mlの28%NH₄OHおよび脱イオン水を用いて、0.06モルのCe（NO₃）₃を有 する70mlの溶液が準備された。閉止された容器中での150℃における２４時間に わたる反応の後、灰色かがった白色のスラリーが生じ、それが乾燥後に淡い褐色 の粉末になった。平均結晶サイズは約40nmであった。 〔例３〕例２と同様に溶液が準備され、例２における150℃に代えて75℃の反応 温度に保たれた。Ｘ線回折パターンの測定によると、２種類の異なる結晶相が形 成されていた。その大部分が立方結晶酸化セリウム相であり、小さな未確認相も 形成されていた。未確認相は200℃の２４時間にわたる追加反応後に消滅した。 灰色かがった白色のスラリーが形成され、それが乾燥後に淡い褐色の粉末になっ た。平均粒子サイズは追加反応の前後で約100nmであった。モルによる生成物の 収量対開始材料のモルは90％より大であった。 ［例４〕例２と同様に溶液が準備され、Ce（III）溶液の濃度が0.12モルに倍増 された。この溶液が105℃の温度で２４時間にわたり反応に供された。立方結晶 相の酸化セリウムのみが、灰色かがった白色のスラリーの生成物のなかに、また は乾燥して形成された淡い褐色の粉末のなかに検出された。ここでも、モルによ る生成物の収量対開始材料のモルは90%より大であった。 ［例５〕H₂O₂がセリウム塩溶液で酸化剤として使用された時、CeO₂の結晶が室温 で形成された。３mlの30%H₂O₂が30mlの脱イオン水で希釈され、0.06モ ルのCe（NO₃）₃と混合された後に、pHが20mlの28%NH₄OHで調整されて70ml溶液を 形成した時、混合液は熱と泡を発生して濃い褐色溶液となった。４時間のエイジ ング後、乾燥時に溶液から形成された粉末が約７nmの平均結晶サイズを示した。 〔例６〕例５の溶液と同様の溶液が閉止された容器中で150℃において２４時間 にわたり反応に供された時、その結果生じた粉末は立方結晶相のクリーム色かが った黄色を呈し、約12nmの平均結晶サイズを有した。モルによる生成物の収量対 開始材料のモルは95%より大であった。 〔例７〕150℃において２４時間にわたり反応に供された0.06モルの３価セリウ ム溶液から得られた酸化セリウムスラリーが追加反応の種子粒子として用いられ た。種子の結晶サイズは10から30nmの範囲にわたった。種子粒子のスラリーを28 %NH₄OHを用いて中和させ、溶液pHが約７になるまで洗浄した。種子粒子のスラリ ーが次いで30mlの脱イオン水、0.06モルの３価セリウム塩及び15mlの28%NH₄OHを 用いて、準備された３価セリウム溶液と混合され、110℃の反応温度で２４時間 保持された。その結果生じたスラリーは灰色かがった白色で、乾燥すると淡い褐 色の粉末になった。得られた粒子は立方結晶相のもので、100nmより大きい平均 結晶サイズを示した。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．（ａ）水溶性３価セリウム塩と酸化剤から構成される水性溶液を形成するこ とと、（ｂ）前記溶液を液体相で前記３価セリウム塩が酸化して化学的に活性を 有する固形CeO₂粒子に変化する４時間以上にわたりエイジングすることから成る 、研磨作業に有用な化学的に活性を有する固形CeO₂粒子を調製する方法。 ２．前記酸化剤が水から成り、前記エイジングが100℃以上の温度で行われるこ とを特徴とする請求項１記載の方法。 ３．前記酸化剤が過酸化水素から成るものであることを特徴とする請求項１記載 の方法。 ４．塩基または緩衝剤がエイジング前に前記溶液に加えられることを特徴とする 請求項１記載の方法。 ５．前記水溶性３価セリウム塩がCe（NO₃）₃であることを特徴とする請求項１記 載の方法。 ６．セリウムコンパウド以外の塩または塩類がエイジング前に前記溶液に加えら れて、調製された粒子が酸化物の混合物であるようにしたことを特徴とする請求 項１乃至５記載の方法。 ７．請求項１乃至５の方法により生成されたサブミクロン粒子。 ８．セリウムコンパウンド以外の塩または塩類がエイジング前に前記溶液に加え られて、調製された粒子が酸化物の混合物であるようにした請求項１乃至５の方 法により生成されたサブミクロン粒子。