JPH08508964A - 主に無機物質のプラズマ補助堆積による不活性又は不浸透性内部表面を有する中空容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 プラスチック又は金属容器内側への非常に薄い内部表面コーティングのプラズマ補助堆積は、不溶性で不活性な無機物質例えばシリカ、若しくは不溶性金属酸化物を使用して、又は物質の例えば金属、金属酸化物、金属塩及び炭素及び／若しくは有機基の混合物を使用して柔軟な構造体若しくは格子を生成させることによって、又はこのような構造体の異なる層を使用することによって達成される。それは、排気された囲いの中に容器を位置付けること、所定のコンスティチュエンシの不活性無機物質を含む蒸発器を容器の内側に置くこと、前記物質の蒸気を発生させること、前記蒸気のプラズマを生成させること、及び前記容器の内側表面の所定の領域を覆って前記物質の比較的薄いコーティングを堆積させることを含み、これによって、前記コーティングの粒子の高温は、それらの熱エネルギーに起因して前記表面に侵入するが、一方低い質量流量のために表面温度の総合的上昇を引き起こさない。

Description

【発明の詳細な説明】 主に無機物質のプラズマ補助堆積による 不活性又は不浸透性内部表面を有する中空容器 発明の背景 本発明は、全体としては、不活性又は不浸透性、即ちガラス状内部表面を有す る中空容器に関し、そして更に詳細には、一種又は数種の不活性無機物質、又は 物質の層、例えばシリカ又は耐食性金属酸化物又は金属から主に成り、そして必 要な場合には付加的な弾性を与えるために炭素又は有機成分を含むことができる 薄い内部コーティングのプラズマ補助の付与によって製造されるこのような容器 に関する。 プラスチック及び金属容器は、容易な取り扱い、軽い重量及び非破壊性が必要 とされる場合の多くの応用においてガラスに置き換わってきた。金属を使用する 場合には、詰められた内容物と金属との接触を回避するために、容器の内部金属 表面を、しばしば、ポリマーによってコートしなければならない。それ故、プラ スチックパッケージの場合には、そしてまた多くの金属容器の場合にも、詰めら れた内容物との接触表面はポリマーである。今日までのポリマーは、ガラスの不 活性さとは異なる詰められた内容物に対する種々の程度の不活性さを有してきた 。食品パッケージの場合には、表面の不活性さは、パッケージング材料成分の食 品中への潜在的な脱着を減らすことを、香り吸収を防止することを、食品構成成 分のパッケージの壁を通っての損失を回避することを、そしてパッケージの外側 からの空気又はその他の物質の進入を回避することを助ける。不活性さのこれら のすべての特徴は、プラスチック容器に当てはまる。しかしながら、これらの特 徴の幾つかはまた、プラスチック又 はラッカーシステムによって内部的にコートされた金属容器にも当てはまる。 再充填可能なプラスチックパッケージは、これらのパッケージが洗浄及び再充 填に耐えなければならないので、不活性さの要件に別の要素を加える。このよう な容器は、接触物質例えば洗剤又は容器中に貯蔵される異種物質を吸収してはな らない。 リサイクルは、大量に製造されるパッケージに関するなおもう一つの要素であ る。同じ目的のためのリサイクルされたプラスチックの再使用、即ち新しい容器 を製造すること（“閉ループ”リサイクル）は、多くの注目を引いた事項であり 、そしてＰＥＴに関しては、これは、今日まで、リサイクルされた物質を解重合 させて、さもなければ移動しそして容器内容物と接触する可能性があるすべての 痕跡の汚染物をそれから無くすことによって達成されてきた。本発明の目的であ る不浸透性内部層は、リサイクルされた物質を新しい容器のために直接に、即ち 特別な処理例えば解重合なしに再使用することを可能にするであろう。何故なら ば、痕跡の異種物質は、もはや容器の内容物と接触し得ないであろうからである 。これは、解重合に対する必要性を取り除くことによって“閉ループ”リサイク ルプロセスをかなり簡略化するであろう。 更にまた、確立されたリサイクルシステム、“開ループ”即ち他の用途のため のリサイクル、又は“閉ループ”即ち同じ目的のための再使用の両方の中のリサ イクル性が、大量に製造されるパッケージにとっては必要である。“開ループ” システムにおいては、通常の方法は、プラスチックを分別し、清掃しそして小さ なフレークにぶち切ることである。次に、フレークを溶融しそして他の物体を成 形するために、又は繊維製 造のために使用する。この形態のリサイクルのためには、主なプラスチック、例 えばコーティングに対するすべての汚染物が効果的には無視できる量でしか存在 してはならないことそして、好ましくは、固体でかつ溶融されたプラスチック内 に不溶性でなければならず、その結果敏感な応用、例えば繊維製造に先立ってそ れを濾別することができることが重要である。ＰＥＴはまた解重合によって“閉 ループ”中でリサイクルされるが、コーティング物質がこのプロセスによって不 変であり、プロセスから生成するモノマー中に不溶性であり、そしてこれらのモ ノマーから容易に分離可能であるべきであることが重要である。不活性の薄い無 機コーティングはこれらの基準を満たす。 炭酸飲料のために利用されるパッケージはまた、加圧されそして取り扱いにお けるかなりの機械的応力に耐えなければならない。それ故、単一の物質が必要な 機械的安定性及び必要とされる不活性さを供給することは困難である。炭酸飲料 のための現在のプラスチックパッケージは、単一の物質例えばポリエチレンテレ フタレート（ＰＥＴ）から成るか、又は多層構造体から成り、そこで中央層が通 常は障壁特性を与えそして外側層が機械的強度特性を与えるかのどちらかである 。このような容器は、典型的には、同時射出成形又は同時押出成形のどちらかに よって製造される。 今日までのところ、不浸透性で密な“ガラス状”内部表面を有するプラスチッ ク容器を、従来の方法によって製造することはできなかった。先行技術は、典型 的には、酸化ケイ素又は窒化ケイ素を使用するプラスチックフィルムのコーティ ングから成る。しかしながら、ボトル若しくはカンの内側を満足にコートするた めの、又は上で述べた程度の表面不 活性さを与えるための方法は出現しなかった。 発明の要約 従って、本発明の一つの目的は、プラスチック又は金属容器のための、しかし 特に炭酸飲料のために使用される再充填可能なプラスチック容器のための、そし て以下の特性を有する内部コーティング又は層を供給することである：極性及び 無極性物質に対するガラス状不浸透性；圧力下で容器の壁が曲がる又は伸びる時 そして壁にぎざぎざを付ける時の両方の時にコーティング元の姿を維持するよう な弾性；例えば充填、注ぎ又は通常の使用の間に、容器の内部表面がこすられ、 すられ又は摩擦される時の、機能寿命の間の適切な耐久性及び接着性；透明なプ ラスチック容器の外観に影響を与えないような良好な透明性；炭酸飲料のための 再充填可能な容器の場合には高い／低いｐＨに対する耐性；内容物のための食品 例えば飲料との安全な接触；並びに悪い影響なしの容器物質のリサイクル性。 本発明の上述のそしてその他の目的は、不溶性で不活性な無機物質例えばシリ カ、若しくは不溶性金属酸化物を使用する、又は物質の例えば金属、金属酸化物 、金属塩及び炭素及び／若しくは有機基の混合物を使用して柔軟な構造体若しく は格子を生成させることによる、又はこのような構造体の異なる層を使用するこ とによる、プラスチック又は金属容器中の非常に薄い、典型的には１０〜２５０ ｎｍの内部表面コーティングのプラズマ補助堆積のための方法及び装置によって 満たされる。非常に高い温度でだけ蒸発させることができるコーティング物質に よる温度に敏感なプラスチック容器のコーティングを可能にするために、本発明 は、プラスチック基体表面温度の受け入れられない上昇なしのコーティ ングを提供する。プラズマ補助は、プラスチック基体表面の下へのコーティング の侵入、又はコーティングと基体の間の良好な接着のためのフリーラジカルの生 成を可能にする。 更にまた、本明細書中で述べる方法は、コーティングが始まる前の、付加的な フリーラジカル生成及び表面清掃のための表面前処理を、これが接着を改善する ために必要である場合には、可能にする。更に、以下に述べる方法は、堆積され かくして格子を形成する物質の混合物を提供するが、この格子は、その種々の組 成のお陰で、不浸透性、柔軟性、接着性、不活性、透明性及び耐久性の完全な範 囲の高品質要件を与えることができる。 表面に対するプラズマ粒子の約９０°の進入角を与えそして表面に対してプラ ズマソースを動かす堆積の形態は、表面の不完全さ／非平坦さがガス包含又は多 孔性を導く可能性があることを回避するのを助け、そしてまた平坦で密な堆積を 製造するためにプラズマエネルギーを十分に効果的に使用する。これは、付加的 に、速度又は堆積のそしてプラズマ品質の制御によって、不活性ガスの包含によ って補助される。 本明細書中で述べる方法はまた、一次構造体又は表面格子を更なる異なる構造 体によってコートすることによってガス包含及び多孔性を回避することができる ことを可能にする。何故ならば、これらは、元の格子が、その固有の基礎の上に 築く傾向があることによって時々残すギャップを充填するようにデザインするこ とができるからである。更にまた、以下に述べる装置は、必要な場合には、堆積 の表面を再配列しそしてガス包含を更に減らすための、適切な不活性又は反応性 ガスによる後処理を可能にする。柔軟性及び透明性は、非常に薄い堆積を制御さ れたやり 方で付与することによって確保される。 本発明による容器の内部表面をコートする方法は、（ａ）排気された囲い中に 容器を位置付けるステップ、（ｂ）所定のコンスティチュエンシ（ｃｏｎｓｔｉ ｔｕｅｎｃｙ）の一種以上の不活性無機物質を含む一個以上の蒸発器を容器の内 側に置くステップ、（ｃ）前記物質の蒸気を生成させるステップ、（ｄ）前記蒸 気のプラズマを発生させるステップ、及び（ｅ）前記容器の内側表面の所定の領 域を覆って前記物質の比較的薄いコーティングを堆積させるステップを含んで成 り、これによって、前記コーティングの粒子の高温がそれらの熱エネルギーのた めに前記表面に侵入し、一方低い質量流量のために表面温度の総合的上昇を引き 起こさない。 上で述べた方法のステップを実施するための装置は、（ｂ）真空室、（ｃ）所 定のコンスティチュエンシの不活性無機物質を含む一個の蒸発器又は複数の蒸発 器、（ｄ）蒸発器を容器内側に挿入しそしてそこから取り出すための手段、（ｅ ）蒸発器を容器内側のまま動かすための手段、（ｆ）蒸発器を刺激するための手 段、（ｇ）ガス又はガスの混合物を容器中に導入するための手段、及び（ｈ）蒸 発器中で生成された蒸気及び／又は前記ガス又はそれらの混合物のプラズマを発 生させるための手段を含んで成る（ａ）温度に敏感な容器の内部表面をコートす るための装置を含んで成る。 図面の簡単な説明 本発明は、本明細書中で以下に与えられる詳細な説明及び添付図面から一層容 易に理解されるであろうが、これらは例示のためにだけ与えられ、そしてかくし て、本発明を限定しない。図面において、 図１は、本発明を広く例示する電気機械略図であり、 図２Ａは、図１中に示された、そして自由流動性粉末を取り扱うために使用可 能である蒸発器デバイスの一つの態様の中心縦断面図であり、 図２Ｂ及び２Ｃは、図１中に示された、そしてある種の粉末及び低いコーティ ング重量のために使用可能である蒸発器デバイスのもう一つの態様の側面図及び 中心断面図であり、 図２Ｄ及び２Ｅは、図１中に示された、そしてまたある種の粉末及び低いコー ティング重量のために使用可能である蒸発器デバイスの別の態様の正面図及び側 面図であり、 図２Ｆ及び２Ｇは、図１中に示された、そして一種よりも多い物質の別々の蒸 発のために使用可能である蒸発器の正面図及び側面図であり、 図３Ａ及び３Ｂは、図２Ａ中に示されたそれぞれ坩堝及びそのための内部容器 の斜視図及び平面図であり、 図４Ａは、本発明の好ましい態様の中心縦断面図であり、 図４Ｂ及び４Ｃは、図４Ａ中に示された装置の変形の部分中心縦断面図であり 、 図５は、図２〜４中に示された装置によって実施される方法を示す図であり、 そして 図６は、本発明による変形された方法を示す図である。 発明の詳細な説明 図１は、本発明の基本的な態様を示し、そして温度に敏感である中空容器、特 にＰＥＴ容器をコートするためのシステムを描写する。 示したように、高真空囲い１は、コートされるべき容器２を囲う。コーティン グ物質、例えば酸化ケイ素、窒化ケイ素又は金属は、容器２内 の蒸発器３中に置かれる。ガス混合物、例えば酸素及び不活性ガス例えばアルゴ ンを供給するためのガス供給カップリング１６は、蒸発器３に接続される。ガス は、フレキシブルチューブ５及びフレキシブルではないチューブ４によって蒸発 器３に導かれる。蒸発器３は、配線６によって蒸発器に連結されているＤＣ電源 ７によって作動される。電源７は、必要とされる蒸発速度を与えるように更に制 御される。 良好なコーティング分布を供給するためにそして容器２の形及び／又はサイズ に依存して、蒸発器３は容器２内で上に又は下に動かすことができ、そして典型 的には３０°〜９０°の間を回転させることができる。この動きは、単純なソレ ノイド８、及び固定螺旋１０とかみ合う回転螺旋１１が取り付けられている押棒 ９を含む押し道具機構によって与えられる。 蒸発器３によって製造された蒸気は、容器２及び真空囲い１の外側の高周波数 １３に接続された電極１２に高周波数電位を付加することによって刺激されてプ ラズマを発生させる。より良いエネルギー利用及びより大きな程度のプラズマ発 生を可能にする別の態様は、高周波発生機１３の一つの末端を押棒９を経由して フレキシブルではない（金属）チューブ４に接続し、かくして電極１２の一つと プラズマとの直接の接触を可能にすることである。非常に低い圧力でのプラズマ 発生を可能にする別の態様は、チューブ４を高いＤＣ電位に接続しそして囲い２ を接地することによって負の末端を供給し、その結果二つの末端の間の放電がプ ラズマを生成させることである。このようにして発生されたプラズマは、次に、 容器２の内部表面の上に堆積する。ガス供給が必要とされる場合には、このガス もまたプラズマ中に生成されることができ、そして蒸 発器３からの蒸気と反応して、蒸発されている物質のものとは異なるコーティン グ組成を与えるであろう。更にまた、ガスを発生させて、蒸発器３が刺激されそ してコーティング堆積が始まる前にコートされるべき表面を清掃及び／又は調整 するために使用されるプラズマを生成させることができる。 また真空囲い１の外側に位置付けられたマイクロ波発生機１４は、所望の時に は、高周波発生機１３の代わりに使用することができる。真空囲い１はまた、図 示しない真空供給のためのカップリング１５を含む。典型的には、１０^-1ｍｂａ ｒ〜１０^-5ｍｂａｒの真空ソースが利用される。容器開口を密封しそして第二真 空ソース１８に接続されているアダプター１７によって容器２の内側に別の真空 を発生させることができる。これは、システムが容器２の内側と外側の両方で理 想的な真空条件を維持することを可能にする。特に、それは、囲い１に外部から 付与されるプラズマ発生エネルギーが、それが必要とされるところの容器２の内 部だけで利用されそして容器２の外側に散らされないことを可能にする。これは 、容器２内のプラズマ発生の程度にそしてかくして堆積の品質に影響を与える要 因である。また、容器２の外側のプラズマ発生を回避することは、容器２の外部 表面の上のあり得る望ましくない表面変化を排除する。 蒸発器３は、高い温度で、典型的には蒸発される物質の昇華又は蒸発温度で運 転する。このエネルギーは、最小に減らされそして容器２の表面を加熱すること を回避するために閉じ込められなければならない。エネルギーは、物質の選択に よって、放射反射遮蔽によって、そして蒸発の速度を減らすことによって減らさ れる。ある種の物質は低い温度で昇 華し、一方ある種の物質は高い温度においてだけ蒸発する。エネルギーは冷却に よって閉じ込められる。この態様においては、冷却は、コネクター１６に供給さ れるガスによって及び／又はコネクター３９及び４０を経由して供給される冷却 水によって行われる。蒸発冷却もまた、基本的には同じ水コネクター３９及び４ ０を使用して可能である。 この時点までに述べた技術は、高温蒸気、例えばシリカ、ガラス及び金属の熱 に敏感な表面の上への堆積を表面温度を上げることなく可能にする。何故ならば 、高真空が表面での熱束を減らすからである。しかしながら、個々の粒子の高い 温度、及び粒子が９０°の角度近くで表面に接近するようなプラスチック表面に 対する蒸発器の位置付けが、それらがプラスチック表面中に侵入しそして“埋め られ”、かくして物質例えば、どちらも他のものに対して通常は親和力を持たな いプラスチック及びシリカの間に良好な接着を与えることを可能にする。非常に 薄いコーティング付与（１０〜２５０ｎｍ）は、使用されるコーティング物質が 脆い、例えばシリカ又はガラスの時でさえ柔軟性を可能にする。薄いコーティン グはまた、物質が通常は不透明である時でさえ透明性を保証する。プラスチック 表面の侵入に起因するコーティングの良好な接着は、壁の曲がりにも拘わらずコ ーティングの本来の姿を可能にする。それ故、このシステムは、曲がり、接着、 透明性そしてなかんずく、適用温度の問題のためにこれまでそれらに付与するこ とができなかったコーティング物質によってプラスチック容器をコートすること を可能にする。 上述のことは、コーティングの本来の姿を最適化する観点で述べられそして以 下の条件を与える能力を有する：蒸発器を動かしそして回転させることによる容 器全体の表面にわたるコーティングの平坦さ；影の領 域において“くま取り”及び貧弱なコーティングを引き起こす可能性がある表面 の不完全さを回避すること（蒸発器の動きによって達成される）；高度に反応性 のプラズマを、それをガス供給入り口において導入する前に、製造することによ って、そして蒸発速度の制御を与えることによってガス包含を回避すること；ガ スプラズマを使用して表面を予備清掃することによってほこり包含を回避するこ と；容器の表面を前処理して、表面がポリマーである場合には、フリーラジカル を誘発することによって剥離を回避すること；蒸発器を冷却することによって容 器に対する熱損傷、例えば溶融／収縮を回避すること；並びに最善のプラズマ補 助条件を与えるために容器の内側及び外側の圧力の別々の制御を確保すること。 さて図２Ａ並びに図３Ａ及び３Ｂを参照して説明すると、蒸発器３の詳細がそ こに示されている。図３Ａ及び３Ｂ中により詳細に示された坩堝２６は、内部チ ューブ２０と電気的に接触し、そしてクリップ３０によって外部チューブ３１に 固定されている。電気的接触は坩堝２６の内部容器２３、２４によって為され、 そして坩堝２６は今度はリベット２９によって外部容器５１に取り付けられてい る。坩堝２６の内部容器２３は、蒸気の外向き流れを可能にする垂直なスロット 又はベント２５を有する。坩堝２６の外部容器５１もまた、蒸気の外向き流れを 可能にする垂直なスロット２７及び水平なスロット２８を有する。かくして、こ れらのスロットは、蒸気をすべての方向に均等に分配するように位置付けること ができる。 坩堝２６及び内部チューブ２０は、図２Ａ中に示したように、蒸発されそして 堆積されるべき物質２１で満たされる。内部チューブ２０は、 その底２２で細くされ、その結果制御された流れ及び量の物質２１を坩堝２６の 底の中に供給する。内部チューブ２０は、非電気伝導性ピン３２によって外部チ ューブから分離されそしてそれに固定されている。内部チューブ２０のトップは 、内部チューブ２０と良好な熱的及び電気的接触をする冷却水分配器４３を有す る。冷却水分配器４３は冷却水接続パイプ４１及び４２中に差し込まれているが 、この接続は締り嵌め非伝導性スリーブ４４による。分配器４３はまたＤＣ電力 コネクター４５を含む。外部チューブ３１は、内部チューブ２０、冷却水分配器 ４３及び坩堝２６と一緒に、容易に引き出すか、又は継手３３に対して圧力によ って置き換えることができ、そしてばねクリップ３４によって所定の位置に保持 される単一のユニットを形成する。かくして、この単一のユニットは、取り外し 、清掃し、物質２１を再充填しそして必要に応じて置き換えることができる。ト ップ継手３３は、冷却水のための流れパイプ３７及び３８、ガス入り口パイプ４ 及び押棒９を含む。坩堝２６のための材料は、蒸発されるべき物質２１に従って 選ばれ、そして高温に耐えるが、典型的な例はタングステン及びモリブデンであ る。 さて図２Ｂ及び２Ｃを参照して説明すると、それらは、ある種の粉末のために 使用可能である蒸発器３の一つの簡単な変形例の２つの図を示す。内部容器２３ は、今度は、図２Ｂによって示されたような形の、簡単な折り畳まれた金属スト リップである。蒸発されるべき物質２１は、この折り畳まれたストリップのボト ムの中空カップタイプ領域中に置かれる。押棒９、フレキシブルチューブ５を経 由するガス供給及び電力供給６は、既に述べられたようである。 図２Ｄ及び２Ｅは、例えば金属片のために使用可能である蒸発器３の 一つの別の変形例の２つの図を示す。容器２３は、今度は、示されたような形の 、簡単な折り畳まれたワイヤである。蒸発されるべき物質２１は、ワイヤ中に形 成された揺り籠内に置かれる。押棒９、フレキシブルチューブ５を経由するガス 供給及び電力供給６は、既に述べられたようである。 図２Ｆ及び２Ｇは、一種よりも多い物質（例えば物質２１ａ及び２１ｂ）を同 時に蒸発させることを可能にする一つの多重蒸発器３の２つの図を示す。各々の 蒸発器容器２３の形は、任意の所望の形例えば示されたようなユニット２３ａ及 び２３ｂから成る二重形状を取ることができる。容器２３ａ及び２３ｂの各々は 、独立に電力供給リード線６に接続されていて、そして独立に制御することがで きる。 図４Ａは、本発明の好ましい態様を例示しそして、真空室１中に位置付けられ た図２Ａ中に示された坩堝組立体３に加えて、中でも、容器エレベーター６０、 ばね６２によって取り付けられた真空スリーブ６１、滑りシールリング６７、ゴ ムシールリング６９、及び真空スリーブヘッド６３を含む。容器２は、その進行 が容器開口シールリング６５によって停止されるまでエレベーター６０によって 上向きに押すことができる。容器２は滑りガイド６４によって中心合わせされそ してガイドされる。真空スリーブ６１のばね荷重された組立体はキャップ６８に よって締め付けられるが、キャップ６８はまたばね６２を予備圧縮しそして真空 スリーブヘッド６３に接続する。ピン６７は、滑りボトルガイド６４が所定の場 所に留まることを確実にする。真空スリーブヘッド６３は、ブラケット組立体７ ８に締め付けられ、そして押棒９、そのソレノイドモーター８、ガスチューブ５ 及び蒸発器３の継手３３（図２Ａ）に接続さ れたすべてのその他の機能を保持するのに適している。 ブラケット組立体７８は、容器２外部への真空ソースのための分配器パイプ７ ０、及び容器２内部への真空ソースのための分配器パイプ７２を有する。これら の部材は、それそれ制御弁７１及び７３を経由して接続されている。制御弁７１ 及び７３は、容器２の開口がシール６５に対してシールするとすぐにシーケンス 制御器７９によって真空を付与し、そして容器２をデバイスから取り外して良い 時には真空を解放することを可能にする。 ブラケット組立体７８はまた、シーケンス制御器７９にまた接続されている開 閉弁７５を経由してガスパイプ５に接続するガス分配器７４を有する。冷却水分 配器パイプ７７及び７６もまた、ブラケット７８に固定されていてそして真空ス リーブヘッド６３にパイプ接続されている。シーケンス制御器７９は、機械カム で作動しそして図示しない機械タイミング機構に機械的に接続されている。それ はまた、蒸発器３に接続された配線６へのＤＣ電力の切り替え及び図１中に示さ れたプラズマ発生機１３又は１４の切り替えをシーケンス制御する。 プラズマ発生エネルギーが高くそして容器２の温度安定性が不適切である場合 には、容器２を回転させて、プラズマ発生ソース１２又は１３に最も近い容器２ の壁の上にエネルギーが集中するのを回避しなければならない。例えば、容器２ は、図４Ｂ及び４Ｃによって図示された手段によって図４Ａ中に示されたデバイ ス内で回転させることができる。容器２の底は、その中に永久磁石が埋め込まれ ている、そして図４Ｃ中に示されたコイルによって発生される外部電磁場８６に よって回転するようにされる、自由に回転するスチールのプラットホーム８５の 上にある 。図４Ｂ中に示されたような容器２のトップにおいては、シールリング６５が、 くぼみ８８内で自由に回転しそしてリング８９によってシールされているスリー ブ８７の上に装着されている。 さて図５を参照して説明すると、この図面は、本発明の装置の運転を描写する 。この態様中に示された装置は、良く知られた回転する“回転木馬（ｃａｒｏｕ ｓｅｌ）”タイプのものであり、そして図４Ａに関して既に述べたような真空ス リーブ６１及び真空スリーブヘッド６３を有する複数のコーティングセルを含む 。位置Ａにおいては、押し具８０、又はその他の類似のデバイスが、容器２をエ レベーター６０の上に運ぶ。次に、真空スリーブ及びスリーブヘッド６１及び６ ３によって形成された室の中に容器２をエレベーター６０によって押し込む。位 置Ｂ及びＣにおいては、シーケンス制御器７９が、次に、排気弁７１及び７３、 ガス注入弁７５、蒸発エネルギーソース７（図１）、並びに図１中にまた示され たプラズマ製造発生機１３又は１４を、コーティングサイクルのために適切な順 序で作動させる。位置Ｄにおいては、エレベーター６０が後退しそして容器２が 追い出される。 容器２のためのある種のコーティングのオプションは数個の層及びコーティン グ操作を含む可能性があるので、それらを回転する“回転木馬”タイプの機械で 実施することは実用的ではないであろう。例えば、図６は、コーティング時間及 びコーティング操作の複雑さを拡張することができる別の態様を図示する。そこ では、複数の容器２をコンベアーベルト９０によって輸送する。一列の容器２を グリッパー９１によって掴みそして処理用器９２中に置くが、そこではそれらは 処理用器９２中のパーティションの形によってしっかりと位置付けられる。示さ れた態様 においては、押し具９３が処理用器９２を処理ヘッド９４まで持ち上げ、そして 処理ヘッド９４は処理用器９２のトップを掴みそしてしっかりとシールする。処 理ヘッド９４は、図４Ａによって示されたすべてのコーティング要素、特に回転 蒸発器３、ソレノイドモーター８、冷却水分配器７６及び７７、ガス分配器７４ 、真空分配パイプ７０及び７２に関して多重性を有する。処理用器９２中の各々 の個々の容器は、図４Ｂ、４Ｃによって述べられたやり方によって回転させるこ とができる。 コーティング処理の後で、コーティングヘッド９４は右の別の位置に動き、そ こでそれは処理用器９２を解放し、そして次に処理用器９２は押し具９５によっ て積み降ろし位置に戻される。次に、容器２はグリッパー９６によって仕上げ製 品コンベアーベルト９７の上に積み降ろされ、そして空の処理用器９２が今度は 押し具９８によって左に戻され、グリッパー９１から新しい積み荷の容器２を受 け取る。 特定の製造の必要性に従って多重の処理用器９２及び処理ヘッド９４が存在す る場合には、示されたように、処理用器９２を処理ヘッド９４まで持ち上げるこ とによって、又は処理用器９２を水平に１以上の処理位置に運びそして１以上の 処理ヘッド９４を処理用器９２まで低下させることによってのどちらかで、サイ クルを運転することができる。 容器又は処理用器の取り扱いの詳細は、それが図５中に示されたような“回転 木馬”タイプのデバイスにおいてであれ、又は図６中に示されたような線状デバ イスにおいてであれ、当該技術の現状の技術であり、そしてそれ故本発明にとっ ては付随的である。この詳細な説明は、図５及び図６によって図示された原理を 示すことだけを意図している。これらは、述べられた高品質コーティング基準を 生み出すために必要とされ るコーティングパラメーターの柔軟性を与えながら、高速度で実用的な手段によ って容器を処理することを可能にするために必須である。 かくして現在は本発明の好ましい態様であると考えられるものを示しそして説 明してきたが、添付の請求の範囲中に述べられたような本発明の精神及び範囲内 に入るすべての改造、変更及び変化は本発明中に含まれると意味されることを記 さなければならない。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 温度に敏感な容器の内部表面をコートする方法であって、 排気された囲い中に容器を位置付けるステップ、 所定のコンスティチュエンシの不活性無機物質を含む蒸発器を容器の内側に置 くステップ、 前記物質の蒸気を生成させるステップ、 前記蒸気のプラズマを発生させるステップ、及び 前記容器の内側表面の所定の領域を覆って前記物質の比較的薄いコーティング を堆積させるステップ を含んで成り、 これによって、前記コーティングの粒子の高温がそれらの熱エネルギーのため に前記表面に侵入し、一方低い質量流量のために表面温度の総合的上昇を引き起 こさない方法。 ２． 蒸気を生成させる前記ステップが、蒸発器を前記物質の昇華温度に加熱す るが気化熱を蒸発器のすぐ近くに閉じ込めて温度に敏感な容器の内部表面に影響 を与えないようにすることを含んで成る、請求の範囲第１項に記載の方法。 ３． 前記容器がプラスチック容器から成る、請求の範囲第２項に記載の方法。 ４． 前記プラスチック容器がポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）から成る 、請求の範囲第３項に記載の方法。 ５． 前記プラスチック容器が比較的狭い口を含む、請求の範囲第２項に記載の 方法。 ６． 堆積させる前記ステップが容器の内側の蒸発器を動かすことを含 む、請求の範囲第５項に記載の方法。 ７． 堆積させる前記ステップが容器の内側の蒸発器を動かすこと及び／又は回 転させることを含む、請求の範囲第５項に記載の方法。 ８． 容器の内側の蒸発器を動かす前記ステップが蒸発器を容器の内側で上下に 動かすことを含む、請求の範囲第７項に記載の方法。 ９． 容器の内側の蒸発器を動かす前記ステップが少なくとも３０〜９０°の範 囲にわたって蒸発器を回転させることを含んで成る、請求の範囲第７項に記載の 方法。 １０． 容器を回転させて熱エネルギーがその壁の上に集中するのを防止するス テップを付加的に含む、請求の範囲第５項に記載の方法。 １１． プラズマを発生させる前記ステップが前記容器の回りに比較的高い周波 数の電極磁場をかけることを含む、請求の範囲第３項に記載の方法。 １２． プラズマを発生させる前記ステップが前記蒸発器によって生成された蒸 気を横切って比較的高い電位をかけることを含む、請求の範囲第３項に記載の方 法。 １３． 比較的薄いコーティングを堆積させる前記ステップが１０〜２５０ｎｍ の範囲の厚さを有する薄いコーティングを堆積させることから成る、請求の範囲 第３項に記載の方法。 １４． 所定のコンスティチュエンシの前記物質が元素状炭素、金属並びにそれ らの酸化物、窒化物、硫化物、ハロゲン化物及び／又はこれらの混合物又は組み 合わせ物を含む、請求の範囲第３項に記載の方法。 １５． プラズマ中に流れ込み、その結果蒸気と反応して蒸発されている物質の ものとは異なるコーティング組成を与えるガスを排気された囲 いに供給するステップを付加的に含む、請求の範囲第３項に記載の方法。 １６． 前記蒸気を生成させるのにそして前記容器の内側表面の上に前記コーテ ィングを堆積させるのに先立って、コートされるべき前記容器の表面を清掃及び ／又は活性化する初期ステップを付加的に含む、請求の範囲第３項に記載の方法 。 １７． 囲い内に１０^-1ｍｂａｒ〜１０^-5ｍｂａｒの真空を供給するステップを 付加的に含む、請求の範囲第３項に記載の方法。 １８． 温度に敏感な容器の内部表面をコートするための装置であって、真空室 、 所定のコンスティチュエンシの不活性無機物質を含む蒸発器、 蒸発器を容器内側に挿入しそしてそこから取り出すための手段、 蒸発器を容器内側のまま動かすための手段、 蒸発器を刺激するための手段、及び 前記蒸気のプラズマを発生させるための手段 を含んで成り、これによって、前記物質の粒子の高温が後記領域の内側表面に侵 入し、一方粒子の低い質量流れによって表面温度の総合的上昇を引き起こさない ので、前記物質の比較的薄いコーティングが前記容器の内側表面の所定の領域を 覆って堆積される装置。 １９． 容器を真空室にそしてそれから輸送するための手段を付加的に含む、請 求の範囲第１８項に記載の装置。 ２０． 容器内側のまま蒸発器を動かすための前記手段が蒸発器を上下に動かす 並びに蒸発器を回転させるための手段を含む、請求の範囲第１８項に記載の装置 。 ２１． 容器が狭い口のプラスチック容器から成り、そして前記物質がシリカ、 炭素、金属並びにそれらの酸化物、窒化物、ハロゲン化物及び／又はこれらの混 合物又は組み合わせを含む物質の種類から選ばれる、請求の範囲第２０項に記載 の装置。 ２２． 前記蒸発器が坩堝タイプの構造体から成り、そして前記装置が 前記蒸発器への物質の流れを供給しそして制御するための手段、 蒸気の流れが前記蒸発器からすべての方向に均等に流れ出るように流れを制御 するための手段、及び 気化熱が前記内部表面に到達するのを防止するために、蒸発器に冷却を与える ための手段 を含んで成る、請求の範囲第２０項に記載の装置。 ２３． 熱エネルギーが容器の壁の上に集中するのを防止するために容器を回転 させるための手段を付加的に含む、請求の範囲第１８項に記載の装置。