JPH08509299A - 測定プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 測定プローブは、スタイラスに外力が作用しないとき固定部材上の休止位置に支持されるスタイラス支持手段を有し、スタイラス支持手段はスタイラスに外力が作用したとき信号を発生すべく休止位置から変位される。スタイラス支持体の支持部は異なるピッチ円直径のボールベアリングの２つの同心環輪を備え、一つの部材の各ボールは他の部材の隣接する２つのボールに接触するよう配列されている。一方の部材に追加の環状面が設けられ、それは他の部材の各ボールに接触している。この配列はスタイラスを変位させるのに必要とされる力をその力の全ての方向においてほぼ等しくし、かつ、信号を発生する点への変位の間、可動部材が適切に案内されることをもたらす。

Description

【発明の詳細な説明】 測定プローブ 本発明は、スタイラスに外力が作用しないときはハウジング内の休止位置に支 持され、スタイラスに力が作用するときは休止位置から動き得るスタイラス支持 体に取付られたスタイラスを有する形式の測定プローブに関する。このような力 は、例えば、プローブが、スタイラスを機械上のワークピースに接触するよう、 移動されたとき作用する。プローブは、スタイラスがワークピースによって変位 されたことを指示する信号を機械に与える信号発生手段を含んでいる。かかるプ ローブは接触トリガプローブとして知られている。 かかるプローブの一例は本出願人の英国特許第１，４４５，９７７号に記載さ れている。スタイラスをその休止位置から傾けるのに必要な力は、全ての方向に 対して同じではないということが、この特許に説明されたプローブの特性である 。 例えば、米国特許第４，４７７，９７６号（黒田）に説明されているように、 スタイラスをプローブ軸線を取り囲む環状面で揺動するよう取り付けることによ り、この特性を排除しようとする試みがなされた。しかしながら、スタイラスが その休止位置から傾くとき、このプローブ内に設けられている貧弱な横方向拘束 手段の故に、スタイラス変位の検出は、スタイラス保持体の横方向移動による正 確度の喪失が著しくなり測定の正確度に影響する前に、行わねばならない。 スタイラスを変位させるのにほとんど均一な力を与える接触トリガプローブの 他の例が、米国特許第４，７６３，４２１号（Heidenhain）および本出願人の米 国特許第４，１５５，１７１号に記載されている。 これら両デザインでは、スタイラス支持体は、対応する同数のボールベアリン グ要素上に休止する、ボールベアリング要素の環輪を備えている。 本発明の一つの目的は、スタイラスをその休止位置から傾けるのに必要とされ る力が、全ての方向においてほぼ等しい、接触トリガプローブのスタイラス用支 持体を提供することにある。 本発明の他の目的は、スタイラスがその休止位置から、一旦、傾けられるとそ れが信号発生位置に到達するまで、スタイラスの横方向拘束をもたらす接触トリ ガプローブのスタイラス用支持体を提供することにある。 本発明による測定プローブは、 軸線を有する固定部材と、 スタイラスが接続可能な可動部材と、 可動部材が固定部材上の休止位置に支持されるようにする支持手段と、 可動部材を固定部材上の休止位置に付勢する偏倚手段であって、可動部材はス タイラスに外力が作用したとき偏倚手段の作用に抗して休止位置から変位可能で 外力が取り除かれたとき休止位置に復帰可能である偏倚手段と、 可動部材が休止位置から変位されたとき信号を与える信号発生手段とを備え、 ここにおいて、支持手段は固定部材および可動部材の各々上の前記軸線と同心 の支持要素の環輪であって、少なくとも１つの環輪の要素は湾曲面部分を有する 環輪を備える測定プローブにおいて、 要素の環輪は、一方の環輪の要素の湾曲面部分が他方の環輪の隣接する２つの 要素に接触するよう配列され、かつ、追加の支持面が、他方の部材の要素の湾曲 面部分によって接触されている一方の部材に設けられていることを特徴とする。 支持要素は如何なる好都合な形態をも採り得るが、本発明の好ましい実施形態 では、支持要素の各環輪は、一の環輪内の各ボールが他の環輪内の隣接する２つ のボールに対面されかつ接触するように配列されたボールの環輪を備えている。 追加の面はいかなる好都合な形態で設けられ得るが、好ましい実施形態では、 環状面の一部として形成される。 一つの好ましい実施形態では、ボールの環輪は、スタイラスが休止位置にある とき、それらがプローブ内でほぼ並んで休止すべく充分に異なるピッチ円直径を 有している。可動部材上のボールの環輪の平面は固定部材上のボールの環輪の平 面よりも僅かに高い。環状面は可動部材上に形成され、固定部材上のボールの頂 部に接触する。 他の好ましい実施形態では、２つのボール環輪のピッチ円直径が僅かに異なる のみで、２つのボール環輪の平面は軸線方向に離間されており、結果として、ボ ールの環輪はお互いのほとんど頂部上に休止する。この実施形態では、追加の環 状面は固定部材上に形成され、可動部材上のボールによって接触される。 信号発生手段は如何なる好都合な形態をも採り得るが、好ましい実施形態では 、スタイラスの所定の変位の後に作動される電気的スイッチを備えている。我々 はまた、スイッチは係合が解除されるよりも２つの接点が係合することにより作 動されるべく配列されたとき、特に良好な結果が得られるということを確認した 。 本発明は、例示のみの添付の図面を参照しつつ、より詳細に説明される。 図１は本発明によるスタイラス支持体の一形態を組み込んだプローブの一部断 面立面図、 図２は図１のスタイラス支持体の一部の拡大図、 図３はスタイラス支持体の２つのボール環輪の平面図、 図４は図２と同様であるが逆転され、プローブの組立の際のボール環輪内のボ ールの位置を図解し、 図５は本発明によるスタイラス支持体の他の形態を組み込んだプローブの一部 断面立面図、 図６は図５のスタイラス支持体の２つのボール環輪の平面図、および 図７は代替のスイッチ配列を示す、図５のプローブの変形例の一部断面立面図 である。 図１ないし図４を参照するに、長手方向軸線１２を備えたハウジング１０を有 する接触トリガプローブが示されている。ハウジング1０はその下端に開口１６ を画成する、半径方向に延在するフランジ１４を有している。ハウジングは如何 なる好都合な形状でもよいが、この実施例では、円筒状の外壁１１を有し、フラ ンジ１４は完全に円周状であり、開口１６は円である。ボール１８の環輪が、各 ボールが円筒状の外壁１１の下部とフランジ１４との間のハウジング領域上に形 成された円錐面２０に接触するように、ハウジング内に接着されている。 ボール１８はプローブのスタイラス２２に対する支持体の一方部分の支持要素 を構成している。支持体の他方部分はボール２４の第２の環輪の形態の支持要素 によりもたらされ、第２の環輪はスタイラス支持体２８の周上の半径方向に面し ている環状チャンネル２６に接着されている。スタイラス支持体の円柱状部３０ はプローブ内部から延出し、スタイラス２２が、例えば、ネジ結合３２によって 該部３０に取付られている。スタイラス支持体２８は、力がスタイラスにそれを 変位すべく及ぼされるとき、固定されたハウジングに対して可動である。 理解できるように、ボール１８とボール２４との２つの環輪は各々軸線１２に 同心であり、僅かに異なるピッチ円直径を有している。その結果、それらは、ボ ールの中心がほぼ同一平面内で湾曲面が互いに接触して、プローブ内に並んで休 止する。この配列は、後述するように、スタイラス支持体２８の水平面内でのハ ウジング１０に対する動きに対し良好な横方向の拘束をもたらす。 スタイラス支持体は、ボール環輪１８に重なる半径方向に延在する円周フラン ジを有している。円周フランジは、環輪内のボールの各々に接触しスタイラス支 持体の下方への動きに対する軸方向拘束をもたらす環状面３４を有している。環 状面は、必ずしもそうである必要はないが連続面として示されており、それ故、 ボール１８に接触する面の追加範囲を提供している。 ボール環輪内の個々のボール間、ボールとハウジングの異なる面との間、およ び、ボールとスタイラス支持体との間の種々の接触の組合せが、スタイラスに外 力が作用しないときの、ハウジングに対するスタイラス支持体の休止位置をもた らしている。スプリング３６はスタイラス支持体を休止位置に付勢する偏倚荷重 をもたらしている。 スタイラス支持体は、外力がスタイラスに及ぼされたとき、例えば、プローブ がスタイラスを機械上のワークピースに当接させるべく移動されたとき、スプリ ングの偏倚荷重に抗して、休止位置から外れ如何なる方向にも傾くことができ、 かつ、軸線方向上方に動くことができる。 力がスタイラスに及ぼされたとき信号を与えるために、ハウジング内にスイッ チ４０が取り付けられており、スイッチ４０はスタイラス支持体の傾きまたは上 昇のいずれかによって作動されるプランジャ４２を有している。しかしながら、 スタイラス上の外力が取り除かれるやいなや、スプリング荷重はスタイラス支持 体をその休止位置に向けて付勢し、スプリング力とボール環輪内のボール表面に よってもたらされる案内との組合せが、スタイラス支持体が反復可能な方法で休 止位置に戻ることを確実にしている。 図２および４は、ボールと固定および可動部材との種々の面間の接触位置をよ り詳細に示している。接触は以下のように達成される。 組立の際、ボール２４はボール間に等しい間隔を生じさせるためのジグ装置を 用いて環状チャンネル２６内に置かれ、接着剤によって適所に軽く仮止めされる 。この結果、ボールは落下しないが、他の環輪のボールが所定位置に押し込まれ たときの圧力下ではまだ動くことができる。この組立工程部分は好ましくはスタ イラス支持体を逆転させて行われ、かくて、各ボールはその自重の下にチャンネ ルの水平壁に点１で接触して休止する。 ケーシング１１がそれからスタイラス支持体上に下げられ、図４に示すように 、第２の環輪のボール１８が開口を介して押し込まれる。 最後の工程は、それからさらに、ハウジングをスタイラス支持体に対し下げる ことである。この工程中、面２０は点３でボール１８に接触し、点４での良好な 接触をもたらすべくボールを下方に付勢し環状面３４にしっかりと接触させる。 同時にボール１８はボール２４に接触するよう半径方向に偏倚され、順に、ボー ル２４は、チャンネル２６の垂直壁と各ボール２４とによるしっかりとした接触 が点２でなされるまで半径方向および周方向に移動し、そして、ボール間におい て点５および６でしっかりとした接触がなされる。これらの接触が全て堅固に達 成されたときには、スタイラス支持体およびハウジング間のさらなる相対運動は 、軸線方向または半径方向のいずれにおいても不可能である。これが、可動スタ イラス支持体の固定ハウジング上での休止位置を確立する。 ボールがこのように配置されている間に、さらなる接着剤が、それらを接触位 置に保持すべく注入される。好ましくは、ボールを互いに接触するよう付勢する ために用いられる力が、作動時にプローブに用いられるスプリング力と同じにさ れ、結果として、組立工程中の力が解放された後の接着剤の弾性のせいでのボー ルの動きが、プローブがそのスプリングと共に完全に組み立てられたときに戻さ れ、かつ、全ての接触がそれらが組立時の力の下にあるかのように再度確立され るようにする。 この組立方法は、スタイラス支持体が、固定構造体上に種々のベアリング要素 の間およびベアリング要素と環状面との間の多数の接触点において、休止位置に 支持されているという状況を作りだし、過剰に拘束されているけれども、この休 止位置は反復可能である。 しかしながら、スタイラスが変位されたとき、スタイラス支持体は環状面上の 点４の１つの回りに傾けられ、プランジャ４２が着座しているスタイラス支持体 の中心はトリガ信号を発生すべく上昇される。この傾きの際、２つの環輪周りの ボール間の点５および６は接触しなくなり始めるが、しかし、かかる２点はスタ イラス支持体の動きを案内する３点支持をもたらすべく、接触状態に残るだろう 。これは、その初期の傾きの間、トリガ信号が発生する点までのスタイラス支持 体の反復可能な運動に帰する。 スタイラス支持体はその初期の傾きの間案内されているので、スイッチによっ て信号が発生される前に許される傾き量（すなわち、予動）を、工作機械におい て遭遇するかもしれない激しい振動による誤トリガを避けるために充分大きくす ることができる。また、スタイラス支持体は製作中、環状フランジとボール１８ の頂部との接触、同時に、ボール間の接触によって、軸線方向に配置されている ので、休止位置におけるスタイラス支持体の軸線方向および半径方向位置は反復 可能で、予動時の振動は小さな値に保たれる。 ボール間の接点における摩擦を最小にするために、ボール、チャンネル２６お よび円錐面２０の寸法は、スタイラスが休止位置にあるときボール２４の中心が ボール１８の中心より軸線方向に僅かに上の平面内に存することを確実にすべく 注意深く計算される。これはまた、傾きの際、スタイラス支持体がプローブの一 方側の環状面上で揺動するとき、他方側のボール表面の最小の滑りとなることを 確実とし、かつ、きれいな上昇離れが保証される。 さらなる好ましい特徴として、スイッチのプランジャ４２の先端はスタイラス 支持体にボールの平面で接触するよう配列され、その結果、プランジャ４２は横 方向の荷重無しに、および、磨耗が最小化されて、垂直方向に上昇される。 スイッチは、例えば、トリガ信号を与えるべく閾値レベルが設けられたアナロ グ信号のLVDTや、例えば、スイスのBaumer AGによって作られている機械式スイ ッチのような所望の形式のものであってよい。 代わりに、スタイラス支持体の傾きを検知するために他の既知の信号発生装置 が用いられてもよく、それらは光学式、容量式、または圧電式であってもよい。 上述の実施例では、ボールの各環輪は２２個のボールを含んでいる。しかしな がら、ボールの数は重大ではなく、最小６個からコストおよびプローブの寸法に より制限される最大個数の間で変わり得る。 さて、図５および図６を参照するに、ここには、図１ないし図４を参照して上 述した実施例に類似した多くの構造的細部を有する接触トリガプローブが示され ている。これらの特徴を識別するために同じ参照番号が用いられている。固定部 材を形成している円筒状ハウジング１０はその下端に、半径方向に延在するフラ ンジ１４を有し、それは、スタイラス２２が突出する円形開口１６を画成してい る。スタイラスは、上述のように可動部材を形成するスタイラス支持体２８に取 り付けられている。 軸方向上方に面する環状溝６０がフランジ１４に形成され、その一側はハウジ ング１０の内壁で形成され、および、他側は上窄まりの円錐台壁を含んでいる。 ボール６４の環輪が、各ボールが凹部の底とハウジングの内壁とに接触するよう に、チャンネル６０内に接触されている。 ボール６４の環輪はプローブのスタイラス支持体に対する支持体の一部の支持 要素を形成している。支持体の他の部分はボール６６の第２の環輪の形態の支持 要素によってもたらされている。ボール６６はスタイラス支持体２８の周辺の軸 方向下方に面する環状溝６８に接着されている。 理解できるように、ボール６４とボール６６との２つの環輪は僅かに異なるピ ッチ円直径を有し、その結果、２つのボール環輪が接触しているとき、ボール環 輪の平面は軸方向に離間されている。各環輪の各ボールは、他の環輪の隣接する ボールとの２つの接点を有している。固定ハウジングの円錐台壁部６２は可動の スタイラス支持体上のボール６６と接触する追加の面領域をもたらしている。 ボール環輪内の個々のボール間、および環輪６６のボールとハウジングの円錐 台面６２との間の多くの接触の組合せが、スタイラスに外力が作用していないと きのスタイラス支持体のハウジングに対する休止位置をもたらしている。スプリ ング３６は、スタイラス支持体を休止位置に付勢する偏倚力を与えている。 この実施例では、スタイラス支持体２８に１５個のボールが設けられており、 スタイラス支持体にハウジングの固定構造体上で１５の支持位置をもたらしてい る。各位置でのスタイラス支持体の半径方向拘束は、半径方向の内外両方向に、 ボール６６の面６２との接触およびボール６６のボール６４との接触によっても たらされている。かかるスタイラス支持体の過剰な拘束は、スタイラスの休止位 置における変動、ひいてはプローブの不正確さに潜在的に導くかもしれない。 これらの不正確さは、スタイラス支持体が休止位置にあるときそのボール６６ の各々が、固定構造体上の支持面と３つの接点のみ、すなわち、ボール６４およ び面６２のみで支持されることを確実にする本発明のデザインによって最小化さ れる。 これは、以下に説明するプローブの製作方法によって全く簡単に達成される。 組立の際、ボール６４は環状溝６０内に置かれ適所に接着材でもって軽く仮止 めされる。その結果、ボールは落下しないが、しかし、他の環輪のボールが所定 位置に押し込まれるときの圧力の下でまだ動き得る。組立工程のこの部分は、各 ボールがその自重の下にチャンネルの底および垂直壁１１に接触して休止し、か つ、適当なスペーサを使用することによりボールが軸線回りに等しく離間される ように、ボール６４を配置する。 ボール６６は、スタイラス支持体２８のチャンネル６８内に軽く仮止めされて もよい。 それから、最後の工程はスタイラス支持体をハウジング内に位置決めしスプリ ングを挿入することである。この工程の間、ボール６６はボール６４および環状 面６２に接触する。同時に、ボール６４は垂直壁１１にしっかりと接触するよう 半径方向に、および、チャンネル６０の底にしっかりと接触するよう下方に付勢 される。ボール６４がさらに軸線方向または半径方向に動けなくなったとき、そ れらは、円錐台面６２およびボール６４の各々と接触しているボール６６の各々 による堅固な接触がなされるまで周方向に動く。このとき各ボール６６は３つの 接点を有する安定位置に到達する。これらの全ての接触が堅固に達成されると、 スタイラス支持体とハウジングとの相対的運動は軸線方向または半径方向におい て不可能である。 ボールがこのように位置されている間、それらを接触位置に保持するためにさ らに接着材が注入され得る。この部分の工程は、図１ないし４を参照して説明さ れた方法で実行される。 それ故に、前実施例と同様に、スタイラス支持体は休止位置において、一方向 の軸線方向運動、全ての方向の横方向運動、および、軸線１２回りの回転から完 全に拘束されるが、スタイラス２２に軸方向上向きの力が及ぼされたときは自由 に上昇し、スタイラスに半径方向の力が及ぼされたときはボール６４、６６の２ つの環輪回りに自由に傾くということが分かる。回転防止ピン７０がフランジ１ ４に設けられている。これは、スタイラスが休止位置から変位した後、環輪の各 ボール６６が環輪の同じ対のボール６４上に再着座することを確実にすべく、ス タイラス支持体の凹部７２内に嵌合する。 スタイラスに力が作用したとき信号を与えるために、スイッチ４０がハウジン グ内に取り付けられており、スタイラス支持体が傾くまたは上昇したとき作動さ れるプランジャ４２を有している。 可動部材上の各ボール６６とボール６４の湾曲面により画成された支持表面お よび固定部材上の面６２との３つの接点は、ボール６６とそれらのそれぞれの支 持面との接触が環輪の他の部分で喪失されたとき、スタイラスのスイッチ作動位 置に向かう傾きの間、スタイラス支持体２８に対しボール６６の１つに完全に特 定された揺動中心をもたらす。前実施例につき説明したように、これは、初期の 傾き角を介しトリガ信号が得られる位置までのスタイラス支持体の反復可能な案 内を許す。 再度、信号発生手段はバウマ（Baumer）型スイッチ４０として示されているが 、しかし、他の形式の信号発生手段が用いられてもよい。 図７は異なる信号発生装置を用いた他の実施例を示している。構成上の主要要 素および製作の方法は、図５および図６を参照して説明したのと極めて類似して いる。これらの要素は再度詳細には説明しないが、同様の特徴を意味するのに同 一の参照番号が用いられており、詳細な説明のためには図５および図６が参照さ れるべきである。 この実施例では、スイッチ接点１００がスタイラス支持体２８内部の凹部１０ ４内で独立して動き得る接点支持体１０２に接続されている。接点支持体は、固 定構造体周りに等しく離間された３つのボールからなり接点支持体上の３つの溝 １０８に係合される伝統的なカイネマチック支持（kinematic support）によっ て固定ハウジング構造の定められた休止位置にマウントされている。スプリング １１０は接点支持体を下向きに偏倚し、結果として、スタイラス２２が休止位置 にあるとき接点支持体もまたその休止位置にある。 スタイラス支持体２８の円柱状部３０には第２のスイッチ接点１１２が固定さ れ、これは、スタイラスがその休止位置にあるとき、極めて小さな間隙、例えば 、１０ミクロン、スイッチ接点１００から離間されている。これらスイッチ接点 はプローブ構成体から電気的に隔絶され、これらに対する電気的接続は都合の良 い方法、例えば、プローブ本体内のワイヤによって行われる。電気的接続は、プ ローブ内の電池であってもよい電源、または、プローブが連結される機械の電源 に接続された電気回路の一部を形成する。 スタイラスに力が及ぼされると、スタイラス支持体はその休止位置から傾斜ま たは上昇するが、接点支持体１０２は接点１１２が接点１００に接触し、かくて 、電気回路がプローブからトリガ信号を発するまで着座したまま残る。スタイラ ス支持体のさらなる動きによるプローブへの損傷は、接点支持体１０２のその着 座からの上昇によって防止される。 我々は、２つの電気的接点間で接触が起こったとき信号を発生するという原理 により作動するこのスイッチが、両者間の接触を遮断するのとは逆に、信頼性の ある信号発生機構をもたらすということを見出した。 選択的な追加の特徴として、第２の遮断スイッチが電気回路に接続され、これ は、接触スイッチの第１の信号発生位置を越えてスタイラスが著しく越動した後 に、信号を与える。これは、感度を増大させるために接触スイッチが極めて小さ なクリアランスを有してセットされることを許容し、接触スイッチの信号が、機 械の振動のせいではなく、ワークピースとの接触による純粋なスタイラスの変位 によって発生されたということを確認する第２の信号をもたらす。 この例では、第２の遮断スイッチはロッド１２０によりもたらされ、これはス タイラス支持体２８の一端に球状ベアリング１２２によって揺動可能にマウント されている。テーパ付けられたロッドの他端は一対のローラ１２４、１２６間に 支持され、その一方１２４はハウジングに固定され、その他方１２６はスプリン グ１３０によってロッドに向けて付勢されたスライダ1２８に保持されている。 スタイラス支持体によってロッドが上昇されたとき、テーパ付端部はローラ間で 押され、そして、ローラが横方向に偏倚され、スライダとハウジングの固定構造 体との間に配置された一対の接点１３２を係合解除すべくスライダをスプリング 力に抗して移動させる。 明らかに、上述の接触スイッチの形式が、追加の遮断スイッチと伴に、または 、伴わずに、前述した実施例の何れにも用いられ得よう。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 ９４０７５９２．６ (32)優先日 1994年４月16日 (33)優先権主張国 イギリス（ＧＢ） (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＪＰ，ＵＳ (72)発明者 ハーディング，アンドリュウ，ジェイムス 英国 ビーエス12 ４ビーピー エイボン 州 ブリストル アーモンズヴェリー オ ーバー レーン 24

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．軸線（１２）を有する固定部材（１０）と、 スタイラス（２２）が接続可能な可動部材（２８）と、 可動部材が固定部材上の休止位置に支持されるようにする支持手段（２４，１ ８，３４；６２，６４，６６）と、 可動部材を固定部材上の休止位置に付勢する偏倚手段（３６）であって、可動 部材はスタイラスに外力が作用したとき偏倚手段の作用に抗して休止位置から変 位可能で外力が取り除かれたとき休止位置に復帰可能である偏倚手段と、 可動部材が休止位置から変位されたとき信号を与える信号発生手段（４０；１ ００，１１２）とを備え、 ここにおいて、支持手段は固定部材および可動部材の各々上の前記軸線と同心 の支持要素（１８，２４；６４，６６）の環輪であって、少なくとも１つの環輪 の要素は湾曲面部分を有する環輪を備える測定プローブにおいて、 要素の環輪は、一方の環輪の要素の湾曲面部分が他方の環輪の隣接する２つの 要素に接触するよう配列され、かつ、追加の支持面（３４；６２）が、他方の部 材の要素の湾曲面部分によって接触されている一方の部材に設けられていること を特徴とする測定プローブ。 ２．両環輪の支持要素が湾曲面部分を有していることを特徴とする請求項１の測 定プローブ。 ３．両環輪の支持要素はボールベアリング要素（１８，２４；６４，６６）を備 えていることを特徴とする請求項２の測定プローブ。 ４．追加の面が環状面（３４；６２）の一部として形成されていることを特徴と する請求項１の測定プローブ。 ５．追加の面が可動部材（２８）に形成されていることを特徴とする請求項１な いし４のいずれかの測定プローブ。 ６．追加の面が固定部材（１０）に形成されていることを特徴とする請求項１な いし４のいずれかの測定プローブ。 ７．支持要素（１８，２４）の２つの環輪は、可動部材が休止位置にあるとき、 それらがプローブ内でほぼ並んで存すべく充分に異なるピッチ円直径を有し、可 動部材（２８）上の環状面（３４）は固定部材上の支持要素（１８）の湾曲面上 に休止すべく軸線方向で開口（１６）に向かって面していることを特徴とする請 求項５の測定プローブ。 ８．支持要素（６４，６６）の２つの環輪は僅かに異なるのみのピッチ円直径を 有し、固定部材上の環状面（６２）は開口（１６）から軸線方向に離れて先窄ま りの円錐台状であり、可動部材が休止位置にあるとき、支持要素の２つの環輪の 平面は軸線方向に離間されており、各環輪のそれぞれの支持要素（６４，６６） の湾曲面が互いに接触し、かつ、可動部材上の要素（６６）の湾曲面が追加的に 環状面（６２）に接触していることを特徴とする請求項６の測定プローブ。 ９．信号発生手段は電気的スイッチ（４０）であることを特徴とする請求項１な いし８のいずれかの測定プローブ。 １０．電気的スイッチは可動部材が休止位置にあるとき離間された一対の電気的 接点（１０６，１１２）を備え、それらは可動部材が変位されたとき電気回路を 完成し信号を発すべく互いに接触するよう移動されることを特徴とする請求項１ ０の測定プローブ。