JPH0575337B2 - - Google Patents

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JPH0575337B2
JPH0575337B2 JP62295412A JP29541287A JPH0575337B2 JP H0575337 B2 JPH0575337 B2 JP H0575337B2 JP 62295412 A JP62295412 A JP 62295412A JP 29541287 A JP29541287 A JP 29541287A JP H0575337 B2 JPH0575337 B2 JP H0575337B2
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Erunsuto Arufuonsu
Shuparuku Deiiteru
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Publication date
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Publication of JPS63142209A publication Critical patent/JPS63142209A/ja
Publication of JPH0575337B2 publication Critical patent/JPH0575337B2/ja
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q16/00Equipment for precise positioning of tool or work into particular locations not otherwise provided for
    • B23Q16/02Indexing equipment
    • B23Q16/028Indexing equipment with positioning means between two successive indexing-points
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B5/012Contact-making feeler heads therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
  • Medicines Containing Material From Animals Or Micro-Organisms (AREA)
  • Preparation Of Compounds By Using Micro-Organisms (AREA)
  • Saccharide Compounds (AREA)
  • Body Structure For Vehicles (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、複数の座標方向に変位可能な少なく
とも1つの検出ピンを備え、検出ピンは戻し力に
よつてそのゼロ位置として特定された位置に押圧
され、その位置は相応した数の対抗体の表面範囲
との協働によつて特定されており、その際支承体
及びこれに付設された対抗体は検出ピンのまわり
に同心的に配置されている、前記多座標検出ヘツ
ドに関する。
多数の測定及び接続する多座標検出ヘツドは公
知であるが、両実施例では検出ピンが任意の方向
に変位した後にその特定されたゼロ位置に再び戻
されることが特に重要である。検出体ハウジング
内の検出ピンを特別に有利に支承部を形成すると
いう研究はが実施された。
(従来の技術) 西独国特許公開公報第2841424号には3点支持
を有する検出ヘツドが記載されている。検出ヘツ
ドハウジング底には3つのV型溝が形成され星形
に配置されている。検出体ホルダには球状表面を
備えた3つのピンが固定されている。ピンホルダ
はばねによつて検出ヘツドハウジング底の方向に
押圧されかつピンは付設のV溝内に確定した位置
を占め、その位置にピンは検出ピンの変位後に再
び戻されることになる。
更にヨーロツパ特許明細書第0088596号から支
承体装置を備えた検出ピンが公知であり、支承体
は同様に3つの支承個所を有する。支承個所は1
つの平面内において検出ピン軸線に対して同心的
に均等に分配されている。検出ピンハウジング底
には3つのボールが配置されており、ボールは組
立のために検出ピン軸線に対して平行に移動可能
である。検出体ホルダの3つの対抗体は相違して
形成されている。対抗体はボール孔の形の回転止
めとして形成されている。第2の対抗体はV溝を
有し、V溝は検出ピンホルダの中心点に向けられ
ている。第3の対抗支承体は検出ピン軸線に対し
て垂直かつ押し付けばねの力に対して垂直な平滑
な支持面である。
個々の支承個所の相違した構造によつてヨーロ
ツパ特許明細書1188596号に記載された技術水準
では静的予圧過多や予圧不足(Unterstimmung)
も究明された。個々の支承個所の相違した構成に
よつて(球/球、球/プリズム及び球/平面)、
しかし個々の支承個所の弾性率も相違し、このこ
とは切換え点の精度上不都合に作用する。
この種の支承体は典型的な支承体と称され、即
ちマクスウエル条件に従つて形成されている
(1972年スプリンガ出版社による、s.M.
Pollerman著「物理的工学の構造要素」第2版第
4章;案内と支承)。
その上相異なる検出方向における測定力の相違
及びこれと関連したたわみ制約された切換え点差
異が支承個所の増大によつて回避されることが公
知である。支承個所の増大ではしかし適合した支
承部の製造のためのコストがい著しくかつシステ
ムが静的に過剰されるという危険がある。多数の
支承個所を備えたの例は西独国特許公開公報第
2742817号が引用される。
そこでは検出ホルダに一群のボールがV溝内に
同心的に配置されており、溝内には第2のボール
群がある。ボール群は向かい合つて位置しかつ一
つのボール群の各ボールは他のボール群の隣接し
た2つのボールの間にある。
各ボールは表面を有し、表面は2つの隣接した
ボールの湾曲した両表面に当接している。ばねは
ハウジングに検出体ホルダを押圧し、そしてボー
ルはばねにより作用される予圧に基づいてその表
面と点接触する。
個々のボール群と各ボールと他のボール群の隣
接した2つのボールとの間において所望の接触が
行われると、ボールははじめにその溝中を自由に
転がり、そこでボールは一方のボール群の全ての
ボールが他のボール群の全てのボールと接触する
位置において、ばね力及び面の湾曲に基づいて調
整される。一方のボール群の2つの隣接したボー
ルによつて形成された面は当然他のボール群の2
つの隣接したボールの面と同様な方法で相互に湾
曲されており、このことは同様な方法で溝中の相
対する位置を占めることになる。ボールを完全か
つ迅速な整列されるために、比較的強いばねが使
用されかつ検出ヘツドは振動しかつその際検出体
は装置によつて軸線方向に保持される。
ボールは記載の方法で調整されかつ整向され、
一方前以て溝中に係合したエポキシ樹脂はまだ柔
らかい。接着剤として使用される樹脂はその後硬
化され一方ハウジング及び検出体の相対的位置は
不変に保持される。
検出ピンのこのような支承では全ての支持点は
等しい弾性特性を有する。
接続点の高い精度のため及びしかし等しい弾性
率特性が重要であるのみならず、むしろ支承個所
の絶対的な剛性ができる限り高くされるべきであ
る。しかし前記の検出体支承体では点接触なの
で、個々の支持個所の絶対的な剛性は非常に高い
ということはない。
(発明の課題) 本発明は従来技術により代替可能に得られるよ
りも高い切換え精度を可能にする多座標検出ヘツ
ドのための支承体を創造することにある。
(課題の解決のための手段) 本発明の課題は、複数の座標方向に変位可能な
少なくとも1つの検出ピンを備え、検出ピンは戻
し力によつてそのゼロ位置として特定された位置
に押圧され、その位置は相応した数の対抗体の表
面範囲との協働によつて特定されており、その際
支承体及びこれに付設された対抗体は検出ピンの
まわりに同心的に配置されている、前記多座標検
出ヘツドにおいて、支承体と対抗体は検出ピンの
前記ゼロ位置において、支承体の各表面範囲と所
属の対抗体の表面範囲の接触地帯がそれぞれ円線
を形成し、そして特にそのように形成された円線
全体は検出ヘツド軸線に対して垂直な1つの平面
内に位置し、検出ピンの長さ方向に検出ヘツドが
移動して被測定物に接触した場合は接触子とは反
対側から検出ピンを押すばねの力に抗して検出ピ
ンが押し込まれるように変位して検出ピンに直交
する支持面に検出ピンを取り囲むように配置され
た検出装置が支持面の変位を検知し、検出ピンの
側面から接触して場合は支持面と接触子の途中の
支点を中心に検出ピンが傾動するのを前記検出装
置の1部分が作動して検知することを特徴とする
前記多座標検出ヘツドによつて解決される。
(発明の効果) 特別な利点は各個々の支承個所で表面範囲が接
触地域として円線を有し、このことは点接触より
も高い安定性に繋がる。検出ピンの変位のゼロ位
置を正確に設定することができるために、支承体
もこれに付設された対抗体も組立の際に前記ゼロ
位置の設定調整のための十分な自由度を有する。
(実施例) 第1図には多座標検出ヘツドの全体構造が示さ
れている。この検出器は切換えする検出器として
実施される。円錐1によつて検出器は図示しない
測定又は工作機械のスピンドルに装着されること
ができる。検出ピン2の変位は殆ど全ての方向に
可能である。パツキング3は検出ヘツドハウジン
グ4と検出ピンとの間の中間室を緊塞する。保護
板5は熱いチツプによるパツキング3の損傷を防
止するが、検出ピン2にそのゼロ位置からの制限
された変位を行わせる自由空間6が解決する。
検出ピン2の変位の測定のための検出装置7,
8,9は特定の変位量の時に検出パルスを発し、
パルスは工作機械の制御のため又は座標測定機の
測定値を受け取る時点を決定するために寄与す
る。検出装置7,8,9は検出ヘツドハウジング
4に固定されている光学的送信器7及びこれに対
して同様に整向された位置固定の差動光電要素8
から成る。両要素7,8の光軸にはレンズ系9が
運動可能な検出ピン2に固定して取付けられてい
る。
検出器ホルダ10は検出ピン2と固着されてお
り、検出ピンは自由端に検出球11を有する。検
出器ホルダ10の面はばね12によつて検出ヘツ
ドハウジング4と結合している。対抗面は検出器
ホルダ10と検出ヘツドハウジング13との間の
支承部の一部である。この支承部は正確に実施さ
れなければならない、そのわけは充分な再現性が
保証されない場合には静的過不足が測定誤差の原
因となるからである。
検出過程の間工作物に検出器ホルダ10がばね
12によつてその力が工作物上検出球11の接触
圧力に対抗作用するようにそのゼロ位置に保持さ
れる。ばね12は検出ピン2に固着され、その変
位が検出されるべき支持面が付設される検出器ホ
ルダ10は検出力が特定の値以下である場合に支
持面が持ち上げられ又は支持面と接触子11の途
中の支点を中心に検出ピン2が傾動されることを
阻止する。検出器ピン10がばね12によつて検
出器ホルダ13に対して押圧される限り、検出器
ホルダ10及び検出ヘツドハウジング4は自由度
ゼロの単一体を形成する。変位の際にばね12は
接触力が緩むと検出ヘツドハウジング13に向か
つて検出器ホルダ10を戻すように付勢する。検
出ピン2の長さ方向に検出ヘツドが移動して被測
定物に接触した場合は接触子11とは反対側から
検出ピン2を押すばね12の力に抗して検出ピン
2が押し込まれるように変位して検出ピン2に直
交する支持面に検出ピン2を取り囲むように配置
された検出装置7,8,9が支持面の変位を検知
し、検出ヘツドが移動して検出ピン2の側面から
被測定物に接触して場合は支持面と接触子の途中
の支点を中心に検出ピン2が傾動するのを前記検
出装置7,8,9の1部分が作動して検知する。
4点支持として実施される支承部は本発明によ
れば検出器ホルダ10の周囲に渡つて均等に分配
されかつ検出器ホルダ10に係止されている、一
平面内に配置されたボール14から成る。
ボール14は円筒状ホルダ15中にある。ボー
ル14の中心点は円筒状ホルダ15の縦軸線の外
方にある。ボール14は円軌道上を円筒状のホル
ダ15が回転する際にホルダ15の軸線の周りを
運動することができる。
検出ヘツドハウジング底13には円筒状対抗体
16が回転可能に配置されている。対抗体16は
ボール14に面したその端面に円錐形の孔17を
有し、孔は対抗体16の縦軸線に対して偏心して
いる。その縦軸線の周りを対抗体16が回転する
際に円錐孔17の軸線は対抗体16の軸線の周り
の円軌道を描く。
ボール14及び円錐孔17はそれぞれ支承個所
を形成し、この際各ボール14の表面は円錐孔1
7の円錐外被と、接触地域が円線であるように協
働する。多数の支承個所では支承部の整列が得ら
れるが、同心となることは支承部の偏心率によつ
て阻止される。
断面を示す第2図から全ての対抗体16が図示
しない検出ピン軸線に対して同心に位置すること
が示される。対抗体16の端面には円錐孔17が
認められ、円錐孔はそれぞれ対抗体16に対して
偏心している。対抗体16が検出ピンハウジング
底13においてその縦軸線の周りを回転可能に固
定されているので、円錐孔17の位置は対抗体1
6の位置に依存している。
第3a図は対抗体を拡大して示す。端面に偏心
して設けられた円錐孔は符号17を有する。同様
に拡大されて示されたボール14によつてどのよ
うにしてボール14が円錐孔17中に位置決めさ
れるかが示唆されている。
第3b図には拡大して示されたホルダ15か示
され、ホルダはボール14を収容する。ここでも
ボール14の中心はホルダ15の縦軸線上には位
置しない。ボール14は接着剤によつてホルダ1
5中に固定されている。第3a図に示すのと同様
に、ホルダ15はボール14と最終組立の直前に
結合され、その際ホルダ15はボール14とも所
属の対抗体16とも、ボール14が完全に円錐孔
17中に当接するまで相互に回転されかつ移動さ
れる。ボール14及び円錐孔17は共通の接触地
域において1つの円線を形成する。
最終組立位置は全ての支承部がその偏心して保
持されたボール14又は円錐孔17と予圧をもつ
てここでは図示しない外部ばねによつてボール1
4の各々がその所属の円錐孔17に完全に圧入さ
れかつ接触地帯としてそれぞれ円線を形成する。
ホルダ15及び又は対抗体16の高さ調整可能性
によつて個々の接触地帯の全ての円線が検出ピン
に対して垂直な1つの平面内に位置することが図
られる。記載の組立過程の間ホルダ15も対抗体
16も検出器ホルダ10又は検出ヘツドハウジン
グ底13の孔に固定される。接着剤は調整の後に
硬化され、その結果組立後にボール14の位置は
その円錐孔17に対して特定な位置に保持され
る。
第4図の動力学的図から偏心して配置されたボ
ール14及び円錐17が共通した位置Pに位置す
ることができることが明らかである。位置15′
はホルダ15の縦軸線を表し、ホルダ15の周り
をホルダ15中に偏心して配置されたボール14
が円軌道上を回転することができる。対抗体16
はその縦軸線16′の周りに回転し、その結果対
抗体16の端面の1つの偏心して設けられた円錐
孔17は円軌道上をも運動することができる。両
円軌道はここでは関連した範囲において共通した
交点Pを有する。この点Pは実際上実施された組
立上の点となり、この点で各ボール14が所属の
円錐孔17中に完全に位置することになる。
第5図に示すように、ホルダの支承部は本発明
による範囲を越脱することなしに別様にも実施さ
れることができる。ここでは必要な要素のみしか
示されていない。検出ヘツドハウジング底135
上には対抗体165が示されており、対抗体はそ
の端面に円錐孔175を有する。対抗体165は
検出ヘツドハウジング底135上一平面内を自由
に移動可能であり、かつそれ自体の周りを回転可
能である。対抗体165はボール145の収容の
ために役立ち、ボールはホルダ155によつて検
出器ホルダ105に配置されている。検出器ホル
ダ105は公知の方法で接触球115を備えた検
出ピン25を有する。ホルダ155はボール14
5とともに回転可能かつ検出器ホルダ105中を
縦移動可能に支承されている。
組立及び調整のために検出ヘツドハウジング1
35と対抗体165との間に並びに検出器ホルダ
105とホルダ155との間に接着剤層が位置
し、接着剤層は前記運動可能性を可能にする。図
示しない組立装置によつて検出器ホルダ105が
検出ヘツドハウジング底135に対して調整され
る。その際検出ヘツドハウジング底135に自由
に移動可能な対抗体165はその円錐孔175に
よつて正確にボール145に整向されボールはそ
のホルダ155とともに検出器ホルダ105にお
いてを軸線方向に運動可能かつ回転可能である。
この方法で検出ピン25のためにゼロ位置が作ら
れ、そのゼロ位置においてボール145と所属の
円錐孔175との間の接触地帯が円線を形成し、
円線は検出ピン軸線に対して垂直な1つの平面内
に位置する。それによつて第1図〜第3図による
実施例による検出ヘツドの場合と同様に有利な支
承条件が作られる。
当業者にとつて第6a図〜第6e図による実施
例は有利な構造変形であり、これは当業者が必要
に応じて選択される。第6a図は支承要素として
検出ヘツドハウジング底136上に自由に移動可
能なボール166を示し、その表面は検出器ホル
ダ106内に配置されている円筒状のブツシユ1
56と協働する。ボール166とブツシユ156
との間の接触地域は円線である。
第6b図による変形では要素は交換されてい
る。検出ヘツドハウジング底137上ち自由に移
動可能なブツシユ167が記載の方法で検出器ホ
ルダ107内に配置されたボール157と協働す
る。
第6c図による変形では、ボール148はホル
ダ168内にあり、かつこれとともに検出ヘツド
ハウジング底138上を自由に移動可能である。
検出器ホルダ108内には対抗体158が軸線方
向に移動可能にかつ回転可能に配置されており、
対抗体はそのボール148に面した端面に円錐孔
178を有する。
第6d図は他の構造的変形を示す。検出ヘツド
ハウジング底139内に回転可能かつ軸線方向に
移動可能に円筒状体169が支承されている。検
出ヘツドハウジング底139に対して平行な表面
上には移動可能な対抗体159があり、その円錐
孔179はボール149と協働し、ボールは検出
器ホルダ109内に固定されている。
本発明による検出ピンホルダのための他の可能
性を第6e図が示す。検出器ホルダ100内には
孔170が設けられている。検出ヘツドハウジン
グ底130内には軸線方向に移動可能なスタンプ
160があり、検出ヘツドハウジング底130に
対して平行な表面上に回転可能かつ移動可能な対
抗体150が配置されており、その球状ヘツド範
囲140は検出器ホルダ100内の孔170と協
働する。
特別有利に本発明による支承部は支承体とし
て、第6d図に検出器ホルダ109にボール14
9を備えて示されたような任意の方法で検出器ホ
ルダ内に固定される。
必要な調整可能性は円錐孔70の軸線方向の移
動を可能にする二重偏心体50によつて達成され
る。二重偏心体50は円錐孔70が対抗体60の
端面に円錐孔70の軸線が対抗体60の縦軸線に
対して平行であるように配置されることによつて
実現される。円錐孔70は縦軸線の周りの対抗体
60の回転の際に円軌道上を旋回されることがで
きる。対抗体60は収容シリンダ80内で収容シ
リンダ80の縦軸線とも対抗体60の縦軸線とも
相互に平行であるように支承される。この方法で
第2の偏心体が形成される。収容シリンダ80は
その収容部に、例えばここでは図示しない検出ヘ
ツドハウジング底、その縦軸線のまわりに回転可
能であり、その結果対抗体60は円軌道上収容シ
リンダの軸線のまわりを旋回されることができ
る。対抗体60はその固有の軸線の周りを回転可
能であり、その結果円錐孔70は他の円軌道上を
運動される。軸線移動は対抗体60及び又は収容
シリンダ80によつて行われる。
著しい利点は完全な検出器ホルダが比較的小さ
い寸法を有することにある。そのわけは全ての調
整要素が検出ヘツドハウジング底内に配置されて
いるからである。
勿論ここで変形は第6図に示すように実現され
る。
全ての実施例に共通して相互に付設された支承
部又は対抗体の表面の接触地域はそれぞれ1つの
円線を形成し、そして円線は検出ピン軸線に対し
て垂直な共通の平面内に位置する。
明快にするために主実施例の符号のみが主特許
請求の範囲に記載されている。
「特定されたゼロ位置」では変位しない状態の
検出ピンの休止位置であると理解される。この休
止位置において検出ピンは最終的な変位の後に常
に再び正確に戻され、検出ピンは正確に再現可能
でなければならない。
【図面の簡単な説明】
第1図は検出ヘツドの軸線断面図、第2図は第
1図の−線に沿う断面図、第3a図は対抗体
のボール、第3b図はホルダと対抗体上部を備え
たボール、第4図は動力学的図、第5図は検出ヘ
ツド支承部の部分断面図、第6a図〜第6e図は
支承部の構造的変形、そして第7図は二重偏心体
を示す図である。 図中符号、2……検出ピン、14……支承体、
16……対抗体、17……表面範囲。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 複数の座標方向に変位可能な少なくとも1つ
    の検出ピンを備え、検出ピンは戻し力によつてそ
    のゼロ位置として特定された位置に押圧され、そ
    の位置は相応した数の対抗体の表面範囲との協働
    によつて特定されており、その際支承体及びこれ
    に付設された対抗体は検出ピンのまわりに同心的
    に配置されている、前記多座標検出ヘツドにおい
    て、 支承体14と対抗体16は検出ピン2の前記ゼ
    ロ位置において、支承体14の各表面範囲と所属
    の対抗体16の表面範囲17の接触地帯がそれぞ
    れ円線を形成し、そして特にそのように形成され
    た円線全体は検出ヘツド軸線に対して垂直な1つ
    の平面内に位置し、 検出ピン2の長さ方向に検出ヘツドが移動して
    被測定物に接触した場合は接触子11とは反対側
    から検出ピン2を押すばね12の力に抗して検出
    ピンが押し込まれるように変位して検出ピンに直
    交する支持面10に検出ピンを取り囲むように配
    置された検出装置が支持面の変位を検知し、検出
    ピンの側面から接触して場合は支持面と接触子の
    途中の支点を中心に検出ピンが傾動するのを前記
    検出装置の1部分が作動して検知することを特徴
    とする前記多座標検出ヘツド。 2 支承体は調整可能なボール14,145,1
    48,149として形成されており、ボールは調
    整可能な対抗体16,165,168,169内
    に配置されている円錐孔17,175,178,
    179と協働する、特許請求の範囲第1項記載の
    多座標検出ヘツド。 3 支承体は軸線方向に調整可能なボール14,
    145として形成されており、ボールはラジアル
    方向に調整可能な対抗体16,165内に配設さ
    れている円錐孔17,175と協働する、特許請
    求の範囲第1項又は第2項記載の多座標検出ヘツ
    ド。 4 支承体はラジアル方向に調整可能なボール1
    4,148として形成されており、ボールは軸線
    方向に調整可能な対抗体16,165内に配設さ
    れた円錐孔17,178と協働する特許請求の範
    囲第1項又は第2項記載の多座標検出ヘツド。 5 支承体はそれぞれ軸線方向に移動可能かつ回
    転可能なホルダ15内に偏心して配置されたボー
    ルに14として形成されており、対抗体16は回
    転可能かつ軸線方向に移動可能でありかつそのボ
    ール14に面した端面にそれぞれ円錐孔17を有
    し、その軸線はそれぞれ対抗体16の縦軸線に対
    して平行に経過する、特許請求の範囲第1項から
    第4項までのうちのいずれか1つに記載の多座標
    検出ヘツド。 6 支承体は対抗体として調整可能なブツシユ1
    56,167と協働する調整可能なボール15
    7,166として形成されている、特許請求の範
    囲第1項記載の多座標検出ヘツド。 7 支承体は球状スタンプ140として形成され
    ており、スタンプは軸線方向及びラジアル方向に
    調整可能であり、かつ検出体ホルダ100内の孔
    170と協働する、特許請求の範囲第1項記載の
    多座標検出ヘツド。 8 対抗体60はその支承体40に面した端面に
    それぞれ1つの円錐孔70を有し、その軸線はそ
    れぞれ対抗体60の縦軸線と平行であり、そして
    対抗体60は回転可能な収容シリンダ80内に偏
    心して支承されている、特許請求の範囲第1項記
    載の多座標検出ヘツド。 9 多数の支承体14,145,148,149
    及び対抗体16,165,167,168が検出
    ヘツド軸線のまわりに同心に均等間隔で配置され
    ている、特許請求の範囲第1項記載の多座標検出
    ヘツド。
JP62295412A 1986-11-25 1987-11-25 多座標検出ヘツド Granted JPS63142209A (ja)

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DE3640160.9 1986-11-25
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JPS63142209A JPS63142209A (ja) 1988-06-14
JPH0575337B2 true JPH0575337B2 (ja) 1993-10-20

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ID=6314673

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JP62295412A Granted JPS63142209A (ja) 1986-11-25 1987-11-25 多座標検出ヘツド

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US (1) US4897929A (ja)
EP (1) EP0269789B1 (ja)
JP (1) JPS63142209A (ja)
AT (1) ATE58433T1 (ja)
DE (2) DE3640160A1 (ja)
ES (1) ES2018510B3 (ja)

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JPS63142209A (ja) 1988-06-14
ATE58433T1 (de) 1990-11-15
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DE3640160A1 (de) 1988-06-01
US4897929A (en) 1990-02-06
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DE3640160C2 (ja) 1989-02-02
DE3766227D1 (de) 1990-12-20
ES2018510B3 (es) 1991-04-16

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