JPH08512146A - 熱的に安定な光高分子組成物と光伝送デバイス - Google Patents
熱的に安定な光高分子組成物と光伝送デバイスInfo
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 53
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title abstract description 70
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title abstract description 19
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 76
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 47
- -1 aryl acrylate Chemical compound 0.000 claims description 44
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 31
- 238000005336 cracking Methods 0.000 claims description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 26
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 15
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 11
- 238000004040 coloring Methods 0.000 claims description 9
- 240000007124 Brassica oleracea Species 0.000 claims description 4
- 235000003899 Brassica oleracea var acephala Nutrition 0.000 claims description 4
- 235000012905 Brassica oleracea var viridis Nutrition 0.000 claims description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 62
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 52
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 40
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 38
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 18
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 6-prop-2-enoyloxyhexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCCOC(=O)C=C FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 9
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- BGYHLZZASRKEJE-UHFFFAOYSA-N [3-[3-(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)propanoyloxy]-2,2-bis[3-(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)propanoyloxymethyl]propyl] 3-(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)propanoate Chemical compound CC(C)(C)C1=C(O)C(C(C)(C)C)=CC(CCC(=O)OCC(COC(=O)CCC=2C=C(C(O)=C(C=2)C(C)(C)C)C(C)(C)C)(COC(=O)CCC=2C=C(C(O)=C(C=2)C(C)(C)C)C(C)(C)C)COC(=O)CCC=2C=C(C(O)=C(C=2)C(C)(C)C)C(C)(C)C)=C1 BGYHLZZASRKEJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 8
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 8
- ZDHCZVWCTKTBRY-UHFFFAOYSA-N omega-Hydroxydodecanoic acid Natural products OCCCCCCCCCCCC(O)=O ZDHCZVWCTKTBRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 7
- XITRBUPOXXBIJN-UHFFFAOYSA-N bis(2,2,6,6-tetramethylpiperidin-4-yl) decanedioate Chemical compound C1C(C)(C)NC(C)(C)CC1OC(=O)CCCCCCCCC(=O)OC1CC(C)(C)NC(C)(C)C1 XITRBUPOXXBIJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 7
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 7
- 229940096522 trimethylolpropane triacrylate Drugs 0.000 description 7
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 6
- KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VFBJXXJYHWLXRM-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[3-(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)propanoyloxy]ethylsulfanyl]ethyl 3-(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)propanoate Chemical compound CC(C)(C)C1=C(O)C(C(C)(C)C)=CC(CCC(=O)OCCSCCOC(=O)CCC=2C=C(C(O)=C(C=2)C(C)(C)C)C(C)(C)C)=C1 VFBJXXJYHWLXRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- RIWRBSMFKVOJMN-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-phenylpropan-2-ol Chemical compound CC(C)(O)CC1=CC=CC=C1 RIWRBSMFKVOJMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 5
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 5
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 5
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 5
- 229960003742 phenol Drugs 0.000 description 5
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 5
- PSGCQDPCAWOCSH-UHFFFAOYSA-N (4,7,7-trimethyl-3-bicyclo[2.2.1]heptanyl) prop-2-enoate Chemical compound C1CC2(C)C(OC(=O)C=C)CC1C2(C)C PSGCQDPCAWOCSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 1,2,6-trimethylphenanthrene Chemical compound CC1=CC=C2C3=CC(C)=CC=C3C=CC2=C1C MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOC(=O)C=C LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 4
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000003847 radiation curing Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- GJKGAPPUXSSCFI-UHFFFAOYSA-N 2-Hydroxy-4'-(2-hydroxyethoxy)-2-methylpropiophenone Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=C(OCCO)C=C1 GJKGAPPUXSSCFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylsulfanylphenyl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(SC)=CC=C1C(=O)C(C)(C)N1CCOCC1 LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XMIIGOLPHOKFCH-UHFFFAOYSA-N 3-phenylpropionic acid Chemical compound OC(=O)CCC1=CC=CC=C1 XMIIGOLPHOKFCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XRMBQHTWUBGQDN-UHFFFAOYSA-N [2-[2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)butoxymethyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)butyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(CC)COCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C XRMBQHTWUBGQDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FHLPGTXWCFQMIU-UHFFFAOYSA-N [4-[2-(4-prop-2-enoyloxyphenyl)propan-2-yl]phenyl] prop-2-enoate Chemical compound C=1C=C(OC(=O)C=C)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(OC(=O)C=C)C=C1 FHLPGTXWCFQMIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 3
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical group C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 3
- SSDSCDGVMJFTEQ-UHFFFAOYSA-N octadecyl 3-(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)propanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)CCC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 SSDSCDGVMJFTEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 229940059574 pentaerithrityl Drugs 0.000 description 3
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002530 phenolic antioxidant Substances 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- ZDQNWDNMNKSMHI-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2-prop-2-enoyloxypropoxy)propoxy]propan-2-yl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC(C)COC(C)COCC(C)OC(=O)C=C ZDQNWDNMNKSMHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 description 2
- JLZIIHMTTRXXIN-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hydroxy-4-methoxybenzoyl)benzoic acid Chemical compound OC1=CC(OC)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O JLZIIHMTTRXXIN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GAODDBNJCKQQDY-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4,6-bis(octylsulfanylmethyl)phenol Chemical compound CCCCCCCCSCC1=CC(C)=C(O)C(CSCCCCCCCC)=C1 GAODDBNJCKQQDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RZVINYQDSSQUKO-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxyethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOC1=CC=CC=C1 RZVINYQDSSQUKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEXOWHQZWLCHHD-UHFFFAOYSA-N 3,5-ditert-butyl-4-hydroxybenzoic acid Chemical compound CC(C)(C)C1=CC(C(O)=O)=CC(C(C)(C)C)=C1O YEXOWHQZWLCHHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 2
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 2
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 2
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 2
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 2
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 2
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical group C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- KBLWLMPSVYBVDK-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1CCCCC1 KBLWLMPSVYBVDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 125000003976 glyceryl group Chemical group [H]C([*])([H])C(O[H])([H])C(O[H])([H])[H] 0.000 description 2
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 2
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 2
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- YDKNBNOOCSNPNS-UHFFFAOYSA-N methyl 1,3-benzoxazole-2-carboxylate Chemical compound C1=CC=C2OC(C(=O)OC)=NC2=C1 YDKNBNOOCSNPNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N succinic acid Chemical compound OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004383 yellowing Methods 0.000 description 2
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MXFQRSUWYYSPOC-UHFFFAOYSA-N (2,2-dimethyl-3-prop-2-enoyloxypropyl) prop-2-enoate Chemical class C=CC(=O)OCC(C)(C)COC(=O)C=C MXFQRSUWYYSPOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HJIAMFHSAAEUKR-UHFFFAOYSA-N (2-hydroxyphenyl)-phenylmethanone Chemical compound OC1=CC=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 HJIAMFHSAAEUKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNNLYDWXTKOQQX-UHFFFAOYSA-N 1,1-di(prop-2-enoyloxy)propyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC(CC)(OC(=O)C=C)OC(=O)C=C NNNLYDWXTKOQQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NWHNXXMYEICZAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,2,6,6-pentamethylpiperidin-4-ol Chemical compound CN1C(C)(C)CC(O)CC1(C)C NWHNXXMYEICZAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGBWMWKMTUSNKE-UHFFFAOYSA-N 1-(2-methylprop-2-enoyloxy)hexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCC(OC(=O)C(C)=C)OC(=O)C(C)=C OGBWMWKMTUSNKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VDVUCLWJZJHFAV-UHFFFAOYSA-N 2,2,6,6-tetramethylpiperidin-4-ol Chemical compound CC1(C)CC(O)CC(C)(C)N1 VDVUCLWJZJHFAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RKMGAJGJIURJSJ-UHFFFAOYSA-N 2,2,6,6-tetramethylpiperidine Chemical compound CC1(C)CCCC(C)(C)N1 RKMGAJGJIURJSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SPSSULHKWOKEEL-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-trinitrotoluene Chemical compound CC1=C([N+]([O-])=O)C=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O SPSSULHKWOKEEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPKNZTMDJWHXDC-UHFFFAOYSA-N 2,6-ditert-butyl-4-hexadecylphenol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 QPKNZTMDJWHXDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FTALTLPZDVFJSS-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethoxyethoxy)ethyl prop-2-enoate Chemical compound CCOCCOCCOC(=O)C=C FTALTLPZDVFJSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WMYINDVYGQKYMI-UHFFFAOYSA-N 2-[2,2-bis(hydroxymethyl)butoxymethyl]-2-ethylpropane-1,3-diol Chemical compound CCC(CO)(CO)COCC(CC)(CO)CO WMYINDVYGQKYMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIJYFLXQHDOQGW-UHFFFAOYSA-N 2-[2,4,6-trioxo-3,5-bis(2-prop-2-enoyloxyethyl)-1,3,5-triazinan-1-yl]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCN1C(=O)N(CCOC(=O)C=C)C(=O)N(CCOC(=O)C=C)C1=O YIJYFLXQHDOQGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AWFYPPSBLUWMFQ-UHFFFAOYSA-N 2-[5-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]-1,3,4-oxadiazol-2-yl]-1-(1,4,6,7-tetrahydropyrazolo[4,3-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical group C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C1=NN=C(O1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=C2 AWFYPPSBLUWMFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWZMWHWAWHPNHN-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl prop-2-enoate Chemical compound CC(O)COC(=O)C=C GWZMWHWAWHPNHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MSNYYJDQCSPQNM-UHFFFAOYSA-N 3-(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)-2-hydroxyprop-2-enoic acid Chemical compound CC(C)(C)C1=CC(C=C(O)C(O)=O)=CC(C(C)(C)C)=C1O MSNYYJDQCSPQNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SWZOQAGVRGQLDV-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidin-1-yl)ethoxy]-4-oxobutanoic acid Chemical compound CC1(C)CC(O)CC(C)(C)N1CCOC(=O)CCC(O)=O SWZOQAGVRGQLDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCILGMFPJBRCNO-UHFFFAOYSA-N 4-phenyl-2H-benzotriazol-5-ol Chemical compound OC1=CC=C2NN=NC2=C1C1=CC=CC=C1 ZCILGMFPJBRCNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SAPGBCWOQLHKKZ-UHFFFAOYSA-N 6-(2-methylprop-2-enoyloxy)hexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCCCOC(=O)C(C)=C SAPGBCWOQLHKKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DWXYRJUULBITPN-UHFFFAOYSA-N C(C=C)(=O)O.C(C=C)(=O)O.FC(C(C1=CC=C(O)C=C1)(C(F)(F)F)C1=CC=C(C=C1)O)(F)F Chemical class C(C=C)(=O)O.C(C=C)(=O)O.FC(C(C1=CC=C(O)C=C1)(C(F)(F)F)C1=CC=C(C=C1)O)(F)F DWXYRJUULBITPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XZMCDFZZKTWFGF-UHFFFAOYSA-N Cyanamide Chemical compound NC#N XZMCDFZZKTWFGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNNUYHBTXZIHAP-UHFFFAOYSA-N OC(O)=O.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C Chemical compound OC(O)=O.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C DNNUYHBTXZIHAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N Phenanthrene Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000604 Polyethylene Glycol 200 Polymers 0.000 description 1
- 229920002565 Polyethylene Glycol 400 Polymers 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical class CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane trimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CC)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012963 UV stabilizer Substances 0.000 description 1
- DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N [1,10]phenanthroline Chemical compound C1=CN=C2C3=NC=CC=C3C=CC2=C1 DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBHQYYNDKZDVTN-UHFFFAOYSA-N [4-(4-methylphenyl)sulfanylphenyl]-phenylmethanone Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1SC1=CC=C(C(=O)C=2C=CC=CC=2)C=C1 DBHQYYNDKZDVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 238000012644 addition polymerization Methods 0.000 description 1
- 125000002529 biphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 description 1
- RSOILICUEWXSLA-UHFFFAOYSA-N bis(1,2,2,6,6-pentamethylpiperidin-4-yl) decanedioate Chemical compound C1C(C)(C)N(C)C(C)(C)CC1OC(=O)CCCCCCCCC(=O)OC1CC(C)(C)N(C)C(C)(C)C1 RSOILICUEWXSLA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QUZSUMLPWDHKCJ-UHFFFAOYSA-N bisphenol A dimethacrylate Chemical compound C1=CC(OC(=O)C(=C)C)=CC=C1C(C)(C)C1=CC=C(OC(=O)C(C)=C)C=C1 QUZSUMLPWDHKCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 1
- 239000001273 butane Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- NHADDZMCASKINP-HTRCEHHLSA-N decarboxydihydrocitrinin Natural products C1=C(O)C(C)=C2[C@H](C)[C@@H](C)OCC2=C1O NHADDZMCASKINP-HTRCEHHLSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N dipropylene glycol Chemical compound OCCCOCCCO SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 238000007046 ethoxylation reaction Methods 0.000 description 1
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- VSQYNPJPULBZKU-UHFFFAOYSA-N mercury xenon Chemical compound [Xe].[Hg] VSQYNPJPULBZKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002734 metacrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- UJRDRFZCRQNLJM-UHFFFAOYSA-N methyl 3-[3-(benzotriazol-2-yl)-5-tert-butyl-4-hydroxyphenyl]propanoate Chemical compound CC(C)(C)C1=CC(CCC(=O)OC)=CC(N2N=C3C=CC=CC3=N2)=C1O UJRDRFZCRQNLJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002816 methylsulfanyl group Chemical group [H]C([H])([H])S[*] 0.000 description 1
- IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N n-butane Chemical compound CCCC IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N n-pentane Natural products CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- DXGLGDHPHMLXJC-UHFFFAOYSA-N oxybenzone Chemical compound OC1=CC(OC)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 DXGLGDHPHMLXJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007965 phenolic acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229940113115 polyethylene glycol 200 Drugs 0.000 description 1
- 229940068918 polyethylene glycol 400 Drugs 0.000 description 1
- 229920000671 polyethylene glycol diacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000005510 radiation hardening Methods 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229940116351 sebacate Drugs 0.000 description 1
- CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-L sebacate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCCCCCCCC([O-])=O CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000001384 succinic acid Substances 0.000 description 1
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 1
- 125000001973 tert-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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Abstract
(57)【要約】
光伝送デバイスの光透過性領域を形成するのに用いられる光高分子組成物の製造に使用するための光重合性組成物およびそのようなデバイス。
Description
【発明の詳細な説明】
熱的に安定な光高分子組成物と光伝送デバイス
発明の背景
1.発明の分野
本発明は、光重合性組成物およびそれより製造される熱的に安定な光高分子(
photopolymer)組成物に関する。本発明のもう一つの態様は、本発明の光高分子
組成物から作られる導波路のような光透過性光学デバイスに関する。
2.従来の技術
光通信システムでは、メッセージはレーザー若しくは発光ダイオードのような
光源によって発生される光周波数の搬送波によって伝送される。光通信システム
は在来の通信システムに比べて通信チャネルの数が非常に多くなること、また高
価な銅ケーブル以外の材料をメッセージ伝送用に使用できることなどの幾つかの
利点を提供するので、最近非常に関心が持たれている。一つの地点から他の地点
に光周波数の波を伝導若しくは導波するこのような方法は、“光導波(optical
waveguide)”と呼ばれる。光導波の操作は、光に対して透明な媒体がそれより
屈折率の低いもう一つの媒体で取り囲まれているか、さもなければ接している場
合は、その内側の媒体の軸に沿って導入される光は取り囲んでいる媒体との境界
面で強く反射され、それにより導波効果を生じるという事実に基づく。
そのような導波デバイスに最もよく用いられる材料はガラスで、それは特定の
寸法の繊維に成形されている。しかし、この光透過性素子として光学的に透明な
重合体が段々使用されるようになって来ている。従来の光学的に透明な重合体は
一つ若しくはそれ以上の欠陥を持っている。例えば、光学的に透明な重合体の共
通の性質は、長期間加熱された時変色して来ることである。目に見える現象とし
てはそれら重合体が黄色くなることである。熱で誘起される重合体の変色は、例
えば、その重合体をゆっくり分解させる化学反応などの、複数の要因により起き
る。通常、加熱時間が長いと短い加熱時間の場合より大きい変色が起きる。出発
時に淡黄色に着色していると、最後には褐色または黒色にさえもなることがある
。着色した重合体の試料を吸収スペクトル分光計で調べると、吸収バンドの裾が
その重合体の固有の紫外吸収帯から可視スペクトル領域(400nm〜700n
m)
へ、そして赤外スペクトル領域(>700nm)にまでも延びているのが観測さ
れる。この吸収の裾の部分は、普通、識別できる微細構造を持っていない。この
透過領域における光の吸収は、光波が導波路を通る時にその強さを弱め、“光学
損失”(“optical loss”)または“光学力損失”(“optical power loss”)
を生じさせる現象である。
マルチモードの光導波路は、主として、700nmから1300nmの赤外ス
ペクトル領域で用いられる。若しも、高分子光導波路が長い時間加熱されると、
そして熱的に誘起される吸収帯の裾が赤外線波長の操作領域にまで延びると、導
波路を通る光の透過は劇的に減少する可能性がある。強く変色する場合には、そ
の導波路は使用できなくなる。
光高分子薄膜と導波路は、高温に加熱すると、ひび割れを生じることがある。
導波路中のひび割れは光を散乱し、一般にその導波路の有効性を低下させる。か
かるひび割れは応力の結果である。この応力は光高分子組成物中の不均一性から
生じる導波路に内在するものであるか、または導波路の材料と熱膨脹係数が異な
る、導波路と接触している支持基材(substrate)若しくは被覆材料から生じ得
る。前駆単量体に紫外線を当てて支持基材上で光高分子導波路を生成させる方法
でも、一般に、引張応力のかかった導波路になる。これは、光高分子が占める容
積が前駆単量体の体積より一般に小さいために起きる。その収縮量は10%もの
大きな量であることもある。
温度が変化することから起きる第3の効果は、支持基材から導波路が剥離する
ことである。剥離は導波路の性質[例えば、開口率(numerical aperture)、即
ちNA]を変化させ、導波路の構造を弱め、振動および湿度のようなその他の環
境因子による損傷をより受け易くなる。
発明の要約
本発明の一つの態様は、
アリールアクリレートおよびアリールメタクリレート、望ましくはアリールト
リアクリレート、アリールジアクリレートおよびアリールテトラアクリレートの
ような多官能性アリールアクリレートおよびアリールメタクリレートより成る群
から選ばれる一種またはそれ以上のエチレン系不飽和単量体;および
化学線に露光した時に該不飽和単量体の重合を活性化する光開始剤を含んでな
る光重合性組成物に関し、該組成物は重合されて、空気中で190℃の温度に2
4時間曝した時、ASTM D1544‐80に従って求めたガードナー・カラ
ー・スケールでの着色が8若しくはそれ以下であり、同じ試料を190℃の温度
に24時間空気中で曝した時、ASTM D4538‐90Aに決められるガラ
ス基材からの剥離またはひび割れを示さない光高分子を生成することができる。
本発明のもう一つの態様は、本発明の光重合性組成物を化学線に露光すること
により製造される光高分子に関する。
本発明のさらにもう一つの態様は、基材表面に予め決められた光透過性領域の
パターンを有する基材からなる、光導波路のような光伝送デバイスにして、本発
明の光高分子からなる光透過性領域を含んでいる物体からなるデバイスに関する
。
本発明は、光伝送デバイスの製造に現在用いられている重合体に比べて、一つ
若しくはそれ以上の利点を提供する。例えば、本発明の光高分子は向上した熱安
定性を示し、比較的高温(即ち、約50℃から125℃)で処理または使用した
後の着色が少なくなり、このことが、また、熱安定性の小さい重合体が示す光伝
送性より大きい光伝送性をもたらすことである。これらの性質は、その光高分子
が製造中に比較的高い温度に曝される導波路などの光伝送デバイスの光透過性素
子の製造に用いられる場合、特に有利である。本発明で推奨される光高分子は、
光伝送デバイスの光透過性素子の製造に用いられる重合体にとって望ましい性質
でもある、ひび割れおよび支持基材に結合された時の剥離に対する抵抗性も有す
る。
図面の簡単な説明
図面において:
図1(a)から1(c)は、本発明の推奨される導波路の製造法における主要
工程の幾つかを模式的に示した断面図である。
図2は、本発明の推奨される導波路の構造を模式的に示した等角断面図である
。
推奨される実施態様の説明
本発明の光重合性組成物は二つの基本的構成成分を含んでなる。第1基本成分
はアリールアクリレートおよびアリールメタクリレート(“アリールアクリレー
ト系単量体”)より成る群から選ばれる光重合性エチレン系不飽和単量体である
。このようなアリールアクリレート系単量体の例は、ベンゼン、ナフタレン、ビ
スフェノール‐A、ビフェニレン、メタンビフェニレン、トリフルオロメタンビ
フェニレン、フェノキシフェニレンおよびそれらに類するものを基体とする、例
えばジ、トリおよびテトラアクリレートのようなアリールジアクリレート、トリ
アクリレートおよびテトラ‐アクリレートである。望ましいアリールアクリレー
ト系単量体は多官能性のアリールアクリレートおよびアリールメタクリレートで
あり、より望ましいアリールアクリレート系単量体はビスフェノール‐A構造を
基体とするジ、トリおよびテトラアクリレートおよびメタクリレートである。最
も望ましいアリールアクリレート系単量体はエトキシル化ビスフェノール‐Aジ
アクリレートおよびジメタクリレート、プロポキシル化ビスフェノール‐Aジア
クリレートおよびジメタクリレートおよびエトキシル化ヘキサフルオロビスフェ
ノール‐Aジアクリレートおよびジメタクリレートのようなアルコキシル化ビス
フェノール−Aジアクリレートおよびジメタクリレートである。これらの中のえ
り抜きのアリールアクリレート系単量体はエトキシル化ビスフェノール‐Aジア
クリレートおよびジメタクリレートである。
この組成物中のアリールアクリレート系単量体の量は広い範囲で変えられ、そ
して光伝送デバイスの光透過性素子として用いられる光高分子の製造に用いられ
る光重合性組成物中で普通に使用される量を用いることができる。このアリール
アクリレート系単量体の量は、通常、その組成物の重量の約35%から約99.
9%であり、望ましくはその組成物の重量の約60%から約98%であり、そし
てより望ましくはその組成物の重量の約65%から約95%である。
本発明の重合性組成物は、もう一つの基本成分として、化学線照射で活性化さ
れてアリールアクリレート系単量体を光重合させる活性化された種を生成する、
光開始剤系を含んでいる。この光開始剤系は、光開始剤と、望ましくは、例えば
近紫外領域および、レーザーが励起する可視スペクトル領域も利用できるスペク
トルを有する領域にまでスペクトル応答を拡げる、常用の増感剤を含んでいる。
通常、この光開始剤は化学線で活性化され、望ましくは室温(例えば、約20か
ら約25℃)以下では熱的に不活性であるラジカル生成性付加重合開始剤である
。
かかる開始剤の代表的な例は米国特許第4,943,112号明細書およびその
中に引用されている文献に記載されている開始剤である。望ましいラジカル開始
剤は、1‐ヒドロキシ‐シクロヘキシル‐フェニルケトン[イルガキュア(Irga
cure)184]、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロ
ピルエーテル、ベンゾフェノン、ベンズジメチル・ケタール(イルガキュア65
1)、α、α‐ジエチルオキシ・アセトフェノン、α、α‐ジメチルオキシ‐α
‐ヒドロキシアセトフェノン[ダロキュア(Darocur)1173]、1‐[4‐
(2‐ヒドロキシエトキシ)フェニル]‐2‐ヒドロキシ‐2‐メチル‐プロパ
ン‐1‐オン(ダロキュア2959)、2‐メチル‐1‐[4‐メチルチオフェ
ニル]‐2‐モルホリノ‐プロパン‐1‐オン(イルガキュア907)、2‐ベ
ンジル‐2‐ジメチルアミノ‐1‐(4‐モルホリノフェニル)‐ブタン‐1‐
オン(イルガキュア369)、ポリ{1‐[4‐(1‐メチルビニル)フェニル
]‐2‐ヒドロキシ‐2‐メチル‐プロパン‐1‐オン}[エサキュア(Esacur
e)KIP]、[4‐(4‐メチルフェニルチオ)‐フェニル]フェニルメタノ
ン[クワンタキュア(Quantacure)BMS]、ジ‐カンファーキノンである。よ
り望ましい光開始剤には、ベンズジメチル・ケタール(イルガキュア651)、
α、α‐ジエチルオキシ・アセトフェノン、α、α‐ジメチルオキシ‐α‐ヒド
ロキシアセトフェノン(ダロキュア1173)、1‐ヒドロキシ‐シクロヘキシ
ル‐フェニルケトン(イルガキュア184)、1‐[4‐(2‐ヒドロキシエト
キシ)フェニル]‐2‐ヒドロキシ‐2‐メチル‐プロパン‐1‐オン(ダロキ
ュアー2959)、2‐メチル‐1‐4‐(メチルチオ)フェニル]‐2‐モル
ホリノプロパン‐1‐オン(イルガキュア907)、2‐ベンジル‐2‐ジメチ
ルアミノ‐1‐(4‐モルホリノフェニル)‐ブタン‐1‐オン(イルガキュア
369)がある。最も望ましい光開始剤は光を照射した時黄変する傾向がなく、
しかしてその組成物の着色が、ASTM D1544‐80に従って求めた19
0℃の温度で24時間露光した時のガードナー・スケールの値で8点より大きく
はならない開始剤である。このような光開始剤に、ベンズジメチル・ケタール(
イルガキュア651)、α、α‐ジメチルオキシ‐α‐ヒドロキシアセトフェノ
ン[ダロキュア1173]、1‐ヒドロキシ‐シクロヘキシル‐フェニルケトン
(イルガキュ
ア184]および1‐[4‐(2‐ヒドロキシエトキシ)フェニル]‐2‐ヒド
ロキシ‐2‐メチルプロパン‐1‐オン(ダロキュアー2959)がある。
光開始剤の量は広い範囲で変えられるが、常用の量が用いられる。通常、光開
始剤の量はその組成物の重量の約0.1から約10%である。望ましくは、光開
始剤の量はその組成物の総重量の約0.5から約10重量%であり、そしてより
望ましくは約0.5から約5重量%である。
これら基本構成成分に加えて、本発明の組成物は、光伝送デバイスの光透過性
素子として用いられる光高分子を製造するために用いられる光重合性組成物中で
普通使用される、各種の場合によって追加される成分を含んでいることができる
。このような場合によって追加される成分はこの技術分野で良く知られているも
ので、安定剤、禁止剤、可塑剤、蛍光増白剤、離型剤、連鎖移動剤、他の光重合
性単量体およびそれらに類するものである。
本発明の組成物は基本アリールアクリレート単量体の他に一種またはそれ以上
の光重合性単量体成分を含んでいるのが好ましい。これら他の単量体成分は、例
えば、その組成物から作られる光高分子の低い着色性、ひび割れ性および剥離性
などのアリールアクリレート系単量体によって提供される基本的性質を不当に損
なうことなしに、橋架け密度、粘度、粘着性、硬化速度、屈折率およびそれらに
類する性質を微調整するような、その組成物の性質を微調整するための多くの目
的に用いられる。これら他の単量体は光重合性脂肪族エチレン系不飽和単量体、
望ましくはアクリレート若しくはメタクリレート系単量体であって、より望まし
くは多官能性のアクリレート若しくはメタクリレート系単量体である。有用な少
量成分単量体の例は、ブチルアクリレート(BA)、エチルヘキシルアクリレー
ト(EHA)、フェノキシエチルアクリレート(PEA)、β‐カルボキシルエ
チルアクリレート(β‐CEA)、イソボルニルアクリレート(IBOA)、テ
トラヒドロフルフリルアクリレート(THFFA)、シクロヘキシルアクリレー
ト(CHA)、プロピレングリコール・モノアクリレート(MPPGA)、2‐
(2‐エトキシエトキシ)エチルアクリレート(EOEOEA)、N‐ビニルピ
ロリドン(NVP)、1,6‐ヘキサンジオール・ジアクリレート(HDDA)
若しくはジメタクリレート(HDDMA)、ネオペンチルグリコール・ジアクリ
レート(NPGDA)、ジエチレングリコール・ジアクリレート(DEGDA)
若しくはジメタクリレート(DEGDMA)、トリエチレングリコール・ジアグ
リレート(TEGDA)若しくはジメタクリレート(TEGDMA)、テトラエ
チレングリコール・ジアクリレート(TTEGDA)若しくはジメタクリレート
(TTEGDMA)、ポリエチレングリコール・ジアクリレート(PEGDA)
若しくはジメタクリレート(PEGDMA)、ジプロピレングリコール・ジアク
リレート(DPGDA)、トリプロピレングリコール・ジアクリレート(TPG
DA)、エトキシル化ネオペンチルグリコール・ジアクリレート(NPEOGD
A)、プロポキシル化ネオペンチルグリコール・ジアクリレート(NPPOGD
A)、脂肪族ジアクリレート(ADA)、アルコキシル化脂肪族ジアクリレート
(AADA)、脂肪族カーボネート・ジアクリレート(ACDA)、トリメチロ
ールプロパン・トリアクリレート(TMPTA)若しくはトリメタクリレート(
TMPTMA)、ペンタエリトリトール・トリアクリレート(PETA)、エト
キシル化トリメチロールプロパン・トリアクリレート(TMPEOTA)、プロ
ポキシル化トリメチロールプロパン・トリアクリレート(TMPPOTA)、グ
リセリルプロポキシル化・トリアクリレート(GPTA)、トリス(2‐ヒドロ
キシエチル)イソシアヌレート・トリアクリレート(THEICTA)、ペンタ
エリトリトール・テトラアクリレート(PETTA)、ジペンタエリトリトール
・ペンタアクリレート(DPEPA)、ジトリメチロールプロパン・テトラアク
リレート(DTMPTTA)、アルコキシル化テトラアクリレート(ATTA)
である。少量成分用の最も望ましい単量体に、トリメチロールプロパン・トリア
クリレート(TMPTA)、1,6‐ヘキサンジオール・ジアクリレート(HD
DA)、ペンタエリトリトール・トリアクリレート(PETA)、エトキシル化
トリメチロールプロパン・トリアクリレート(TMPEOTA)、グリセリルプ
ロポキシル化・トリアクリレート(GPTA)、ペンタエリトリトール・テトラ
アクリレート(PETTA)、ジペンタエリトリトール・ペンタアクリレート(
DPEPA)、ジトリメチロールプロパン・テトラアクリレート(DTMPTT
A)がある。
組成物中の他の単量体成分の総量は広い範囲で変えられるが、通常、その組成
物の約0から約65重量%、望ましくはその組成物の約0から約40重量%、そ
してより望ましくはその組成物の約0から約35重量%である。
本発明の光重合性組成物は、ASTM D4538‐90Aで定められた空気
中、190℃で24時間加熱劣化した後のひび割れと剥離、そしてそのような熱
劣化後の黄変(ASTM D1544‐80に従って求めたガードナー・カラー
スケールで8より大の着色)のような性質の劣化を起こす分解を防ぐか、若しく
は減らすための安定剤を含んでいるのが望ましい。かかる安定剤に紫外線吸収剤
、光安定剤および酸化防止剤がある。紫外線吸収剤に、2‐[2‐ヒドロキシ‐
3,5‐ジ(1,1‐ジメチルベンジル)フェニル]‐2H‐ベンゾトリアゾー
ル[チヌビン(Tinuvin)900]、ポリ(オキシ‐1,2‐エタンジイル)、
α‐(3‐(3‐(2H‐ベンゾトリアゾール‐2‐イル)‐5‐(1,1‐ジ
メチルエチル)‐4‐ヒドロキシフェニル)‐1‐オキシプロピル)‐ω‐ヒド
ロキシ[チヌビン1130]および2‐[2‐ヒドロキシ‐3,5‐ジ(1,1
‐ジメチルプロピル)フェニル]‐2‐H‐ベンゾトリアゾール[チヌビン23
8]のようなヒドロキシフェニルベンゾトリアゾール、および4‐メトキシ‐2
‐ヒドロキシベンゾフェノンや4‐n‐オクトキシ‐2‐ヒドロキシベンゾフェ
ノンのようなヒドロキシベンゾフェノンからの紫外線吸収剤がある。光安定剤に
、4‐ヒドロキシ‐2,2,6,6‐テトラメチルピペリジン、4‐ヒドロキシ
‐1,2,2,6,6‐ペンタメチルピペリジン、4‐ベンゾイルオキシ‐2,
2,6,6‐テトラメチルピペリジン、ビス(2,2,6,6‐テトラメチル‐
4‐ピペリジニル)セバケート(チヌビン770)、ビス(1,2,2,6,6
‐ペンタメチル‐4‐ピペリジニル)セバケート(チヌビン292)、ビス(1
,2,2,6,6‐ペンタメチル‐4‐ピペリジニル)‐2‐n‐ブチル‐2‐
(3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシベンジル)マロネート(チヌビン1
44)、コハク酸と、N‐β‐ヒドロキシ‐エチル‐2,2,6,6‐テトラメ
チル‐4‐ヒドロキシ‐ピペリジンとからのポリエステル(チヌビン622)の
ようなヒンダードアミン類がある。酸化防止剤に、1,3,5‐トリメチル‐2
,4,6‐トリス(3,5‐ジ‐t‐ブチル)‐4‐ヒドロキシベンジル)ベン
ゼン、1,1,3‐トリス‐(2‐メチル‐4‐ヒドロキシ‐5‐t‐ブチルフ
ェニル)ブ
タン、4,4′‐ブチリデン‐ビス‐(6‐t‐ブチル‐3‐メチル)フェノー
ル、4,4′‐チオビス‐(6‐t‐ブチル‐3‐メチル)フェノール、トリス
‐(3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシベンジル)イソシアヌレート、セ
チル‐3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシベンゼン[シアソーブ(Cya
sorb)UV2908]、3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシ安息香酸
、1,3,5‐トリス‐(t‐ブチル‐3‐ヒドロキシ‐2,6‐ジメチルベン
ジル)(シアソーブ1790)、ステアリル‐3‐(3,5‐ジ‐t‐ブチル‐
4‐ヒドロキシフェニル)プロピオネート[イルガノックス(Irganox)
1076]、ペンタエリトリトール・テトラキス‐(3,5‐ジ‐t‐ブチル‐
4‐ヒドロキシフェニル)(イルガノックス1010)、チオジエチレン‐ビス
‐(3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシ)ヒドロシンナメート(イルガノ
ックス1035)のような置換フェノール類がある。本発明で用いられる望まし
い安定剤は酸化防止剤である。望ましい酸化防止剤は、1,3,5‐トリメチル
‐2,4,6‐トリス(3,5‐ジ‐t‐ブチル)‐4‐ヒドロキシベンジル)
ベンゼン、1,1,3‐トリス‐(2‐メチル‐4‐ヒドロキシ‐5‐t‐ブチ
ルフェニル)ブタン、4,4′‐ブチリデン‐ビス‐(6‐t‐ブチル‐3‐メ
チル)フェノール、4,4′‐チオビス‐(6‐t‐ブチル‐3‐メチル)フェ
ノール、トリス‐(3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシベンジル)イソシ
アヌレート、セチル‐3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシベンゼン(シア
ソーブUV2908)、3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシ安息香酸、1
,3,5‐トリス‐(t‐ブチル‐3‐ヒドロキシ‐2,6‐ジメチルベンジル
)(シアソーブ1790)、ステアリル‐3‐(3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐
ヒドロキシフェニル)プロピオネート(イルガノックス1076)、ペンタエリ
トリトール・テトラビス‐(3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシフェニル
)(イルガノックス1010)、チオジエチレン‐ビス‐(3,5‐ジ‐t‐ブ
チル‐4‐ヒドロキシ)ヒドロシンナメート(イルガノックス1035)のよう
な置換フェノール類から選ばれる。最も望ましい安定剤に、ペンタエリトリトー
ル・テトラキス‐(3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシフェニル)(イル
ガノックス1010)、チオジエチレン‐ビス‐(3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4
‐ヒド
ロキシ)ヒドロシンナメート(イルガノックス1035)およびステアリル‐3
‐(3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシフェニル)プロピオネート(イル
ガノックス1076)がある。
この組成物中の安定剤の量は広い範囲で変えられるが、通常、その組成物の約
0.1から約10重量%である。望ましくは、安定剤の量はその組成物の約0.
1から約5重量%、そしてより望ましくはその組成物の約0.2から約3重量%
である。
本発明の重合性組成物は本発明の光高分子を製造するための前駆体として有用
である。本発明の光高分子は、普通、本発明の重合性組成物を所要波長、所要強
さの化学線に所要時間の間露出することにより製造される。本明細書で用いられ
る“化学線”とは可視、紫外若しくは赤外スペクトル領域の光、さらに電子ビー
ム、イオンまたは中性子ビーム若しくはX線と定義されるものである。化学線は
非コヒーレント光でも、例えばレーザからの光のようなコヒーレント光でも良い
。
化学光光源、および露光の方法、時間、波長および強さは希望の重合度、光高
分子の屈折率およびこの技術分野の普通の習熟者に知られている他のファクター
に依存して広い範囲で変えることができる。このような常用の光重合法およびそ
れらの操作パラメータはこの技術分野で良く知られている。例えば、以下の文献
を参照されたい:エス.ピー.パーパス編(S.P.Pappas)の“放射線硬化:科学
と技術(Radiation Curing:Science and Technology)”、プレナム出版(Plenu
m Press)、ニューヨーク(New York)、ニューヨーク(NY);デー.アール
.ランデル編(D.R.Rndell)の“重合体の放射線硬化、II(Radiation Curing
of Polymers,II)”、ロイヤル・ソサイアティー オブ ケミストリー(Royal
Society of Chemistry)、ケンブリッジ(Cambridge)、マサチューセッツ州(
Mass);およびシー.イー.ホイル(C,E.Hoyle)およびジェー.エフ.クリス
トル(J.F.Kristle)編の“高分子材料の放射線硬化(Radiation Curing of Pol
ymeric Materials)、米国化学会(American Chemical Society)。従って、本
明細書ではこれらの重合体と操作を詳細には説明しない。
本発明の光高分子は、光伝送デバイスの光透過性素子の製造に用いられる従来
技術の高分子にくらべて、一つまたはそれ以上の利点を有する。例えば、この光
高分子は基本成分としてアリールアクリレート系単量体を使用することにより、
空気中、約190℃の温度に24時間曝した時の着色が他の光高分子より小さい
。ガードナー・カラースケールでの着色量は、通常、ASTM D1544‐8
0に従って求めた190℃で、24時間露光後の値で約8点若しくはそれ未満、
望ましくは約6点若しくはそれ未満、より望ましくは約5点若しくはそれ未満、
そして最も望ましくは約3点若しくはそれ未満である。本発明の光高分子は、ま
た、ガラス支持基材上に10〜200ミクロンの厚みの層に成形し、ASTM
D4538‐90Aに従って空気中、190℃の温度に24時間曝した時、ひび
割れ、若しくは剥離が起きないか、実質的に起きない。その熱処理した試料を5
0倍の顕微鏡で観察して、この光高分子にひび割れや剥離が起きていないことを
確かめた。この光高分子のユニークな特徴は基本成分としてアリールアクリレー
ト系単量体を使用することに因ると考えられる。
本発明の光高分子は光学デバイスの光透過性素子の製造に用いることができる
。このようなデバイスの実例は平板状光導波路、チャネル光導波路、光学カップ
ラー、マイクロ光学素子およびそれらに類するデバイスであり、米国特許第4,
609,252号;同第4,877,717号および同第5,136,682号
明細書により詳細に記載されている。本発明の望ましい態様では、本発明の重合
性組成物と光高分子は、例えば米国特許第4,609,252号明細書に説明さ
れているような、本発明の光高分子から製造される光透過性素子を有するスラブ
(slab),チャネルおよびリブ(rib)導波路および導波カップラーのような有
機光導波デバイスの製造に用いられる。本発明のより望ましい態様では、その導
波路は表面に導波ストリップまたは層を有する支持基材からなるタイプである。
そのような導波路は適した支持基材の表面に本発明の重合性組成物の薄いまたは
厚いフィルムを塗布することにより作られる。このフィルムは、スピンコーティ
ング法、浸漬コーティング法、ロールコーティング法、ドクターブレーディング
法、蒸発法若しくはそれらに類する方法のようなこの技術分野で知られている多
くの方法の任意の一つで作ることができる。
支持基材は、シリコン、酸化ケイ素、ヒ化ガリウム、チッ化ケイ素、ガラス、
石英、プラスチックス、セラミックス、結晶性材料およびそれらに類する材料の
ような半導体材料を含めて、導波路をその基材上に形成することが望まれる任意
の材料であることができる。この支持基材は、溝(groove)若しくは電気回路、
またはレーザ・ダイオードのような電子‐光学デバイスのようないずれかの微細
地形的特徴(topographical features)の他のデバイスを含んでいることもでき
るし、含んでいないこともできる。光透過性領域が基材材料より屈折率の小さい
有機層てある基材上に、先ず、有機導波路材料より屈折率の小さい層を形成させ
ることが必要がある。このような層はこの技術分野で緩衝層として知られるもの
で、半導体酸化物、低屈折率重合体、または二酸化ケイ素をスピンコーティング
したガラス材料(spin-on silicon dioxide glass material)から成る。
光重合性組成物が支持基材上に薄いまたは厚いフィルムで形成されると、その
フィルムに化学線を方向を決めて当て、光透過性領域を正確に描く(delineate
)。この正確に描くとは、光伝送デバイスの位置と大きさが支持基材上のフィル
ムの表面の化学線照射のパターンによって決められることを意味する。このパタ
ーン照射は、光重合性組成物が希望のパターンで重合され、フィルムの他の領域
が未反応のまま残るように選定されなければならない。
化学線の光源と化学線の波長は広い範囲で変えられるが、任意の常用の波長と
光源が使用できる。普通に遭遇する放射線(例えば、室内光)の露光では、その
重合性材料が加工前に早期に重合しないように、比較的短い波長(若しくは、高
いエネルギー)で光化学的励起が行われるのが望ましい。別法として、この加工
には、レーザのような非常に強い化学線源によって開始されるマルチフォトン法
を用いることができる。かくして、紫外線(波長300〜400nm)に露光す
るのが便利である。深紫外線(波長190〜300nm)による露光も有用であ
る。便利な光源は加工用に希望される波長を選別するのに適した光フィルターを
取付けた高圧キセノンまたは水銀‐キセノン・アークランプである。本発明の実
施には短波長のコヒーレント放射線も有用である。350nm近傍の幾つかの波
長で“UV”モードで操作されるアルゴンイオン・レーザも望ましい。また、波
長257nm近傍の出力を有する周波数二倍化アルゴンイオン・レーザも非常に
望ましい。電子ビーム若しくはイオンビーム励起も利用される。
化学線の空間分布、即ち光重合性材料の層の何処に化学線が当たるかの制御は
通常の方法で行うことができる。例えば、普通用いられる一つの方法では、希望
の光透過パターンの付いたマスクを化学線源と光重合性組成物のフィルムとの間
に挿入する。このマスクはフィルム表面の希望の領域にだけ化学線が当たるのを
許す透明のおよび不透明の領域を持っている。薄いフィルムのマスク露光法はこ
の技術分野で良く知られているもので、フィルムに光透過パターンを“印刷する
”ための接触法、近接法および投影法がある。空間制御のもう一つの常用の方法
はレーザ若しくは電子ビームのような方向の決まったまたは集光ビームから成る
化学線源を利用する方法である。このようなビームは光重合性材料のフィルム表
面の小さい面積だけを横切る。希望の光透過領域のパターンはそのビームを所定
空間内で走査するか、若しくはその横断点が定常ビームに対して変化するように
支持基材を動かすことによって、そのフィルム表面上をこの小さい横断点が動き
回ることによって得られる。ビーム源を用いるこれらのタイプの露光法は、この
技術分野で“直接‐書込み”(“direct-write”)法として知られている。
照射の空間特性を選択することにより、光透過領域を、例えばスラブおよびチ
ャネル導波路として支持基材表面に創ることができる。スラブ導波路は光波がそ
のフィルムの面だけに閉込められる導波路である。チャネル導波路は光波がその
フィルムの横方向にも閉込められる導波路である。チャネル構造は光を支持基材
の一定の領域に向けることを可能にし、その上光波を分割し、そして複合させる
機構を提供するから、多くの非線形および電子‐光学デバイスにとって必要であ
る。光重合性組成物は重合されて基材表面に本発明の光高分子の予め決められた
パターンを生成した後、このパターンは次いで現像されて予め決められたパター
ンが後に残される。例えば、成書:“光レジスト材料と方法(Photoresist Mate
rials and Process)”、マックロウ−ヒル社(McGraw-Hill Company)、ニュー
ヨーク(1975)の中でウイリアム エス.デフォレストが説明しているよう
な既知の光リソグラフ法のような任意の常用の現像法が使用できる。
以下の実施例は本発明をより良く例示して説明するために与えられるものであ
って、本発明を限定するものと考えるべきではない。
実施例1
図1はガラスまたは溶融石英のような支持基材10を示しており、その表面に
本発明の光重合性組成物が付いて層12を形成している。この光重合性材料の組
成は最終デバイスで希望の導波特性を生じるように変えることができるが、重合
した時400〜1600nmの範囲の光波を透過し、約1.40から約1.60
の範囲の屈折率を有する本発明の光高分子を生成することが望ましい。この方法
で本発明のデバイスは様々な屈折率を有する光ファイバーを収容できる。有機層
12は、例えば、感光性組成物の溶液に支持基材10を浸漬するなどの任意の適
切な従来法で付着させることができる。この光重合性組成物は、通常直径5から
500ミクロンの光搬送コアを有する従来のガラスおよびプラスチック・ファイ
バーとなじむデバイスを形成させるために、5から500ミクロンの厚みに付着
される。この付着された光重合性組成物は、図1に示された支持基材10の裏(
若しくは底)側から、その面をアセトンで洗うことにより除去することができる
。場合によっては、支持基材の裏側に付着されたこの光重合性組成物を所定の場
所に残すこともできる。
次いで、例えば、成書:“光レジスト材料と方法”マックロウ−ヒル社、ニュ
ーヨーク(1975)の中でウイリアム エス.デフォレストが説明しているよ
うな既知の光リソグラフ法を用いて、図1の構造物を支持基材10から1〜10
ミクロン離して置かれ、そして図1に示されたような最終デバイスの所望の幾何
学的形状を画成する非接触マスク14を通して紫外線のビーム16に曝して光重
合性組成物を重合させ、導波性光高分子を形成する。この付着され、照射された
層12を適切な溶剤を用いて現像して所望とされない未重合部分を除く。支持基
材10に付着したまま残った露光された光重合性組成物は、マスク14で画成さ
れた構造を有している。
図2は、そのデバイスの予め決められた平面幾何学形状の透過路が“Y”字形
をしている本発明の一つの望ましい態様を示している。その支持基材10はその
上に、図1のマスク14用のY字形のマスクを用いて、図1で説明したような方
法で形成された導波パターン18を付着している。図2に示されたこのデバイス
は導波カップラーとして有用なことが示された。
比較例1
10部のジェノマー(Genomer)T‐1600[ビッドル−ソーヤー社(Biddl
e-Sawyer)からの三官能性ポリエステル・ウレタンアクリレート、粘度:48,
000mPa)、20部の1,6‐ヘキサンジオール・ジアクリレート[HDD
A;サイエンティフィック ポリマー プロダクツ社(Science Polymer Produc
ts)からのもの]、並びに0.2部のダロキュア1173[α,α‐ジメチルオ
キシ‐α‐ヒドロキシアセトフェノン;EMインダストリーズ社(EM Industrie
s)]、0.2部のイルガキュア500[1‐ヒドロキシ‐シクロヘキシル‐フ
ェニルケトンとベンゾフェノンとの1:1重量比混合物;シバ−ガイギー社(Ci
ba-Geigy)]および0.2部のイルガキュア651(ベンズジメチルケタール;
シバ−ガイギー社)から成る液状光開始剤混合物0.6部を含む液体混合物を調
製し、0.2ミクロンのテフロン膜で濾過した。この液体混合物をガラス板上に
拡げ、0.2mmの厚みの層を形成させ、次いでこの層に窒素雰囲気下で強さ2
5mW/cm2の中圧水銀ランプからの紫外線を0.5分間照射した。照射後、
この液層は固体の被覆層になった。この被覆された支持基材を空気循環オーブン
の中に入れ、190℃で24時間熱劣化させた。空気を5〜10L/時間の速度
で通した。この劣化試料はASTM D1544‐80に記載されているガード
ナー・スケールで18以上の級に対応する濃い褐色をしていた。支持基材からの
剥離はなく、ASTM D4538‐90aで規定されている層中でのひび割れ
の生成も認められなかった。点検の結果を表1にまとめて示した。
比較例2
HDDAをIBOA(イソボルニルアクリレート;サイエンティフィック ポ
リマー プロダクツ社)で置き換えたことを除いて、比較例1の方法を繰り返し
た。劣化試料は濃い褐色で、ガードナー・カラースケールの18級以上に対応し
た。支持基材からの剥離も、層中にひび割れもなかった。点検の結果を表1にま
とめて示した。
比較例3
HDDAをTMPTA(トリメチロールプロパン・トリアクリレート;サイエ
ンチフィック ポリマー プロダクツ社)で置き換えたことを除いて、比較例1
の方法を繰り返した。劣化試料は濃い褐色で、ガードナー・カラースケールの1
8級以上に対応した。支持基材からの剥離も、層中にひび割れもなかった。点検
の結果を表1にまとめて示した。
比較例4
ジェノマーT‐1600をジェノマーT‐1200(ビッドル−ソーヤー社か
らの三官能性ポリエステル・ウレタンアクリレート、粘度:75,000mPa
)で置き換えたことを除いて、比較例1の方法を繰り返した。劣化試料は濃い褐
色で、ガードナー・カラースケールの18級以上に対応した。支持基材からの剥
離も、層中にひび割れもなかった。点検の結果を表1にまとめて示した。
比較例5
ジェノマーT‐1600をジェノマーT‐1030(ビッドル−ソーヤー社か
らの三官能性ポリエステル・ウレタンアクリレート)で置き換えたことを除いて
、比較例1の方法を繰り返した。劣化試料は淡い褐色で、ガードナー・カラース
ケールの15級に対応した。その重合体層はガラス板から剥離し、少しひび割れ
していた。点検の結果を表1にまとめて示した。
比較例6
ジェノマーT‐1600をエバシル(Ebercyl)8800[ラドキュアー社(R
adcure)からの、分子当たりの官能基数が2.5の脂肪族ウレタンアクリレート
・オリゴマー)で置き換えたことを除いて、比較例1の方法を繰り返した。劣化
試料は褐色で、ガードナー・カラースケールの18級に対応した。その重合体層
はガラス板から剥離し、少しひび割れしていた。点検の結果を表1にまとめて示
した。
比較例7
10部のTMPEOTA(サイエンティフィックポリマープロダクツ社のエト
キシル化トリメチロールプロパン・トリアクリレート)と、ダロキュア1173
・0.066部、イルガキュア500・0.066部およびイルガキュア651
・0.066部から成る液状光開始剤混合物0.2部とを含む液状混合物を調製
した。次いで、実施例1の光硬化工程と熱劣化試験を繰り返した。劣化試料は淡
い褐色で、ガードナー・カラースケールの12級に対応した。重合体層はガラス
板から剥離し、ひどくひび割れしていた。点検の結果を表2にまとめて示した。
比較例8
TMPEOTAをTMPTA(サイエンティフィック ポリマー プロダクツ
社のトリメチロールプロパン・トリアクリレート)で置換えたことを除いて、比
較例7の方法を繰り返した。劣化試料は淡い黄色で、ガードナー・カラースケー
ルの6級に対応した。重合体層はガラス板から剥離し、ひどくひび割れしていた
。点検の結果を表2にまとめて示した。
比較例9
TMPEOTAをNPPOGDA(サイエンティフィック ポリマー プロダ
クツ社のプロポキシル化ネオペンチルグリコール・ジアクリレート)で置き換え
たことを除いて、比較例7の方法を繰り返した。劣化試料は淡い褐色で、ガード
ナー・カラースケールの13級に対応した。重合体層はガラス板から剥離し、ひ
び割れしていた。点検の結果を表2にまとめて示した。
比較例10
TMPEOTAをGPTA(サイエンティフィック ポリマー プロダクツ社
のグリセリルプロポキシル化トリアクリレート)で置き換えたことを除いて、比
較例7の方法を繰り返した。次いで、実施例1の光硬化工程と熱劣化試験を繰り
返した。劣化試料は褐色で、ガードナー・カラースケールの16級に対応した。
重合体層はガラス板から剥離し、ひび割れしていた。点検の結果を表2にまとめ
て示した。
比較例11
TMPEOTAをTPGDA(サイエンティフィック ポリマー プロダクツ
社トリプロピレングリコール・ジアクリレート)で置き換えたことを除いて、比
較例7の方法を繰り返した。劣化試料は淡い褐色で、ガードナー・カラースケー
ルの14級に対応した。重合体層はガラス板から剥離し、少しひび割れしていた
。点検の結果を表2にまとめて示した。
比較例12
TMPEOTAをPEG200DA(サイエンティフィック ポリマー プロ
ダクツ社のポリエチレングリコール‐200・ジアクリレート)で置き換えたこ
とを除いて、比較例7の方法を繰り返した。劣化試料は淡い褐色で、ガードナー
・カラースケールの13級に対応した。重合体層はガラス板から剥離し、ひび割
れ
していた。点検の結果を表2にまとめて示した。
比較例13
TMPEOTAをPEG400DA(サイエンティフィック ポリマー プロ
ダクツ社のポリエチレングリコール‐400・ジアクリレート)で置き換えたこ
とを除いて、比較例7の方法を繰り返した。劣化試料は褐色で、ガードナー・カ
ラースケールの16級に対応した。重合体層はガラス板から剥離し、ひび割れし
ていた。点検の結果を表2にまとめて示した。
比較例14
TMPEOTAをDTMPTTA(サイエンティフィック ポリマー プロダ
クツ社のジトリメチロールプロパン・テトラアクリレート)で置き換えたことを
除いて、比較例7の方法を繰り返した。劣化試料は黄色で、ガードナー・カラー
スケールの8級に対応した。重合体層はガラス板から剥離し、ひび割れしていた
。点検の結果を表2にまとめて示した。
比較例15
TMPEOTAをHDDAで置き換えたことを除いて、比較例7の方法を繰り
返した。劣化試料は淡黄色で、ガードナー・カラースケールの6級に対応した。
重合体層はガラス板から剥離し、ひび割れしていた。点検の結果を表2にまとめ
て示した。
比較例16
TMPEOTAをCN‐112C60[サートマー社(Sartomer)のエトキシ
ル化ノボラック・アクリレート)7部とTMPTA3部を含む混合物で置き換え
たことを除いて、比較例7の方法を繰り返した。次いで、実施例1の光硬化工程
と熱劣化試験を繰り返した。劣化試料は淡い褐色で、ガードナー・カラースケー
ルの12級に対応した。重合体層はひび割れなしにガラス板から剥離していた。
点検の結果を表2にまとめて示した。
比較例17
TMPEOTAをASX95(ビッドル−ソーヤー社のポリエステルアクリレ
ート・オリゴマー)7部とHDODA3部を含む混合物で置き換えたことを除い
て、比較例7の方法を繰り返した。劣化試料は淡い褐色で、ガードナー・カラー
スケールの8級に対応した。重合体層はガラス板から剥離し、僅かにひび割れし
ていた。点検の結果を表2にまとめて示した。
比較例18
TMPEOTAをSR9008(サートマー社の三官能性アルコキシル化アク
リレート)で置き換えたことを除いて、比較例7の方法を繰り返した。劣化試料
は黄色で、ガードナー・カラースケールの8級に対応した。重合体層はひび割れ
なしにガラス板から剥離していた。点検の結果を表2にまとめて示した。
比較例19
TMPEOTAをSR9012(サートマー社の三官能性ポリエステルアクリ
レート・オリゴマー)で置き換えたことを除いて、比較例7の方法を繰り返した
。劣化試料は黄色で、ガードナー・カラースケールの6級に対応した。重合体層
はガラス板から剥離し、ひび割れしていた。点検の結果を表2にまとめて示した
。
比較例20
TMPEOTAをTITA(サイエンティフィック ポリマー プロダクツ社
のトリス‐(2‐ヒドロキシエチル)イソシアヌレート・トリアクリレート)7
部とHDDA3部を含む混合物で置き換えたことを除いて、比較例7の方法を繰
り返した。劣化試料は淡い褐色で、ガードナー・カラースケールの12級に対応
した。重合体層はガラス板から剥離し、ひび割れしていた。点検の結果を表2に
まとめて示した。
実施例2
TMPEOTAをEBDA(サイエンティフィック ポリマー プロダクツ社
のエトキシル化ビスフェノール‐A‐ジアクリレート)で置き換えたことを除い
て、比較例7の方法を繰り返した。劣化試料は淡黄色で、ガードナー・カラース
ケールの5級に対応した。重合体層は剥離もひび割れもなしにガラス板に接着し
ていた。点検の結果を表2にまとめて示した。
実施例3
TMPEOTAをEHFBDA(サイエンティフィック ポリマー プロダク
ツ社のエトキシル化ヘキサフルオロ・ビスフェノール‐A・ジアクリレート)で
置き換えたことを除いて、比較例7の方法を繰り返した。劣化試料は淡い黄色で
、
ガードナー・カラースケールの4級に対応した。重合体層は剥離もひび割れもな
しにガラス板に接着していた。点検の結果を表2にまとめて示した。
実施例4
10部のEBDAをEBDA6.6部とHDDA3.4部の混合物で置き換え
たことを除いて、実施例2の方法を繰り返した。劣化試料は黄色で、ガードナー
・カラースケールの8〜9級に対応した。重合体層は剥離もひび割れもなしにガ
ラ
ス板に接着していた。点検の結果を表3にまとめて示した。
光硬化前の液状組成物をスピン・コート法でガラスまたはシリコン基材上に付
着させた。光硬化重合体の厚みは紡出速度に応じて0.5〜5ミクロンに調節す
ることができた。
実施例5
10部のEBDAをEBDA6.6部とTMPTA3.4部の混合物で置き換
えたことを除いて、実施例2の方法を繰り返した。劣化試料は淡い黄色で、ガー
ドナー・カラースケールの5〜6級に対応した。重合体層は剥離もひび割れもな
しにガラス板に接着していた。点検の結果を表3にまとめて示した。
光硬化前の液状組成物を、スピン・コート法でガラスまたはシリコン基材上に
付着させた。光硬化重合体の厚みは紡出速度に応じて0.5〜5ミクロンに調節
することができた。
実施例6
10部のEBDAをEBDA6.6部とエトキシル化トリメチロールプロパン
・トリアクリレート(ETMPTA)3.4部との混合物で置き換えたことを除
いて、実施例2の方法を繰り返した。劣化試料は黄色で、ガードナー・カラース
ケールの8〜9級に対応した。重合体層は剥離もひび割れもなしにガラス板に接
着していた。点検の結果を表3にまとめて示した。
光硬化前の液状組成物をスピン・コート法でガラスまたはシリコン基材上に付
着させた。光硬化重合体の厚みは紡出速度に応じて0.5〜5ミクロンに調節す
ることができた。
実施例7
10部のEBDAをEBDA6.6部とSR9012(サートマー社)3.4
部との混合物で置き換えたことを除いて、実施例2の方法を繰り返した。劣化試
料は黄色で、ガードナー・カラースケールの8〜9級に対応した。重合体層はガ
ラス板から剥離し、ひび割れしていた。点検の結果を表3にまとめて示した。
実施例8
チヌビン770[ビス(2,2,6,6‐テトラメチル‐4‐ピペリジル)セ
バケート;シバ−ガイギー社]0.05部を余分に添加したことを除いて、実施
例5の方法を繰り返した。チヌビン770はヒンダード・アミン系光安定剤であ
る。劣化試料は黄色で、ガードナー・カラースケールの9〜10級に対応した。
重合体層は剥離もひび割れもなしにガラス板に接着していた。点検の結果を表4
にまとめて示した。
実施例9
AM806[フェロ社(Ferro Corp.)]0.05部を余分に添加したことを
除いて、実施例5の方法を繰り返した。AM806はヒンダード・アミン系光安
定剤である。劣化試料は黄色で、ガードナー・カラースケールの9〜10級に対
応した。重合体層は剥離もひび割れもなしにガラス板に接着していた。点検の結
果を表4にまとめて示した。
実施例10
チヌビン238(2‐[2‐ヒドロキシ‐3,5‐ジ(1,1‐ジメチルプロ
ピル)フェニル]‐2‐H‐ベンゾトリアゾール;シバ−ガイギー社)0.05
部を余分に添加したことを除いて、実施例5の方法を繰り返した。チヌビン23
8はベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤である。光硬化は2分で完了した。劣化
試料は黄色で、ガードナー・カラースケールの9〜10級に対応した。重合体層
は剥離もひび割れもなしにガラス板に接着していた。点検の結果を表4にまとめ
て示した。
実施例11
AM340(フェロ社)0.05部を余分に添加したことを除いて、実施例5
の方法を繰り返した。AM340もベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤である。
光硬化は2分で完了した。劣化試料は黄色で、ガードナー・カラースケールの9
〜10級に対応した。重合体層は剥離もひび割れもなしにガラス板に接着してい
た。点検の結果を表4にまとめて示した。
実施例12
イルガノックス1010[シバ−ガイギー社のペンタエリトリトール・テトラ
キス‐(3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシヒドロキシシンナメート)0
.05部を余分に添加したことを除いて、実施例5の方法を繰り返した。イルガ
ノックス1010はヒンダードフェノール系の酸化防止剤である。劣化試料は極
く僅か着色しているだけであり、ガードナー・カラースケールの2〜3級に対応
した。重合体層は剥離もひび割れもなしにガラス板に接着していた。点検の結果
を表4にまとめて示した。
実施例13
イルガノックス1010の量を0.01部に減らしたことを除いて、実施例2
の方法を繰り返した。劣化試料は極く僅か着色しているだけであり、ガードナー
・カラースケールの2〜3級に対応した。重合体層は剥離もひび割れもなしにガ
ラス板に接着していた。点検の結果を表4にまとめて示した。
実施例14
イルガノックス1035[シバ−ガイギー社のチオジエチレン‐ビス‐(3,
5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシ)ヒドロシンナメート]0.05部を余分
に添加したことを除いて、実施例5の方法を繰返した。イルガノックス1035
はヒンダードフェノール系の酸化防止剤である。劣化試料は僅かに着色しており
、
ガードナー・カラースケールの3〜4級に対応した。重合体層は剥離もひび割れ
もなしにガラス板に粘着していた。点検の結果を表4にまとめて示した。
実施例15
イルガノックス1076[シバ−ガイギー社のステアリル‐3‐(3,5‐ジ
‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシフェニル)プロピオネート]0.05部を余分に
添加したことを除いて、実施例5の方法を繰り返した。イルガノックス1076
はヒンダードフェノール系の酸化防止剤である。劣化試料は極く僅か着色してい
るだけであり、ガードナー・カラースケールの2〜3級に対応した。重合体層は
剥離もひび割れもなしにガラス板に接着していた。点検の結果を表4にまとめて
示した。
実施例16
イルガノックス1520[シバ−ガイギー社の2,4‐ビス(オクチルチオメ
チル)‐o‐クレゾール)]0.05部を余分に添加したことを除いて、実施例
5の方法を繰り返した。イルガノックス1520はヒンダードフェノール系の酸
化防止剤である。劣化試料は僅かに着色しており、ガードナー・カラースケール
の4〜5級に対応した。重合体層は剥離もひび割れもなしにガラス板に接着して
いた。点検の結果を表4にまとめて示した。
実施例17
シアソーブUV2908[アメリカン シアナミド社(American Cyanamid)
のセチル‐3,5‐ジ‐t‐ブチル‐4‐ヒドロキシベンゼン]0.05部を余
分に添加したことを除いて、実施例5の方法を繰り返した。シアソーブUV29
08はヒンダードフェノール系の酸化防止剤である。劣化試料は極く僅か着色し
ているだけであり、ガードナー・カラースケールの2〜3級に対応した。重合体
層は剥離もひび割れもなしにガラス板に接着していた。点検の結果を表4にまと
めて示した。
実施例18
0.02部のイルガノックス1010、0.05部のチヌビン770および0
.05部のチヌビン‐238を追加したことを除いて、実施例5の方法を繰り返
した。イルガノックス1010はヒンダードフェノール系の酸化防止剤であり、
チ
ヌビン770はヒンダードアミン系光安定剤であり、チヌビン238はベンゾト
リアゾール系の紫外線吸収剤である。光硬化は完了するまでに2分かかった。劣
化試料は黄色で、ガードナー・カラースケールの7〜8級に対応した。重合体層
は剥離もひび割れもなしにガラス板に接着していた。点検の結果を表4にまとめ
て示した。
実施例19
0.02部のイルガノックス1010と0.05部のチヌビン770を追加し
たことを除いて、実施例5の方法を繰り返した。イルガノックス1010はヒン
ダードフェノール系の酸化防止剤であり、チヌビン770はヒンダードアミン系
光安定剤である。劣化試料は極く僅か着色しているだけであり、ガードナー・カ
ラースケールの3〜4級に対応した。重合体層は剥離もひび割れもなしにガラス
板に接着していた。点検の結果を表4にまとめて示した。
実施例20
エトキシル化ビスフェノール‐A‐ジアクリレート96部、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート33部、イルガノックス1010・3部、ダロキュア1
173・1部、イルガキュア651・1部およびイルガキュア500・1部から
成る感光性単量体混合物にマスクパターンを通して露光し、次いでアセトンで現
像して長さ5cmの高分子光導波路を製造した。この導波路に100/140ミ
クロンのガラス光ファイバーをねじ捲きにして取り付け(pigtailed)、上記の
単量体混合物58重量パーセントと、ジェノマーT1600ウレタンアクリレー
ト50部、1,6‐ヘキサンジオール・ジアクリレート98部、ダロキュア11
73・1部、イルガキュアー651・1部およびイルガキュアー500・1部の
混合物42重量パーセントとから成る反応性単量体混合物でオーバーコートした
。この高分子光導波路用の支持基材は、上に挙げたのと同じ58:42混合物の
薄い層の付いたポリイミド回路基板材料である。支持基材のコートとオーバーコ
ート層の両方を窒素雰囲気でUVキセノン・ランプからのブランケット露光によ
って硬化させた。810nmのレーザ光をガラス光ファイバー・ピッグテイル(
pigtail)を通して高分子光導波路の一端に接続した。その高分子導波路
の反対側の端に取付けたガラス光ファイバーを、光力計に連結されたシリコン光
検出器に接続することにより、この導波路を通して伝送される光力を測定した。
その高分子光導波路の初期光力伝送を確かめてから、その高分子導波路の付いた
支持基材を(その高分子導波路に一番近い支持基材に取付けた熱電対によって温
度が測定されている)ホットプレートの上に乗せて190℃に加熱した。その高
分子光導波路の温度を全部で45時間190℃に維持し、その後再び818nm
のレーザ光をその高分子導波路に通し、その光力を再測定した。この二つの光力
測定値の差を求め、導波路の長さ5cmで割って、この高温に長く曝して処理し
ても、この高分子光導波路の伝搬損失は0.13dB/cm増加するだけである
ことを求めた。かくして、この導波材料はその光学的性質の熱劣化に対する抵抗
性が大きいことが証明された。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 ビーソン,カール・ウェイン
アメリカ合衆国ニュージャージー州08540,
プリンストン,ドッズ・レーン 197
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.次の: (a)支持基材;および (b)該支持基材の表面上の光透過性領域; からなる光学素子にして、 該光透過性領域はアリールアクリレートおよびアリールメタクリレートより成 る群から選ばれる一種またはそれ以上のエチレン系不飽和単量体を含んでなる光 高分子から形成されており、該光高分子は、空気中で190℃の温度に24時間 曝された時、ASTM D1544‐80に従って求めたガードナー・カラース ケールでの着色が8若しくはそれ以下であり、同じ試料を空気中で190℃の温 度に24時間曝した時、ASTM D4538‐90Aで定められるひび割れ若 しくはガラス基材からの剥離を示さない、上記光学素子。 2.支持基材(a)がガラスである、請求の範囲第1項に記載の光学素子。 3.アリールアクリレートおよびアリールメタアクリレートがアリールジアク リレート、アリールトリアクリレート、アリールテトラアクリレート、アリール ジメタアクリレート、アリールトリメタクリレートおよびアリールテトラメタア クリレートより成る群から選ばれる、請求の範囲第1項に記載の光学素子。 4.着色がガードナー・カラースケールで約6またはそれ以下である、請求の 範囲第3項に記載の光学素子。 5.着色がガードナー・カラースケールで約5またはそれ以下である、請求の 範囲第4項に記載の光学素子。 6.次の: (a)支持基材;および (b)該支持基材の表面上の光透過性領域; からなる平面型光導波路にして、 該光透過領域はアリールアクリレートおよびアリールメタクリレートより成る 群から選ばれる一種またはそれ以上のエチレン系不飽和単量体を含んでなる光高 分子から形成されており、該光高分子は、空気中で190℃の温度に24時間曝 された時、ASTM D1544‐80に従って求めたガードナー・カラースケ ールでの着色が8若しくはそれ以下であり、同じ試料を空気中で190℃の温度 に24時間曝した時、ASTM D4538‐90Aで定められるひび割れ若し くはガラス基材からの剥離を示さない、上記平面型光導波路。 7.支持基材(a)がガラスである、請求の範囲第6項に記載の平面型光導波 路。 8.アリールアクリレートとアリールメタアクリレートがアリールジアクリレ ート、アリールトリアクリレート、アリールテトラアクリレート、アリールジメ タアクリレート、アリールトリメタクリレートおよびアリールテトラメタアクリ レートより成る群から選ばれる、請求の範囲第7項に記載の平面型光導波路。 9.着色がガードナー・カラースケールで約6若しくはそれ以下である、請求 の範囲第8項に記載の平面型光導波路。 10.着色がガードナー・カラースケールで約5若しくはそれ以下である、請 求の範囲第9項に記載の平面型光導波路。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US8621993A | 1993-07-01 | 1993-07-01 | |
| US08/086,219 | 1993-07-01 | ||
| PCT/US1994/007368 WO1995001579A2 (en) | 1993-07-01 | 1994-06-30 | Thermally-stable photopolymer composition and light transmissive device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08512146A true JPH08512146A (ja) | 1996-12-17 |
Family
ID=22197088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7503632A Pending JPH08512146A (ja) | 1993-07-01 | 1994-06-30 | 熱的に安定な光高分子組成物と光伝送デバイス |
Country Status (11)
| Country | Link |
|---|---|
| US (3) | US6114090A (ja) |
| EP (1) | EP0706669B1 (ja) |
| JP (1) | JPH08512146A (ja) |
| CN (1) | CN1126518A (ja) |
| AT (1) | ATE194715T1 (ja) |
| AU (1) | AU7215894A (ja) |
| CA (1) | CA2165555A1 (ja) |
| DE (1) | DE69425261T2 (ja) |
| MX (1) | MX9404970A (ja) |
| TW (1) | TW262537B (ja) |
| WO (1) | WO1995001579A2 (ja) |
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- 1994-06-30 AU AU72158/94A patent/AU7215894A/en not_active Abandoned
- 1994-06-30 DE DE69425261T patent/DE69425261T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-06-30 JP JP7503632A patent/JPH08512146A/ja active Pending
- 1994-06-30 MX MX9404970A patent/MX9404970A/es not_active Application Discontinuation
- 1994-06-30 CA CA002165555A patent/CA2165555A1/en not_active Abandoned
- 1994-06-30 CN CN94192641.9A patent/CN1126518A/zh active Pending
- 1994-06-30 EP EP94921427A patent/EP0706669B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-06-30 AT AT94921427T patent/ATE194715T1/de not_active IP Right Cessation
- 1994-06-30 WO PCT/US1994/007368 patent/WO1995001579A2/en not_active Ceased
- 1994-10-18 US US08/324,855 patent/US6114090A/en not_active Expired - Fee Related
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- 2001-03-27 US US09/818,145 patent/US20010031427A1/en not_active Abandoned
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| EP0706669B1 (en) | 2000-07-12 |
| DE69425261T2 (de) | 2001-04-26 |
| MX9404970A (es) | 1995-01-31 |
| TW262537B (ja) | 1995-11-11 |
| US20010025061A1 (en) | 2001-09-27 |
| DE69425261D1 (de) | 2000-08-17 |
| ATE194715T1 (de) | 2000-07-15 |
| US6114090A (en) | 2000-09-05 |
| WO1995001579A2 (en) | 1995-01-12 |
| US20010031427A1 (en) | 2001-10-18 |
| AU7215894A (en) | 1995-01-24 |
| WO1995001579A3 (en) | 1995-02-16 |
| CN1126518A (zh) | 1996-07-10 |
| CA2165555A1 (en) | 1995-01-12 |
| EP0706669A1 (en) | 1996-04-17 |
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