JPH0852673A - 探針付き超小型グリッパー - Google Patents
探針付き超小型グリッパーInfo
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- JPH0852673A JPH0852673A JP6190625A JP19062594A JPH0852673A JP H0852673 A JPH0852673 A JP H0852673A JP 6190625 A JP6190625 A JP 6190625A JP 19062594 A JP19062594 A JP 19062594A JP H0852673 A JPH0852673 A JP H0852673A
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- gripper
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 把持対称を把持した状態で把持対称の電気的
特性を測定する 【構成】 ２つの可撓性フィンガー２と２つの可撓性フ
ィンガー２を間隔をおいて対向に支持する支持体１と可
撓性フィンガー２を開閉させる開閉駆動手段とからなる
超小型グリッパーにおいて、可撓性フィンガー２先端部
に、導体からなる探針３を設ける。
特性を測定する 【構成】 ２つの可撓性フィンガー２と２つの可撓性フ
ィンガー２を間隔をおいて対向に支持する支持体１と可
撓性フィンガー２を開閉させる開閉駆動手段とからなる
超小型グリッパーにおいて、可撓性フィンガー２先端部
に、導体からなる探針３を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超小型機械部品、或い
は生体等を掴む（把持する）ことを目的とした超小型グ
リッパーに関し、更に詳しくは、把持対象の電気的性質
を計測することが可能な探針付き超小型グリッパーに関
する。
は生体等を掴む（把持する）ことを目的とした超小型グ
リッパーに関し、更に詳しくは、把持対象の電気的性質
を計測することが可能な探針付き超小型グリッパーに関
する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造技術の進展に伴い、これらの
技術を用いて歯車、静電気モーター、マイクロポンプ等
の微小な機械要素或いは微小機械が得られるようになっ
た。本発明者は、半導体製造技術を用いて、低電圧駆動
で大きな駆動変位が得られる超小型グリッパーを発明
し、顕微鏡下にて原生体や微小機械素子の把持、移動、
組立、細胞融合等の微細作業にこれを用いてきた。この
超小型グリッパーについては特開平５−２５３８７０号
公報に詳述に開示されている。図６はこの超小型グリッ
パーを示す概略構成図である。以下にその動作を説明す
る。
技術を用いて歯車、静電気モーター、マイクロポンプ等
の微小な機械要素或いは微小機械が得られるようになっ
た。本発明者は、半導体製造技術を用いて、低電圧駆動
で大きな駆動変位が得られる超小型グリッパーを発明
し、顕微鏡下にて原生体や微小機械素子の把持、移動、
組立、細胞融合等の微細作業にこれを用いてきた。この
超小型グリッパーについては特開平５−２５３８７０号
公報に詳述に開示されている。図６はこの超小型グリッ
パーを示す概略構成図である。以下にその動作を説明す
る。
【０００３】金属からなるマイクロコイル２６を持つ可
撓性フィンガー２４を外部磁場下に設置する。その後、
可撓性フィンガー２４に形成されているマイクロコイル
２６に電流を流す事により、可撓性フィンガー２４にロ
ーレンツ力が働き、このローレンツ力で可撓性フィンガ
ー２６が開閉動作をする。実際の作業においては、図６
に示される超小型グリッパーを３次元の油圧駆動型マニ
ピュレータの先端に設置し、該油圧駆動型マニピュレー
タのマスター入力装置（ジョイスティック）に、人間
（オペレータ）の指で駆動する可撓性フィンガー駆動用
のマスター入力装置を取り付け、把持対象と超小型グリ
ッパーの２本の可撓性フィンガー２４を、顕微鏡下或い
はテレビモニターに映し出した顕微イメージで観察しな
がら作業を行っていた。
撓性フィンガー２４を外部磁場下に設置する。その後、
可撓性フィンガー２４に形成されているマイクロコイル
２６に電流を流す事により、可撓性フィンガー２４にロ
ーレンツ力が働き、このローレンツ力で可撓性フィンガ
ー２６が開閉動作をする。実際の作業においては、図６
に示される超小型グリッパーを３次元の油圧駆動型マニ
ピュレータの先端に設置し、該油圧駆動型マニピュレー
タのマスター入力装置（ジョイスティック）に、人間
（オペレータ）の指で駆動する可撓性フィンガー駆動用
のマスター入力装置を取り付け、把持対象と超小型グリ
ッパーの２本の可撓性フィンガー２４を、顕微鏡下或い
はテレビモニターに映し出した顕微イメージで観察しな
がら作業を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
超小型グリッパーでは把持対称を把持しながら電気的特
性を測定することができないという問題点があった。本
発明は上記問題点を鑑みてなされたものであり、超小型
グリッパーにおいて把持対称を把持した状態で把持対称
の電気的特性を測定することが可能な超小型グリッパー
を提供することを目的とする。
超小型グリッパーでは把持対称を把持しながら電気的特
性を測定することができないという問題点があった。本
発明は上記問題点を鑑みてなされたものであり、超小型
グリッパーにおいて把持対称を把持した状態で把持対称
の電気的特性を測定することが可能な超小型グリッパー
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明は、２
つの可撓性フィンガーと２つの可撓性フィンガーを間隔
をおいて対向に支持する支持体と可撓性フィンガーを開
閉させる開閉駆動手段とからなる超小型グリッパーにお
いて、可撓性フィンガー先端部に、導体からなる探針を
設ける（請求項１）。
つの可撓性フィンガーと２つの可撓性フィンガーを間隔
をおいて対向に支持する支持体と可撓性フィンガーを開
閉させる開閉駆動手段とからなる超小型グリッパーにお
いて、可撓性フィンガー先端部に、導体からなる探針を
設ける（請求項１）。
【０００６】この場合（請求項１）に、探針は絶縁体
と、絶縁体の頂点部のみで露出した導体とから構成する
ことは好ましい（請求項２）。この場合（請求項２）
に、絶縁体は窒化珪素とし、導体は金属とすることは好
ましい（請求項３）。これらの場合（請求項１、２、
３）に、開閉駆動手段は２つの可撓性フィンガーのそれ
ぞれに形成されたマイクロコイルとすることは好ましい
（請求項４）。
と、絶縁体の頂点部のみで露出した導体とから構成する
ことは好ましい（請求項２）。この場合（請求項２）
に、絶縁体は窒化珪素とし、導体は金属とすることは好
ましい（請求項３）。これらの場合（請求項１、２、
３）に、開閉駆動手段は２つの可撓性フィンガーのそれ
ぞれに形成されたマイクロコイルとすることは好ましい
（請求項４）。
【０００７】これらの場合（請求項１、２、３）に、開
閉駆動手段は２つの可撓性フィンガーのそれぞれに設け
られた少なくとも２つの金属層からなり、少なくとも２
つの金属層は異なる熱膨張係数を有することは好ましい
（請求項５）。
閉駆動手段は２つの可撓性フィンガーのそれぞれに設け
られた少なくとも２つの金属層からなり、少なくとも２
つの金属層は異なる熱膨張係数を有することは好ましい
（請求項５）。
【０００８】
【作用】本発明では、把持対象を把持する２つの可撓性
フィンガーの先端にそれぞれ導体からなる探針を設けた
ため、前記２つの探針間で把持される把持対象の電気的
特性を測定することが可能となる。
フィンガーの先端にそれぞれ導体からなる探針を設けた
ため、前記２つの探針間で把持される把持対象の電気的
特性を測定することが可能となる。
【０００９】
【実施例】以下、実施例により本発明をより具体的に説
明するが、本発明はこれに限るものではない。図１は本
発明の第１実施例による超小型グリッパーを示す概略斜
視図であり、図２はその概略断面図である。
明するが、本発明はこれに限るものではない。図１は本
発明の第１実施例による超小型グリッパーを示す概略斜
視図であり、図２はその概略断面図である。
【００１０】第１実施例による超小型グリッパーは支持
体１と、可撓性フィンガー２と、２つの可撓性フィンガ
ー２の先端部に形成されていて全体が金属（導体）から
なる探針３と、２つの可撓性フィンガー２のそれぞれに
設けられたマイクロコイル４と、探針３に接続される金
属配線５と、金属配線５と電気的に接続されている電極
層６とを備えている。尚、支持体１の上下に設けられて
いる２つの電極層６は把持対象の電気的特性を測定する
ための測定装置７と電気的に接続されている（図２）。
また、２つのマイクロコイル４にはマイクロコイル４に
電流を流すための電流源（不図示）が接続されている。
体１と、可撓性フィンガー２と、２つの可撓性フィンガ
ー２の先端部に形成されていて全体が金属（導体）から
なる探針３と、２つの可撓性フィンガー２のそれぞれに
設けられたマイクロコイル４と、探針３に接続される金
属配線５と、金属配線５と電気的に接続されている電極
層６とを備えている。尚、支持体１の上下に設けられて
いる２つの電極層６は把持対象の電気的特性を測定する
ための測定装置７と電気的に接続されている（図２）。
また、２つのマイクロコイル４にはマイクロコイル４に
電流を流すための電流源（不図示）が接続されている。
【００１１】この超小型グリッパーで把持対象を把持す
る方法としては、特開平５−２５３８７０号公報に開示
されているように、可撓性フィンガー２の長手方向と平
行に磁場を印加し、マイクロコイル４に流す電流の大き
さ及び向きを制御すれば良い。また、把持対象８の電気
的特性を測定するためには、上記の方法を用いて図２の
ように把持対象８を把持した後に測定装置７で抵抗測定
等の電気的特性を測定する。
る方法としては、特開平５−２５３８７０号公報に開示
されているように、可撓性フィンガー２の長手方向と平
行に磁場を印加し、マイクロコイル４に流す電流の大き
さ及び向きを制御すれば良い。また、把持対象８の電気
的特性を測定するためには、上記の方法を用いて図２の
ように把持対象８を把持した後に測定装置７で抵抗測定
等の電気的特性を測定する。
【００１２】次に、図１の超小型グリッパーの製造過程
を図３に基づいて説明する。まず、（１００）面方位の
単結晶シリコン基板９を用意する。そして、ＣＶＤ装置
に原料ガスとしてジクロルシラン（ＳｉＨ2Ｃｌ2）とア
ンモニアガス（ＮＨ3）を導入して、気相成長法により
基板９の両面に窒化珪素（ＳｉＮX）膜１０を厚さ0.1〜
2.0μｍで成膜した。第１実施例では、この窒化珪素膜
１０が図１、２における可撓性フィンガー２になる。
尚、窒化珪素の代わりにけい素を含む絶縁材料（例え
ば、ＳｉＯXやＳｉＯXＮY等）を用いても良い。この
後、ＣＦ4、ＳＦ6等のガスを用いたドライエッチング法
により窒化珪素膜１０の一部をほぼ正方形状に除去し
て、シリコン基板９の表面が露出する部分を設ける。更
に、窒化珪素膜１０をマスクとして水酸化カリウム（Ｋ
ＯＨ）溶液等を用いた異方性エッチングを行い、シリコ
ン基板９に四角錐状の窪みを形成した〔図２（ａ）〕。
を図３に基づいて説明する。まず、（１００）面方位の
単結晶シリコン基板９を用意する。そして、ＣＶＤ装置
に原料ガスとしてジクロルシラン（ＳｉＨ2Ｃｌ2）とア
ンモニアガス（ＮＨ3）を導入して、気相成長法により
基板９の両面に窒化珪素（ＳｉＮX）膜１０を厚さ0.1〜
2.0μｍで成膜した。第１実施例では、この窒化珪素膜
１０が図１、２における可撓性フィンガー２になる。
尚、窒化珪素の代わりにけい素を含む絶縁材料（例え
ば、ＳｉＯXやＳｉＯXＮY等）を用いても良い。この
後、ＣＦ4、ＳＦ6等のガスを用いたドライエッチング法
により窒化珪素膜１０の一部をほぼ正方形状に除去し
て、シリコン基板９の表面が露出する部分を設ける。更
に、窒化珪素膜１０をマスクとして水酸化カリウム（Ｋ
ＯＨ）溶液等を用いた異方性エッチングを行い、シリコ
ン基板９に四角錐状の窪みを形成した〔図２（ａ）〕。
【００１３】次に、ＣＶＤ装置に原料ガスとして六フッ
化タングステン（ＷＦ6）ガスを導入して、シリコンの
還元反応を応用した選択ＣＶＤ法により基板９のシリコ
ンが露出した部分（前記窪み部分）だけにタングステン
（Ｗ）１１を堆積させた〔図２（ｂ）〕。第１実施例で
は、この四角錘状のタングステン１１が図１、２におけ
る探針３となる。探針３は底辺の１辺が約５μｍ、高さ
が約３．５μｍ、となるように形成した。尚、第１実施
例では探針３を１つのみ形成したが、探針３の形状、大
きさ及び数量は把持する把持対称に合わせて任意に設定
することが可能である。
化タングステン（ＷＦ6）ガスを導入して、シリコンの
還元反応を応用した選択ＣＶＤ法により基板９のシリコ
ンが露出した部分（前記窪み部分）だけにタングステン
（Ｗ）１１を堆積させた〔図２（ｂ）〕。第１実施例で
は、この四角錘状のタングステン１１が図１、２におけ
る探針３となる。探針３は底辺の１辺が約５μｍ、高さ
が約３．５μｍ、となるように形成した。尚、第１実施
例では探針３を１つのみ形成したが、探針３の形状、大
きさ及び数量は把持する把持対称に合わせて任意に設定
することが可能である。
【００１４】更に、窒化珪素膜１０上にレジストを塗布
し、これを所定の配線の形状にパターニングした。そし
て、レジスト上にアルミニウム薄膜を形成した後、前記
レジストを除去することで（いわゆるリフトオフ法）厚
さ２００μｍのアルミニウム薄膜の配線１２を形成した
〔図２（ｃ）〕。この配線１２は、図１に示されるマイ
クロコイル４、配線５及び電極層６を同時に形成してい
る。
し、これを所定の配線の形状にパターニングした。そし
て、レジスト上にアルミニウム薄膜を形成した後、前記
レジストを除去することで（いわゆるリフトオフ法）厚
さ２００μｍのアルミニウム薄膜の配線１２を形成した
〔図２（ｃ）〕。この配線１２は、図１に示されるマイ
クロコイル４、配線５及び電極層６を同時に形成してい
る。
【００１５】その後、可撓性プレート２の所望の形状
（図１参照）に応じて、窒化珪素膜１０の不要な部分を
ＣＦ4ＳＦ6等のガスを用いたドライエッチングにより除
去した〔図２（ｄ）〕。次に、露出したシリコン部分を
水酸化カリウム溶液等で溶出させることで、可撓性フィ
ンガー３を有する構造体を１つ作成した〔図２
（ｅ）〕。
（図１参照）に応じて、窒化珪素膜１０の不要な部分を
ＣＦ4ＳＦ6等のガスを用いたドライエッチングにより除
去した〔図２（ｄ）〕。次に、露出したシリコン部分を
水酸化カリウム溶液等で溶出させることで、可撓性フィ
ンガー３を有する構造体を１つ作成した〔図２
（ｅ）〕。
【００１６】このような構造体を２つ作成し、２つの構
造体の金属パターン等を施していない面（支持体１の
面）を互いに接着剤或いは陽極接合法を用いて接合す
る。このようにして図１、２に示される超小型グリッパ
ーを作成することができる。このようにして得た本発明
の超小型グリッパーを用いて、ツリガネムシ等の原生動
物を探針部３で接触把持し、抵抗測定を行ったところ、
ツリガネムシの抵抗を測定することが確認された。尚、
把持対象の電気的測定は抵抗測定のみならず探針３間の
電気容量測定をする等種々の測定をすることができるこ
とは言うまでもない。
造体の金属パターン等を施していない面（支持体１の
面）を互いに接着剤或いは陽極接合法を用いて接合す
る。このようにして図１、２に示される超小型グリッパ
ーを作成することができる。このようにして得た本発明
の超小型グリッパーを用いて、ツリガネムシ等の原生動
物を探針部３で接触把持し、抵抗測定を行ったところ、
ツリガネムシの抵抗を測定することが確認された。尚、
把持対象の電気的測定は抵抗測定のみならず探針３間の
電気容量測定をする等種々の測定をすることができるこ
とは言うまでもない。
【００１７】図４は本発明の第２実施例による超小型グ
リッパーを示す概略断面図である。尚、第２実施例では
第１実施例と比べて探針の形状が異なるが、他の構成は
第１実施例とほぼ同じであり、可撓性フィンガーの開閉
動作も第１実施例と同様にして行うことができるため、
第１実施例と同様なことについては説明を省略する。
リッパーを示す概略断面図である。尚、第２実施例では
第１実施例と比べて探針の形状が異なるが、他の構成は
第１実施例とほぼ同じであり、可撓性フィンガーの開閉
動作も第１実施例と同様にして行うことができるため、
第１実施例と同様なことについては説明を省略する。
【００１８】第２実施例では、探針１５の形状は先端部
のみに導体（金属）が突出しており、他の部分は絶縁体
で覆われている。以下に、第２実施例による超小型グリ
ッパーの製造方法を図５を用いて説明する。３インチ直
径、厚さ２５０μｍ、（１００）面方位のｎ型シリコン
基板１９に低圧気相成長法によりジクロルシランとアン
モニアガスを原料として窒化珪素膜２０を７００ｎｍ成
膜した。さらに、基板１９上の窒化珪素膜２０を部分的
にフォトリソグラフィ法及びドライエッチング法により
除去した。除去した形状は一辺が約５μｍから１０μｍ
の四角形状とした。これらのパターン形状、大きさ、数
量は把持する対象に合わせて任意に設定する事が可能で
ある。その後、この基板１９を、水酸化カリウム（ＫＯ
Ｈ）水溶液またはテトラメチルアンモニウムハイドロオ
キサイド（ＴＭＡＨ）水溶液等のシリコンのエッチング
液に浸漬し、露出したシリコン部分を四角錘状にエッチ
ングして凹溝を設けた〔図５（ａ）〕。
のみに導体（金属）が突出しており、他の部分は絶縁体
で覆われている。以下に、第２実施例による超小型グリ
ッパーの製造方法を図５を用いて説明する。３インチ直
径、厚さ２５０μｍ、（１００）面方位のｎ型シリコン
基板１９に低圧気相成長法によりジクロルシランとアン
モニアガスを原料として窒化珪素膜２０を７００ｎｍ成
膜した。さらに、基板１９上の窒化珪素膜２０を部分的
にフォトリソグラフィ法及びドライエッチング法により
除去した。除去した形状は一辺が約５μｍから１０μｍ
の四角形状とした。これらのパターン形状、大きさ、数
量は把持する対象に合わせて任意に設定する事が可能で
ある。その後、この基板１９を、水酸化カリウム（ＫＯ
Ｈ）水溶液またはテトラメチルアンモニウムハイドロオ
キサイド（ＴＭＡＨ）水溶液等のシリコンのエッチング
液に浸漬し、露出したシリコン部分を四角錘状にエッチ
ングして凹溝を設けた〔図５（ａ）〕。
【００１９】その後、基板１９を電気炉に設置し、露出
したシリコン溝部分に酸化珪素膜２１を成長させた〔図
５（ｂ）〕。周知のように、酸化珪素膜２１の成長速度
は平坦な部分では速く、角の部分では遅いという性質を
有しているので、前記溝に成長した酸化珪素膜の断面形
状は図５（ｂ）のようになり、底部の厚みが薄いことに
なる。
したシリコン溝部分に酸化珪素膜２１を成長させた〔図
５（ｂ）〕。周知のように、酸化珪素膜２１の成長速度
は平坦な部分では速く、角の部分では遅いという性質を
有しているので、前記溝に成長した酸化珪素膜の断面形
状は図５（ｂ）のようになり、底部の厚みが薄いことに
なる。
【００２０】その後、基板の表面側に形成されている窒
化珪素膜２０の表面を可撓性フィンガーの形状にパター
ニングし、基板裏面側に形成されている窒化珪素膜２０
の表面を支持体の形状にパターニングした。さらに、基
板の表面側に、リフトオフ法を用いて、金、白金等の金
属膜２２をパターニングし、駆動用のマイクロコイル及
び金属配線２２を同時に形成した〔図５（ｄ）〕。
化珪素膜２０の表面を可撓性フィンガーの形状にパター
ニングし、基板裏面側に形成されている窒化珪素膜２０
の表面を支持体の形状にパターニングした。さらに、基
板の表面側に、リフトオフ法を用いて、金、白金等の金
属膜２２をパターニングし、駆動用のマイクロコイル及
び金属配線２２を同時に形成した〔図５（ｄ）〕。
【００２１】その後、該試料をテトラメチルアンモニウ
ムハイドロオキサイドに浸漬し、不要なシリコン部のみ
を溶出し片持ち梁状態の可撓性フィンガーを有する構造
体を形成した〔図５（ｅ）〕。該試料はこの後、水酸化
カリウム水溶液に浸漬され、探針部の酸化珪素膜をごく
僅かにエッチング除去し、酸化珪素膜２１の先端部から
金属が露出した探針を形成する〔図５（ｆ）〕。
ムハイドロオキサイドに浸漬し、不要なシリコン部のみ
を溶出し片持ち梁状態の可撓性フィンガーを有する構造
体を形成した〔図５（ｅ）〕。該試料はこの後、水酸化
カリウム水溶液に浸漬され、探針部の酸化珪素膜をごく
僅かにエッチング除去し、酸化珪素膜２１の先端部から
金属が露出した探針を形成する〔図５（ｆ）〕。
【００２２】このような構造体を２つ作成し、２つの構
造体の金属配線等を施していない面を互いに接着剤ある
いは陽極接合法を用いて接合する。このようにして、酸
化珪素膜２１の先端部から金属が露出した探針を備えた
超小型グリッパーを作成することができた。上記した第
１実施例では、探針３の全体が導体であるため、把持対
象が柔らかいものである場合等は、探針３が把持対象に
進入する深さが一定にならない。従って、把持対象と金
属からなる探針３との接触面積が一定にならないため、
同じ把持対象の電気的特性を安定して検出することがで
きないことがある。従って、把持対象が柔らかいものに
ついては、第２実施例のような探針の頂点部のみに導体
を持つ超小型グリッパーを用いると、導体部分と把持対
象の接触面積が一定になるので把持対象の電気的特性を
安定して検出することができる。
造体の金属配線等を施していない面を互いに接着剤ある
いは陽極接合法を用いて接合する。このようにして、酸
化珪素膜２１の先端部から金属が露出した探針を備えた
超小型グリッパーを作成することができた。上記した第
１実施例では、探針３の全体が導体であるため、把持対
象が柔らかいものである場合等は、探針３が把持対象に
進入する深さが一定にならない。従って、把持対象と金
属からなる探針３との接触面積が一定にならないため、
同じ把持対象の電気的特性を安定して検出することがで
きないことがある。従って、把持対象が柔らかいものに
ついては、第２実施例のような探針の頂点部のみに導体
を持つ超小型グリッパーを用いると、導体部分と把持対
象の接触面積が一定になるので把持対象の電気的特性を
安定して検出することができる。
【００２３】このようにして得た第２実施例による超小
型グリッパーを用いて、ツリガネムシ等の原生動物を探
針部で接触把持し、抵抗測定を繰り返したところ、測定
のばらつきを半減する事ができた。尚、第１、２実施例
では可撓性フィンガーを開閉させるための開閉駆動手段
はマイクロコイルから構成し、前記マイクロコイルに流
す電流を制御したが、他の手段を用いても良いことは言
うまでもない。このような手段としては、例えば、可撓
性フィンガーの外側または内側の面に熱膨張係数の異な
る２つの金属層を設けた（バイメタルまたはバイモルフ
構造と言う）構成とし、この２つの金属層に加える熱を
制御しても良い。
型グリッパーを用いて、ツリガネムシ等の原生動物を探
針部で接触把持し、抵抗測定を繰り返したところ、測定
のばらつきを半減する事ができた。尚、第１、２実施例
では可撓性フィンガーを開閉させるための開閉駆動手段
はマイクロコイルから構成し、前記マイクロコイルに流
す電流を制御したが、他の手段を用いても良いことは言
うまでもない。このような手段としては、例えば、可撓
性フィンガーの外側または内側の面に熱膨張係数の異な
る２つの金属層を設けた（バイメタルまたはバイモルフ
構造と言う）構成とし、この２つの金属層に加える熱を
制御しても良い。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、超小型グリッパーを用
いて把持対象を把持した状態で把持対象の電気的特性を
測定することができる。
いて把持対象を把持した状態で把持対象の電気的特性を
測定することができる。
【図１】本発明の第１実施例に係わる超小型グリッパー
を示す概略斜視図である。
を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の第１実施例に係わる超小型グリッパー
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図３】本発明の第１実施例に係わる超小型グリッパー
の製造方法を示す図である。
の製造方法を示す図である。
【図４】本発明の第２実施例に係わる超小型グリッパー
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図５】本発明の第２実施例に係わる超小型グリッパー
の製作方法を示す図である。
の製作方法を示す図である。
【図６】従来の超小型グリッパーを示す概略斜視図であ
る。
る。
１、１３・・・支持体 ２、１４・・・可撓性フィンガー ３、１５・・・探針 ４・・・マイクロコイル ５、１６・・・金属配線 ６・・・電極層 ７、１７・・・測定装置 ８、１８・・・把持対象 ９、１９・・・シリコン基板 １０、２０・・・窒化珪素膜 １１・・・タングステン １２、２２・・・配線
Claims (5)
- 【請求項１】 ２つの可撓性フィンガーと該２つの可撓
性フィンガーを間隔をおいて対向に支持する支持体と前
記可撓性フィンガーを開閉させる開閉駆動手段とからな
る超小型グリッパーにおいて、 前記可撓性フィンガー先端部に、導体からなる探針を設
けたことを特徴とする探針付き超小型グリッパー。 - 【請求項２】 前記探針は絶縁体と、該絶縁体の頂点部
のみで露出した導体とからなることを特徴とする請求項
１に記載の探針付き超小型グリッパー。 - 【請求項３】 前記絶縁体は窒化珪素からなり、前記導
体は金属であることを特徴とする請求項２に記載の探針
付き超小型グリッパー。 - 【請求項４】 前記開閉駆動手段は前記２つの可撓性フ
ィンガーのそれぞれに形成されたマイクロコイルである
ことを特徴とする請求項１乃至３に記載の探針付き超小
型グリッパー。 - 【請求項５】 前記開閉駆動手段は前記２つの可撓性フ
ィンガーのそれぞれに設けられた少なくとも２つの金属
層からなり、該少なくとも２つの金属層は異なる熱膨張
係数を有することを特徴とする請求項１乃至３に記載の
探針付き超小型グリッパー。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6190625A JPH0852673A (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 探針付き超小型グリッパー |
| EP19950103418 EP0696497B1 (en) | 1994-08-12 | 1995-03-09 | Micro gripper |
| DE69506050T DE69506050T2 (de) | 1994-08-12 | 1995-03-09 | Mikro-Greifer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6190625A JPH0852673A (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 探針付き超小型グリッパー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0852673A true JPH0852673A (ja) | 1996-02-27 |
Family
ID=16261189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6190625A Pending JPH0852673A (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 探針付き超小型グリッパー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0852673A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003059761A (ja) * | 2001-08-09 | 2003-02-28 | Murata Mfg Co Ltd | 可変容量コンデンサ及び共振器 |
| JP2004160650A (ja) * | 2002-11-13 | 2004-06-10 | Eastman Kodak Co | 先細の多層熱アクチュエータ及びその動作方法 |
| JP2009083012A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Nec Corp | 挟持装置及びこの挟持装置を有する設備 |
| JP2010217120A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Ｍｅｍｓの技術による温度センサ及びその製造方法 |
| CN108202298A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-26 | 广东欧珀移动通信有限公司 | 用于显示屏测试的对接装置 |
| JP2020517475A (ja) * | 2017-04-23 | 2020-06-18 | フランカ エミカ ゲーエムベーハーＦＲＡＮＫＡ ＥＭＩＫＡ ＧｍｂＨ | 電気部品の電気試験を行う装置および方法 |
-
1994
- 1994-08-12 JP JP6190625A patent/JPH0852673A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003059761A (ja) * | 2001-08-09 | 2003-02-28 | Murata Mfg Co Ltd | 可変容量コンデンサ及び共振器 |
| JP2004160650A (ja) * | 2002-11-13 | 2004-06-10 | Eastman Kodak Co | 先細の多層熱アクチュエータ及びその動作方法 |
| JP2009083012A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Nec Corp | 挟持装置及びこの挟持装置を有する設備 |
| JP2010217120A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Ｍｅｍｓの技術による温度センサ及びその製造方法 |
| JP2020517475A (ja) * | 2017-04-23 | 2020-06-18 | フランカ エミカ ゲーエムベーハーＦＲＡＮＫＡ ＥＭＩＫＡ ＧｍｂＨ | 電気部品の電気試験を行う装置および方法 |
| US11845185B2 (en) | 2017-04-23 | 2023-12-19 | Franka Emika Gmbh | Device and method for the electrical testing of an electrical component |
| CN108202298A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-26 | 广东欧珀移动通信有限公司 | 用于显示屏测试的对接装置 |
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