JPH085362A - 座標測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 測定精度が高く保たれ、キャリッジの構造が
簡単且つコンパクトであり、しかも安全に作業を行うこ
とができる座標測定機を提供する。 【構成】 測定物を載置する定盤２上に配置された一対
の支持部材１１，１２にＸ軸ビ−ム６を架け渡たして構
成され、Ｙ軸方向へ移動可能な門型構造体７と、測定子
２７を有するＺ軸スピンドル２５と、Ｚ軸スピンドル２
５をＺ軸方向へ移動可能に支持するとともに、Ｘ軸ビ−
ム６に案内されてＸ軸方向へ移動可能なＸ軸キャリッジ
１９とを備えた座標測定機において、Ｘ軸ビ−ム６に、
Ｘ軸方向へ延びるとともに、Ｚ軸方向へ開いた空間１８
と、空間１８に収納されるＸ軸キャリッジ１９を、Ｙ及
びＺ軸方向への運動を規制しつつ、Ｘ軸方向へ案内可能
に支持する案内面とを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は座標測定機に関し、特
に門型構造体を有する座標測定機に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は従来の座標測定機を示す斜視図で
ある。

【０００３】この座標測定機は、定盤１０２上をＹ軸ガ
イド１０３に沿ってＹ軸方向に移動可能な門型構造体１
０７と、門型構造体１０７のＸ軸ビ−ム１０６上をＸ軸
方向に移動可能なＸ軸キャリッジ１１９と、Ｘ軸キャリ
ッジ１１９によってＺ軸方向に移動可能に支持されたＺ
軸スピンドル１２５と、Ｚ軸スピンドル１２５の下端に
固定された測定子１２７とを備えている。定盤１０２上
には被測定物がセットされ、測定子１２７を被測定物に
対して三次元移動させて、被測定物の形状・寸法などに
関する座標測定を行う。

【０００４】門型構造体１０７は、ガイド側の支柱１０
４とサポ−ト側の支柱１０５と両支柱１０４，１０５の
上部に架け渡したＸ軸ビ−ム１０６とで構成され、支柱
１０４とＹ軸ガイド１０３との間に配置された図示しな
いエアベアリング、並びに支柱１０５と定盤１０２との
間に配置されたエアベアリング１１０によりフロ−ティ
ング支持されている。また、Ｘ軸ビ−ム１０６にはＸ軸
方向へ延びるとともに、Ｚ軸方向へ開いた長孔１７５が
形成され、Ｚ軸スピンドル１２５はこの長孔１７５を貫
通している。

【０００５】Ｘ軸キャリッジ１１９は走行部１７６とＺ
軸スピンドル１２５の支持部１７７とからなり、走行部
１７６はＸ軸ビ−ム１０６の上面に設けられた案内面１
７８と両側面に設けられた案内面１７９，１８０とによ
って案内される。また、支持部１７７は走行部１７６の
上部に位置している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述のように従来の座
標測定機では、支持部１７７が走行部１７６の上部に位
置する構造であるので、Ｘ軸キャリッジ１１９の重心が
それだけ高くなっており、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の各移
動操作力の作用点と重心との間に距離が生じ、これらの
方向にＸ軸キャリッジ１１９が移動操作されるときＸ軸
キャリッジ１１９を倒す方向のモ−メントが働いて振動
が生じ、座標測定機の測定精度の低下を招いていた。ま
た、この距離だけ支持部１７７と測定子１２７とが遠く
なるから、Ｚ軸スピンドル１２５がそれだけ長くなると
ともに剛性が下がり、測定精度が更に低下する。

【０００７】また、Ｘ軸ビ−ム１０６の案内面１７９，
１８０と支持部１７７とが離れているので、Ｘ軸キャリ
ッジ１１９は形状・構造が複雑であるとともに、Ｘ軸キ
ャリッジ１１９の剛性を上げるために重量を重くする必
要があった。

【０００８】更に、Ｘ軸キャリッジ１１９を案内するた
めにＸ軸ビ−ム１０６の外側を案内面１７８，１７９，
１８０として使用するので、案内面１７８〜１８０にゴ
ミが付着し易く、傷が付き易い。また、Ｘ軸キャリッジ
１１９がＸ軸ビ−ム１０６をまたぐように配置されてい
るので、作業者が測定子１２７に近づいたときに、Ｘ軸
キャリッジ１１９にぶつかるおそれがあった。

【０００９】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は測定精度が高く保たれ、キャリッ
ジの構造が簡単且つコンパクトであり、しかも安全に作
業を行うことができる座標測定機を提供することであ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明の座標測定機は、測定物を載置す
る定盤と、前記定盤上に配置された一対の支持部材と、
前記支持部材間に架け渡されたＸビ−ムとで構成され、
Ｙ軸方向へ移動可能な構造体と、測定子を有するＺ軸ス
ピンドルと、前記Ｚ軸スピンドルをＺ軸方向へ移動可能
に支持するとともに、前記Ｘビ−ムに案内されてＸ軸方
向へ移動可能なキャリッジとを備えた座標測定機におい
て、前記Ｘビ−ムは、Ｘ軸方向へ延びるとともに、Ｚ軸
方向へ開き、前記キャリッジを収容する空間と、前記空
間に収納される前記キャリッジを、Ｙ及びＺ軸方向への
運動を規制しつつ、Ｘ軸方向へ案内可能に支持する案内
面とを有している。

【００１１】また、請求項２記載の発明の座標測定機
は、前記Ｘビ−ムをＹ及びＺ軸に対して傾いた案内面を
有する４つの案内部材で構成し、前記４つの案内部材の
うちＺ軸方向下側の１つ又は２つの案内部材に他の案内
部材よりも高い剛性を与えた。

【００１２】更に、請求項３記載の発明の座標測定機
は、前記案内部材は中空構造であり、前記案内部材の両
端部の前記案内面に、前記案内部材の剛性を全長にわた
ってほぼ一定になるように前記キャリッジの一部が前記
案内部材内へ沈み込む切込みが設けられている。

【００１３】

【作用】請求項１記載の発明の座標測定機では、キャリ
ッジをＸビ−ムの空間に収容し、そのキャリッジをＸビ
−ムの案内面でＹ及びＺ軸方向への運動を規制しつつ、
Ｘ軸方向へ案内可能に支持するようにしたので、Ｚ軸ス
ピンドルの支持中心部とＸビームに支持されるキャリッ
ジの支持中心部とが近付き、キャリッジがＸ及びＹ軸方
向に移動するとき、キャリッジを倒すようなモ−メント
が働かず、キャリッジの移動動作が安定する。

【００１４】また、請求項２記載の発明の座標測定機で
は、Ｘビ−ムをＹ及びＺ軸に対して傾いた案内面を有す
る４つの案内部材で構成し、前記４つの案内部材のうち
Ｚ軸方向の下側の１つ又は２つの案内部材を他の案内部
材よりも高い剛性を与えるようにすれば、キャリッジが
剛性の高い案内部材に沿って走行することになり、座標
測定機の測定精度はその剛性の高い案内部材の真直度で
決まる。

【００１５】更に、請求項３記載の発明の座標測定機で
は、前記案内部材を中空構造とし、案内部材の両端部の
案内面に切込を設けるようにすれば、キャリッジが両端
側へ移動したとき、キャリッジの一部を案内部材内へ沈
み込ませ、案内部材の変形量を全長にわたってほぼ一定
にすることができ、したがってキャリッジと案内部材と
の間の剛性（強度）を全範囲にわたってほぼ一定にする
ことができる。

【００１６】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。

【００１７】図１及び図２はこの発明の第１実施例に係
る座標測定機を示し、図１は座標測定機の全体を示す斜
視図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。

【００１８】定盤２の上面にはＹ軸ガイド３が敷設され
ているとともに、支柱４，５の上端部にＸ軸ビ−ム（Ｘ
ビ−ム）６を架け渡してなる門型構造体（構造体）７が
載置されている。支柱４とＹ軸ガイド３との間にはエア
ベアリング８，９が配置され、支柱５と定盤２との間に
はエアベアリング１０が配置されており、このようにフ
ロ−ティング支持された門型構造体７は、Ｙ軸ガイド３
に案内されて定盤２上をＹ軸方向に移動可能である。

【００１９】Ｘ軸ビ−ム６は、各支柱４，５の上部に固
定された支持部材１１，１２と、支持部材１１，１２に
両端を支持された４本の案内部材１３，１４，１５，１
６とを有している。図２に示すように、これらの案内部
材１３〜１６は水平面１７に対して傾斜角θだけ傾いて
いる（傾斜角θは４５°〜８０°の範囲が適当であ
る。）。

【００２０】各案内部材１３〜１６の内側に形成された
空間１８にはＸ軸キャリッジ１９が収容されている。図
２に示すように、Ｘ軸キャリッジ１９はエアベアリング
２０により、案内部材１３〜１６の内側に形成された案
内面２１，２２，２３，２４に沿ってＸ軸方向に移動自
在にフロ−ティング支持されている。

【００２１】図２に示すように、Ｘ軸キャリッジ１９の
内側にはＺ軸スピンドル２５が４個以上のエアベアリン
グ２６を介してＺ軸方向に移動自在に支持されている。
Ｚ軸スピンドル２５は空間１８をＺ軸方向に貫通してお
り、図１に示すようにＺ軸スピンドル２５の下端部には
測定子２７が取り付けられている。

【００２２】図１及び２に示すように、案内部材１３〜
１６は矩形断面の板状部材であるが、水平面１７に対す
る傾斜角θを与えたことによって、Ｚ軸方向の力（Ｘ軸
キャリッジ１９とＺ軸スピンドル２５などの重量及びＸ
軸キャリッジ１９に倒れが生じた場合のＺ方向成分力）
とＹ軸方向の力（門型構造体７が移動操作されたときの
加速度と減速度）とを各案内部材１３〜１６のそれぞれ
が負担する。これらの力はエアベアリング２０からのエ
ア圧として各案内部材１３〜１６に負荷される。また、
各案内部材１３〜１６に傾斜角θを与えたことによって
Ｘ軸ビ−ム６は断面係数が高くなり、曲げモ−メントに
対する強度が上がる。

【００２３】このような負荷分散構造及び断面係数向上
などにより、Ｘ軸ビ−ム６は少ない本数（４本）の案内
部材１３〜１６の上述の力に耐えて充分な剛性を発揮
し、座標測定機の測定精度を高く保つ。

【００２４】更に、案内部材１３〜１６を傾斜させたこ
とにより、図２に示すようにエアベアリング２０も傾斜
し、Ｘ軸キャリッジ１９の側面２８も矩形断面ではなく
屈曲断面としたので、断面係数と強度とが高くなるとと
もに、エアベアリング２０からＸ軸キャリッジ１９のほ
ぼ中央部に集中する反力を受けるから、Ｘキャリッジ１
９は自由端を持たない構造となり、Ｘ軸キャリッジ１９
の剛性が上がり、座標測定機の測定精度が向上する。

【００２５】また、案内部材１３と案内部材１５、案内
部材１４と案内部材１６とをそれぞれ上下に離して配置
し、Ｘ軸キャリッジ１９を縦長の構造にしたことによ
り、エアベアリング２６によるＺ軸スピンドル２５の支
持点間隔を広くすることが可能になり、それだけＺ軸ス
ピンドル２５のＸ，Ｙ軸方向の剛性が上がり、座標測定
機の測定精度が高くなる。

【００２６】更に、各案内部材１３〜１６の剛性は支持
部材１１，１２に支持された両端側から中央部に向かっ
て低くなり、エアベアリング２０との隙間が広くなる
が、各案内部材１３〜１６とエアベアリング２０との剛
性をそれぞれほぼ均一にしておけば、Ｘ軸キャリッジ１
９は、特定の案内部材ではなく、案内部材１３〜１６の
すべてにならって移動する。したがって、案内面２１〜
２４の真直度をすべて高精度に加工しなくとも、これら
の真直度が平均化され全体として精度の高いものとな
り、低コストで高い測定精度が得られる。

【００２７】また、Ｘ軸キャリッジ１９は、Ｘ軸ビ−ム
６による支持部（エアベアリング２０）の内側にＺ軸ス
ピンドル２５の支持部（エアベアリング２６）を配置し
た構造であり、従来例と異なり支持部と走行部とが上下
に分かれた２層構造ではない。したがって、Ｘ軸キャリ
ッジ１９の形状・構造が簡単であり、コンパクト化が可
能であるとともに、上記２層構造の弱点を補うために剛
性を上げる必要がないから、重量の増加を回避できる。

【００２８】更に、Ｘ軸キャリッジ１９を案内するため
の案内面２１〜２４がＸ軸ビ−ム６の内側に設けられて
おり、ゴミや傷が付きにくく、座標測定機の測定精度が
高く保たれる。また、Ｘ軸キャリッジ１９がＸ軸ビ−ム
６の内側を走行するから、作業者は測定子２７の近くで
作業してもＸ軸キャリッジ１９にぶつかることがない。

【００２９】図３はこの発明の第２実施例に係る座標測
定機の要部を示す断面図である。上記第１実施例におけ
る図２に相当する図面である。第１実施例と共通する部
分には同一の符号を付して説明を省略する。

【００３０】この実施例の座標測定機のＸ軸ビ−ムは、
一方の支柱４の上部に固定された支持部材３０と、他方
の支柱５の上部に固定された他の支持部材（図示せず）
と、これらの支持部材に両端を支持された８本の案内部
材３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７，３８と
で構成されている。

【００３１】各案内部材３１〜３８の内側に形成された
空間３９にはＸ軸キャリッジ４０が収容されている。Ｘ
軸キャリッジ４０はエアベアリング２０により、案内部
材３１〜３８の内側の案内面４１，４２，４３，４４，
４５，４６，４７，４８に沿ってＸ軸方向に移動自在に
フロ−ティング支持されている。

【００３２】案内部材３３〜３６はＸ軸キャリッジ４０
をＹ方向に拘束し、案内部材３１，３２，３７，３８は
Ｘ軸キャリッジ４０をＺ軸方向に拘束する。

【００３３】Ｘ軸キャリッジ４０の内側にはＺ軸スピン
ドル２５が４個以上のエアベアリング２６を介してＺ軸
方向に移動自在に支持されている。このＺ軸スピンドル
２５は空間３９をＺ軸方向に貫通しており、Ｚ軸スピン
ドル２５の下端には測定子２７が取り付けられている。

【００３４】この実施例の座標測定機では、上述のよう
に案内部材が８本用いられているとともに、各案内部材
３１〜３８はそれぞれＹ軸方向かＺ軸方向の力だけを負
担するように構成されており、エアベアリング２０も８
個用いられている。したがって、各案内部材３１〜３８
とエアベアリング２０の負担重量がそれだけ軽減される
とともに、このような負荷分散構造によりＸ軸ビ−ム４
０全体の剛性及びエアベアリング２０の剛性が上がり、
それだけ座標測定機の測定精度が向上する。

【００３５】また、案内部材３３と案内部材３５、案内
部材３４と案内部材３６とをそれぞれ上下に離して配置
し、Ｘ軸キャリッジ４０を縦長構造にして、エアベアリ
ング２６によるＺ軸スピンドル２５の支持点間隔を広く
したから、それだけＺ軸スピンドル２５のＸ，Ｙ軸方向
の剛性が上がり、座標測定機の測定精度が高くなる。

【００３６】更に、各案内部材３１〜３８とエアベアリ
ング２０との剛性をそれぞれほぼ均一にしておけば、Ｘ
軸キャリッジ４０は案内部材３１〜３８にならって移動
するから、各案内面４１〜４８の真直度をすべて高精度
に加工しなくとも、これらの真直度が平均化され全体と
して精度の高いものとなり、低コストで高い測定精度が
得られる。

【００３７】また、Ｘ軸キャリッジ４０は従来例と異な
り２層構造ではないから、形状・構造が簡単でありコン
パクト化が可能であるとともに、２層構造の弱点を補う
ために剛性を上げる必要がないから、重量の増加を回避
できる。

【００３８】更に、Ｘ軸キャリッジ４０を案内するため
の案内面４１〜４８がＸ軸ビ−ムの内側に設けられてお
り、ゴミや傷が付きにくく、座標測定機の測定精度が高
く保たれる。また、Ｘ軸キャリッジ４０がＸ軸ビ−ムの
内側を走行するから、作業者が測定子の近くで作業して
もＸ軸キャリッジ４０にぶつかることがない。

【００３９】図４はこの発明の第３実施例に係る座標測
定機の要部を示す断面図である。図４は上記第１実施例
における図２に相当する図面である。なお、第１実施例
と共通する部分には同一の符号を付して説明を省略す
る。

【００４０】この実施例の座標測定機のＸ軸ビ−ムは、
一方の支柱４の上部に固定された支持部材５０と、他方
の支柱５の上部に固定された他の支持部材（図示せず）
と、これらの支持部材に両端を支持された４本の案内部
材５１，５２，５３，５４とで構成されている。

【００４１】各案内部材５１〜５４の内側に形成された
空間５５にはＸ軸キャリッジ１９が収容されている。Ｘ
軸キャリッジ１９はエアベアリング２０により、案内部
材５１〜５４の内側の案内面５６，５７，５８，５９に
沿ってＸ軸方向に移動自在にフロ−ティング支持されて
いる。

【００４２】Ｘ軸キャリッジ１９の内側にはＺ軸スピン
ドル２５が４個のエアベアリング２６を介してＺ軸方向
に移動自在に支持されている。

【００４３】図４に示すように、案内部材５１〜５４は
矩形断面の板状部材であり、水平面１７に対して傾斜角
θだけ傾いている。また、下側の一方に配置された案内
部材５４は板厚Ｔ１を他の案内部材５１，５２，５３の
板厚Ｔ２より厚くすることによって剛性を高くしてあ
る。

【００４４】したがって、Ｘ軸キャリッジ１９は剛性の
高い案内部材５４の案内面５９にならって（基準とし
て）移動するので、座標測定機の測定精度は案内部材５
４の真直度によって決まる。その結果、剛性の高い案内
部材５４の真直度だけを高い精度で加工しておくことに
より、低コストで座標測定機の測定精度を高くすること
ができる。

【００４５】なお、座標測定機の測定精度を案内部材５
４の真直度に依存させるためには、案内部材５４の剛性
をエアベアリング２０より高くするとともに、案内部材
５１〜５３の剛性をエアベアリング２０の剛性の１／５
０より低くすることが望ましい。

【００４６】また、各案内部材５１〜５４に傾斜角θを
与え、Ｚ軸スピンドル２５の支持部をＸ軸キャリッジ１
９の内側に配置し、Ｘ軸キャリッジ１９をＸ軸ビ−ムの
内側で走行させることにより、座標測定機は上述した第
１実施例の座標測定機と同様に、各部材の剛性が増して
測定精度が高くなり、構造が簡単で軽量になるととも
に、各案内面５６〜５９にゴミや傷が付きにくく、測定
精度が高く保たれる。また、第１実施例と同様に、作業
者は測定子の近くで作業してもＸ軸キャリッジ１９にぶ
つかるがない。

【００４７】図５はこの発明の第４実施例に係る座標測
定機の要部を示す断面図である。図５は上記第１実施例
における図２に相当する。なお、図４の第３実施例と共
通する部分には同一の符号を付して説明を省略する。

【００４８】この実施例では、図５に示すように、下側
の両方の案内部材５３，５４はいずれも板厚Ｔ１を上側
の両方の案内部材５１，５２の板厚Ｔ２より厚くするこ
とによって剛性を高くしてある。Ｘ軸キャリッジ１９は
剛性の高い案内部材５４にならって移動し、座標測定機
の測定精度は案内部材５３，５４の真直度で決まるの
で、案内部材５３，５４の真直度だけを高い精度で加工
しておけばよい。

【００４９】この第４実施例の座標測定装置によれば、
図４の第３実施例と同様の効果を得ることができる。

【００５０】図６はこの発明の第５実施例に係る座標測
定機の要部を示す断面図であり、上記第１実施例におけ
る図２に相当する。図７は図６のＢ−Ｂ矢視図である。
第１実施例と共通する部分には同一の符号を付して説明
を省略する。

【００５１】この実施例では、図６に示すように、案内
部材６４，６５，６６，６７は中空の板状部材であり、
水平面１７に対して傾斜角θだけ傾いている。また、図
７に示すように、各案内部材６４〜６７の案内面６９，
７０，７１，７２の両端部に切込み７３が設けられ、切
込み７３によって、可撓性のカンチレバ−部７４が形成
されている。カンチレバ−部７４を設けたことによっ
て、各案内部材６４〜６７の剛性は全長にわたってほぼ
均一になる。

【００５２】したがって、エアベアリング２０の負荷容
量を大きくし、Ｘ軸キャリッジ１９の剛性を上げても、
Ｘ軸キャリッジ１９がＸ軸ビームの両端側に移動したと
き、カンチレバ−部７４の適度な沈み込みによって、案
内面６９〜７２とエアベアリング２０との接触が回避さ
れる。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の発明
の座標測定機によれば、キャリッジをＸビ−ムの空間に
収容し、そのキャリッジをＸビ−ムの案内面でＹ及びＺ
軸方向への運動を規制しつつ、Ｘ軸方向へ案内可能に支
持するようにしたので、Ｚ軸スピンドルの支持中心部と
Ｘビームに支持されるキャリッジの支持中心部とが近付
き、キャリッジがＸ及びＹ軸方向に移動するとき、キャ
リッジを倒すようなモ−メントが働かず、キャリッジの
移動動作が安定し、測定精度が向上する。また、キャリ
ッジがＸビ−ム内側の空間内を移動するので、作業者が
測定子等に近付いたとき、誤ってキャリッジにぶつかる
こともない。更に、Ｘビ−ムの案内面は空間側へ望んで
いるので、ゴミや傷が付きにくく、測定精度を高く保つ
ことができる。また、Ｚ軸スピンドルを支持する部分と
Ｘビ−ムの案内面とが近いので、キャリッジの重量を重
くする必要がないし、キャリッジの形状・構造も簡素化
できる。

【００５４】また、請求項２記載の発明の座標測定機に
よれば、Ｘビ−ムをＹ及びＺ軸に対して傾いた案内面を
有する４つの案内部材で構成し、前記４つの案内部材の
うちＺ軸方向の下側の１つ又は２つの案内部材を他の案
内部材よりも高い剛性を与えるようにすれば、キャリッ
ジが剛性の高い案内部材に沿って走行することになり、
座標測定機の測定精度がその剛性の高い案内部材の真直
度で決まることになり、剛性の高い案内部材の真直度だ
けを高い精度で加工しておけば、低コストで高い測定精
度が得られる。

【００５５】更に、請求項３記載の発明の座標測定機に
よれば、前記案内部材を中空構造とし、案内部材の両端
部の案内面に切込を設けるようにすれば、キャリッジが
両端側へ移動したとき、キャリッジの一部を案内部材内
へ沈み込ませ、案内部材の変形量を全長にわたってほぼ
一定にすることができ、したがって、キャリッジと案内
部材との間の剛性（強度）を全範囲にわたってほぼ一定
にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの発明の第１実施例に係る座標測定機
を示す斜視図である。

【図２】図２は図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】図３はこの発明の第２実施例に係る座標測定機
の要部を示す断面図である。

【図４】図４はこの発明の第３実施例に係る座標測定機
の要部を示す断面図である。

【図５】図５はこの発明の第４実施例に係る座標測定機
の要部を示す断面図である。

【図６】図６はこの発明の第５実施例に係る座標測定機
の要部を示す断面図である。

【図７】図７は図６のＢ−Ｂ矢視図である。

【図８】図８は従来の座標測定機を示す斜視図である。

【符号の説明】

２ 定盤 ６ Ｘ軸ビ−ム ７ 門型構造体 １１、１２ 支持部材 １３，１４，１５，１６、３１，３２，３３，３４，３
５，３６，３７，３８、５１，５２，５３，５４、６
４，６５，６６，６７ 案内部材 １８，３９，５５，６２，６８ 空間 １９，４０ Ｘ軸キャリッジ ２１，２２，２３，２４、４１，４２，４３，４４，４
５，４６，４７，４８、５６，５７，５８，５９、６
９，７０，７１，７２ 案内面 ２５ Ｚ軸スピンドル ２７ 測定子 ７３ 切込み

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定物を載置する定盤と、 前記定盤上に配置された一対の支持部材と、前記支持部
   材間に架け渡されたＸビ−ムとで構成され、Ｙ軸方向へ
   移動可能な構造体と、 測定子を有するＺ軸スピンドルと、 前記Ｚ軸スピンドルをＺ軸方向へ移動可能に支持すると
   ともに、前記Ｘビ−ムに案内されてＸ軸方向へ移動可能
   なキャリッジとを備えた座標測定機において、 前記Ｘビ−ムは、 Ｘ軸方向へ延びるとともに、Ｚ軸方向へ開き、前記キャ
   リッジを収容する空間と、 前記空間に収納される前記キャリッジを、Ｙ及びＺ軸方
   向への運動を規制しつつ、Ｘ軸方向へ案内可能に支持す
   る案内面とを有していることを特徴とする座標測定機。
2. 【請求項２】 前記Ｘビ−ムはＹ及びＺ軸に対して傾い
   た案内面を有する４つの案内部材で構成され、前記４つ
   の案内部材のうちＺ軸方向の下側の１つ又は２つの案内
   部材が他の案内部材よりも高い剛性をもつことを特徴と
   する請求項１記載の座標測定機。
3. 【請求項３】 前記案内部材は中空構造であり、 前記案内部材の両端部の前記案内面に、前記案内部材の
   剛性を全長にわたってほぼ一定になるように前記キャリ
   ッジの一部が前記案内部材内へ沈み込む切込みが設けら
   れていることを特徴とする請求項１又は２記載の座標測
   定機。