JPS63237831A - Ｘｙテ−ブルの位置決め装置 - Google Patents
Ｘｙテ−ブルの位置決め装置Info
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- JPS63237831A JPS63237831A JP7517387A JP7517387A JPS63237831A JP S63237831 A JPS63237831 A JP S63237831A JP 7517387 A JP7517387 A JP 7517387A JP 7517387 A JP7517387 A JP 7517387A JP S63237831 A JPS63237831 A JP S63237831A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- stage
- yoke
- position detector
- axis direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 239000007799 cork Substances 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ワークを平面上の任意の位置に移動させる
場合に用いるＸＹテーブルの位置決め装置に関するもの
である。
場合に用いるＸＹテーブルの位置決め装置に関するもの
である。
〔従来の技術とその問題点）
上記ＸＹテーブルの従来技術として第３図に示したもの
がある。このＸＹテーブルは、台座１の上面にＸ軸ヨー
ク２とＹ軸ヨーク３とを直交状に配置し、その各ヨーク
２．３の両端部を一対の平行な直線軸受４．５で支持し
てＸ軸ヨーク２とＹ軸ヨーク３を直交方向に移動可能に
支持しである。
がある。このＸＹテーブルは、台座１の上面にＸ軸ヨー
ク２とＹ軸ヨーク３とを直交状に配置し、その各ヨーク
２．３の両端部を一対の平行な直線軸受４．５で支持し
てＸ軸ヨーク２とＹ軸ヨーク３を直交方向に移動可能に
支持しである。
また、Ｘ軸ヨーク２およびＹ軸ヨーク３のそれぞれに各
ヨーク２．３の移動方向に対して直交方向に長いガイド
孔６を形成し、そのガイド孔６の交差部に配置したステ
ージ７を各ガイド孔６に沿って移動可能に支持しである
。
ヨーク２．３の移動方向に対して直交方向に長いガイド
孔６を形成し、そのガイド孔６の交差部に配置したステ
ージ７を各ガイド孔６に沿って移動可能に支持しである
。
さらに、Ｘ輪ヨーク２およびＹ軸ヨーク３のそれぞれを
Ｘ軸移動装置１０およびｙ軸移動装置１０′によって移
動させるようにしている。
Ｘ軸移動装置１０およびｙ軸移動装置１０′によって移
動させるようにしている。
ここで、Ｘ軸移動装置１０およびｙ軸移動装置１０’は
、モータ１１によって回転されるねじ軸１２と、このね
じ軸１２にねじ係合したナンド１３から成り、上記ねじ
軸１２は台座１の上面に取付けた軸受１４で回動可能に
支持され、一方ナット１３は各ヨーク２．３の下面に固
定されている。
、モータ１１によって回転されるねじ軸１２と、このね
じ軸１２にねじ係合したナンド１３から成り、上記ねじ
軸１２は台座１の上面に取付けた軸受１４で回動可能に
支持され、一方ナット１３は各ヨーク２．３の下面に固
定されている。
このため、モータ１１を駆動してねじ軸１２を回転し、
Ｘ軸ヨーク２を平行な直線軸受４に沿って移動させると
、ステージ７はＹ軸コーク３のガイド孔６に沿ってＸ軸
方向（第３図の左右方向）に移動し、またＹ軸ヨーク３
を移動させると、ステージ７はＸ軸ヨーク２のガイド孔
６に沿ってｙ軸方向（第３図の上下方向）に移動する。
Ｘ軸ヨーク２を平行な直線軸受４に沿って移動させると
、ステージ７はＹ軸コーク３のガイド孔６に沿ってＸ軸
方向（第３図の左右方向）に移動し、またＹ軸ヨーク３
を移動させると、ステージ７はＸ軸ヨーク２のガイド孔
６に沿ってｙ軸方向（第３図の上下方向）に移動する。
このようなＸＹテーブルにおいては、ステージ７に高い
位置決め精度が要求されるため、普通ステージ７のＸ軸
方向の位置およびｙ軸方向の位置を検出する位置検出器
２０．２０′を設け、各検出器２０．２０′の測定値を
Ｘ軸移動装置１０のモータ１１の制御部およびｙ軸移動
装置１０′のモータ１１の制？７１１部にそれぞれフィ
ードバックして各モータ１１を制？■するようにしてい
る。
位置決め精度が要求されるため、普通ステージ７のＸ軸
方向の位置およびｙ軸方向の位置を検出する位置検出器
２０．２０′を設け、各検出器２０．２０′の測定値を
Ｘ軸移動装置１０のモータ１１の制御部およびｙ軸移動
装置１０′のモータ１１の制？７１１部にそれぞれフィ
ードバックして各モータ１１を制？■するようにしてい
る。
ところで、従来のＸＹテーブルにおいては、位置検出器
２０．２０′を形成するリニアスケール２１を直線軸受
４．５とねじ軸１２との間に配置して台座１で支持し、
検出へラド２２をＸ軸ヨーク２およびＹ軸コーク３の端
面に取付ける構成であるため、位置検出器２０．２０′
の検出位置とステージ７の中心間に大きな距離が生じ、
ステージ７の位置決め精度が悪いという不都合がある。
２０．２０′を形成するリニアスケール２１を直線軸受
４．５とねじ軸１２との間に配置して台座１で支持し、
検出へラド２２をＸ軸ヨーク２およびＹ軸コーク３の端
面に取付ける構成であるため、位置検出器２０．２０′
の検出位置とステージ７の中心間に大きな距離が生じ、
ステージ７の位置決め精度が悪いという不都合がある。
すなわち、ＸＹテーブルにおいては、Ｘ軸ヨーク２およ
びＹ軸ヨーク３のそれぞれを直線軸受４．５で支持する
構成であるため、各ヨーク２．３の移動時に直線軸受４
．５にヨーイングが発生し易く、そのヨーイングによっ
て、例えばｙ軸ヨーク３に角度θの傾むきが生じると、
位置検出器２０′の検出位置とステージ７の中心との間
にｅ、に相当する誤差が生じる。フィードバック制御を
する場合、移動装置のモータの制御ｎ部に入力された指
令値と位置検出器２０′から上記制御部にフィードバッ
クされた測定値が一致した時、位置決め完了とするため
、ステージ７の停止位置に０１に位置のずれが生じる。
びＹ軸ヨーク３のそれぞれを直線軸受４．５で支持する
構成であるため、各ヨーク２．３の移動時に直線軸受４
．５にヨーイングが発生し易く、そのヨーイングによっ
て、例えばｙ軸ヨーク３に角度θの傾むきが生じると、
位置検出器２０′の検出位置とステージ７の中心との間
にｅ、に相当する誤差が生じる。フィードバック制御を
する場合、移動装置のモータの制御ｎ部に入力された指
令値と位置検出器２０′から上記制御部にフィードバッ
クされた測定値が一致した時、位置決め完了とするため
、ステージ７の停止位置に０１に位置のずれが生じる。
そこで、この発明は上記の不都合を解消し、ＸＹテーブ
ルの位置決め精度の向上を図ることを目的としている。
ルの位置決め精度の向上を図ることを目的としている。
上記の目的を達成するために、この発明は、位置検出器
を形成するリニアスケールと検出ヘッドのうち、一方を
ヨークの側面に、他方をステージに取付けた構成とした
のである。
を形成するリニアスケールと検出ヘッドのうち、一方を
ヨークの側面に、他方をステージに取付けた構成とした
のである。
（作用〕
上記のように構成すれば、ヨークの移動を案内する直線
軸受の内側においてステージの中心に近接する位置に位
置検出器が配置されるため、直線軸受にヨーイングが生
じても、位置検出器の検出位置とステージの中心との間
に生じる誤差が小さく、この結果、ステージをきわめて
精度よく位置決めすることができる。
軸受の内側においてステージの中心に近接する位置に位
置検出器が配置されるため、直線軸受にヨーイングが生
じても、位置検出器の検出位置とステージの中心との間
に生じる誤差が小さく、この結果、ステージをきわめて
精度よく位置決めすることができる。
以下、この発明の実施例を第１図および第２図に基づい
て説明する。
て説明する。
なお、先に述べた第３図の従来例と同一の部品には同一
の符号を付して説明を省略する。
の符号を付して説明を省略する。
図示のように、ステージ７は、Ｘ軸ヨーク２およびＹ軸
ヨーク３におけるガイド孔６の側面に対して接触可能な
複数のガイドローラ８を備え、そのステージ７とＸ軸ヨ
ーク２との間に、上記ステージ７のｙ軸方向の位置を検
出する位置検出器２０′が設けられている。また、ステ
ージ７とＹ軸ヨーク３との間にはステージ７のＸ軸方向
の位置を検出する位置検出器２０が設けられている。
ヨーク３におけるガイド孔６の側面に対して接触可能な
複数のガイドローラ８を備え、そのステージ７とＸ軸ヨ
ーク２との間に、上記ステージ７のｙ軸方向の位置を検
出する位置検出器２０′が設けられている。また、ステ
ージ７とＹ軸ヨーク３との間にはステージ７のＸ軸方向
の位置を検出する位置検出器２０が設けられている。
Ｘ軸方向の位置検出器２０およびｙ軸方向の位置検出器
２０′は、リニアスケール２１と検出ヘッド２２とから
成り、リニアスケール２１は、Ｘ軸ヨーク２およびＹ軸
ヨーク３の側面に取付けられ、一方検出ヘッド２２は、
ステージ７の側面に取付けられている。
２０′は、リニアスケール２１と検出ヘッド２２とから
成り、リニアスケール２１は、Ｘ軸ヨーク２およびＹ軸
ヨーク３の側面に取付けられ、一方検出ヘッド２２は、
ステージ７の側面に取付けられている。
なお、リニアスケール２１をステージ７に取付け、検出
へラド２２をＸ軸ヨーク２およびＹ軸ヨーク３に取付け
るようにしてもよい。
へラド２２をＸ軸ヨーク２およびＹ軸ヨーク３に取付け
るようにしてもよい。
いま、モータ１１を駆動してねじ軸１２を回転し、Ｙ軸
ヨーク３をｙ軸方向に移動させると、ステージ７がＸ軸
ヨーク２のガイド孔６に沿ってｙ軸方向に移動する。そ
の移動量は、ｙ軸方向の位置検出器２０’によって検出
され、その測定値は、ｙ軸移動装置１０′におけるモー
タ１１の制御部にフィードバックされ、上記制御部に予
め入力された指令値と一致すると、モータ１１が停止す
る。
ヨーク３をｙ軸方向に移動させると、ステージ７がＸ軸
ヨーク２のガイド孔６に沿ってｙ軸方向に移動する。そ
の移動量は、ｙ軸方向の位置検出器２０’によって検出
され、その測定値は、ｙ軸移動装置１０′におけるモー
タ１１の制御部にフィードバックされ、上記制御部に予
め入力された指令値と一致すると、モータ１１が停止す
る。
上記のようなステージ７の位置の制御において、Ｙ軸ヨ
ーク３の移動を案内する直線軸受５にヨーイングが発生
し、位置制御されたＹ軸ヨーク３に第３図の場合と同様
に角度θの１頃むきが生じると、ｙ軸方向の位置検出器
２０とステージ７の中心との間に００の誤差が生じる。
ーク３の移動を案内する直線軸受５にヨーイングが発生
し、位置制御されたＹ軸ヨーク３に第３図の場合と同様
に角度θの１頃むきが生じると、ｙ軸方向の位置検出器
２０とステージ７の中心との間に００の誤差が生じる。
この誤差ｅ、は、ｅ。
＝Ｑ、−ｅｇであるため、ｅｌより小さな値となり第３
図に示す従来のＸＹテーブルに比較して誤差は小さく、
この結果、ステージ７をきわめて精度よく制御すること
ができる。
図に示す従来のＸＹテーブルに比較して誤差は小さく、
この結果、ステージ７をきわめて精度よく制御すること
ができる。
以上のように、この発明によれば、ステージとそのステ
ージを支持する二つのヨークの相互間に位置検出器を取
付けて、位置検出器をヨークの移動を案内する直線軸受
の内側に配置したので、位置検出器はステージの中心に
近接する取付けとなり、この結果、各ヨークの移動を案
内する直線軸受にヨーイングが生じても、位置の誤差は
きわめて小さく、ステージをきわめて高精度に位置決め
することができる。
ージを支持する二つのヨークの相互間に位置検出器を取
付けて、位置検出器をヨークの移動を案内する直線軸受
の内側に配置したので、位置検出器はステージの中心に
近接する取付けとなり、この結果、各ヨークの移動を案
内する直線軸受にヨーイングが生じても、位置の誤差は
きわめて小さく、ステージをきわめて高精度に位置決め
することができる。
第１図は、この発明に係る位置決め装置の平面図、第２
図は同上の縦断正面図、第３図は従来の位置決め装置を
示す平面図である。 ２・・・・・・Ｘ軸ヨーク、３・・・・・・Ｙ軸ヨーク
、４．５・・・・・・直線軸受、６・・・・・・ガイド
孔、７・・・・・・ステージ、１０・・・・・・Ｘ軸移
動装置、１０′・・・・・・ｙ軸移動装置、２０．２０
′・・・・・・位置検出器、２１・・・・・・リニアス
ケール、２２・・・・・・検出ヘッド。
図は同上の縦断正面図、第３図は従来の位置決め装置を
示す平面図である。 ２・・・・・・Ｘ軸ヨーク、３・・・・・・Ｙ軸ヨーク
、４．５・・・・・・直線軸受、６・・・・・・ガイド
孔、７・・・・・・ステージ、１０・・・・・・Ｘ軸移
動装置、１０′・・・・・・ｙ軸移動装置、２０．２０
′・・・・・・位置検出器、２１・・・・・・リニアス
ケール、２２・・・・・・検出ヘッド。
Claims (1)
- 直交する二軸の各軸方向に移動可能な二つのヨークを備
え、各ヨークに形成されたガイドに沿って移動可能なス
テージを上記ガイドの交差部に配置し、そのステージの
位置を位置検出器で検出し、この位置検出器の測定値を
ヨーク移動装置の制御部にフィードバックするＸＹテー
ブルの位置決め装置において、上記位置検出器を形成す
るリニアスケールと検出ヘッドのうち、一方をヨークの
側面に、他方をステージに取付けたことを特徴とするＸ
Ｙテーブルの位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7517387A JPS63237831A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | Ｘｙテ−ブルの位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7517387A JPS63237831A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | Ｘｙテ−ブルの位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63237831A true JPS63237831A (ja) | 1988-10-04 |
Family
ID=13568543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7517387A Pending JPS63237831A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | Ｘｙテ−ブルの位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63237831A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0335950A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Myotoku Kk | 移動テーブル装置 |
| DE4113770A1 (de) * | 1990-04-27 | 1991-10-31 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | Verstellbarer tisch |
| JP2011235971A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-24 | Hirata Corp | 移動装置および移動方法 |
| EP3045863A1 (en) * | 2015-01-13 | 2016-07-20 | Kabushiki Kaisha TOPCON | Surveying instrument |
-
1987
- 1987-03-27 JP JP7517387A patent/JPS63237831A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0335950A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Myotoku Kk | 移動テーブル装置 |
| DE4113770A1 (de) * | 1990-04-27 | 1991-10-31 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | Verstellbarer tisch |
| FR2661346A1 (fr) * | 1990-04-27 | 1991-10-31 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | Table mobile a blocs et platine, en particulier pour machine outil. |
| US5309847A (en) * | 1990-04-27 | 1994-05-10 | Ntn Corporation | Adjustably movable work table |
| JP2011235971A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-24 | Hirata Corp | 移動装置および移動方法 |
| EP3045863A1 (en) * | 2015-01-13 | 2016-07-20 | Kabushiki Kaisha TOPCON | Surveying instrument |
| JP2016130655A (ja) * | 2015-01-13 | 2016-07-21 | 株式会社トプコン | 測量機器 |
| EP3550262A1 (en) * | 2015-01-13 | 2019-10-09 | Kabushiki Kaisha Topcon | Surveying instrument |
| US10690497B2 (en) | 2015-01-13 | 2020-06-23 | Kabushiki Kaisha Topcon | Surveying instrument including a reflective prism mounted on a movable part |
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