JPH085566A - 光学部品の異物および欠陥の検査方法 - Google Patents
光学部品の異物および欠陥の検査方法Info
- Publication number
- JPH085566A JPH085566A JP6137082A JP13708294A JPH085566A JP H085566 A JPH085566 A JP H085566A JP 6137082 A JP6137082 A JP 6137082A JP 13708294 A JP13708294 A JP 13708294A JP H085566 A JPH085566 A JP H085566A
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- JP
- Japan
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- optical component
- optical
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光を透過する複数個の光学部品上の異物や傷
等の欠陥が、いずれの光学部品の面に存在するかを短時
間で検出する。 【構成】 光を透過する複数個の被検査光学部品１を所
望間隔で配置する。照明装置３と２個の穴を設けたピン
ホール４、若しくは２本の光ファイバーによって２方向
より被検査光学部品１に照明を与える。撮像デバイスの
受光面における被検査光学部品１上の異物等の影の位置
の差を求める。この差の大きさにより、異物等がいずれ
の被検査光学部品１の面に存在するかを判定する。
等の欠陥が、いずれの光学部品の面に存在するかを短時
間で検出する。 【構成】 光を透過する複数個の被検査光学部品１を所
望間隔で配置する。照明装置３と２個の穴を設けたピン
ホール４、若しくは２本の光ファイバーによって２方向
より被検査光学部品１に照明を与える。撮像デバイスの
受光面における被検査光学部品１上の異物等の影の位置
の差を求める。この差の大きさにより、異物等がいずれ
の被検査光学部品１の面に存在するかを判定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光を透過する複数の光
学部品上に存在する異物や欠陥の検査方法に関する。
学部品上に存在する異物や欠陥の検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来例における光学部品の異物お
よび欠陥の検査方法を示す説明図である。
よび欠陥の検査方法を示す説明図である。
【０００３】図３において、１は光を透過する複数個の
被検査光学部品であり、６はカメラ、７は上下方向に移
動、位置決め可能なテーブルである。
被検査光学部品であり、６はカメラ、７は上下方向に移
動、位置決め可能なテーブルである。
【０００４】所望間隔で配置した複数個の被検査光学部
品１をテーブル７によって上下方向に移動させ、被検査
光学部品１の各表面の異物８や欠陥を順次カメラ６によ
り検出する。
品１をテーブル７によって上下方向に移動させ、被検査
光学部品１の各表面の異物８や欠陥を順次カメラ６によ
り検出する。
【０００５】このように上記従来の検査方法では、カメ
ラ６によって各被検査光学部品１の表面の異物や欠陥を
順次検出することにより、異物や欠陥がいずれの被検査
光学部品の面に存在するかを検出することができる。
ラ６によって各被検査光学部品１の表面の異物や欠陥を
順次検出することにより、異物や欠陥がいずれの被検査
光学部品の面に存在するかを検出することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の検査方法では、複数個の被検査光学部品１をテーブ
ル７によって上下方向に移動させ、各被検査光学部品１
の面をカメラ６によって順次検出するため、異物や欠陥
がいずれの被検査光学部品の面に存在しているかを検出
するのに時間を要するという問題があった。
来の検査方法では、複数個の被検査光学部品１をテーブ
ル７によって上下方向に移動させ、各被検査光学部品１
の面をカメラ６によって順次検出するため、異物や欠陥
がいずれの被検査光学部品の面に存在しているかを検出
するのに時間を要するという問題があった。
【０００７】本発明は、このような従来の問題を解決す
るものであり、被検査光学部品の個数によらず、異物や
欠陥がいずれの被検査光学部品の面に存在しているかを
短時間で検出することができるようにした光学部品の異
物および欠陥の検査方法を提供することを目的とするも
のである。
るものであり、被検査光学部品の個数によらず、異物や
欠陥がいずれの被検査光学部品の面に存在しているかを
短時間で検出することができるようにした光学部品の異
物および欠陥の検査方法を提供することを目的とするも
のである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、光を透過する複数個の被検査光学部品に
対し、２方向より照明を与え、上記被検査光学部品上の
異物や欠陥の影の位置の差を求め、その値により、異物
や欠陥がいずれの被検査光学部品に存在するかを判断す
るようしたものである。
成するために、光を透過する複数個の被検査光学部品に
対し、２方向より照明を与え、上記被検査光学部品上の
異物や欠陥の影の位置の差を求め、その値により、異物
や欠陥がいずれの被検査光学部品に存在するかを判断す
るようしたものである。
【０００９】
【作用】したがって、本発明によれば、複数個の被検査
光学部品に２方向より照明を与え、被検査光学部品に存
在する異物や欠陥の影を一括して投影し、同一異物や欠
陥の影として対応する２つの影の位置の差を求め、その
値を比較することにより、異物や欠陥がいずれの被検査
光学部品に存在するかを一度に判断することができる。
光学部品に２方向より照明を与え、被検査光学部品に存
在する異物や欠陥の影を一括して投影し、同一異物や欠
陥の影として対応する２つの影の位置の差を求め、その
値を比較することにより、異物や欠陥がいずれの被検査
光学部品に存在するかを一度に判断することができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
【００１１】まず、本発明の第１の実施例について説明
する。図１は本発明の第１の実施例における光学部品の
異物および欠陥の検査方法を示す説明図である。
する。図１は本発明の第１の実施例における光学部品の
異物および欠陥の検査方法を示す説明図である。
【００１２】図１において、１は光を透過する複数個の
被検査光学部品であり、所望間隔で配置されている。３
は被検査光学部品１の上方に配置され、被検査光学部品
１を照明するための照明装置である。４は２個の穴４
ａ、４ｂを設けたピンホールであり、照明装置３と被検
査光学部品１との間に配置され、照明装置３から出力さ
れた光を２方向に分けて被検査光学部品１を照明する。
２は被検査光学部品１に対し、照明装置３の反対側に配
置された撮像デバイスである。
被検査光学部品であり、所望間隔で配置されている。３
は被検査光学部品１の上方に配置され、被検査光学部品
１を照明するための照明装置である。４は２個の穴４
ａ、４ｂを設けたピンホールであり、照明装置３と被検
査光学部品１との間に配置され、照明装置３から出力さ
れた光を２方向に分けて被検査光学部品１を照明する。
２は被検査光学部品１に対し、照明装置３の反対側に配
置された撮像デバイスである。
【００１３】照明装置３から出力された光をピンホール
４によって２方向に分け、光軸方向に所望間隔で配置さ
れている複数個の被検査光学部品１に２方向により照明
を与える。すると、各被検査光学部品１の表面に異物
（若しくは欠陥）８が存在すると、その影が撮像デバイ
ス２の受光面の離隔した２箇所に一括して投影される。
このとき、２方向からの照明により投影された同一異物
８の２つの影の位置の差ａ、ｂ、ｃは、各被検査光学部
品１の表面に対してそれぞれ対応する値であるので、こ
の値により異物８がいずれの被検査光学部品１の面に存
在（付着）しているかを判断することができる。
４によって２方向に分け、光軸方向に所望間隔で配置さ
れている複数個の被検査光学部品１に２方向により照明
を与える。すると、各被検査光学部品１の表面に異物
（若しくは欠陥）８が存在すると、その影が撮像デバイ
ス２の受光面の離隔した２箇所に一括して投影される。
このとき、２方向からの照明により投影された同一異物
８の２つの影の位置の差ａ、ｂ、ｃは、各被検査光学部
品１の表面に対してそれぞれ対応する値であるので、こ
の値により異物８がいずれの被検査光学部品１の面に存
在（付着）しているかを判断することができる。
【００１４】このように上記第１の実施例によれば、２
方向からの照明を光軸方向に所望間隔で配置された複数
個の被検査光学部品１に与え、被検査光学部品１の表面
に異物や欠陥が存在する場合にはその影を一括して投影
し、同時に検出することにより、異物等がいずれの被検
査光学部品１の面に存在しているかを短時間で検出する
ことができる。
方向からの照明を光軸方向に所望間隔で配置された複数
個の被検査光学部品１に与え、被検査光学部品１の表面
に異物や欠陥が存在する場合にはその影を一括して投影
し、同時に検出することにより、異物等がいずれの被検
査光学部品１の面に存在しているかを短時間で検出する
ことができる。
【００１５】次に、本発明の第２の実施例について説明
図する。図２は本発明の第２の実施例における光学部品
の異物および欠陥の検査方法を示す説明図である。
図する。図２は本発明の第２の実施例における光学部品
の異物および欠陥の検査方法を示す説明図である。
【００１６】本実施例の特徴とするところは、図２に示
すように、照明装置３から出力された光を２本の光ファ
イバ５に導き、被検査光学部品１に２方向から照明を与
えるようにしたものであり、その他の構成および効果に
ついては上記第１の実施例と同様である。
すように、照明装置３から出力された光を２本の光ファ
イバ５に導き、被検査光学部品１に２方向から照明を与
えるようにしたものであり、その他の構成および効果に
ついては上記第１の実施例と同様である。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、複
数個の被検査光学部品に２方向から照明を与え、被検査
光学部品に存在する異物や欠陥の影を一括して投影し、
同一異物や欠陥の影として対応する２つの影の位置の差
を求め、その値を比較することにより、異物や欠陥がい
ずれの被検査光学部品に存在するかを短時間で検出する
ことができる。
数個の被検査光学部品に２方向から照明を与え、被検査
光学部品に存在する異物や欠陥の影を一括して投影し、
同一異物や欠陥の影として対応する２つの影の位置の差
を求め、その値を比較することにより、異物や欠陥がい
ずれの被検査光学部品に存在するかを短時間で検出する
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施例における光学部品の異物
および欠陥の検査方法を示す説明図
および欠陥の検査方法を示す説明図
【図２】本発明の第２の実施例における光学部品の異物
および欠陥の検査方法を示す説明図
および欠陥の検査方法を示す説明図
【図３】従来の光学部品の異物および欠陥の検査方法を
示す説明図
示す説明図
１ 被検査光学部品 ２ 撮像デバイス ３ 照明装置 ４ ピンホール ５ 光ファイバ ８ 異物
Claims (1)
- 【請求項１】 光を透過する複数個の被検査光学部品に
対し、２方向より照明を与え、上記被検査光学部品上の
異物や欠陥の影の位置の差を求め、その値により、異物
や欠陥がいずれの被検査光学部品に存在するかを判断す
る光学部品の異物および欠陥の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6137082A JPH085566A (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | 光学部品の異物および欠陥の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6137082A JPH085566A (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | 光学部品の異物および欠陥の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085566A true JPH085566A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15190478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6137082A Pending JPH085566A (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | 光学部品の異物および欠陥の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085566A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7345349B2 (en) | 2003-11-25 | 2008-03-18 | Fujifilm Corporation | Solid state imaging device and producing method thereof |
| JP5833726B1 (ja) * | 2014-10-20 | 2015-12-16 | 西日本電信電話株式会社 | 異物有無判定方法 |
-
1994
- 1994-06-20 JP JP6137082A patent/JPH085566A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7345349B2 (en) | 2003-11-25 | 2008-03-18 | Fujifilm Corporation | Solid state imaging device and producing method thereof |
| JP5833726B1 (ja) * | 2014-10-20 | 2015-12-16 | 西日本電信電話株式会社 | 異物有無判定方法 |
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