JPH0855932A - Ｔｇａ型半導体装置 - Google Patents
Ｔｇａ型半導体装置Info
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- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的とするところは、半導体装置の
接続端子の狭ビッチ化に際しても、実装及び取扱いが容
易な信頼性の高い接続構造を備えた半導体装置を提供す
ることにある。 【構成】 半導体装置の特定領域に、格子状に配列して
形成されたスルーホール２０を設け、該スルーホール２
０の内部に充填した導電性接合材料２５と、その内周面
に、加熱されることによって流動化した前記導電性接合
材料２５を前記スルーホール２０の内周面から容易に離
脱させることが可能な導体層２０ｂとからなる構成とさ
れている。
接続端子の狭ビッチ化に際しても、実装及び取扱いが容
易な信頼性の高い接続構造を備えた半導体装置を提供す
ることにある。 【構成】 半導体装置の特定領域に、格子状に配列して
形成されたスルーホール２０を設け、該スルーホール２
０の内部に充填した導電性接合材料２５と、その内周面
に、加熱されることによって流動化した前記導電性接合
材料２５を前記スルーホール２０の内周面から容易に離
脱させることが可能な導体層２０ｂとからなる構成とさ
れている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＴＧＡ型半導体装置に
係る、詳細には、半導体素子搭載基板の上面側の導電回
路パターンと下面側の導電配線パターンとを連通した貫
通孔の内周面に導体層を設けたスルーホールの構成に関
する。
係る、詳細には、半導体素子搭載基板の上面側の導電回
路パターンと下面側の導電配線パターンとを連通した貫
通孔の内周面に導体層を設けたスルーホールの構成に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体装置は、
実装基板（プリント基板）上の配線パターンの接続端子
に半田などを用いて接続されている。これらは、多数本
の端子リードが樹脂封止体の周縁部から突出したＤＩ
Ｐ、ＳＯＰ、ＱＦＰなどのほかに、ＢＧＡ（ボール・グ
リッド・アレイ）と指称され、半導体素子搭載基板の下
面側に半田ボールが形成されており、該半田ボールを用
いて実装基板上に搭載し、接続する半導体装置が提案さ
れている。この半導体装置を実装基板（プリント基板）
に実装するには、前記実装基板上の配線パターンに載置
し、位置決めを行い、加熱により固着を行えばよく、実
装が容易であることから注目されている。
実装基板（プリント基板）上の配線パターンの接続端子
に半田などを用いて接続されている。これらは、多数本
の端子リードが樹脂封止体の周縁部から突出したＤＩ
Ｐ、ＳＯＰ、ＱＦＰなどのほかに、ＢＧＡ（ボール・グ
リッド・アレイ）と指称され、半導体素子搭載基板の下
面側に半田ボールが形成されており、該半田ボールを用
いて実装基板上に搭載し、接続する半導体装置が提案さ
れている。この半導体装置を実装基板（プリント基板）
に実装するには、前記実装基板上の配線パターンに載置
し、位置決めを行い、加熱により固着を行えばよく、実
装が容易であることから注目されている。
【０００３】この一例として、例えば米国特許番号第５
２１６２７８に記載されたものがある。この半導体装置
は、貫通孔の内周面に銅めっき層からなる導体層を形成
したスルーホールを設け、両面に回路パターンが形成さ
れた半導体素子搭載基板と、その表面に半導体素子を搭
載し、ボンディングワイヤの一端部を前記半導体素子の
電極パットの一つに接続し、その他端部を前記回路パタ
ーンの端子リードの一つに接続して電気的導通回路を形
成し、その表面側を封止樹脂で封止した樹脂封止体と、
前記基板の裏面側にソルダー・ボール（半田ボール）を
形成してなるいわゆるＢＧＡ（ボール・グリッド・アレ
イ）がある。
２１６２７８に記載されたものがある。この半導体装置
は、貫通孔の内周面に銅めっき層からなる導体層を形成
したスルーホールを設け、両面に回路パターンが形成さ
れた半導体素子搭載基板と、その表面に半導体素子を搭
載し、ボンディングワイヤの一端部を前記半導体素子の
電極パットの一つに接続し、その他端部を前記回路パタ
ーンの端子リードの一つに接続して電気的導通回路を形
成し、その表面側を封止樹脂で封止した樹脂封止体と、
前記基板の裏面側にソルダー・ボール（半田ボール）を
形成してなるいわゆるＢＧＡ（ボール・グリッド・アレ
イ）がある。
【０００４】このような、ＢＧＡ（ボール・グリッド・
アレイ）型の半導体装置の実装基板への実装は、実装基
板（プリント基板）上の配線パターンの接続端子にクリ
ーム半田もしくはフラックスを塗布し、前記接続端子に
前記ソルダー・ボール（半田ボール）を位置決めさせ、
その後、リフロー装置に通して加熱を行ってソルダー・
ボール（半田ボール）を溶融し、実装基板（プリント基
板）上の接続端子に接続されて完了する。
アレイ）型の半導体装置の実装基板への実装は、実装基
板（プリント基板）上の配線パターンの接続端子にクリ
ーム半田もしくはフラックスを塗布し、前記接続端子に
前記ソルダー・ボール（半田ボール）を位置決めさせ、
その後、リフロー装置に通して加熱を行ってソルダー・
ボール（半田ボール）を溶融し、実装基板（プリント基
板）上の接続端子に接続されて完了する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この種
の半導体装置の裏面には、ソルダー・ボール（半田ボー
ル）が設けられているので、搬送等の取扱いの際に、ソ
ルダー・ボールの脱落や損傷が生じ、表面状態が悪化し
てボンディング特性が低下する等の問題があった。その
ため、これを保護するキャリアを必要とし、半導体装置
のコストが高くなるという問題があった。
の半導体装置の裏面には、ソルダー・ボール（半田ボー
ル）が設けられているので、搬送等の取扱いの際に、ソ
ルダー・ボールの脱落や損傷が生じ、表面状態が悪化し
てボンディング特性が低下する等の問題があった。その
ため、これを保護するキャリアを必要とし、半導体装置
のコストが高くなるという問題があった。
【０００６】また、実装の際に、リフロー装置により溶
融したソルダー・ボール（半田ボール）が接合加圧もし
くは自重により潰れ、ソルダー・ボール径が大きくな
り、接続端子領域からはみ出して他の接続端子や端子リ
ードなどとの間に半田ブリッジが形成される虞があり、
狭ピッチ化された微細なパターンとの接続に対応できな
いという問題があった。
融したソルダー・ボール（半田ボール）が接合加圧もし
くは自重により潰れ、ソルダー・ボール径が大きくな
り、接続端子領域からはみ出して他の接続端子や端子リ
ードなどとの間に半田ブリッジが形成される虞があり、
狭ピッチ化された微細なパターンとの接続に対応できな
いという問題があった。
【０００７】本発明は、上記の実情に鑑みてなされたも
のであって、狭ピッチ化された微細なパターンとの接続
に際しても、実装及び取扱いが容易な信頼性の高い接続
構造を備えた半導体装置を提供することを目的とする。
のであって、狭ピッチ化された微細なパターンとの接続
に際しても、実装及び取扱いが容易な信頼性の高い接続
構造を備えた半導体装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【問題を解決するための手段】上記の目的に沿う本発明
の特徴とするところは、半導体装置の特定領域に形成さ
れたスルーホールの内部に充填した導電性接合材料を加
熱することにより、流動化し、前記スルーホールの内周
面から導電性接合材料を解離・離脱させる導体層を設け
た構成にしたことにある。すなわち、請求項１記載のＴ
ＧＡ型半導体装置は、半導体素子搭載基板の特定領域
に、格子状に配列したスルーホールを配し、前記半導体
素子搭載基板の上面側に半導体素子が搭載されていると
共に、その周辺を取り囲むように、該半導体素子の電極
端子に内部接続された電気的導通回路が形成されたＴＧ
Ａ（スルーホール・グリッド・アレイ）型半導体装置に
あって、前記スルーホールの内周面に、導電性接合材料
を容易に解離させるＮｉなどからなる導体層を設けると
共に、前記スルーホールの内部に前記導体層から容易に
離脱するクリーム半田などの導電性接合材料を充填して
成ることを特徴とする構造とされている。
の特徴とするところは、半導体装置の特定領域に形成さ
れたスルーホールの内部に充填した導電性接合材料を加
熱することにより、流動化し、前記スルーホールの内周
面から導電性接合材料を解離・離脱させる導体層を設け
た構成にしたことにある。すなわち、請求項１記載のＴ
ＧＡ型半導体装置は、半導体素子搭載基板の特定領域
に、格子状に配列したスルーホールを配し、前記半導体
素子搭載基板の上面側に半導体素子が搭載されていると
共に、その周辺を取り囲むように、該半導体素子の電極
端子に内部接続された電気的導通回路が形成されたＴＧ
Ａ（スルーホール・グリッド・アレイ）型半導体装置に
あって、前記スルーホールの内周面に、導電性接合材料
を容易に解離させるＮｉなどからなる導体層を設けると
共に、前記スルーホールの内部に前記導体層から容易に
離脱するクリーム半田などの導電性接合材料を充填して
成ることを特徴とする構造とされている。
【０００９】
【作用】本発明の請求項１記載のＴＧＡ型半導体装置に
よれば、スルーホールの内部に充填された導電性接合材
料と、スルーホールの内周面に前記導電性接合材料を容
易に離脱させることの可能な導体層とを設けているの
で、これを加熱することにより、電気的結合に必要なだ
けの量の前記導電性接合材料がスルーホールの内周面か
ら実装基板の接続端子領域に離脱し、前記ＴＧＡ型半導
体装置を実装基板の接続端子に容易に接合することがで
きる。 これによって、実装基板の極めて高精度で微細
な接続端子の狭ピッチ化に対応することができる。
よれば、スルーホールの内部に充填された導電性接合材
料と、スルーホールの内周面に前記導電性接合材料を容
易に離脱させることの可能な導体層とを設けているの
で、これを加熱することにより、電気的結合に必要なだ
けの量の前記導電性接合材料がスルーホールの内周面か
ら実装基板の接続端子領域に離脱し、前記ＴＧＡ型半導
体装置を実装基板の接続端子に容易に接合することがで
きる。 これによって、実装基板の極めて高精度で微細
な接続端子の狭ピッチ化に対応することができる。
【００１０】また、半導体装置の裏面側にソルダー・ボ
ール（半田ボール）の突起物を形成する必要がなく、半
導体装置の製造工程が簡素化されるので、従来技術に比
べて、その実装及びその取り扱いが容易となり、ボンデ
ィング特性を著しく向上させると共に、生産性を著しく
向上させる。
ール（半田ボール）の突起物を形成する必要がなく、半
導体装置の製造工程が簡素化されるので、従来技術に比
べて、その実装及びその取り扱いが容易となり、ボンデ
ィング特性を著しく向上させると共に、生産性を著しく
向上させる。
【００１１】さらにまた、半導体装置と実装基板との接
合の良否の確認は、上面側から導電性接合材料の離脱状
態の有無を確認する簡単な外観検査で行うことができ
る。
合の良否の確認は、上面側から導電性接合材料の離脱状
態の有無を確認する簡単な外観検査で行うことができ
る。
【００１２】
【実施例】続いて、本発明の一実施例について添付図面
に基づき説明する。
に基づき説明する。
【００１３】ここで、図１は本発明の実施例に係るＴＧ
Ａ型半導体装置を示す平面図、図２は本発明の実施例に
係るＴＧＡ型半導体装置の構成の概要を示す断面図、図
３は本発明の実施例に係るＴＧＡ型半導体装置に設けた
スルホールの構成の概要を示す部分断面図、図４は本発
明の実施例に係る半導体装置の実装状態の概要を示す断
面図である。
Ａ型半導体装置を示す平面図、図２は本発明の実施例に
係るＴＧＡ型半導体装置の構成の概要を示す断面図、図
３は本発明の実施例に係るＴＧＡ型半導体装置に設けた
スルホールの構成の概要を示す部分断面図、図４は本発
明の実施例に係る半導体装置の実装状態の概要を示す断
面図である。
【００１４】まず、図１、２に示すように、本発明の実
施例に係るＴＧＡ型半導体装置１０は、四辺形のガラス
・クロス・エポキシ樹脂から成り、アディティブ法もし
くはサブトラクティブ法などの慣用手段で形成された半
導体素子搭載基板１１の上面側に形成された半導体素子
搭載層１２に半導体素子１３が搭載されている。
施例に係るＴＧＡ型半導体装置１０は、四辺形のガラス
・クロス・エポキシ樹脂から成り、アディティブ法もし
くはサブトラクティブ法などの慣用手段で形成された半
導体素子搭載基板１１の上面側に形成された半導体素子
搭載層１２に半導体素子１３が搭載されている。
【００１５】そして、一端部が前記半導体素子１３の電
極端子１４の１っに、他端部が前記基板１１の上面側に
形成された導体回路パターン１５の端子リード１６の１
っに、ボンディングワイヤ１７が接続されて電気的導通
回路が形成されている。
極端子１４の１っに、他端部が前記基板１１の上面側に
形成された導体回路パターン１５の端子リード１６の１
っに、ボンディングワイヤ１７が接続されて電気的導通
回路が形成されている。
【００１６】これら前記半導体素子１３、ボンディング
ワイヤ１７及び導体回路パターン１５の一端部側が封止
樹脂で樹脂封止されている。
ワイヤ１７及び導体回路パターン１５の一端部側が封止
樹脂で樹脂封止されている。
【００１７】ここで、前記半導体装置１０においては、
前記基板１１の外縁部に沿ってその内部側に、前記基板
１１の上面側に形成された導体回路パターン１５とその
下面側に形成された導体配線パターン１８の外部接続パ
ット１９とを電気的に接続するスルーホール２０が形成
されている。
前記基板１１の外縁部に沿ってその内部側に、前記基板
１１の上面側に形成された導体回路パターン１５とその
下面側に形成された導体配線パターン１８の外部接続パ
ット１９とを電気的に接続するスルーホール２０が形成
されている。
【００１８】しかも、前記スルーホール２０には、その
内周面に導電性接合材料２５を容易に離脱させることが
可能な前記導体層２０ｂが設けてあり、その内部には、
導電性接合材料２５が充填された図１、２に示す構成と
されている。
内周面に導電性接合材料２５を容易に離脱させることが
可能な前記導体層２０ｂが設けてあり、その内部には、
導電性接合材料２５が充填された図１、２に示す構成と
されている。
【００１９】ここで実施の一例として、前記スルーホー
ル２０の導体層２０ｂは、内層から表層に向かって、銅
めっき層２１、ニッケルめつき層２２が積層されてい
る。また、その内部に充填された導電性接合材料２５に
は、導電性接合材料２５の一例であるクリーム半田２５
ａが慣用の手段で充填されている。さらに、半導体素子
搭載基板の所要部分には、絶縁体の一例であるソルダー
レジストによりカバーコート２６が形成されている。
ル２０の導体層２０ｂは、内層から表層に向かって、銅
めっき層２１、ニッケルめつき層２２が積層されてい
る。また、その内部に充填された導電性接合材料２５に
は、導電性接合材料２５の一例であるクリーム半田２５
ａが慣用の手段で充填されている。さらに、半導体素子
搭載基板の所要部分には、絶縁体の一例であるソルダー
レジストによりカバーコート２６が形成されている。
【００２０】続いて、本発明の一実施例に係るＴＧＡ型
半導体装置１０の実装にあっては、図４に示すように、
実装基板（ＰＷＢ）２３のボンディング端子２４のボン
ディング位置上に、ＴＧＡ型半導体装置を吸着した図示
していない移載ヘッドを移動することにより、前記ボン
ディング端子のそれぞれに対応するＴＧＡ型半導体装置
のスルーホール２０を位置決めし、移載ヘッドを降下さ
せてＴＧＡ型半導体装置１０を前記実装基板に載置す
る。
半導体装置１０の実装にあっては、図４に示すように、
実装基板（ＰＷＢ）２３のボンディング端子２４のボン
ディング位置上に、ＴＧＡ型半導体装置を吸着した図示
していない移載ヘッドを移動することにより、前記ボン
ディング端子のそれぞれに対応するＴＧＡ型半導体装置
のスルーホール２０を位置決めし、移載ヘッドを降下さ
せてＴＧＡ型半導体装置１０を前記実装基板に載置す
る。
【００２１】次に、この実装基板２３を図示していない
リフロー装置内に搬入して加熱すると、前記スルーホー
ル内部に充填されているクリーム半田２５が溶融し流動
性がよくなり、該クリーム半田２５が前記スルーホール
の内周面の導体層２０ｂから自重で離脱し、前記ＴＧＡ
型半導体装置１０と前記実装基板２３とが接合されて実
装が完了する。
リフロー装置内に搬入して加熱すると、前記スルーホー
ル内部に充填されているクリーム半田２５が溶融し流動
性がよくなり、該クリーム半田２５が前記スルーホール
の内周面の導体層２０ｂから自重で離脱し、前記ＴＧＡ
型半導体装置１０と前記実装基板２３とが接合されて実
装が完了する。
【００２２】ここで、実装基板のボンディング端子２４
にスクリーン印刷法により、クリーム半田を薄く塗布し
た実装基板を用いれば、より接合性を向上させることが
できる。また、本構成では、接続に必要な量のクリーム
半田が離脱するので接合半田がボンディング端子２４領
域の範囲内に納まり、従来技術のＢＧＡ型半導体装置の
実装の際に生じていた、リフロー時に溶融したソルダー
ボールが、ＢＧＡ型半導体装置の自重または接合加圧で
押し潰され、ボンディング端子２４領域からはみ出して
隣接する他ボンディング端子２４領域間で半田ブリッジ
が形成される虞がなくなる。これによって、半導体装置
の端子リード間隔をより狭ピッチ化の要望に対応するこ
とができる。
にスクリーン印刷法により、クリーム半田を薄く塗布し
た実装基板を用いれば、より接合性を向上させることが
できる。また、本構成では、接続に必要な量のクリーム
半田が離脱するので接合半田がボンディング端子２４領
域の範囲内に納まり、従来技術のＢＧＡ型半導体装置の
実装の際に生じていた、リフロー時に溶融したソルダー
ボールが、ＢＧＡ型半導体装置の自重または接合加圧で
押し潰され、ボンディング端子２４領域からはみ出して
隣接する他ボンディング端子２４領域間で半田ブリッジ
が形成される虞がなくなる。これによって、半導体装置
の端子リード間隔をより狭ピッチ化の要望に対応するこ
とができる。
【００２３】以上、実施例に基づき説明したが、本発明
はこれら実施例に限定されるものではなく、要旨を逸脱
しない範囲での設計などの変更があっても本願に含まれ
る。
はこれら実施例に限定されるものではなく、要旨を逸脱
しない範囲での設計などの変更があっても本願に含まれ
る。
【００２４】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明のＴＧ
Ａ型半導体装置によれば、内周面には容易に導電性接合
材料を離脱させることが可能な導体層を形成すると共
に、その内部に導電性接合材料を充填したスルーホール
を設けているので、従来技術のＢＧＡ型半導体装置に比
べて、ソルダーボールの形成が不要となる。その結果と
して、取扱いが容易になり生産効率が著しく向上し、製
造コストの低減化が図れる。 さらに、半導体装置の端
子リード間隔の狭ピッチ化の要望に対応することができ
る。しかも、接続状態を従来の様な高価なＸ線検査装置
などを使用することなく簡単なカメラなどの装置で外観
検査を行うことができる。
Ａ型半導体装置によれば、内周面には容易に導電性接合
材料を離脱させることが可能な導体層を形成すると共
に、その内部に導電性接合材料を充填したスルーホール
を設けているので、従来技術のＢＧＡ型半導体装置に比
べて、ソルダーボールの形成が不要となる。その結果と
して、取扱いが容易になり生産効率が著しく向上し、製
造コストの低減化が図れる。 さらに、半導体装置の端
子リード間隔の狭ピッチ化の要望に対応することができ
る。しかも、接続状態を従来の様な高価なＸ線検査装置
などを使用することなく簡単なカメラなどの装置で外観
検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係るＴＧＡ型半導体装置を示
す平面図である。
す平面図である。
【図２】本発明の実施例に係るＴＧＡ型半導体装置の構
成の概要を示す断面図である。
成の概要を示す断面図である。
【図３】本発明の実施例に係るＴＧＡ型半導体装置に設
けたスルーホールの構成の概要を示す部分断面図であ
る。
けたスルーホールの構成の概要を示す部分断面図であ
る。
【図４】本発明の実施例に係る半導体装置の実装状態の
概要を示す断面図である。
概要を示す断面図である。
１０ ＴＧＡ型半導体装置 １１ 半導体素子基板 １２ 半導体素子搭載層 １３ 半導体素子 １４ 半導体素子の電極端子 １５ 導体回路パターン １６ 端子リード １７ ボンディングワイヤ １８ 導体配線パターン １９ 外部接続パット ２０ スルーホール ２０ａ 貫通孔 ２０ｂ 導体層 ２１ 銅めっき層 ２２ ニッケルめっき層 ２３ 実装基板（ＰＷＢ） ２４ ボンディング端子 ２５ 導電性接合材料 ２５ａ クリーム半田 ２６ カバーコート
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体素子搭載基板の特定領域に、格子
状に配列したスルーホールを配し、前記半導体素子搭載
基板の上面側に半導体素子が搭載されていると共に、そ
の周辺を取り囲むように、該半導体素子の電極端子に内
部接続された電気的導通回路が形成されたＴＧＡ（スル
ーホール・グリッド・アレイ）型半導体装置にあって、
前記スルーホールの内周面に、導電性接合材料を容易に
解離させるＮｉなどからなる導体層を設けると共に、前
記スルーホールの内部に前記導体層から容易に離脱する
クリーム半田などの導電性接合材料を充填して成ること
を特徴とするＴＧＡ型半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20930394A JP3076953B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | Ｔｇａ型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20930394A JP3076953B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | Ｔｇａ型半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0855932A true JPH0855932A (ja) | 1996-02-27 |
| JP3076953B2 JP3076953B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=16570726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20930394A Expired - Fee Related JP3076953B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | Ｔｇａ型半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3076953B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0942636A3 (en) * | 1998-03-12 | 2001-03-14 | Lucent Technologies Inc. | Solder bonding printed circuit board |
-
1994
- 1994-08-09 JP JP20930394A patent/JP3076953B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0942636A3 (en) * | 1998-03-12 | 2001-03-14 | Lucent Technologies Inc. | Solder bonding printed circuit board |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3076953B2 (ja) | 2000-08-14 |
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