JPH0856134A - オーバートーン発振用圧電振動子 - Google Patents
オーバートーン発振用圧電振動子Info
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- JPH0856134A JPH0856134A JP21040894A JP21040894A JPH0856134A JP H0856134 A JPH0856134 A JP H0856134A JP 21040894 A JP21040894 A JP 21040894A JP 21040894 A JP21040894 A JP 21040894A JP H0856134 A JPH0856134 A JP H0856134A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 より安定した三次オーバートーン発振が得ら
れ、かつ、高周波化が行える信頼性の高いオーバートー
ン発振用圧電振動子を提供する。 【構成】 圧電板１１の片面には、オーバートーン振動
の主振動を閉じ込める二つの主電極２１ａ，２２ａと、
その周囲に前記振動エネルギ伝搬部を構成する電極不在
部３１を介して前記振動エネルギ吸収部を構成する周辺
電極４１ａとが設けられており、圧電板１１の他の片面
には少なくとも前記主電極と電極不在部、並びに周辺電
極の対向面に全面電極が形成されている。また、周辺電
極のうち少なくとも各主電極間に隣接する箇所の電極厚
みを前記主電極の厚みより厚くした。
れ、かつ、高周波化が行える信頼性の高いオーバートー
ン発振用圧電振動子を提供する。 【構成】 圧電板１１の片面には、オーバートーン振動
の主振動を閉じ込める二つの主電極２１ａ，２２ａと、
その周囲に前記振動エネルギ伝搬部を構成する電極不在
部３１を介して前記振動エネルギ吸収部を構成する周辺
電極４１ａとが設けられており、圧電板１１の他の片面
には少なくとも前記主電極と電極不在部、並びに周辺電
極の対向面に全面電極が形成されている。また、周辺電
極のうち少なくとも各主電極間に隣接する箇所の電極厚
みを前記主電極の厚みより厚くした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、オーバートーン用共振
回路を必要とせずに所望のオーバートーン周波数での発
振を可能にするオーバートーン発振用圧電振動子に関す
る。
回路を必要とせずに所望のオーバートーン周波数での発
振を可能にするオーバートーン発振用圧電振動子に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術を図９、図１０とともに説明
する。図９は従来の圧電基板の平面図であり、図１０は
図９の底面図である。圧電基板１は厚みすべり振動を行
うＡＴカットの水晶板からなり、その圧電基板１の表面
中央部に主電極２及び圧電基板１の裏面中央部に電極５
を設けることにより主振動エネルギ閉じ込め部を設け、
その周囲に上記主振動エネルギ閉じ込め部の遮断周波数
ｆｃよりも高い遮断周波数Ｆｃをもつ振動エネルギ伝搬
部（電極不在部）３を設け、更にその外側に上記遮断周
波数Ｆｃよりも低い遮断周波数を持つ振動エネルギ吸収
部（周辺部電極）４を設け、上記遮断周波数Ｆｃが、所
望のオーバートーン振動の副振動周波数よりも低く、か
つ、このオーバートーン振動の主振動周波数ｆ0より高
く設定されており、上記振動エネルギ吸収部が所望のオ
ーバートーン次数より低次の振動モード（基本波振動モ
ードを含む）のエネルギを吸収するとともに、上記主振
動よりも高い副振動を外部へ漏洩させるよう構成されて
いた。
する。図９は従来の圧電基板の平面図であり、図１０は
図９の底面図である。圧電基板１は厚みすべり振動を行
うＡＴカットの水晶板からなり、その圧電基板１の表面
中央部に主電極２及び圧電基板１の裏面中央部に電極５
を設けることにより主振動エネルギ閉じ込め部を設け、
その周囲に上記主振動エネルギ閉じ込め部の遮断周波数
ｆｃよりも高い遮断周波数Ｆｃをもつ振動エネルギ伝搬
部（電極不在部）３を設け、更にその外側に上記遮断周
波数Ｆｃよりも低い遮断周波数を持つ振動エネルギ吸収
部（周辺部電極）４を設け、上記遮断周波数Ｆｃが、所
望のオーバートーン振動の副振動周波数よりも低く、か
つ、このオーバートーン振動の主振動周波数ｆ0より高
く設定されており、上記振動エネルギ吸収部が所望のオ
ーバートーン次数より低次の振動モード（基本波振動モ
ードを含む）のエネルギを吸収するとともに、上記主振
動よりも高い副振動を外部へ漏洩させるよう構成されて
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】例えば、三次オーバー
トーン発振させた圧電振動子において、より高周波化を
行うために、主電極の直径を小さくしたり、圧電基板の
直径を小さくしていく等の設計手法があるが、主電極を
小さくしすぎると三次オーバートーンのＣＩ値も悪くな
る傾向にある。また主電極を大きくすると三次オーバー
トーンのＣＩ値は良好となるが基本波と三次オーバート
ーンのＣＩ比は２〜４倍になり、一般的に必要とされる
基本波を抑制するためのＣＩ比３倍に対して歩留まりが
５０％程度と悪い。また、主部電極の直径を小さくせず
に、圧電基板の直径のみを小さくして高周波化を計る方
法は、エネルギ吸収部である周辺部電極の寸法、形状が
制約されるため、所望の電気的特性が得られない等の問
題があった。そのため、より安定したオーバートーン発
振を困難なものとしていた。
トーン発振させた圧電振動子において、より高周波化を
行うために、主電極の直径を小さくしたり、圧電基板の
直径を小さくしていく等の設計手法があるが、主電極を
小さくしすぎると三次オーバートーンのＣＩ値も悪くな
る傾向にある。また主電極を大きくすると三次オーバー
トーンのＣＩ値は良好となるが基本波と三次オーバート
ーンのＣＩ比は２〜４倍になり、一般的に必要とされる
基本波を抑制するためのＣＩ比３倍に対して歩留まりが
５０％程度と悪い。また、主部電極の直径を小さくせず
に、圧電基板の直径のみを小さくして高周波化を計る方
法は、エネルギ吸収部である周辺部電極の寸法、形状が
制約されるため、所望の電気的特性が得られない等の問
題があった。そのため、より安定したオーバートーン発
振を困難なものとしていた。
【０００４】本発明の目的は、三次オーバートーンのＣ
Ｉ値を悪化させることなく、より安定した三次オーバー
トーン発振が得られ、かつ、高周波化が行える信頼性の
高いオーバートーン発振用圧電振動子を提供する。
Ｉ値を悪化させることなく、より安定した三次オーバー
トーン発振が得られ、かつ、高周波化が行える信頼性の
高いオーバートーン発振用圧電振動子を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、所望
次数にてオーバートーン発振する圧電振動子であって、
圧電板の片面には、前記所望次数のオーバートーン振動
の主振動を閉じ込める主振動エネルギ閉じ込め部を構成
する主電極と、その周囲に前記振動エネルギ伝搬部を構
成する電極不在部を介して前記振動エネルギ吸収部を構
成する周辺電極とが設けられており、前記圧電板の他の
片面には少なくとも前記主電極と電極不在部、並びに周
辺電極の対向面に全面電極が形成されているオーバート
ーン発振用圧電振動子において、前記主電極を二つに分
けた。
次数にてオーバートーン発振する圧電振動子であって、
圧電板の片面には、前記所望次数のオーバートーン振動
の主振動を閉じ込める主振動エネルギ閉じ込め部を構成
する主電極と、その周囲に前記振動エネルギ伝搬部を構
成する電極不在部を介して前記振動エネルギ吸収部を構
成する周辺電極とが設けられており、前記圧電板の他の
片面には少なくとも前記主電極と電極不在部、並びに周
辺電極の対向面に全面電極が形成されているオーバート
ーン発振用圧電振動子において、前記主電極を二つに分
けた。
【０００６】また、周辺電極のうち少なくとも各主電極
間に隣接する箇所の電極厚みを前記主電極の厚みより厚
くした。
間に隣接する箇所の電極厚みを前記主電極の厚みより厚
くした。
【０００７】
【作用】特許請求項１により、主電極径を小さくして
も、励振対向電極の面積が倍になるため、圧電振動子に
おける等価回路の並列容量Ｃ0が大きくなる。そして、
基本波のＣＩ値を大きくし、三次オーバートーンのＣＩ
値のみを小さくできるため、基本波と三次オーバートー
ンとのＣＩ比を稼ぎ、基本波の抑制効果を向上させる。
また、オーバートン発振時における発振周波数の可変量
を大きくするため、高周波化が可能となる。
も、励振対向電極の面積が倍になるため、圧電振動子に
おける等価回路の並列容量Ｃ0が大きくなる。そして、
基本波のＣＩ値を大きくし、三次オーバートーンのＣＩ
値のみを小さくできるため、基本波と三次オーバートー
ンとのＣＩ比を稼ぎ、基本波の抑制効果を向上させる。
また、オーバートン発振時における発振周波数の可変量
を大きくするため、高周波化が可能となる。
【０００８】特許請求項２により、厚肉化された周辺電
極が基本波の振動エネルギーをより吸収し、基本波抑制
効果がより一層向上する。
極が基本波の振動エネルギーをより吸収し、基本波抑制
効果がより一層向上する。
【０００９】前記作用の根拠となる実験データを以下に
示す。図８は、図１に示すような本発明による構成（形
状Ａ、形状Ｂとする）の圧電振動子において、また、図
９に示すような従来の構成（形状Ｃとする）の圧電振動
子において、基本波と三次オーバートーンとのＣＩ値の
比較統計データを示すグラフである。以下詳細を説明す
る。実験例の共通事項として、三次オーバートーン発振
で、周波数６４ＭＨｚの水晶振動子において、水晶板の
直径を４ｍｍ、裏面電極の直径を３．６ｍｍとし、いず
れの電極厚みも０．１μmで形成した。そして、形状
Ａ，形状Ｂについては、電極不在部の寸法（Ｇ）を０．
２ｍｍ、各主電極（二つの主電極うちの一方の主電極）
の直径を１．２ｍｍとし、形状Ｃについては、電極不在
部の寸法（Ｇ）を０．４ｍｍ、主電極の直径を１．７５
ｍｍとした。また、形状Ａについては、周辺電極の厚み
のみを０．２μmとした。このグラフから、形状Ｃ（従
来）にくらべ形状Ｂ（特許請求項１に対応する構成）に
よる構成の方が基本波抑制効果が向上し、さらに形状Ｂ
より形状Ａ（特許請求項２に対応する構成）と、より基
本波抑制効果向上しているのがわかる。
示す。図８は、図１に示すような本発明による構成（形
状Ａ、形状Ｂとする）の圧電振動子において、また、図
９に示すような従来の構成（形状Ｃとする）の圧電振動
子において、基本波と三次オーバートーンとのＣＩ値の
比較統計データを示すグラフである。以下詳細を説明す
る。実験例の共通事項として、三次オーバートーン発振
で、周波数６４ＭＨｚの水晶振動子において、水晶板の
直径を４ｍｍ、裏面電極の直径を３．６ｍｍとし、いず
れの電極厚みも０．１μmで形成した。そして、形状
Ａ，形状Ｂについては、電極不在部の寸法（Ｇ）を０．
２ｍｍ、各主電極（二つの主電極うちの一方の主電極）
の直径を１．２ｍｍとし、形状Ｃについては、電極不在
部の寸法（Ｇ）を０．４ｍｍ、主電極の直径を１．７５
ｍｍとした。また、形状Ａについては、周辺電極の厚み
のみを０．２μmとした。このグラフから、形状Ｃ（従
来）にくらべ形状Ｂ（特許請求項１に対応する構成）に
よる構成の方が基本波抑制効果が向上し、さらに形状Ｂ
より形状Ａ（特許請求項２に対応する構成）と、より基
本波抑制効果向上しているのがわかる。
【００１０】
【実施例】次に、本発明の第１の実施例について、図
１、図２を参照にして説明する。図１は本発明の第１の
実施例を示す圧電基板の平面図であり、図２は図１の底
面図である。圧電基板１１は、厚みすべり振動を行う円
盤形状のＡＴカット水晶板からなる。その圧電基板１１
の表面には、保持方向と直行する方向（図の上下方向）
に並列して、主電極２１ａ，２２ａが設け、さらに外側
に幅寸法Ｇの電極不在部３１を介して、更にその周辺に
周辺電極４１ａが設けられている。また、圧電基板１１
の裏面には前記表面電極群に対応して、圧電基板１１の
ほぼ全面に電極５１ａが設けられている。このような構
造において、主部電極２１ａ，２２ａとそれに対応する
裏面電極５１ａの一部分が主振動エネルギ閉じ込め部を
構成し、電極不在部３１とそれに対応する裏面電極５１
ａの一部分が振動エネルギ伝搬部を構成し、周辺電極４
１ａとそれに対応する裏面電極５１ａの一部分が振動エ
ネルギ吸収部を構成している。また、主部電極２１ａ，
２２ａは、リード電極２１ｂを介して共通接続されると
ともに、圧電基板１１の一端部まで引き出されている。
周辺電極４１ａ及び裏面電極５１ａは、圧電基板１１の
反対側の端部までリード電極４１ｂ，５１ｂを形成する
ことにより共通接続されている。そして、これらの電極
は真空蒸着法、あるいはスパッタリング法等により形成
される。尚、第１の実施例では、主電極２１ａ，２２ａ
の並列方向は特に軸方向指定しないで設けたが、圧電基
板Ｘ軸方向に向かって、主電極２１ａ，２２ａを並列し
て設けることにより、振動変位のより大きい基本波が圧
電基板端部の影響を受けてＣＩ値が高くなり、基本波と
三次オーバートーンとのＣＩ比を稼ぐように作用する。
その結果、一層の基本波抑制効果が向上する。
１、図２を参照にして説明する。図１は本発明の第１の
実施例を示す圧電基板の平面図であり、図２は図１の底
面図である。圧電基板１１は、厚みすべり振動を行う円
盤形状のＡＴカット水晶板からなる。その圧電基板１１
の表面には、保持方向と直行する方向（図の上下方向）
に並列して、主電極２１ａ，２２ａが設け、さらに外側
に幅寸法Ｇの電極不在部３１を介して、更にその周辺に
周辺電極４１ａが設けられている。また、圧電基板１１
の裏面には前記表面電極群に対応して、圧電基板１１の
ほぼ全面に電極５１ａが設けられている。このような構
造において、主部電極２１ａ，２２ａとそれに対応する
裏面電極５１ａの一部分が主振動エネルギ閉じ込め部を
構成し、電極不在部３１とそれに対応する裏面電極５１
ａの一部分が振動エネルギ伝搬部を構成し、周辺電極４
１ａとそれに対応する裏面電極５１ａの一部分が振動エ
ネルギ吸収部を構成している。また、主部電極２１ａ，
２２ａは、リード電極２１ｂを介して共通接続されると
ともに、圧電基板１１の一端部まで引き出されている。
周辺電極４１ａ及び裏面電極５１ａは、圧電基板１１の
反対側の端部までリード電極４１ｂ，５１ｂを形成する
ことにより共通接続されている。そして、これらの電極
は真空蒸着法、あるいはスパッタリング法等により形成
される。尚、第１の実施例では、主電極２１ａ，２２ａ
の並列方向は特に軸方向指定しないで設けたが、圧電基
板Ｘ軸方向に向かって、主電極２１ａ，２２ａを並列し
て設けることにより、振動変位のより大きい基本波が圧
電基板端部の影響を受けてＣＩ値が高くなり、基本波と
三次オーバートーンとのＣＩ比を稼ぐように作用する。
その結果、一層の基本波抑制効果が向上する。
【００１１】次に、本発明の第２の実施例について、図
３、図４を参照にして説明する。図３は本発明の第２の
実施例を示す圧電基板の平面図である。図４は図３の底
面図である。尚、第１の実施例と同様の部分については
同番号を付した。圧電基板１１は、厚みすべり振動を行
う円盤形状のＡＴカット水晶板からなる。その圧電基板
１１の表面には、保持方向（図の左右方向）に並列し
て、主電極２３ａ，２４ａが設け、さらに外側に幅寸法
Ｇの電極不在部３２を介して、更にその周辺に周辺電極
４２ａが設けられている。また、圧電基板１１の裏面に
は前記表面電極群に対応して、圧電基板１１のほぼ全面
に電極５２ａが設けられている。このような構造におい
て、主部電極２３ａ，２４ａとそれに対応する裏面電極
５２ａの一部分が主振動エネルギ閉じ込め部を構成し、
電極不在部３２とそれに対応する裏面電極５２ａの一部
分が振動エネルギ伝搬部を構成し、周辺電極４２ａとそ
れに対応する裏面電極５２ａの一部分が振動エネルギ吸
収部を構成している。また、主部電極２１ａ，２２ａ
は、共通電極２３ｂにより共通接続されるとともに、リ
ード電極２４ｂにより圧電基板１１の一端部まで引き出
されいる。周辺電極４２ａ及び裏面電極５２ａは、圧電
基板１１の反対側の端部までリード電極４２ｂ，５２ｂ
を形成することにより共通接続されている。そして、こ
れらの電極は真空蒸着法、あるいはスパッタリング法等
により形成される。尚、第２の実施例では、主電極２３
ａ，２４ａの並列方向は特に軸方向指定しないで設けた
が、圧電基板Ｘ軸方向に向かって、主電極２３ａ，２４
ａを並列して設けることにより、振動変位のより大きい
基本波が圧電基板端部の影響を受けてＣＩ値が高くな
り、基本波と三次オーバートーンとのＣＩ比を稼ぐよう
に作用する。その結果、一層の基本波抑制効果が向上す
る。
３、図４を参照にして説明する。図３は本発明の第２の
実施例を示す圧電基板の平面図である。図４は図３の底
面図である。尚、第１の実施例と同様の部分については
同番号を付した。圧電基板１１は、厚みすべり振動を行
う円盤形状のＡＴカット水晶板からなる。その圧電基板
１１の表面には、保持方向（図の左右方向）に並列し
て、主電極２３ａ，２４ａが設け、さらに外側に幅寸法
Ｇの電極不在部３２を介して、更にその周辺に周辺電極
４２ａが設けられている。また、圧電基板１１の裏面に
は前記表面電極群に対応して、圧電基板１１のほぼ全面
に電極５２ａが設けられている。このような構造におい
て、主部電極２３ａ，２４ａとそれに対応する裏面電極
５２ａの一部分が主振動エネルギ閉じ込め部を構成し、
電極不在部３２とそれに対応する裏面電極５２ａの一部
分が振動エネルギ伝搬部を構成し、周辺電極４２ａとそ
れに対応する裏面電極５２ａの一部分が振動エネルギ吸
収部を構成している。また、主部電極２１ａ，２２ａ
は、共通電極２３ｂにより共通接続されるとともに、リ
ード電極２４ｂにより圧電基板１１の一端部まで引き出
されいる。周辺電極４２ａ及び裏面電極５２ａは、圧電
基板１１の反対側の端部までリード電極４２ｂ，５２ｂ
を形成することにより共通接続されている。そして、こ
れらの電極は真空蒸着法、あるいはスパッタリング法等
により形成される。尚、第２の実施例では、主電極２３
ａ，２４ａの並列方向は特に軸方向指定しないで設けた
が、圧電基板Ｘ軸方向に向かって、主電極２３ａ，２４
ａを並列して設けることにより、振動変位のより大きい
基本波が圧電基板端部の影響を受けてＣＩ値が高くな
り、基本波と三次オーバートーンとのＣＩ比を稼ぐよう
に作用する。その結果、一層の基本波抑制効果が向上す
る。
【００１２】次に、本発明の第３の実施例について、図
５、図６、図７を参照にして説明する。図５は本発明の
第３の実施例を示す圧電基板の平面図であり、図６は図
５のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、図７は図５のＢ−Ｂ
線に沿う断面図である。圧電基板１２は、厚みすべり振
動を行う方形状のＡＴカット水晶板からなる。その圧電
基板１２の表面には、保持方向と直行する方向（図の左
右方向）に並列して、主電極２５ａ，２６ａが設け、さ
らに外側に幅寸法Ｇの電極不在部３３を介して、更にそ
の周辺に周辺電極４３ａが設けられている。また、圧電
基板１２の裏面には前記表面電極群に対応して、圧電基
板１２のほぼ全面に裏面電極５３ａ（断面図のみ図示）
が設けられている。このような構造において、主部電極
２５ａ，２６ａとそれに対応する裏面電極５３ａの一部
分が主振動エネルギ閉じ込め部を構成し、電極不在部３
３とそれに対応する裏面電極５３ａの一部分が振動エネ
ルギ伝搬部を構成し、周辺電極４３ａとそれに対応する
裏面電極５３ａの一部分が振動エネルギ吸収部を構成し
ている。また、主部電極２５ａ，２６ａは、リード電極
２５ｂを介して共通接続されるとともに、圧電基板１２
の一端部まで引き出されている。周辺電極４３ａ及び裏
面電極５３ａは、圧電基板１２の反対側の端部まで設け
ることにより共通接続されている。そして、これらの電
極は例えば真空蒸着により、厚み０．１μmで形成され
る。そして周辺電極４３ａの一部４３ｃと主電極間に設
けられた周辺電極の凸部４３ｄについては、前記電極群
が露出した蒸着マスクでさらにもう一度真空蒸着を施
す。これにより、上面電極４３ｃ，４３ｄの厚みが０．
２μmとなる。このため振動エネルギを吸収する効果が
向上する。尚、第３の実施例では、周辺電極４３ａの一
部４３ｃと主電極間に設けられた周辺電極の凸部４３ｄ
とについて、電極の厚みを厚くしたが、周辺電極４３ａ
のすべての部分の電極の厚みを厚くしても特に問題はな
い。また、第３の実施例では、主電極２５ａ，２６ａの
並列方向は特に軸方向指定しないで設けたが、圧電基板
Ｘ軸方向に向かって、主電極２５ａ，２６ａを並列して
設けることにより、振動変位のより大きい基本波が圧電
基板端部の影響を受けてＣＩ値が高くなり、基本波と三
次オーバートーンとのＣＩ比を稼ぐように作用する。そ
の結果、一層の基本波抑制効果が向上する。
５、図６、図７を参照にして説明する。図５は本発明の
第３の実施例を示す圧電基板の平面図であり、図６は図
５のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、図７は図５のＢ−Ｂ
線に沿う断面図である。圧電基板１２は、厚みすべり振
動を行う方形状のＡＴカット水晶板からなる。その圧電
基板１２の表面には、保持方向と直行する方向（図の左
右方向）に並列して、主電極２５ａ，２６ａが設け、さ
らに外側に幅寸法Ｇの電極不在部３３を介して、更にそ
の周辺に周辺電極４３ａが設けられている。また、圧電
基板１２の裏面には前記表面電極群に対応して、圧電基
板１２のほぼ全面に裏面電極５３ａ（断面図のみ図示）
が設けられている。このような構造において、主部電極
２５ａ，２６ａとそれに対応する裏面電極５３ａの一部
分が主振動エネルギ閉じ込め部を構成し、電極不在部３
３とそれに対応する裏面電極５３ａの一部分が振動エネ
ルギ伝搬部を構成し、周辺電極４３ａとそれに対応する
裏面電極５３ａの一部分が振動エネルギ吸収部を構成し
ている。また、主部電極２５ａ，２６ａは、リード電極
２５ｂを介して共通接続されるとともに、圧電基板１２
の一端部まで引き出されている。周辺電極４３ａ及び裏
面電極５３ａは、圧電基板１２の反対側の端部まで設け
ることにより共通接続されている。そして、これらの電
極は例えば真空蒸着により、厚み０．１μmで形成され
る。そして周辺電極４３ａの一部４３ｃと主電極間に設
けられた周辺電極の凸部４３ｄについては、前記電極群
が露出した蒸着マスクでさらにもう一度真空蒸着を施
す。これにより、上面電極４３ｃ，４３ｄの厚みが０．
２μmとなる。このため振動エネルギを吸収する効果が
向上する。尚、第３の実施例では、周辺電極４３ａの一
部４３ｃと主電極間に設けられた周辺電極の凸部４３ｄ
とについて、電極の厚みを厚くしたが、周辺電極４３ａ
のすべての部分の電極の厚みを厚くしても特に問題はな
い。また、第３の実施例では、主電極２５ａ，２６ａの
並列方向は特に軸方向指定しないで設けたが、圧電基板
Ｘ軸方向に向かって、主電極２５ａ，２６ａを並列して
設けることにより、振動変位のより大きい基本波が圧電
基板端部の影響を受けてＣＩ値が高くなり、基本波と三
次オーバートーンとのＣＩ比を稼ぐように作用する。そ
の結果、一層の基本波抑制効果が向上する。
【００１３】
【発明の効果】特許請求項１により、三次オーバートー
ンのＣＩ値を悪化させることなく、基本波の抑制効果を
向上させ、より安定したオーバートーン発振が得られ、
かつ高周波化が行える信頼性の高いオーバートーン発振
用圧電振動子を提供することができる。
ンのＣＩ値を悪化させることなく、基本波の抑制効果を
向上させ、より安定したオーバートーン発振が得られ、
かつ高周波化が行える信頼性の高いオーバートーン発振
用圧電振動子を提供することができる。
【００１４】特許請求項２により、基本波の振動エネル
ギーをより吸収し、基本波抑制効果が向上し、より安定
したオーバートーン発振が行える信頼性の高いオーバー
トーン発振用圧電振動子を提供することができる。
ギーをより吸収し、基本波抑制効果が向上し、より安定
したオーバートーン発振が行える信頼性の高いオーバー
トーン発振用圧電振動子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す圧電基板の平面図
である。
である。
【図２】図１の底面図である。
【図３】本発明の第２の実施例を示す圧電基板の平面図
である。
である。
【図４】図３の底面図である。
【図５】本発明の第３の実施例を示す圧電基板の平面図
である。
である。
【図６】図５のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図７】図５のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図８】基本波と三次オーバートーンとのＣＩ値の比較
統計データを示すグラフである。
統計データを示すグラフである。
【図９】従来の実施例を示す圧電基板の平面図である。
【図１０】図９の底面図である。
１，１１，１２・・・圧電基板 ２，２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａ，２５ａ，２６ａ
・・・主電極 ３，３１，３２，３３・・・電極不在部 ４，４１ａ，４２ａ，４３ａ・・・周辺電極 ５，５１ａ，５２ａ，５３ａ・・・裏面電極
・・・主電極 ３，３１，３２，３３・・・電極不在部 ４，４１ａ，４２ａ，４３ａ・・・周辺電極 ５，５１ａ，５２ａ，５３ａ・・・裏面電極
Claims (2)
- 【請求項１】 所望次数にてオーバートーン発振する圧
電振動子であって、圧電板の片面には、前記所望次数の
オーバートーン振動の主振動を閉じ込める主振動エネル
ギ閉じ込め部を構成する主電極と、その周囲に前記振動
エネルギ伝搬部を構成する電極不在部を介して前記振動
エネルギ吸収部を構成する周辺電極とが設けられてお
り、前記圧電板の他の片面には少なくとも前記主電極と
電極不在部、並びに周辺電極の対向面に全面電極が形成
されているオーバートーン発振用圧電振動子において、
前記主電極を二つに分けた事を特徴とするオーバートー
ン発振用圧電振動子。 - 【請求項２】 周辺電極のうち少なくとも各主電極間に
隣接する箇所の電極厚みを前記主電極の厚みより厚くし
た事を特徴とする特許請求項１項記載のオーバートーン
発振用圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21040894A JPH0856134A (ja) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | オーバートーン発振用圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21040894A JPH0856134A (ja) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | オーバートーン発振用圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0856134A true JPH0856134A (ja) | 1996-02-27 |
Family
ID=16588827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21040894A Pending JPH0856134A (ja) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | オーバートーン発振用圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0856134A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9503045B2 (en) | 2015-01-19 | 2016-11-22 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
-
1994
- 1994-08-10 JP JP21040894A patent/JPH0856134A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9503045B2 (en) | 2015-01-19 | 2016-11-22 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
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