JPH085662A - 検査用プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数の探針をより微小なピッチで配列するこ
とのできる検査用プローブを提供する。 【構成】 ブロック１の端面１ａに複数の探針嵌着溝２
を形成し、その各溝２に、それ自体が長さ方向に弾性を
備えた導電性の探針３を、その両端部を溝２の両開口端
から突出させるとともに抜き止めした状態で、かつ互い
に電気的に絶縁した状態で嵌着し、探針保持部材５によ
り保持する。この構成では、従来の、ブロックに孔をあ
け、その孔にソケットおよびスリーブを介して探針を挿
着する構成に比べ、格段に微小なピッチで多数の探針を
配列することが可能になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、チップ部品，ＬＳＩ，
ＬＣＤ等の電気部品を電気的に検査する際に使用するプ
ローブに係り、詳しくは、複数の探針を、互いに平行
に、かつそれぞれの長さ方向に弾性を持たせた状態で保
持して成り、その各探針の先端部を被検査部品の複数の
端子に接触させることにより、その各端子から電気信号
を取り出す検査用プローブに関する。

【０００２】

【従来の技術】図６は、従来のこの種の検査用プローブ
の構成を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、
（ｃ）は側断面図である。

【０００３】図のようにこの従来のプローブは、複数の
導電性の探針５１を、絶縁性のブロック５２に設けた複
数の保持孔５３に、それぞれ導電性のスリーブ５５を介
して挿着することにより、互いに平行に保持して構成さ
れている。各探針５１は、それぞれの後端部が導電性の
ソケット５６内に、コイルスプリング５７によって外方
へ付勢され、かつ抜け止めされた状態で摺動自在に嵌合
されており、そのソケット５６がスリーブ５５内に固定
されている。言い換えれば、各探針５１は、ブロック５
２の各保持孔５３に、互いに電気的に絶縁された状態
で、しかもコイルスプリング５７によって長さ方向に弾
性を備えた状態で、互いに平行に保持されている。ま
た、探針５１の数とピッチとは、被検査部品の端子に対
応して設定されている。

【０００４】そして上記構成のプローブでは、各探針５
１の先端部を、被検査部品の各端子に接触させることに
より、その各端子から、探針５１とソケット５６とスリ
ーブ５５とを通して電気信号を取り出すことができる。
その際、各探針５１は、コイルスプリング５７の弾性力
により、各端子に、ショックを与えることなく圧接す
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のような
従来の検査用プローブの構成では、ブロック５２に、微
小な径とピッチとで保持孔５３をあけることが困難であ
り、しかもその保持孔５３に、コイルスプリング５７で
弾性を持たせた探針５１をソケット５６およびスリーブ
５５に納めて挿着するため、多数の探針５１を、近年の
ますます高密度化されるチップ部品，ＬＳＩ，ＬＣＤ等
の微小なピッチの端子に対応させて配列することが、ほ
とんど不可能になってきた。

【０００６】本発明は、この問題を解決するために提案
されたもので、複数の探針をより微小なピッチで配列す
ることのできる検査用プローブを提供することを目的と
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明に係る検査用プローブでは、次のような
構成とした。

【０００８】即ち、ブロック（１）の少なくとも一端面
（１ａ）に、複数の互いに平行な探針嵌着溝（２）を、
そのブロック（１）を貫通してその溝（２）の両端を開
口させた状態で形成する。そして上記ブロック（１）の
各探針嵌着溝（２）に、それ自体が長さ方向に弾性を備
えた導電性の探針（３）を、その各探針（３）の両端部
を上記各探針嵌着溝（２）の両開口端から突出させると
ともに抜き止めした状態で、かつ互いに電気的に絶縁し
た状態で嵌着して保持する。

【０００９】また、第１の発明における他の構成とし
て、上記ブロック（１）の上記複数の探針嵌着溝（２）
を形成した端面（１ａ）に、その各探針嵌着溝（２）を
直角方向に二分した形でその各探針嵌着溝（２）より深
い深溝（１１）を形成するとともに、上記各探針嵌着溝
（２）の間に切り込み（１２）を入れることにより、上
記ブロック（１）に、上記各探針嵌着溝（２）させて、
その各探針嵌着溝（２）の長さ方向に弾性を備えた複数
対の弾性部（１３）を形成し、その各対の弾性部（１
３）の探針嵌着溝（２）に、上記弾性を備えた導電性の
探針（３）を嵌着して、固定した状態で保持する。

【００１０】さらに、第２の発明に係る検査用プローブ
では、次のような構成とした。

【００１１】即ち、複数のスリット（２５ａ，２６ａ）
を有する２枚の格子板（２５，２６）を、それぞれのス
リット（２５ａ，２６ａ）を交差させた状態で重ねるこ
とにより、その複数のスリット交差部分をそれぞれ探針
挿着孔（２７）とした探針保持板（２１）を形成すると
ともに、その探針保持板（２１）を２枚、スペーサ（２
２）を介して互いに対向させた状態で組み合わせること
により中空ブロック（２３）を構成する。そしてその中
空ブロック（２３）を構成する上記２枚の探針保持板
（２１）の相対する各対の探針挿着孔（２７）に、それ
自体が長さ方向に弾性を備えた導電性の探針（３）を、
その各探針（３）の両端部を上記中空ブロック（２３）
の外側へ突出させるとともに抜き止めした状態で、かつ
互いに電気的に絶縁した状態で挿着する。

【００１２】

【作用】上記第１の発明における構成において、ブロッ
ク（１）の端面（１ａ）に形成する複数の探針嵌着溝
（２）は、孔をあけるのと異なり、微小な幅とピッチと
で形成することができる。また、各探針嵌着溝（２）に
嵌着する探針（３）についても、それ自体が弾性を備え
るようにしたため、コイルスプリングと共にソケットお
よびスリーブに納める必要がなくなり、非常に薄く形成
することができる。

【００１３】即ち、この第１の発明における検査用プロ
ーブでは、従来例のような、ブロックに孔をあけ、その
孔にソケットおよびスリーブを介して探針を挿着する構
成に比べ、格段に微小なピッチで多数の探針（３）を配
列することが可能となる。

【００１４】また、上記第１の発明における他の構成で
は、各探針（３）は、その両端部付近がブロック（１）
の各対の弾性部（１３）に固定され、しかも探針（３）
自体の弾性と弾性部（１３）の弾性とにより、それぞれ
の長さ方向に弾性を備えることになる。この構成によれ
ば、各探針（３）を、ブロック（１）の各対の弾性部
（１３）に直接固定して保持し得るため、各探針（３）
の厚さを非常に薄くすることができ、よってそのピッチ
をさらに微小化することが可能となる。

【００１５】さらに、上記第２の発明における検査用プ
ローブでは、各探針保持板（２１）のそれぞれの格子板
（２５，２６）に設けるスリット（２５ａ，２６ａ）
は、上記第１の発明の検査用プローブにおける探針嵌着
溝と同様に、微小な幅とピッチとで、精度良く、かつ容
易に形成することができる。従って、そのスリット（２
５ａ，２６ａ）どうしを交差させることにより、複数の
微細な探針挿着孔（２７）を、微小なピッチで精度良
く、かつ容易に、しかも２次元に広げて配列した状態で
形成することができる。そして、その各探針挿着孔（２
７）に探針（３）を挿着することにより、多数の探針
（３）を、微小なピッチで２次元に広げて配列すること
が可能となる。

【００１６】なお、上記括弧内の符号は、図面と対照す
るためのものであり、何等本発明の構成を限定するもの
ではない。

【００１７】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。 〈第１の発明〉図１は、第１の発明に係る検査用プロー
ブの第１の実施例を示す図で、（ａ）は一部を破断した
正面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は側断面図である。

【００１８】図のようにこのプローブでは、合成樹脂等
の絶縁材料から成るブロック１の端面１ａに、複数の互
いに平行な探針嵌着溝２が、ブロック１を上下に貫通し
てその溝２の両端を開口させた状態で形成され、その各
探針嵌着溝２にそれぞれ、探針３が、その両端部を各溝
２の両開口端から突出させた状態で嵌着されている。さ
らにこのブロック１の端面（溝形成端面）１ａに、合成
樹脂等の絶縁材料から成る板状の探針保持部材５がネジ
６を用いて取り付けられ、それによって、各探針嵌着溝
２に嵌着された探針３が外れないように保持されてい
る。

【００１９】上記探針３は、導電性を有し、しかもそれ
自体が長さ方向に弾性を備えたもので、例えば図１
（ｃ）に示すように、薄い金属板３ａに多数の孔３ｂと
切り欠き３ｃとを設けるとともに、その金属板３ａの周
囲を絶縁性のゴム３ｄで覆って補強することにより形成
されている。そしてこの探針３は、上記ブロック１の探
針嵌着溝２に圧入されることによって、抜け止めされた
状態で嵌着される。しかも各探針嵌着溝２に圧入嵌着さ
れた各探針３は、周囲のゴム３ｄ、およびブロック１と
探針保持部材５とが絶縁性であるため、互いに電気的に
絶縁された状態にある。

【００２０】なお、上記探針３のように、金属板３ａの
周囲を絶縁性のゴム３ｄで覆ったものであれば、ブロッ
ク１と探針保持部材５とを、金属等の導電性の材料で構
成することも可能である。

【００２１】上記構成において、ブロック１の端面１ａ
に形成する複数の探針嵌着溝２は、孔をあけるのと異な
り、精密溝彫り機などを用いて、微小な幅とピッチ、例
えば幅０．０６ｍｍ程度、ピッチ０．１２ｍｍ程度で、
精度良く、かつ容易に形成することができる。また、各
探針嵌着溝２に嵌着する探針３についても、それ自体が
弾性を備えるようにしたため、コイルスプリングと共に
ソケットおよびスリーブに納める必要がなくなり、非常
に薄く、例えば厚さ０．０５ｍｍ程度に形成することが
できる。

【００２２】即ち、上記構成のプローブでは、従来例の
ような、ブロックに孔をあけ、その孔にソケットおよび
スリーブを介して探針を挿着する構成に比べ、格段に微
小なピッチで多数の探針３を配列することが可能とな
る。従って、チップ部品，ＬＳＩ，ＬＣＤ等のピッチの
細かい端子にも、充分に対応させることが可能となる。
しかも構成が簡単で、部品数と組立工数とが減るため、
コストを下げることもできる。

【００２３】このプローブを用いてチップ部品，ＬＳ
Ｉ，ＬＣＤ等の電気部品を検査するには、各探針３の一
端を被検査部品の各端子（図示せず）に接触させるとと
もに、他端を検査機あるいは測定機の入力端子（図示せ
ず）に接触させる。これにより、被検査部品の各端子か
ら、上記プローブの各探針３を通して電気信号を取り出
すことができる。その際、各探針３は、その長さ方向の
弾性力により、被検査部品と検査機との双方の各端子に
確実に圧接し、しかもショックを与えることもない。

【００２４】図２は、上記第１の実施例における探針３
および探針嵌着溝２の他の構成例を示す側断面図であ
る。

【００２５】図のようにこの構成例の探針３は、金属ピ
ンの中央部をＵ字状に湾曲させることによって形成され
ており、その探針３を嵌着させるブロック１の探針嵌着
溝２には、探針３の湾曲部３ｅを係合させる凹部２ａが
形成されている。この凹部２ａは、ブロック１の端面１
ａに、各探針嵌着溝２と直角に交わる１本の横溝を、探
針嵌着溝２より深く彫ることによって容易に形成するこ
とができる。

【００２６】この構成では、探針３は、その湾曲部３ｅ
によってそれ自体が長さ方向に弾性を備え、しかもその
湾曲部３ｅが探針嵌着溝２の凹部２ａに係合することに
より抜け止めされることになる。

【００２７】そしてこの構成によれば、探針３の構成が
非常に単純であるため、より簡単に低コストで製作する
ことができる。ただし、探針３どうしを絶縁するため
に、ブロック１と探針保持部材５とを絶縁材料で形成す
る必要がある。

【００２８】図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は、上記第１
の実施例における検査用プローブの他の構成例を示す平
面図である。

【００２９】図３（ａ）に示した構成例では、ブロック
１の正面側と裏面側との２つの端面１ａにそれぞれ複数
の探針嵌着溝２が、位置を交互にずらせた状態で形成さ
れており、その各溝２に探針３が嵌着されるとともに、
双方の端面１ａにはそれぞれ探針保持部材５がネジ６を
用いて取り付けられている。この構成によれば、探針３
のピッチをより微小化することができる。

【００３０】図３（ｂ）に示した実施例では、１つのブ
ロック１の、探針嵌着溝２を形成した端面１ａに、他の
ブロック１’の、探針嵌着溝２’を形成した端面１’ａ
を、双方の探針嵌着溝２，２’を平行に、かつ互いにず
らせた状態で接合することによって構成されている。こ
の場合には、双方のブロック１，１’が、互いに相手の
探針３，３’を保持する探針保持部材となる。この構成
によれば、上記図３（ａ）の構成と同じように、探針
３，３’のピッチをより微小化することができる。

【００３１】図３（ｃ）に示した実施例では、端面１ａ
の探針嵌着溝２に探針３を嵌着するとともにその端面１
ａに探針保持部材５を取り付けた４つのブロック１を、
矩形に組み合わせることによって構成されている。この
構成のように、複数のブロック１を組み合わせることに
より、多数の探針３を、被検査部品の端子の様々な配置
に対応させて配列することができる。

【００３２】図４は、第１の発明に係る検査用プローブ
の第２の実施例を示す図で、（ａ）は部分正面図、
（ｂ）は部分平面図、（ｃ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図
である。

【００３３】図のようにこのプローブでは、合成樹脂等
の絶縁材料から成るブロック１の、複数の探針嵌着溝２
が形成された端面１ａに、その各探針嵌着溝２を直角方
向に二分した形で、その各探針嵌着溝２より深い深溝１
１が形成されるとともに、各探針嵌着溝２の間に、上記
深溝１１と同じ深さの切り込み１２が入れられ、これに
よりブロック１に、各探針嵌着溝２に対応して、その各
探針嵌着溝２の長さ方向に弾性を備えた複数対の弾性部
１３が形成されている。そしてその各対の弾性部１３の
探針嵌着溝２に、それ自体が長さ方向に弾性を備えた導
電性の探針３が嵌着され、接着材１５により固定された
状態で保持されている。

【００３４】この実施例の場合、上記各対の弾性部１３
は、ブロック１の上方と下方とに延びた状態でＬ状に形
成されており、その各対の弾性部１３の上下端部から、
上記探針３の両端部が突出している。また探針３は、薄
い金属片の中央部に深溝１１の断面形状とほぼ同じよう
なコ字状の折曲部３ｆが形成されることによって、その
長さ方向に弾性を備えるように構成されている。

【００３５】即ち、このプローブでは、各探針３は、そ
の両端部付近がブロック１の各対の弾性部１３に固定さ
れ、しかも探針３自体の弾性と弾性部１３の弾性とによ
り、それぞれの長さ方向に弾性を備えることになる。ま
た、各探針３どうしは、ブロック１が絶縁材料から成る
ため、互いに電気的に絶縁された状態にある。

【００３６】この実施例におけるプローブによれば、各
探針３を、ブロック１の各対の弾性部１３に直接固定し
て保持するため、各探針３の厚さを非常に薄くすること
ができ、よってそのピッチをより微小化して、より微小
なピッチの端子にも対応させることが可能になる。

【００３７】さらに、探針嵌着溝２が形成されたブロッ
ク１の端面１ａに、上記第１の実施例のような探針保持
部材を取り付ける必要がないため、被検査部品に対する
スペース上の制約が格段に減ることになる。言い換えれ
ば、より多くの形態の部品に対応させることが可能にな
る。

【００３８】そのほか、この実施例の構成を応用して、
ブロック１の後方から、そのブロック１を緩挿し得るよ
うな深溝を有する他のブロックを被せるようにして組み
合わせれば、さらに微小なピッチの端子にも対応させる
ことが可能になる。 〈第２の発明〉図５は、第２の発明に係る検査用プロー
ブの実施例を示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面
図である。

【００３９】図のようにこのプローブでは、２枚の探針
保持板２１を、スペーサ２２を介して上下に対向させた
状態で組み合わせることで中空ブロック２３が構成さ
れ、その中空ブロック２３によって複数の探針３が保持
されている。

【００４０】上記各探針保持板２１は、複数のスリット
２５ａ，２６ａを有する２枚の格子板２５，２６を、そ
れぞれのスリット２５ａ，２６ａを直角に交差させた状
態で重ねることにより、その複数のスリット交差部分を
それぞれ探針挿着孔２７としたものである。この各探針
保持板２１の格子板２５，２６どうし、および各探針保
持板２１とスペーサ２２とは、接着材を用いて互いに接
着固定されている。なお、上記２枚の格子板２５，２６
のそれぞれのスリット２５ａ，２６ａの交差角度につい
ては、直角でなくてもよい。

【００４１】そして上下の探針保持板２１は、それぞれ
の探針挿着孔２７が相対するように組み合わされてお
り、その相対する各対の探針挿着孔２７に、探針３が、
その各探針３の両端部を中空ブロック２３の外側へ突出
させた状態で挿着されている。

【００４２】上記探針３は、弾性を有するピアノ線等の
細い金属線から成り、しかも両端部から圧縮力を受けた
際に中央部が撓むことにより、その長さ方向に弾性を備
えるように構成されている。また、この探針３は、その
下端部の径を上部より細くするとともに、その下端部を
挿着する下側の探針保持板２１の各探針挿着孔２７の大
きさ、つまり２枚の格子板２５，２６の各スリット２５
ａ，２６ａの幅を上側のものより小さくすることによっ
て、下方へ抜け止めされている。

【００４３】上記上下の探針保持板２１のそれぞれの格
子板２５，２６は、合成樹脂等の絶縁材料で構成されて
おり、それによって、各探針３は互いに電気的に絶縁さ
れた状態にある。さらに、各探針３は、上下の探針保持
板２１間の部分に絶縁コーティングが施されており、被
検査部品と検査機との双方の各端子に圧接して撓んだ際
に、隣接する探針３どうしが接触したとしても、互いに
絶縁された状態が保たれるようになっている。

【００４４】上記構成において、各探針保持板２１のそ
れぞれの格子板２５，２６に設けるスリット２５ａ，２
６ａは、上述した第１の発明の検査用プローブにおける
探針嵌着溝と同様に、精密溝彫り機などを用いて、微小
な幅とピッチとで、精度良く、かつ容易に形成すること
ができる。従って、そのスリット２５ａ，２６ａどうし
を交差させることにより、複数の微細な探針挿着孔２７
を、微小なピッチで精度良く、かつ容易に、しかも２次
元に広げて配列した状態で形成することができる。そし
て、その各探針挿着孔２７に探針３を挿着することによ
り、多数の探針３を、微小なピッチで２次元に広げて配
列することが可能となる。

【００４５】即ち、上記第２の発明に係る検査用プロー
ブによれば、チップ部品，ＬＳＩ，ＬＣＤ等の、細かい
ピッチで様々な形に配列された端子にも、充分に、かつ
より容易に対応させることが可能となる。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、第１の発明に係る
検査用プローブによれば、長さ方向に弾性を備えた多数
の探針を、従来のものに比べて格段に微小なピッチで配
列することができる。従って、高密度化されたチップ部
品，ＬＳＩ，ＬＣＤ等の微小なピッチの端子にも充分に
対応させることができる。しかも構成が簡単で、部品数
と組立工数とが減るため、コストを下げることもでき
る。

【００４７】また、ブロックに複数対の弾性部を形成
し、その各対の弾性部の探針嵌着溝に探針を嵌着して固
定するように構成すれば、探針の厚さを非常に薄くする
ことができ、よってそのピッチをさらに微小化して、よ
り微小なピッチの端子にも対応させることが可能にな
る。

【００４８】さらに、第２の発明に係る検査用プローブ
によれば、多数の探針を、微小なピッチで２次元に広げ
て配列することができ、そのため、チップ部品，ＬＳ
Ｉ，ＬＣＤ等の、細かいピッチで様々な形に配列された
端子にも、充分に、かつより容易に対応させることが可
能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の発明に係る検査用プローブの第１の実施
例を示す図で、（ａ）は一部を破断した正面図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側断面図である。

【図２】第１の実施例における探針および探針嵌着溝の
他の構成例を示す側断面図である。

【図３】（ａ），（ｂ），（ｃ）は、第１の実施例にお
ける検査用プローブの他の構成例を示す平面図である。

【図４】第１の発明に係る検査用プローブの第２の実施
例を示す図で、（ａ）は部分正面図、（ｂ）は部分平面
図、（ｃ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。

【図５】第２の発明に係る検査用プローブの実施例を示
す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。

【図６】従来の検査用プローブの構成を示す図で、
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側断面図で
ある。

【符号の説明】

１，１’ ブロック １ａ，１’ａ 端面 ２，２’ 探針嵌着溝 ３，３’ 探針 ５ 探針保持部材 １１ 深溝 １２ 切り込み １３ 弾性部 ２１ 探針保持板 ２２ スペーサ ２３ 中空ブロック ２５，２６ 格子板 ２５ａ，２６ａ スリット ２７ 探針挿着孔

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の導電性の探針を、互いに平行に、
   かつ互いに電気的に絶縁するとともに、それぞれの長さ
   方向に弾性を持たせた状態で保持して成り、該各探針の
   先端部を被検査部品の複数の端子に接触させることによ
   り、該各端子から電気信号を取り出す検査用プローブに
   おいて、 ブロックの少なくとも一端面に、複数の互いに平行な探
   針嵌着溝を、該ブロックを貫通して該溝の両端を開口さ
   せた状態で形成し、 前記ブロックの各探針嵌着溝に、それ自体が長さ方向に
   弾性を備えた導電性の探針を、該各探針の両端部を前記
   各探針嵌着溝の両開口端から突出させるとともに抜き止
   めした状態で、かつ互いに電気的に絶縁した状態で嵌着
   して保持した、 ことを特徴とする検査用プローブ。
2. 【請求項２】 前記ブロックの前記複数の探針嵌着溝を
   形成した端面に、該各探針嵌着溝を直角方向に二分した
   形で該各探針嵌着溝より深い深溝を形成するとともに、
   前記各探針嵌着溝の間に切り込みを入れることにより、
   前記ブロックに、前記各探針嵌着溝に対応させて、該各
   探針嵌着溝の長さ方向に弾性を備えた複数対の弾性部を
   形成し、該各対の弾性部の探針嵌着溝に、前記弾性を備
   えた導電性の探針を嵌着して、固定した状態で保持し
   た、 ことを特徴とする請求項１記載の検査用プローブ。
3. 【請求項３】 複数の導電性の探針を、互いに平行に、
   かつ互いに電気的に絶縁するとともに、それぞれの長さ
   方向に弾性を持たせた状態で保持して成り、該各探針の
   先端部を被検査部品の複数の端子に接触させることによ
   り、該各端子から電気信号を取り出す検査用プローブに
   おいて、 複数のスリットを有する２枚の格子板を、それぞれのス
   リットを交差させた状態で重ねることにより、その複数
   のスリット交差部分をそれぞれ探針挿着孔とした探針保
   持板を形成するとともに、該探針保持板を２枚、スペー
   サを介して互いに対向させた状態で組み合わせることに
   より中空ブロックを構成し、 該中空ブロックを構成する前記２枚の探針保持板の相対
   する各対の探針挿着孔に、それ自体が長さ方向に弾性を
   備えた導電性の探針を、該各探針の両端部を前記中空ブ
   ロックの外側へ突出させるとともに抜き止めした状態
   で、かつ互いに電気的に絶縁した状態で挿着した、 ことを特徴とする検査用プローブ。
4. 【請求項４】 前記各探針の、前記２枚の探針保持板間
   の部分に、絶縁コーティングを施したことを特徴とする
   請求項３記載の検査用プローブ。