JPH0857737A - ワーク搬送位置決め方法 - Google Patents

ワーク搬送位置決め方法

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JPH0857737A
JPH0857737A JP19695594A JP19695594A JPH0857737A JP H0857737 A JPH0857737 A JP H0857737A JP 19695594 A JP19695594 A JP 19695594A JP 19695594 A JP19695594 A JP 19695594A JP H0857737 A JPH0857737 A JP H0857737A
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JP
Japan
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Application number
JP19695594A
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English (en)
Inventor
Takao Kojima
孝夫 小島
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Publication date
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  • Feeding Of Workpieces (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はロボットを利用してワークを搬送
し、ワークを次々に移動してくるトレイの所定位置に位
置決めする方法に関する。 【構成】 最初の基準のトレイに対しては、基準トレイ
のロボット本体に対する位置を求める基準位置求め工程
200を行い、次から各トレイについては、各トレイの
基準位置からのずれ量を求めてワークを各トレイの所定
位置にまで移動させるに必要なロボット本体の動作量を
求める工程201と、工程201で求めたデータに基づ
いてロボット本体を作動させる工程202とを行う。基
準位置求め工程200は、XYZθ直交座標系ロボット
本体の基台上の柱部の位置を変えて、第1回目と第2回
目のロボット本体マニュアル操作動作工程200-5,2
00 -6を行うことによって得たデータを処理して、専ら
計算によつて行うよう構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はワーク搬送位置決め方法
に関し、特に、ロボットを使用してワークを搬送してき
てトレイ上の所定位置に位置決めするワーク搬送位置決
め方法に関する。
【0002】液晶装置の製造工程等において、ロボット
がワークをトレイに載置し、トレイが処理装置内に搬入
され、ワークに対して処理を行う製造設備が使用される
ことが多い。
【0003】図11(A),(B)は、この製造設備の
1例である、液晶装置のガラス基板に薄膜を形成するC
VD装置のガラス基板交換部及びその周辺部を示す。
【0004】10はカセットであり、ガラス基板が収容
してある。
【0005】11はCVD装置であり、ガラス基板に膜
を形成する。
【0006】CVD装置11は、複数のトレイと、この
複数のトレイを動かすトレイ搬送機構(図示せず)を有
する。
【0007】12はガラス基板交換部である。
【0008】13はXYZθ直交座標系ロボットであ
り、カセット10とガラス基板交換部12との間の床面
上に据え付けてある。
【0009】14はトレイであり、矩形板状をなし、上
面に、座ぐられた、ガラス基板載置部15-1〜15-4
有する。各トレイ14は、トレイ搬送機構(図示せず)
に固定してあり、搬送される。トレイ14は、CVD装
置11から出ると、ガラス基板交換部12に到り、ガラ
ス基板交換部12に到ると、90度倒されて水平とされ
る。
【0010】ロボット13がX,Y,Z,θ方向に動作
し、吸着用パッド16によって、膜形成済ガラス基板1
7を吸着してトレイ14からカセット10に移し、カセ
ット10内の膜形成前のガラス基板18を吸着し、線1
9で示すように、搬送して、トレイ14の各ガラス基板
載置部15-1〜15-4に載置する。
【0011】ガラス基板18が載置されたトレイ14
は、図11(B)中二点鎖線で示すように立てられて、
CVD装置11内に搬入される。
【0012】続いて、別のトレイが、ガラス基板交換部
12に出てきて、倒されて水平とされる。
【0013】続いて、ロボット13が、上記と同様に動
作し、ガラス基板の交換が行われる。
【0014】ここで、ガラス基板交換部12に倒された
トレイ14の位置は、トレイ毎に多少ばらついて異なる
ことが一般的である。
【0015】上記の製造設備においては、ロボットが、
そのときのトレイに対して精度良く動作して、ワークで
あるガラス基板をトレイ14のガラス基板載置部15-1
〜15-4に嵌合した状態に載置することが出来るように
調整する必要がある。
【0016】ガラス基板がガラス基板載置部から少しで
もずれると、トレイを立てたときに、ガラス基板がトレ
イからずれ落ちてしまうからである。
【0017】ここで、上記の調整は、簡単であることが
望ましい。
【0018】
【従来の技術】従来のワーク搬送位置決め方法の1例
を、上記と同様に、LCD用のCVD装置のガラス基板
(ワーク)交換部を例にとって説明する。
【0019】図12及び図13は、ワーク搬送位置決め
方法のハードの部分を示す。
【0020】ワーク位置決め方法を行うワーク搬送位置
決め装置20は、ロボット装置21よりなる。
【0021】ロボット装置21は、ロボット本体22
と、ロボット本体駆動制御部23と、一対のCCDカメ
ラ24,25と、TVモニタ26,27とを有する。
【0022】ロボット本体21は、XYZθ直交座標系
のものであり、基台31と、基台31上をX方向に移動
する柱部32と、柱部32に対して、θ方向に回動する
と共に、上下動する支持レール部33と、支持レール部
33に沿って、略Y方向に移動するアーム部34とを有
する。アーム部34の先端に、ガラス基板吸着用パッド
35が設けてある。
【0023】ロボット本体駆動制御部23は、マイクロ
コンピュータ40と、ロボット本体22内のサーボモー
タを駆動するモータ駆動回路41と、操作部42とを有
する。
【0024】マイクロコンピュータ40は、CPU43
とメモリ44とを有し、ロボット本体22の動作の制御
の他に、CCDカメラ24,25からの画像情報の処理
も行う。
【0025】ロボット本体22は、マイクロコンピュー
タ40よりの出力によって、モータ駆動回路27を介し
て動作する。
【0026】CCDカメラ24,25は、ガラス基板交
換部50のうち、所定位置に設けてある。
【0027】ここで、所定位置とは、トレイが移動して
きて停止し、水平に倒されてガラス基板交換部50に停
止したと仮定した場合の、トレイの座ぐり穴65-1,6
-2の真下の位置である。
【0028】CCDカメラ51,52が撮影した情報
は、メモリ44に格納されると共に、TVモニタ26,
27に写し出される。
【0029】ここで、トレイについて説明する。
【0030】トレイ60は、矩形板状をなし、表面61
には、4個所に、座ぐって形成してある四角形のガラス
基板載置部62-1〜62-4を有し、且つ、裏面63に
は、一の辺64の両端近傍に、座ぐり穴65-1,65-2
を有する。
【0031】全部のトレイについて、ガラス基板載置部
62-1〜62-4と座ぐり穴65-1,65-2とは、同じ位
置関係にある。
【0032】Bは座ぐり穴65-1の中心点、Cは座ぐり
穴65-2の中心点、Dは一のガラス基板載置部62-1
中心点である。
【0033】点B,C,Dの相互の位置関係は、既知で
ある。
【0034】xは、点Bと点Cとの間の距離である。
【0035】次に、上記のワーク搬送位置決め装置20
を使用して、ワークであるガラス基板を搬送してきてト
レイ上に位置決めする動作について説明する。
【0036】ガラス基板を搬送してきて位置決めする動
作は、図14に示すように、大別して、(1) ロボット装
置21を実際に動作させる前に行う工程、即ち、最初の
トレイ(これを基準トレイという)に対してガラス基板
を位置決めするためのロボット本体の基準動作量を設定
する基準動作量設定工程100と、(2) この後、順次、
移動してきて、ガラス基板交換部50に停止された各ト
レイについて、基準トレイに対するずれ量を求め、この
ずれ量に応じて、上記の基準動作量を補正する基準動作
量補正工程101と、(3) ロボット作動工程102,と
よりなる。
【0037】基準動作量設定工程100は、以下に説明
するように行う。 〔1〕平行出し工程100-1 基準トレイ60がガラス基板交換部50に位置する状態
とする。
【0038】作業者が、位置ずらし設備を使用して、ロ
ボット本体21(最初は図12中、二点鎖線で示す位置
に位置していたとする)を床面39上で動かして、図1
2中、実線で示すように、ロボット本体21のX軸36
が、基準トレイ60の辺64と平行となるように位置調
整する。これにより、図15の状態となる。 〔2〕直角出し工程100-2 作業者が、直角治具を当てがうと共に、操作部42を操
作し、サーボモータを基準位置から駆動させ、支持レー
ル部33(アーム部34)をθ方向に所望量回動させ
て、アーム部34の移動方向(これがY軸37となる)
が、上記のX軸36に対して直角となるようにする。
【0039】符号38は、ロボット本体22の座標系の
原点(0,0)である。 〔3〕点B,Cの位置記憶工程100-3 CCDカメラ24,25で、基準トレイ60の座ぐり穴
65-1,65-2を撮像する。
【0040】TVモニタ26,27に写し出された点
B,Cの位置を原点(0,0)として、これをメモリ4
4に記憶させる。 〔4〕ロボット本体マニュアル操作工程100-4 作業者がガラス基板の中心を吸着パッド25に吸着さ
せ、操作部42を操作し、ロボット本体22を動作させ
る。ロボツト本体22は、θ方向については、上記
〔2〕で定めた位置に固定し、図15に示すように、X
方向とY方向にスライドさせて、ガラス基板を、基準の
ガラス基板載置部62-1(位置D)に位置決めし、ここ
に載置する。 〔5〕X,Yのスライド量の記憶工程100-6 上記のX方向のスライド量、及びY方向のスライド量
を、メモリ44に記憶させる。
【0041】以上により基準動作量設定工程100が完
了する。
【0042】次に、基準動作量補正工程101について
説明する。
【0043】基準トレイ60がガラス基板交換部50か
ら移動して、次のトレイ60-1が、ガラス基板交換部5
0に到り、これが図16に示すように、基準トレイ60
の位置に対して若干ずれていると仮定して、説明する。
【0044】点B’,C’,D’は、トレイ60-1の座
ぐり穴及びガラス基板載置部の位置である。 〔1〕ずれ量割出し工程101-1 TVモニタ26には、図17(A)に示す画面が表示さ
れており、TVモニタ27には、図17(B)に示す画
面が表示されている。
【0045】マイクロコンピュータ40が、CCDカメ
ラ24,25からの画像情報に基づいて、図17(A)
中、点B’の点Bに対するずれ量x’,y’及び図17
(B)中、点C’の点Cに対するずれ量x”,y”を割
り出す。
【0046】ここで、吸着用パッド35が点D’に到る
ようにロボット本体22を動かすためには、図18中、
α,J,Hを求めればよい。
【0047】そこで、次の動作を行う。 〔2〕角度αを求める工程101-2 図19に示すように、点B’を原点とし、X座標は
【0048】
【外1】
【0049】と平行とする。
【0050】図19より分かるように、
【0051】
【数1】
【0052】〔3〕距離Jを求める工程101-3 図20に示すように、
【0053】
【外2】
【0054】をBを原点として角度αだけ回転させ、こ
れに
【0055】
【外3】
【0056】を加えたのと同じである。
【0057】従って、
【0058】
【数2】
【0059】となる。
【0060】また、図18から、
【0061】
【数3】
【0062】となる。
【0063】従って、距離Jは、J=X+xcos α−y
sin α+x’+(Y+xsin α+ycos α+y’)tan
αと求まる。 〔4〕距離Hを求める工程101-4 また距離Hは、
【0064】
【数4】
【0065】と求まる。吸着用パッド35を、上記トレ
イ60-1の他のガラス基板載置部の中心の位置への位置
決めするためのデータは、上記で求めたα,J,Hに、
トレイ上のガラス基板載置部の配置の寸法を適宜加算、
減算することによって求まる。
【0066】以上によって、基準動作量補正工程101
が完了する。
【0067】次に、ロボット作動工程102を行う。
【0068】上記の初期値補正工程101で求めたデー
タが出力され、図12中、モータ駆動回路41に加えら
れ、サーボモータが動作して、ロボット本体22がX,
Y,Z,θ方向に動作する。
【0069】これによって、吸着用パッド35が、トレ
イ60-1の各ガラス基板載置部の中心に移動され、ガラ
ス基板18が各ガラス基板載置部に載置される。
【0070】
【発明が解決しようとする課題】従来のワーク搬送位置
決め方法によれば、基準動作量設定工程100におい
て、位置ずらし設備を使用してロボット本体22を動か
したり、直角治具を使用してX軸とY軸との直角を出し
たりする、ロボット本体を調整する手間のかかる作業が
必要であった。
【0071】また、上記の調整を精度良く行うことは比
較的困難であった。調整の精度の影響がワークの位置決
め精度に現われるため、ワークの位置決めを十分に精度
良く行うことが困難であった。
【0072】そこで、本発明は、上記課題を解決したワ
ーク搬送位置決め方法を提供することを目的とする。
【0073】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、ワー
クを次々に移動してきて停止したトレイ上の所定位置に
搬送するロボット本体に対する、第1番目のトレイであ
る基準トレイの位置である基準位置を求める基準位置求
め工程と、次からのトレイに対しては、各トレイの上記
基準トレイの基準位置に対するずれを求めて、上記ロボ
ット本体が、ワークを各トレイの所定位置にまで搬送す
るのに必要な動作量を計算によって求めるロボット本体
動作量求め工程と、該ロボット本体動作量求め行程によ
って得た動作量だけ上記ロボット本体を作動させる工程
とよりなり、上記ロボット本体が、ワークを搬送して、
次々に移動してくる各トレイの所定位置に位置決めする
方法であって、上記基準位置求め工程を、上記ロボット
本体のワークを保持する個所を、上記基準トレイの基準
の位置に対応する位置に移動させる動作を、上記ロボッ
ト本体の基部側の可動部分の位置を変えて複数回行な
い、そのときの上記ワークを保持する個所の移動量に基
づいて、計算によって上記基準位置を求める構成とした
ものである。
【0074】請求項2の発明は、ワークを次々に移動し
てきて停止したトレイ上の所定位置に搬送するXYZθ
直交座標系ロボット本体に対する、第1番目のトレイで
ある基準トレイの位置である基準位置を求める基準位置
求め工程と、次からのトレイに対しては、各トレイの上
記基準トレイの基準位置に対するずれを求めて、上記ロ
ボット本体が、ワークを各トレイの所定位置にまで搬送
するのに必要な動作量を計算によって求めるロボット本
体動作量求め工程と、該ロボット本体動作量求め工程に
よって得た動作量だけ上記ロボット本体を作動させる工
程とよりなり、上記ロボット本体が、ワークを搬送し
て、次々に移動してくる各トレイの所定位置に位置決め
する方法であって、上記基準トレイ及びその他のトレイ
は、裏面の二個所に座ぐり穴を有する構成であり、上記
基準トレイ及びその他のトレイが停止したときに、上記
座ぐり穴を撮影する二つのカメラを設け、上記基準位置
決め工程を、上記カメラによって、上記基準トレイの上
記座ぐり穴を撮影して、該二つの座ぐり穴の位置を記憶
する工程と、上記基準トレイを避かして、上記ロボット
本体のワークを保持する個所を、上記記憶工程によって
記憶された座ぐり穴の二つの位置へ移動させる第1回目
のマニュアル操作動作工程と、上記ロボット本体の基部
側の可動部分を動かして、該可動部分を別の位置に設定
した状態で、上記ロボット本体のワークを保持する個所
を、上記記憶工程によって記憶された座ぐり穴の二つの
位置へ移動させる第2回目のマニュアル操作動作工程
と、上記第1回目及び第2回目のマニュアル操作動作工
程における上記ワークを保持する個所の移動量に基づい
て、計算によって上記基準位置を求める工程とよりな
り、上記ロボット本体動作工程は、上記二つのカメラが
各トレイの座ぐり穴を撮影した情報に基づいて、各トレ
イの上記基準トレイの基準位置に対するずれを求めて、
上記ロボット本体が、ワークを各トレイの所定位置にま
で搬送するのに必要な動作量を計算によって求めるよう
構成したものである。
【0075】
【作用】請求項1及び2の発明において、基準位置求め
工程を、ロボット本体のワーク保持個所を基準トレイの
基準の位置に対応する位置に移動させる動作を、ロボッ
ト本体の基部側の可動部分の位置を変えて複数回(2
回)行って、そのときのワーク保持個所の移動量に基づ
いて求める構成としたことは、ロボットを調整する作業
を不要とし、ロボット本体の座標系における、基準トレ
イの位置を専ら計算によって求めることを可能とするよ
うに作用する。
【0076】
【実施例】本発明のワーク搬送位置決め方法の一実施例
を、上記と同様に、LCD用のCVD装置のガラス基板
(ワーク)交換部を例にとって説明する。
【0077】図2及び図3は、ワーク搬送位置決め方法
を行うワーク搬送位置決め装置20Aを示す。
【0078】ワーク搬送位置決め装置20Aは、(1) ロ
ボット本体22が床面に据え付けられて動かないように
なっている構成、(2) アーム部34の先端の吸着用パッ
ド35が取り外し可能となっており、吸着用パッド35
の代わりに、位置出し用ピン210が取り付けられるよ
うになっている構成、(3) CPU43を動作させるプロ
グラムの内容が異なっている構成以外は、図12及び図
13に示すワーク搬送位置決め装置20と同じである。
【0079】図2及び図3中、図12及び図13に示す
構成部分と対応する部分には、同一符号を付し、その説
明は省略する。
【0080】次に、上記のワーク搬送位置決め装置20
Aを使用して、ワークであるガラス基板を搬送してトレ
イ上に位置決めする動作について説明する。
【0081】ガラス基板を搬送してきて位置決めする動
作は、大別して(1) ガラス基板を次々に移動してきて停
止したトレイ上の所定位置に搬送するロボット本体に対
する、第1番目のトレイである基準トレイの位置である
基準位置を計算によって求める基準位置求め工程200
と、(2) 次からのトレイに対しては、各トレイの上記基
準トレイの基準位置に対するずれを求めて、上記ロボッ
ト本体が、ガラス基板を各トレイの所定位置にまで搬送
するのに必要な動作量を計算によって求めるロボット本
体動作量求め工程201と、(3) ロボット本体動作量求
め工程200によって得た動作量だけ上記ロボット本体
を作動させる工程202よりなる。
【0082】まず、基準位置求め工程200の動作につ
いて説明する。この工程200の動作は、ロボット本体
23は一切調整せずに行われる。 〔1〕点B,Cの位置記憶工程200-1 基準トレイ60の座ぐり穴65-1,65-2をCCDカメ
ラ24,25で写し、TVモニタ26,27に写し出さ
れた座ぐり穴の中心位置B,Cを、座標原点とし、これ
をメモリ44に記憶させる。 〔2〕位置出し用ピンの取り付け工程200-2 図4に示すように、作業者が吸着用パッドを取り外し
て、この代わりに、位置出し用ピン210を取り付け
る。 〔3〕基準トレイ60を避かす工程200-3 図4に示すように、作業者が基準トレイ60をガラス基
板交換部50から避かす。 〔4〕第1回目のロボット本体マニュアル操作動作工程
200-4 この工程200-4は、次の動作(4−1)〜(4−6)
によってなされる。
【0083】(4−1)作業者が操作部42を操作し、
ロボット本体22を動作させる。図5に示すように、柱
部32を動かし、X座標原点からXEだけ離れたポイン
トEに停止させる。
【0084】(4−2) CCDカメラ24が撮ってい
るTVモニタ26の画面をみながら、支持レール部33
をθ方向に適宜回動させ、且つアーム部34を適宜伸ば
して、ピン210の中心を、上記〔1〕で定めた点Bの
原点座標に一致させる。
【0085】(4−3) このときの、アーム部34の
伸び量bを、メモリ44に記憶させる。
【0086】(4−4) CCDカメラ25が撮ってい
るTVモニタ27の画面をみながら、支持レール部33
をθ方向に適宜回動させ、且つアーム部34を適宜伸ば
して、ピン210の中心を、上記〔1〕で定めた点Cの
原点座標に一致させる。
【0087】(4−5) このときの、アーム部34の
伸び量b+b’及び回動角βを、メモリ44に記憶させ
る。
【0088】(4−6) 以下の計算を行って、∠CB
E=β’を求める。
【0089】
【数5】
【0090】である。
【0091】ここで、第2余弦定理より a2 =b2
(b+b’)2 +2b(b+b’)cos β、及びb
2 (2+2cos β)+2b(b’+b’cos β)+b’
2 −a2=0となる。
【0092】上記二つの式よりbを求める(b>0)
【0093】
【数6】
【0094】となる。
【0095】求めた角度β’をメモリ44に記憶させ
る。 〔5〕第2回目のロボット本体マニュアル操作動作工程
200-5 作業者が操作部42を操作し、ロボット本体22を動作
させる。
【0096】図6に示すように、柱部32を、X座標原
点からXEとは異なる距離XF離れたポイントFに停止
させ、上記の(4−2)〜(4−6)と同じ動作を行な
い、アーム部34の伸び量c,c+c’及びアーム部3
4の回動角γ,及び角<CBF≡γ’を求め、これをメ
モリ44に記憶させる。
【0097】アーム部34の伸び量cは、次式により求
まる。
【0098】
【数7】
【0099】〔6〕点Bの位置を算出する工程200-6 図7に示すように、上記〔4〕,〔5〕の工程で得たデ
ータに基づいて以下のように、ロボット本体21の座標
系における点Bの位置を求める。
【0100】第2余弦定理より b2 =c2 +l2 +2
clcos Sとなる。よって、
【0101】
【数8】
【0102】となる。 〔7〕基準トレイ60の辺64(点B,Cを結ぶ線分と
平行である)のロボット本体21のX座標軸上に対する
ずれ角度αを求める工程200-7 図8に示すように、点Eを通り、線分BCに対する垂線
の、線分BCとの交点をMとする。同じく、点Fを通
り、線分BCに対する垂線の、線分BCとの交点をNと
する。
【0103】これから、以下の計算を行なって、ロボッ
ト本体21のX座標軸と基準トレイ60の辺64とのな
す角度αを求める。
【0104】
【数9】
【0105】〔8〕最後に、位置出し用ピンを取り外
し、吸着用パッドを付ける工程200-8を行う。
【0106】以上により、基準位置求め工程200が終
了する。
【0107】上記より分かるように、ロボット本体21
の設置位置を動かしたりして調整する工程及び直角治具
を用いて調整する工程は無いため、基準位置求め工程2
00は、従来に比べて、手間がかからずに、しかも精度
良く行われる。
【0108】次に、ロボット本体移動量求め工程201
について説明する。
【0109】基準トレイ60がガラス基板交換部50か
ら移動して、次のトレイ60-1が、ガラス基板交換部5
0に到り、これが図16に示すように、基準トレイ60
の位置に対して若干ずれると仮定して、説明する。
【0110】点B’,C’,D’は、トレイ60-1の座
ぐり穴及びガラス基板載置部の位置である。
〔9〕D’の位置を求める工程201-1 図17(A),(B)に示すように、TVモニタ26,
27上に点B’,C’を写し出す。
【0111】図9に示すように、線分BCと線分B’
C’との角度をΩとする。
【0112】以上より、D’の位置を、次のようにして
求める。
【0113】
【外4】
【0114】は、Bを原点とし、(X座標はX軸と平
行)この時Dとなる点をDDとしこれをα+Ωだけ回動
させ、
【0115】
【外5】
【0116】加えた位置である。
【0117】従って、
【0118】
【外6】
【0119】は、以下に示すように求められる。
【0120】
【数10】
【0121】〔10〕J,Hを求める工程201-2 ロボット本体21のX座標と線分B’C’とのなす角度
は、α+Ωである。
【0122】図10に示すように、図18中の角度α
に、α+Ωを代入して、J及びHを求める。
【0123】J,Hは、次のようになる。
【0124】
【数11】
【0125】吸着用パッド35を、上記トレイ60-1
他のガラス基板載置部の中心の位置への位置決めするた
めのデータは、上記で求めたα,J,Hに、トレイ上の
ガラス基板載置部の配置の寸法を適宜加算、減算するこ
とによって求まる。
【0126】以上によって、ロボット本体移動量求め工
程201が完了する。
【0127】次に、ロボット作動工程202を行う。
【0128】上記の工程202で求めたデータが出力さ
れ、図2及び図3もモータ駆動回路41に加えられ、サ
ーボモータが動作してロボット本体22がX,Y,Z,
θ方向に動作する。
【0129】これによって、吸着用パッド35が、トレ
イ60-1の各ガラス基板載置部の中心に移動され、ガラ
ス基板が各ガラス基板載置部に載置される。
【0130】なお、本発明はLCDのCVD装置の場所
に限らず、他の場所にも同様に適用しうる。
【0131】即ち、ワークは、ガラス基板に限定されな
い。また、ワークが位置決めされる位置は、トレイ上に
限らない。
【0132】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1及び2の
本発明によれば、ロボット本体の設置位置を調整した
り、直角治具を使用して直角出しを行ったりする必要が
なく、従来に比べて、基準トレイに対する作業を、手間
がかからずに、簡単に、行うことが出来る。
【0133】また、基準位置を精度良く求めることが出
来る。これによって、ワークを搬送して、次々に移動し
てくる各トレイ上の所定位置に位置決めする動作を、従
来に比べて精度良く行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例になるワーク搬送位置求め方
法のフローチャートである。
【図2】本発明のワーク搬送位置求め方法を行うワーク
搬送位置決め装置を示す図である。
【図3】図2の装置の立面図である。
【図4】図1中、工程200-1,200-3を説明するた
めの図である。
【図5】図1中、工程200-4を説明するための図であ
る。
【図6】図1中、工程200-5を説明するための図であ
る。
【図7】図1中、工程200-6を説明する図である。
【図8】図1中、工程200-7を説明する図である。
【図9】図1中、工程200-1を説明する図である。
【図10】図1中、工程200-2を説明する図である。
【図11】CVD装置のガラス基板交換部及びその周辺
部を示す図である。
【図12】従来のワーク搬送位置決め方法を行う装置を
示す図である。
【図13】図12の装置の立面図である。
【図14】ガラス基板搬送位置決め動作のフローチャー
トである。
【図15】図14中、基準動作量設定工程を説明するた
めの図である。
【図16】次のトレイの基準トレイに対する位置ずれを
説明するための図である。
【図17】図16のトレイの座ぐり穴のTVモニタの画
面を示す図である。
【図18】図16のトレイに対するロボット本体の動作
量を求めることを説明するための図である。
【図19】角度αを求める工程101-2を説明する図で
ある。
【図20】距離Jを求める工程101-3を説明する図で
ある。
【符号の説明】
10 カセット 18 ガラス基板 20 ワーク位置決め装置 21 ロボット装置 22 X,Y,Z,θ直交座標系ロボット本体 23 ロボット本体駆動制御部 24,25 CCDカメラ 26,27 TVモニタ 31 基台 32 柱部 33 支持レール部 34 アーム部 35 ガラス基板吸着用パッド 36 X軸 37 Y軸 38 原点 39 床面 40 マイクロコンピュータ 41 モータ駆動回路 42 操作部 43 CPU 44 メモリ 50 ガラス基板交換部 60 基準トレイ 60-1 トレイ 61 表面 62-1〜62-4 座ぐられているガラス基板載置部 63 裏面 64 辺 65-1,65-2 座ぐり穴 200 基準位置求め工程 200-1 点B,Cの位置記憶工程 200-2 位置出し用ピン取付け工程 200-3 基準トレイを避がす工程 200-4 第1回目のロボット本体マニュアル操作動作
工程 200-5 第2回目のロボット本体マニュアル操作動作
工程 200-6 点Bの位置を算出する工程 200-7 基準トレイの辺のロボット本体のX座標に対
するずれ角度を求める工程 200-8 吸着パッド取り付け工程 201 ロボット本体動作量求め工程 201-1 D’の位置を求める工程 201-2 J,Hを求める工程 202 ロボット本体作動工程 210 位置出し用ピン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B25J 13/08 A // B23Q 39/04 G

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワークを次々に移動してきて停止したト
    レイ上の所定位置に搬送するロボット本体に対する、第
    1番目のトレイである基準トレイの位置である基準位置
    を求める基準位置求め工程と、 次からのトレイに対しては、各トレイの上記基準トレイ
    の基準位置に対するずれを求めて、上記ロボット本体
    が、ワークを各トレイの所定位置にまで搬送するのに必
    要な動作量を計算によって求めるロボット本体動作量求
    め工程と、 該ロボット本体動作量求め工程によって得た動作量だけ
    上記ロボット本体を作動させる工程とよりなり、 上記ロボット本体が、ワークを搬送して、次々に移動し
    てくる各トレイの所定位置に位置決めする方法であっ
    て、 上記基準位置求め工程を、上記ロボット本体のワークを
    保持する個所を、上記基準トレイの基準の位置に対応す
    る位置に移動させる動作を、上記ロボット本体の基部側
    の可動部分の位置を変えて複数回行ない、そのときの上
    記ワークを保持する個所の移動量に基づいて、計算によ
    って上記基準位置を求める構成としたことを特徴とする
    ワーク搬送位置決め方法。
  2. 【請求項2】 ワークを次々に移動してきて停止したト
    レイ上の所定位置に搬送するXYZθ直交座標系ロボッ
    ト本体に対する、第1番目のトレイである基準トレイの
    位置である基準位置を求める基準位置求め工程と、 次からのトレイに対しては、各トレイの上記基準トレイ
    の基準位置に対するずれを求めて、上記ロボット本体
    が、ワークを各トレイの所定位置にまで搬送するのに必
    要な動作量を計算によって求めるロボット本体動作量求
    め工程と、 該ロボット本体動作量求め工程によって得た動作量だけ
    上記ロボット本体を作動させる工程とよりなり、 上記ロボット本体が、ワークを搬送して、次々に移動し
    てくる各トレイの所定位置に位置決めする方法であっ
    て、 上記基準トレイ及びその他のトレイは、裏面の二個所に
    座ぐり穴を有する構成であり、 上記基準トレイ及びその他のトレイが停止したときに、
    上記座ぐり穴を撮影する二つのカメラを設け、 上記基準位置決め工程を、 上記カメラによって、上記基準トレイの上記座ぐり穴を
    撮影して、該二つの座ぐり穴の位置を記憶する工程と、 上記基準トレイを避かして、上記ロボット本体のワーク
    を保持する個所を、上記記憶工程によって記憶された座
    ぐり穴の二つの位置へ移動させる第1回目のマニュアル
    操作動作工程と、 上記ロボット本体の基部側の可動部分を動かして、該可
    動部分を別の位置に設定した状態で、上記ロボット本体
    のワークを保持する個所を、上記記憶工程によって記憶
    された座ぐり穴の二つの位置へ移動させる第2回目のマ
    ニュアル操作動作工程と、 上記第1回目及び第2回目のマニュアル操作動作工程に
    おける上記ワークを保持する個所の移動量に基づいて、
    計算によって上記基準位置を求める工程とよりなり、 上記ロボット本体動作工程は、上記二つのカメラが各ト
    レイの座ぐり穴を撮影した情報に基づいて、各トレイの
    上記基準トレイの基準位置に対するずれを求めて、上記
    ロボット本体が、ワークを各トレイの所定位置にまで搬
    送するのに必要な動作量を計算によって求めるよう構成
    したことを特徴とするワーク搬送位置決め方法。
JP19695594A 1994-08-22 1994-08-22 ワーク搬送位置決め方法 Withdrawn JPH0857737A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108581590A (zh) * 2018-05-02 2018-09-28 上海西码机床科技股份有限公司 用于机床自动上下料的桁架式机械手控制方法及系统
JP2019018330A (ja) * 2017-07-21 2019-02-07 Agc株式会社 ガラス基板の位置決め装置及び位置決め方法、並びにガラス基板の加工機
CN110370285A (zh) * 2019-08-09 2019-10-25 蓝思智能机器人(长沙)有限公司 一种机器人控制方法、装置及机器人和存储介质

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