JPH0859301A - 紫外線熱線遮断ガラス - Google Patents
紫外線熱線遮断ガラスInfo
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- JPH0859301A JPH0859301A JP20097094A JP20097094A JPH0859301A JP H0859301 A JPH0859301 A JP H0859301A JP 20097094 A JP20097094 A JP 20097094A JP 20097094 A JP20097094 A JP 20097094A JP H0859301 A JPH0859301 A JP H0859301A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高い可視光線透過率及び良好な紫外線熱線遮
断性能が要求される部位に好適に使用することができる
紫外線熱線遮断ガラスを提供すること。 【構成】 透明なガラス基板上に、基板側より第1層と
して亜鉛、セリウム、チタン及びカドミニウムから成る
群から選ばれた少なくとも1種を成分とする紫外線遮断
性能を有する酸化物、これらの複合酸化物又はこれらの
酸化物に微量の金属元素を添加した複合酸化物を含有す
る第1の透明誘電体膜を設け、前記第1層上に第2層と
して第2の透明誘電体膜を設け、該第2層上に第3層と
して周期律表のIIIa族、IVa族、Vb族、VIb
族及びVIIb族から成る群から選ばれた少なくとも1
種の金属元素を含有する複合酸化タングステン膜を設
け、前記第3層上に第4層として第3の透明誘電体膜を
設けてなることを特徴とする紫外線熱線遮断ガラス。
断性能が要求される部位に好適に使用することができる
紫外線熱線遮断ガラスを提供すること。 【構成】 透明なガラス基板上に、基板側より第1層と
して亜鉛、セリウム、チタン及びカドミニウムから成る
群から選ばれた少なくとも1種を成分とする紫外線遮断
性能を有する酸化物、これらの複合酸化物又はこれらの
酸化物に微量の金属元素を添加した複合酸化物を含有す
る第1の透明誘電体膜を設け、前記第1層上に第2層と
して第2の透明誘電体膜を設け、該第2層上に第3層と
して周期律表のIIIa族、IVa族、Vb族、VIb
族及びVIIb族から成る群から選ばれた少なくとも1
種の金属元素を含有する複合酸化タングステン膜を設
け、前記第3層上に第4層として第3の透明誘電体膜を
設けてなることを特徴とする紫外線熱線遮断ガラス。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、自動車用や建築用窓ガ
ラスとして好適な紫外線熱線遮断ガラスに関し、特に高
い可視光線透過率及び良好な紫外線熱線遮断性能が要求
される部位に好適に使用することができる紫外線熱線遮
断ガラスに関する。
ラスとして好適な紫外線熱線遮断ガラスに関し、特に高
い可視光線透過率及び良好な紫外線熱線遮断性能が要求
される部位に好適に使用することができる紫外線熱線遮
断ガラスに関する。
【0002】
【従来技術及び発明が解決しようとする課題】従来よ
り、省エネルギーの観点から窓ガラスを通じて自動車や
建築物の室内に照射される太陽光の特定の波長部分を遮
断し、室内の温度上昇を減少させると共に、冷房機器の
負荷をも低減させるため、熱線遮断性の高い窓ガラスが
要求されている。
り、省エネルギーの観点から窓ガラスを通じて自動車や
建築物の室内に照射される太陽光の特定の波長部分を遮
断し、室内の温度上昇を減少させると共に、冷房機器の
負荷をも低減させるため、熱線遮断性の高い窓ガラスが
要求されている。
【0003】熱線を遮断する方法としては、いわゆるド
ルーデミラーと呼ばれる透明基板上に酸化インジウムと
酸化錫の混合膜(ITO膜)やアルミニウムを添加した
酸化亜鉛膜に代表される透明導電性膜を成膜して熱線を
遮断する方法が知られている。このタイプのガラスは熱
線を遮断するものの遮断する波長が1.5μm以上であ
り、熱線遮断性能はあまり良くない。
ルーデミラーと呼ばれる透明基板上に酸化インジウムと
酸化錫の混合膜(ITO膜)やアルミニウムを添加した
酸化亜鉛膜に代表される透明導電性膜を成膜して熱線を
遮断する方法が知られている。このタイプのガラスは熱
線を遮断するものの遮断する波長が1.5μm以上であ
り、熱線遮断性能はあまり良くない。
【0004】また、各種金属膜を積層しドルーデミラー
効果に光干渉効果を組み合わせて特定波長の光を反射又
は透過させることが知られている。この熱線反射膜とし
ては、例えば銀膜を透明誘電体膜で挟んだ構成が提案さ
れ(特公昭47−6315号公報)、また窒化物膜を透
明誘電体膜で挟んだ構成が提案されている(特開昭63
−206333号公報)。
効果に光干渉効果を組み合わせて特定波長の光を反射又
は透過させることが知られている。この熱線反射膜とし
ては、例えば銀膜を透明誘電体膜で挟んだ構成が提案さ
れ(特公昭47−6315号公報)、また窒化物膜を透
明誘電体膜で挟んだ構成が提案されている(特開昭63
−206333号公報)。
【0005】しかしながら、上記公報に記載された熱線
遮断ガラスは熱線反射性のみを目的にしているため、後
述の紫外線遮断性能はない。また、特定の波長のみを透
過又は反射させる光学フィルターとして高屈折率層と低
屈折率層を特定膜厚だけ交互に多層積層させる方法が知
られており、主として酸化チタンと酸化シリコンで形成
されているが、この場合は特定波長のフィルターを目的
にしており、必ずしも本発明の目的とする遮断性能が得
られないと共に極めて多くの層が必要であった。
遮断ガラスは熱線反射性のみを目的にしているため、後
述の紫外線遮断性能はない。また、特定の波長のみを透
過又は反射させる光学フィルターとして高屈折率層と低
屈折率層を特定膜厚だけ交互に多層積層させる方法が知
られており、主として酸化チタンと酸化シリコンで形成
されているが、この場合は特定波長のフィルターを目的
にしており、必ずしも本発明の目的とする遮断性能が得
られないと共に極めて多くの層が必要であった。
【0006】その他の方法としてガラス板中に特定の金
属元素等を混入させ熱線を吸収させる方法が知られてい
る。このタイプのガラスは特定の金属元素をガラスに添
加することで熱線遮断性が得られるが、添加量を増加す
るとガラス板自体の機械的強度を弱め、また良好な熱線
遮断性を得るには使用する金属元素が限定されるため色
合いの点で問題がある。
属元素等を混入させ熱線を吸収させる方法が知られてい
る。このタイプのガラスは特定の金属元素をガラスに添
加することで熱線遮断性が得られるが、添加量を増加す
るとガラス板自体の機械的強度を弱め、また良好な熱線
遮断性を得るには使用する金属元素が限定されるため色
合いの点で問題がある。
【0007】一方、紫外線に関しては紫外線が人体に吸
収されると日焼けを生じたり、メラニン色素が沈着して
シミ、ソバカスとなり皮膚を老化させると言われてい
る。また、紫外線照射により車内の内装材の色あせ、劣
化も生じると言われている。この様な観点から紫外線遮
断性能のあるガラスが求められている。
収されると日焼けを生じたり、メラニン色素が沈着して
シミ、ソバカスとなり皮膚を老化させると言われてい
る。また、紫外線照射により車内の内装材の色あせ、劣
化も生じると言われている。この様な観点から紫外線遮
断性能のあるガラスが求められている。
【0008】以上のようなニーズに対して紫外線及び熱
線を同時に遮断する方法として、熱線遮断層と紫外線遮
断層とをそれぞれ別々にガラス表面上に層状に形成する
方法が知られており、特開昭61−132902号公報
には紫外線吸収能を有する酸化亜鉛膜を形成し、この膜
上に酸化亜鉛にアルミニウムを0.4〜10原子%含ま
せて熱線遮断性能を付与した紫外線熱線遮断ガラスが開
示されている。
線を同時に遮断する方法として、熱線遮断層と紫外線遮
断層とをそれぞれ別々にガラス表面上に層状に形成する
方法が知られており、特開昭61−132902号公報
には紫外線吸収能を有する酸化亜鉛膜を形成し、この膜
上に酸化亜鉛にアルミニウムを0.4〜10原子%含ま
せて熱線遮断性能を付与した紫外線熱線遮断ガラスが開
示されている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報に記載された熱線遮断機能は、上記の技術により形成
されるが、未だ満足すべき性能を発揮し得ないという欠
点があった。また、例えば銀膜を利用した場合には、銀
膜はシート抵抗値が数Ω−10Ω/□程度の値を有して
おり電波遮断性の高いものとなる。熱線遮断ガラスとし
てこのような導電性膜を使用すると電波も遮断し、電波
を透過する必要がある場所、例えば自動車の車室内やラ
ジオ、テレビを設置してある建物内等では携帯電話、ラ
ジオ、テレビ等が使用することができないという欠点が
あった。
報に記載された熱線遮断機能は、上記の技術により形成
されるが、未だ満足すべき性能を発揮し得ないという欠
点があった。また、例えば銀膜を利用した場合には、銀
膜はシート抵抗値が数Ω−10Ω/□程度の値を有して
おり電波遮断性の高いものとなる。熱線遮断ガラスとし
てこのような導電性膜を使用すると電波も遮断し、電波
を透過する必要がある場所、例えば自動車の車室内やラ
ジオ、テレビを設置してある建物内等では携帯電話、ラ
ジオ、テレビ等が使用することができないという欠点が
あった。
【0010】また、建築用ガラスとして用いた場合に
は、高層ビルなどで窓ガラスが周囲の電波強度に影響す
ると言われている。更に、従来の紫外線熱線遮断ガラス
にあっては紫外線及び熱線の遮断性能が必ずしも十分で
ないという欠点があった。従って本発明の目的は、簡素
な層構成で紫外線と熱線を同時に遮断する性能を向上し
た紫外線熱線遮断ガラスを提供することにある。
は、高層ビルなどで窓ガラスが周囲の電波強度に影響す
ると言われている。更に、従来の紫外線熱線遮断ガラス
にあっては紫外線及び熱線の遮断性能が必ずしも十分で
ないという欠点があった。従って本発明の目的は、簡素
な層構成で紫外線と熱線を同時に遮断する性能を向上し
た紫外線熱線遮断ガラスを提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の上記の目的は、
透明なガラス基板上に、基板側より第1層として亜鉛、
セリウム、チタン及びカドミニウムから成る群から選ば
れた少なくとも1種を成分とする紫外線遮断性能を有す
る酸化物、これらの複合酸化物又はこれらの酸化物に微
量の金属元素を添加した複合酸化物を含有する第1の透
明誘電体膜を設け、前記第1層上に第2層として第2の
透明誘電体膜を設け、該第2層上に第3層として周期律
表のIIIa族、IVa族、Vb族、VIb族及びVI
Ib族から成る群から選ばれた少なくとも1種の金属元
素を含有する複合酸化タングステン膜を設け、前記第3
層上に第4層として第3の透明誘電体膜を設けてなるこ
とを特徴とする紫外線熱線遮断ガラスにより達成され
た。
透明なガラス基板上に、基板側より第1層として亜鉛、
セリウム、チタン及びカドミニウムから成る群から選ば
れた少なくとも1種を成分とする紫外線遮断性能を有す
る酸化物、これらの複合酸化物又はこれらの酸化物に微
量の金属元素を添加した複合酸化物を含有する第1の透
明誘電体膜を設け、前記第1層上に第2層として第2の
透明誘電体膜を設け、該第2層上に第3層として周期律
表のIIIa族、IVa族、Vb族、VIb族及びVI
Ib族から成る群から選ばれた少なくとも1種の金属元
素を含有する複合酸化タングステン膜を設け、前記第3
層上に第4層として第3の透明誘電体膜を設けてなるこ
とを特徴とする紫外線熱線遮断ガラスにより達成され
た。
【0012】以下、本発明を更に詳細に説明する。図1
は本発明の熱線遮断ガラスの構成を示す。図1におい
て、1は透明なガラス基板を示す。この透明なガラス基
板は、ソーダライムガラスやアルミノシリケートガラス
などの各種ガラス板、グレー、ブルー、ブロンズ及びグ
リーン色などの着色ガラス板、ポリメチルメタアクリレ
ート(PMMA)やポリカーボネイト(PC)などの透
明樹脂基板から適宜選択することができる。
は本発明の熱線遮断ガラスの構成を示す。図1におい
て、1は透明なガラス基板を示す。この透明なガラス基
板は、ソーダライムガラスやアルミノシリケートガラス
などの各種ガラス板、グレー、ブルー、ブロンズ及びグ
リーン色などの着色ガラス板、ポリメチルメタアクリレ
ート(PMMA)やポリカーボネイト(PC)などの透
明樹脂基板から適宜選択することができる。
【0013】図1において、2は第1層として前記透明
なガラス基板1上に設けられた亜鉛、セリウム、チタ
ン、カドミニウムのいずれかを主成分とする紫外線遮断
性能を有する酸化物、これらの複合酸化物又はこれらの
酸化物に微量の金属元素を添加した複合酸化物を含有す
る第1の透明誘電体膜を示す。
なガラス基板1上に設けられた亜鉛、セリウム、チタ
ン、カドミニウムのいずれかを主成分とする紫外線遮断
性能を有する酸化物、これらの複合酸化物又はこれらの
酸化物に微量の金属元素を添加した複合酸化物を含有す
る第1の透明誘電体膜を示す。
【0014】3は第2層として第1の透明誘電体膜2上
に設けられた第2の透明誘電体膜を示す。4は第3層と
して前記第2の透明誘電体膜3上に設けられた周期律表
のIIIa族、IVa族、Vb族、VIb族及びVII
b族から成る群から選ばれた少なくとも1種の金属元素
を含有する複合酸化タングステン膜を示す。5は第4層
として前記複合酸化タングステン膜4上に設けられた第
3の透明誘電体膜を示す。
に設けられた第2の透明誘電体膜を示す。4は第3層と
して前記第2の透明誘電体膜3上に設けられた周期律表
のIIIa族、IVa族、Vb族、VIb族及びVII
b族から成る群から選ばれた少なくとも1種の金属元素
を含有する複合酸化タングステン膜を示す。5は第4層
として前記複合酸化タングステン膜4上に設けられた第
3の透明誘電体膜を示す。
【0015】第1の透明誘電体膜2は上記の誘電体から
任意に選択することができるが、特に酸化亜鉛、酸化亜
鉛と酸化セリウム、酸化カドミニウム、酸化シリコンな
どの透明誘電体よりなる複合誘電体膜、及び酸化チタン
と酸化セリウムよりなる複合誘電体膜が好ましい。これ
はこれらの膜が優れた紫外線遮断性能と可視光線域での
透明性を有するためである。
任意に選択することができるが、特に酸化亜鉛、酸化亜
鉛と酸化セリウム、酸化カドミニウム、酸化シリコンな
どの透明誘電体よりなる複合誘電体膜、及び酸化チタン
と酸化セリウムよりなる複合誘電体膜が好ましい。これ
はこれらの膜が優れた紫外線遮断性能と可視光線域での
透明性を有するためである。
【0016】微量金属としては鉄、クロム、シリコンが
好ましく用いられ、その添加量は1〜10原子%の範囲
である。この範囲を超える添加量になると紫外線遮断性
能が向上しない。特に酸化亜鉛に鉄、クロム、シリコン
を少なくとも1種1〜10原子%の範囲で添加したもの
が好ましい。これはこれらの膜が優れた紫外線遮断性能
と可視光線域での透明性を有するためである。
好ましく用いられ、その添加量は1〜10原子%の範囲
である。この範囲を超える添加量になると紫外線遮断性
能が向上しない。特に酸化亜鉛に鉄、クロム、シリコン
を少なくとも1種1〜10原子%の範囲で添加したもの
が好ましい。これはこれらの膜が優れた紫外線遮断性能
と可視光線域での透明性を有するためである。
【0017】第1の透明誘電体膜2の屈折率は少なくと
も1.5以上、特に1.5〜2.5の範囲の値であるこ
とが好ましい。屈折率が1.5未満になると、紫外線遮
断性能が劣り、逆に2.5を超えるとガラス側からの反
射色が強くなる。
も1.5以上、特に1.5〜2.5の範囲の値であるこ
とが好ましい。屈折率が1.5未満になると、紫外線遮
断性能が劣り、逆に2.5を超えるとガラス側からの反
射色が強くなる。
【0018】第2の透明誘電体膜3は上記のものから任
意のものを使用することができるが、特にシリコン、チ
タン、アルミニウム、錫、ジルコニウム、タンタル、ク
ロム、ステンレス及びニクロムの酸化物、それらの複合
酸化物又は窒化酸化物が用いられる。この透明誘電体膜
の屈折率は第1の透明誘電体膜の屈折率と同等かそれよ
り低いことが好ましく、特に1.4〜2.5の範囲にあ
ることが好ましい。この範囲を超えると充分な光干渉効
果が得られない。
意のものを使用することができるが、特にシリコン、チ
タン、アルミニウム、錫、ジルコニウム、タンタル、ク
ロム、ステンレス及びニクロムの酸化物、それらの複合
酸化物又は窒化酸化物が用いられる。この透明誘電体膜
の屈折率は第1の透明誘電体膜の屈折率と同等かそれよ
り低いことが好ましく、特に1.4〜2.5の範囲にあ
ることが好ましい。この範囲を超えると充分な光干渉効
果が得られない。
【0019】第2の透明誘電体層上に第3層4として形
成される膜は、周期律表のIIIa族、IVa族、Vb
族、VIb族及びVIIb族から成る群から選ばれた少
なくとも1種の金属元素を含有する複合酸化タングステ
ン膜である。本発明において熱線を遮断する機能は、こ
の第3層として用いられる複合酸化タングステン膜、及
び第1の透明誘電体膜2、第2の透明誘電体膜3、複合
酸化タングステン膜4、第3の透明誘電体膜5の積層構
成に起因する光干渉による。
成される膜は、周期律表のIIIa族、IVa族、Vb
族、VIb族及びVIIb族から成る群から選ばれた少
なくとも1種の金属元素を含有する複合酸化タングステ
ン膜である。本発明において熱線を遮断する機能は、こ
の第3層として用いられる複合酸化タングステン膜、及
び第1の透明誘電体膜2、第2の透明誘電体膜3、複合
酸化タングステン膜4、第3の透明誘電体膜5の積層構
成に起因する光干渉による。
【0020】一般に、酸化タングステン膜において最も
酸化された状態ではタングステンは6価の価数を有す
る。この状態では酸化タングステン膜は透明であり、熱
線を遮断する能力はない。最も酸化された状態より若干
還元された5価のタングステンが存在すると熱線を遮断
する能力は高く、特に近赤外線域に吸収を生じる。この
吸収をもつ酸化タングステンは酸素/タングステン比で
2.50〜2.98の範囲である。この範囲以外の比率
になると熱線吸収を期待することはできない。
酸化された状態ではタングステンは6価の価数を有す
る。この状態では酸化タングステン膜は透明であり、熱
線を遮断する能力はない。最も酸化された状態より若干
還元された5価のタングステンが存在すると熱線を遮断
する能力は高く、特に近赤外線域に吸収を生じる。この
吸収をもつ酸化タングステンは酸素/タングステン比で
2.50〜2.98の範囲である。この範囲以外の比率
になると熱線吸収を期待することはできない。
【0021】また、酸化タングステンはその製造方法に
もよるが、一般に耐久性が充分でないことが知られてい
る。更に、導電性は膜厚にもよるが、数KΩ/□〜数十
KΩ/□の範囲であり、上記電波透過性の問題点を考慮
すると充分な高抵抗値ではない。
もよるが、一般に耐久性が充分でないことが知られてい
る。更に、導電性は膜厚にもよるが、数KΩ/□〜数十
KΩ/□の範囲であり、上記電波透過性の問題点を考慮
すると充分な高抵抗値ではない。
【0022】本発明においては、ガラス基板上に周期律
表のIIIa族、IVa族、Vb族、VIb族及びVI
Ib族から成る群から選ばれた少なくとも1種の金属元
素を含有する複合酸化タングステン膜を用いる。この複
合酸化物膜は酸化タングステンが有する赤外線域の強い
光吸収を本質的に持つ。
表のIIIa族、IVa族、Vb族、VIb族及びVI
Ib族から成る群から選ばれた少なくとも1種の金属元
素を含有する複合酸化タングステン膜を用いる。この複
合酸化物膜は酸化タングステンが有する赤外線域の強い
光吸収を本質的に持つ。
【0023】周期律表のIIIa族、IVa族、Vb
族、VIb族及びVIIb族から成る群から選ばれた少
なくとも1種の金属元素は、複合酸化タングステン膜中
で安定な酸化物として酸化タングステンと共存する。こ
れらの元素を酸化タングステンに添加することにより膜
の耐久性をより向上させることができると共に、膜の抵
抗値を数百KΩ/□〜数百MΩ/□まで高抵抗化するこ
とができる。
族、VIb族及びVIIb族から成る群から選ばれた少
なくとも1種の金属元素は、複合酸化タングステン膜中
で安定な酸化物として酸化タングステンと共存する。こ
れらの元素を酸化タングステンに添加することにより膜
の耐久性をより向上させることができると共に、膜の抵
抗値を数百KΩ/□〜数百MΩ/□まで高抵抗化するこ
とができる。
【0024】本発明の複合酸化タングステン膜は、周期
律表のIIIa族、IVa族、Vb族、VIb族及びV
IIb族から成る群から選ばれた少なくとも1種をタン
グステン膜に含有させることにより得られる。IIIa
族としてはAl、IVa族としてはSi、Vb族として
はV、Nb、VIb族としてはCr、VIIb族として
はMnを好ましく用いることができる。これらの元素を
用いることにより、更に良好な熱線遮断性能及び耐久性
が得られ、複合酸化タングステン膜を高抵抗化すること
ができる。
律表のIIIa族、IVa族、Vb族、VIb族及びV
IIb族から成る群から選ばれた少なくとも1種をタン
グステン膜に含有させることにより得られる。IIIa
族としてはAl、IVa族としてはSi、Vb族として
はV、Nb、VIb族としてはCr、VIIb族として
はMnを好ましく用いることができる。これらの元素を
用いることにより、更に良好な熱線遮断性能及び耐久性
が得られ、複合酸化タングステン膜を高抵抗化すること
ができる。
【0025】複合酸化タングステン膜の屈折率は第1及
び第2の透明誘電体膜の屈折率よりも高いことが好まし
く、2.2〜2.8の範囲にあることが好ましい。複合
酸化タングステン膜の屈折率が2.2より低いと他の膜
との光干渉が充分に得られず、逆に2.8より高いと反
射色が強くて実用的でない。
び第2の透明誘電体膜の屈折率よりも高いことが好まし
く、2.2〜2.8の範囲にあることが好ましい。複合
酸化タングステン膜の屈折率が2.2より低いと他の膜
との光干渉が充分に得られず、逆に2.8より高いと反
射色が強くて実用的でない。
【0026】第3の透明誘電体膜5は任意のものから適
宜選択することができるが、特にシリコン、チタン、ア
ルミニウム、錫、ジルコニウム、タンタル、クロム、ス
テンレス及びニクロムの酸化物、それらの複合酸化物又
は窒化酸化物を用いることが好ましい。第3の透明誘電
体膜5の屈折率は複合酸化タングステン膜4の屈折率よ
りも低いことが好ましく、特に1.4〜2.5の範囲に
あることが好ましい。第3の透明誘電体膜5は、第2の
透明誘電体膜3と同じでも異なっていても良く、またそ
の膜厚や屈折率も同じでも異なっていても良い。
宜選択することができるが、特にシリコン、チタン、ア
ルミニウム、錫、ジルコニウム、タンタル、クロム、ス
テンレス及びニクロムの酸化物、それらの複合酸化物又
は窒化酸化物を用いることが好ましい。第3の透明誘電
体膜5の屈折率は複合酸化タングステン膜4の屈折率よ
りも低いことが好ましく、特に1.4〜2.5の範囲に
あることが好ましい。第3の透明誘電体膜5は、第2の
透明誘電体膜3と同じでも異なっていても良く、またそ
の膜厚や屈折率も同じでも異なっていても良い。
【0027】これらの紫外線熱線遮断膜はスパッタ法、
蒸着法、イオンプレーティング法、化学気相法(CVD
法)などの真空成膜法及びゾルゲル法等の湿式成膜法に
よって成膜することができる。また、任意の層の作製法
としてこれらの方法を組み合わせて行うこともできる。
蒸着法、イオンプレーティング法、化学気相法(CVD
法)などの真空成膜法及びゾルゲル法等の湿式成膜法に
よって成膜することができる。また、任意の層の作製法
としてこれらの方法を組み合わせて行うこともできる。
【0028】このうち大面積化及び生産性等の観点か
ら、スパッタ法及びゾルゲル法が好ましく用いられる。
例えば、複合酸化タングステン膜3は以下のスパッター
法で成膜することができる。スパッタターゲットとして
タングステンと周期律表のIIIa族、IVa族、Vb
族、VIb族及びVIIb族から成る群から選ばれた少
なくとも1種の元素を所定の濃度含む合金ターゲットを
使用し、スパッタガスとして所定のガス比に調整された
アルゴン(Ar)と酸素(O2 )の混合ガスを用い、い
わゆる反応性スパッタ法にて、ガラス基板上に複合酸化
物膜を形成することができる。
ら、スパッタ法及びゾルゲル法が好ましく用いられる。
例えば、複合酸化タングステン膜3は以下のスパッター
法で成膜することができる。スパッタターゲットとして
タングステンと周期律表のIIIa族、IVa族、Vb
族、VIb族及びVIIb族から成る群から選ばれた少
なくとも1種の元素を所定の濃度含む合金ターゲットを
使用し、スパッタガスとして所定のガス比に調整された
アルゴン(Ar)と酸素(O2 )の混合ガスを用い、い
わゆる反応性スパッタ法にて、ガラス基板上に複合酸化
物膜を形成することができる。
【0029】また、例えば第1の透明誘電体膜2の紫外
線を遮断する酸化亜鉛膜は以下のゾルゲル法で成膜する
ことができる。亜鉛の金属石鹸を含む塗布液を作製し、
この塗布液に片面をマスキングした透明ガラス基板を浸
漬し、一定速度で引き上げ、片面に塗布膜を得る。この
塗布膜を電気炉にて焼成することによって透明酸化亜鉛
膜を成膜することができる。
線を遮断する酸化亜鉛膜は以下のゾルゲル法で成膜する
ことができる。亜鉛の金属石鹸を含む塗布液を作製し、
この塗布液に片面をマスキングした透明ガラス基板を浸
漬し、一定速度で引き上げ、片面に塗布膜を得る。この
塗布膜を電気炉にて焼成することによって透明酸化亜鉛
膜を成膜することができる。
【0030】各層の膜厚としては第1層の第1の透明誘
電体膜2は紫外線遮断性能を発現させるために50nm
以上、特に100〜9,000nmの範囲とすること
で、良好な紫外線遮断性能を得ることができる。第2層
の第2の透明誘電体膜3は光干渉効果が現れる厚さでよ
いが、特に2〜300nmの範囲であることが好まし
い。第2の透明誘電体膜3の厚さが2nm未満になると
島状となり、逆に300nmを超えると経済性に劣る。
また、この両者に加え、全体の膜構成中において安定か
つ確実な性能を得るためには5〜200nmの範囲にあ
ることが好ましい。
電体膜2は紫外線遮断性能を発現させるために50nm
以上、特に100〜9,000nmの範囲とすること
で、良好な紫外線遮断性能を得ることができる。第2層
の第2の透明誘電体膜3は光干渉効果が現れる厚さでよ
いが、特に2〜300nmの範囲であることが好まし
い。第2の透明誘電体膜3の厚さが2nm未満になると
島状となり、逆に300nmを超えると経済性に劣る。
また、この両者に加え、全体の膜構成中において安定か
つ確実な性能を得るためには5〜200nmの範囲にあ
ることが好ましい。
【0031】第3層の複合酸化タングステン膜4の膜厚
は熱線遮断機能を発現することのできる厚さであればよ
いが、特に2〜300nmの範囲であることが好まし
い。複合酸化タングステン膜4の膜厚が2nm未満にな
ると島状となり、逆に300nmを超えると経済性に劣
る。また、この両者に加え、全体の膜構成中において安
定かつ確実な性能を得るためには5〜200nmの範囲
にあることが好ましい。
は熱線遮断機能を発現することのできる厚さであればよ
いが、特に2〜300nmの範囲であることが好まし
い。複合酸化タングステン膜4の膜厚が2nm未満にな
ると島状となり、逆に300nmを超えると経済性に劣
る。また、この両者に加え、全体の膜構成中において安
定かつ確実な性能を得るためには5〜200nmの範囲
にあることが好ましい。
【0032】第4層の第3の透明誘電体膜5の膜厚は光
干渉効果が現れる厚さ及び保護機能の発現する厚さであ
ればよいが、特に2〜300nmの範囲であることが好
ましい。第3の透明誘電体膜5の膜厚が2nm未満にな
ると島状となり、逆に300nmを超えると経済性に劣
る。また、この両者に加え、全体の膜構成中において安
全かつ確実な性能を得るためには5〜200nmの範囲
にあることが好ましい。
干渉効果が現れる厚さ及び保護機能の発現する厚さであ
ればよいが、特に2〜300nmの範囲であることが好
ましい。第3の透明誘電体膜5の膜厚が2nm未満にな
ると島状となり、逆に300nmを超えると経済性に劣
る。また、この両者に加え、全体の膜構成中において安
全かつ確実な性能を得るためには5〜200nmの範囲
にあることが好ましい。
【0033】本発明は、紫外線及び熱線を効率良く遮断
することができると共に、可視光線を充分に透過させる
ことができるため、充分な透明性を発現することがで
き、自動車用や建築用の紫外線熱線遮断ガラスを提供す
ることができる。また、本発明の紫外線熱線遮断ガラス
は誘電体の多層積層によるものであり、その表面抵抗は
少なくとも10KΩ/□以上であり、ほとんどの場合で
は1MΩ/□であり、外来の電波を充分に透過させるこ
とができる。更に、本発明の紫外線熱線遮断ガラスは単
板で使用することができるが、合わせガラス又は複層ガ
ラスとして使用しても良い。
することができると共に、可視光線を充分に透過させる
ことができるため、充分な透明性を発現することがで
き、自動車用や建築用の紫外線熱線遮断ガラスを提供す
ることができる。また、本発明の紫外線熱線遮断ガラス
は誘電体の多層積層によるものであり、その表面抵抗は
少なくとも10KΩ/□以上であり、ほとんどの場合で
は1MΩ/□であり、外来の電波を充分に透過させるこ
とができる。更に、本発明の紫外線熱線遮断ガラスは単
板で使用することができるが、合わせガラス又は複層ガ
ラスとして使用しても良い。
【0034】
【作用】本発明は、透明なガラス基板上に、基板側より
第1層として亜鉛、セリウム、チタン及びカドミニウム
から成る群から選ばれた少なくとも1種を成分とする紫
外線遮断性能を有する酸化物、これらの複合酸化物又は
これらの酸化物に微量の金属元素を添加した複合酸化物
を含有する第1の透明誘電体膜を設け、前記第1層上に
第2層として第2の透明誘電体膜を設け、該第2層上に
第3層として周期律表のIIIa族、IVa族、Vb
族、VIb族及びVIIb族から成る群から選ばれた少
なくとも1種の金属元素を含有する複合酸化タングステ
ン膜を設け、前記第3層上に第4層として第3の透明誘
電体膜を設けてなることを特徴とする紫外線熱線遮断ガ
ラスにより、紫外線及び熱線を効率良く遮断し、更に良
好な可視光線透過率を有すると共に、充分な電波透過性
能を有する自動車用や建築用窓ガラスを提供することが
できる。
第1層として亜鉛、セリウム、チタン及びカドミニウム
から成る群から選ばれた少なくとも1種を成分とする紫
外線遮断性能を有する酸化物、これらの複合酸化物又は
これらの酸化物に微量の金属元素を添加した複合酸化物
を含有する第1の透明誘電体膜を設け、前記第1層上に
第2層として第2の透明誘電体膜を設け、該第2層上に
第3層として周期律表のIIIa族、IVa族、Vb
族、VIb族及びVIIb族から成る群から選ばれた少
なくとも1種の金属元素を含有する複合酸化タングステ
ン膜を設け、前記第3層上に第4層として第3の透明誘
電体膜を設けてなることを特徴とする紫外線熱線遮断ガ
ラスにより、紫外線及び熱線を効率良く遮断し、更に良
好な可視光線透過率を有すると共に、充分な電波透過性
能を有する自動車用や建築用窓ガラスを提供することが
できる。
【0035】
【実施例】以下、本発明を実施例によって更に詳述する
が、本発明はこれによって限定されるものではない。
が、本発明はこれによって限定されるものではない。
【0036】実施例1 透明なガラス基板をイソプロピルアルコールにて脱脂洗
浄し、純水リンスした後、窒素ブローで乾燥した。この
透明ガラス基板をスパッタ装置内に搬送し、5×10-6
Torrまで排気した。真空槽内には紫外線遮断膜2として
用いる酸化亜鉛膜用の亜鉛ターゲット、透明誘電体膜3
及び5として用いる酸化シリコン用の酸化シリコンター
ゲット、熱線遮断膜4として用いるシリコンを含有した
酸化タングステン膜用のシリコンとタングステンの合金
ターゲット(Si:W=0.1:1原子比)を設置し
た。
浄し、純水リンスした後、窒素ブローで乾燥した。この
透明ガラス基板をスパッタ装置内に搬送し、5×10-6
Torrまで排気した。真空槽内には紫外線遮断膜2として
用いる酸化亜鉛膜用の亜鉛ターゲット、透明誘電体膜3
及び5として用いる酸化シリコン用の酸化シリコンター
ゲット、熱線遮断膜4として用いるシリコンを含有した
酸化タングステン膜用のシリコンとタングステンの合金
ターゲット(Si:W=0.1:1原子比)を設置し
た。
【0037】まず、スパッタガスとしてアルゴン及び酸
素の混合ガスをAr:O2 =1:1になるように調整
し、真空槽内のガス圧が3×10-3 Torr となるように
排気速度やガス流量を調整し、スパッタパワー300W
で、反応性スパッタにて紫外線遮断膜2として酸化亜鉛
膜を150nmに成膜した。この膜の屈折率は2.0で
あった。
素の混合ガスをAr:O2 =1:1になるように調整
し、真空槽内のガス圧が3×10-3 Torr となるように
排気速度やガス流量を調整し、スパッタパワー300W
で、反応性スパッタにて紫外線遮断膜2として酸化亜鉛
膜を150nmに成膜した。この膜の屈折率は2.0で
あった。
【0038】次に、スパッタガスとしてアルゴン及び酸
素の混合ガスをAr:O2 =1:1に調整し、真空槽内
のガス圧が4×10-3Torrとなるように排気速度や
ガス流量を調整し、スパッタパワー500Wで、反応性
スパッタにて透明誘電体膜3として酸化シリコン膜を5
0nmに成膜した。この膜の屈折率は1.46であっ
た。
素の混合ガスをAr:O2 =1:1に調整し、真空槽内
のガス圧が4×10-3Torrとなるように排気速度や
ガス流量を調整し、スパッタパワー500Wで、反応性
スパッタにて透明誘電体膜3として酸化シリコン膜を5
0nmに成膜した。この膜の屈折率は1.46であっ
た。
【0039】更に、スパッタガスとしてアルゴン及び酸
素の混合ガスをAr:O2 =30:4に調整し、真空槽
内のガス圧が5×10-3 Torr となるように排気速度や
ガス流量を調整し、スパッタパワー500Wで、反応性
スパッタにてシリコンを含有した複合酸化タングステン
膜4を90nmに成膜した。このときのO/W比は2.
96であり、膜抵抗は50MΩ/□であった。次に、透
明誘電体膜5として酸化シリコン膜を上記したように5
0nmに成膜した。この膜の屈折率は1.46であっ
た。
素の混合ガスをAr:O2 =30:4に調整し、真空槽
内のガス圧が5×10-3 Torr となるように排気速度や
ガス流量を調整し、スパッタパワー500Wで、反応性
スパッタにてシリコンを含有した複合酸化タングステン
膜4を90nmに成膜した。このときのO/W比は2.
96であり、膜抵抗は50MΩ/□であった。次に、透
明誘電体膜5として酸化シリコン膜を上記したように5
0nmに成膜した。この膜の屈折率は1.46であっ
た。
【0040】このようにして成膜された紫外線熱線遮断
ガラスの光学的特性は、可視光線透過率74%で自動車
用窓ガラスとして要求されるに充分な視認性を有し、日
射透過率58%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。
また、紫外線透過率も20%であり、有害な紫外線を充
分に遮断していた。
ガラスの光学的特性は、可視光線透過率74%で自動車
用窓ガラスとして要求されるに充分な視認性を有し、日
射透過率58%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。
また、紫外線透過率も20%であり、有害な紫外線を充
分に遮断していた。
【0041】このガラスを建物用窓ガラスとして使用し
たところ、携帯電話が支障無く使用することができ、ラ
ジオではFMやAM電波を良好に受信することができ
た。また、自動車用窓ガラスとして使用しても同様に携
帯電話が支障無く使用することができ、ラジオではFM
やAM電波を良好に受信することができた。
たところ、携帯電話が支障無く使用することができ、ラ
ジオではFMやAM電波を良好に受信することができ
た。また、自動車用窓ガラスとして使用しても同様に携
帯電話が支障無く使用することができ、ラジオではFM
やAM電波を良好に受信することができた。
【0042】実施例2 実施例1と同等の膜材料や成膜条件で、酸化亜鉛膜2の
膜厚を300nmとし、透明誘電体膜3及び5の酸化シ
リコン膜の膜厚を100nm、複合酸化タングステン膜
4の膜厚を50nmとした。
膜厚を300nmとし、透明誘電体膜3及び5の酸化シ
リコン膜の膜厚を100nm、複合酸化タングステン膜
4の膜厚を50nmとした。
【0043】このように成膜された紫外線熱線遮断ガラ
スの光学的特性は可視光線透過率72%で自動車用窓ガ
ラスとして要求されるに充分な視認性をもち、日射透過
率56%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。また、
紫外線透過率も15%であり有害な紫外線を充分に遮断
していた。
スの光学的特性は可視光線透過率72%で自動車用窓ガ
ラスとして要求されるに充分な視認性をもち、日射透過
率56%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。また、
紫外線透過率も15%であり有害な紫外線を充分に遮断
していた。
【0044】このガラスを建物用窓ガラスとして使用し
たところ、携帯電話が支障無く使用することができ、ラ
ジオではFMやAM電波を良好に受信することができ
た。更に、自動車用窓ガラスとして使用しても同様に携
帯電話が支障なく使用することができ、ラジオではFM
やAM電波を良好に受信することができた。
たところ、携帯電話が支障無く使用することができ、ラ
ジオではFMやAM電波を良好に受信することができ
た。更に、自動車用窓ガラスとして使用しても同様に携
帯電話が支障なく使用することができ、ラジオではFM
やAM電波を良好に受信することができた。
【0045】実施例3 実施例1及び2と膜材料の異なるものについて説明す
る。透明なガラス基板をイソプロピルアルコールにて脱
脂洗浄し、純水リンスした後、窒素ブローで乾燥した。
この透明ガラス基板をスパッタ装置内に搬送し、5×1
0-3Torrまで排気した。真空槽内には紫外線遮断膜
2として用いるクロムドープ酸化亜鉛膜用のクロムをド
ープした酸化亜鉛ターゲット、第2の透明誘電体膜3及
び第3の透明誘電体膜5として用いる酸化アルミニウム
膜用のアルミニウムターゲット、複合酸化タングステン
膜4として用いるアルミニウム含有酸化タングステン膜
用のアルミニウムとタングステンの合金ターゲット(A
l:W=0.1:1原子比)を設置した。
る。透明なガラス基板をイソプロピルアルコールにて脱
脂洗浄し、純水リンスした後、窒素ブローで乾燥した。
この透明ガラス基板をスパッタ装置内に搬送し、5×1
0-3Torrまで排気した。真空槽内には紫外線遮断膜
2として用いるクロムドープ酸化亜鉛膜用のクロムをド
ープした酸化亜鉛ターゲット、第2の透明誘電体膜3及
び第3の透明誘電体膜5として用いる酸化アルミニウム
膜用のアルミニウムターゲット、複合酸化タングステン
膜4として用いるアルミニウム含有酸化タングステン膜
用のアルミニウムとタングステンの合金ターゲット(A
l:W=0.1:1原子比)を設置した。
【0046】まず、スパッタガスとしてアルゴンガスを
真空槽内のガス圧が2×10-3Torrとなるように排
気速度やガス流量を調整し、スパッタパワー400W
で、紫外線遮断膜2としてクロムドープ酸化亜鉛膜を1
50nmに成膜した。この膜の屈折率は1.8であっ
た。
真空槽内のガス圧が2×10-3Torrとなるように排
気速度やガス流量を調整し、スパッタパワー400W
で、紫外線遮断膜2としてクロムドープ酸化亜鉛膜を1
50nmに成膜した。この膜の屈折率は1.8であっ
た。
【0047】次いで、スパッタガスとしてアルゴン及び
酸素の混合ガスをAr:O2 =30:5に調整し、真空
槽内のガス圧が5×10-3Torrとなるように排気速
度やガス流量を調整し、スパッタパワー400Wで、第
2の透明誘電体膜3として酸化アルミニウム膜を20n
mに成膜した。この膜の屈折率は1.6であった。
酸素の混合ガスをAr:O2 =30:5に調整し、真空
槽内のガス圧が5×10-3Torrとなるように排気速
度やガス流量を調整し、スパッタパワー400Wで、第
2の透明誘電体膜3として酸化アルミニウム膜を20n
mに成膜した。この膜の屈折率は1.6であった。
【0048】次に、スパッタガスとしてアルゴン及び酸
素の混合ガスをAr:O2 =30:4に調整し、真空槽
内のガス圧が5×10-3Torrとなるように排気速度
やガス流量を調整し、スパッタパワー500Wで、反応
性スパッタにて複合酸化タングステン膜4としてアルミ
ニウム含有酸化タングステン膜を80nmに成膜した。
このときのO/W比は2.98であり、膜抵抗は150
MΩ/□であった。また、屈折率は2.4であった。更
に、第3の透明誘電体膜5として第2の透明誘電体膜3
と同様にして酸化アルミニウム膜を10nmに成膜し
た。
素の混合ガスをAr:O2 =30:4に調整し、真空槽
内のガス圧が5×10-3Torrとなるように排気速度
やガス流量を調整し、スパッタパワー500Wで、反応
性スパッタにて複合酸化タングステン膜4としてアルミ
ニウム含有酸化タングステン膜を80nmに成膜した。
このときのO/W比は2.98であり、膜抵抗は150
MΩ/□であった。また、屈折率は2.4であった。更
に、第3の透明誘電体膜5として第2の透明誘電体膜3
と同様にして酸化アルミニウム膜を10nmに成膜し
た。
【0049】このようにして成膜された紫外線熱線遮断
ガラスの光学的特性は、可視光線透過率74%で自動車
用窓ガラスとして要求されるに充分な視認性を有し、日
射透過率57%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。
また、紫外線透過率も17%であり有害な紫外線を充分
に遮断していた。
ガラスの光学的特性は、可視光線透過率74%で自動車
用窓ガラスとして要求されるに充分な視認性を有し、日
射透過率57%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。
また、紫外線透過率も17%であり有害な紫外線を充分
に遮断していた。
【0050】このガラスを建物用窓ガラスとして使用し
たところ、携帯電話が支障無く使用することができ、ラ
ジオではFMやAM電波を良好に受信することができ
た。また、自動車用窓ガラスとして使用しても同様に携
帯電話が支障無く使用することができ、ラジオではFM
やAM電波を良好に受信することができた。
たところ、携帯電話が支障無く使用することができ、ラ
ジオではFMやAM電波を良好に受信することができ
た。また、自動車用窓ガラスとして使用しても同様に携
帯電話が支障無く使用することができ、ラジオではFM
やAM電波を良好に受信することができた。
【0051】実施例4 第2の透明誘電体膜3として酸化シリコン膜の代わりに
酸化錫膜を15nmとし、複合酸化タングステン膜4と
してシリコン含有酸化タングステン膜の代わりにマンガ
ンを含有する酸化タングステン膜を50nm用いた他
は、実施例1と全く同様にして紫外線熱線遮断ガラスを
成膜した。この時、酸化シリコンターゲットに代えて酸
化錫ターゲットを用い、シリコンとタングステンの合金
ターゲットに代えてマンガンとタングステンの合金ター
ゲット(Mn:W比は0.1:1)を用いた。マンガン
含有酸化タングステン膜のO/Wは2.72、屈折率は
2.5、膜抵抗は60MΩ/□であった。また、酸化錫
膜の屈折率は1.9であった。
酸化錫膜を15nmとし、複合酸化タングステン膜4と
してシリコン含有酸化タングステン膜の代わりにマンガ
ンを含有する酸化タングステン膜を50nm用いた他
は、実施例1と全く同様にして紫外線熱線遮断ガラスを
成膜した。この時、酸化シリコンターゲットに代えて酸
化錫ターゲットを用い、シリコンとタングステンの合金
ターゲットに代えてマンガンとタングステンの合金ター
ゲット(Mn:W比は0.1:1)を用いた。マンガン
含有酸化タングステン膜のO/Wは2.72、屈折率は
2.5、膜抵抗は60MΩ/□であった。また、酸化錫
膜の屈折率は1.9であった。
【0052】このようにして成膜された紫外線熱線遮断
ガラスの光学的特性は、可視光線透過率72%で自動車
用窓ガラスとして要求されるに充分な視認性をもち、日
射透過率54%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。
また、紫外線透過率も20%であり有害な紫外線を充分
に遮断していた。更に、このガラスを建物用窓ガラスと
して使用したところ、携帯電話が支障無く使用すること
ができ、ラジオではFMやAM電波を良好に受信するこ
とができた。また、自動車用窓ガラスとして使用しても
同様に携帯電話が支障なく使用することができ、ラジオ
ではFMやAM電波を良好に受信することができた。
ガラスの光学的特性は、可視光線透過率72%で自動車
用窓ガラスとして要求されるに充分な視認性をもち、日
射透過率54%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。
また、紫外線透過率も20%であり有害な紫外線を充分
に遮断していた。更に、このガラスを建物用窓ガラスと
して使用したところ、携帯電話が支障無く使用すること
ができ、ラジオではFMやAM電波を良好に受信するこ
とができた。また、自動車用窓ガラスとして使用しても
同様に携帯電話が支障なく使用することができ、ラジオ
ではFMやAM電波を良好に受信することができた。
【0053】実施例5 第1の透明誘電体膜2及び複合酸化タングステン膜3の
成膜をゾルゲル法にて行った例について説明する。第1
の透明誘電体膜2として酸化亜鉛膜を以下のようにゾル
ゲル法にて成膜した。2−エチルヘキサン酸亜鉛(18
%)100g、脱水ひまし油脂肪酸(リノール酸含有率
86%)80g、レベリング剤としてTSF400(東
芝シリコーン株式会社製の商品番号)5g、希釈溶媒と
して混合キシレン320gを攪拌混合して、酸化亜鉛膜
用塗布液を得た。
成膜をゾルゲル法にて行った例について説明する。第1
の透明誘電体膜2として酸化亜鉛膜を以下のようにゾル
ゲル法にて成膜した。2−エチルヘキサン酸亜鉛(18
%)100g、脱水ひまし油脂肪酸(リノール酸含有率
86%)80g、レベリング剤としてTSF400(東
芝シリコーン株式会社製の商品番号)5g、希釈溶媒と
して混合キシレン320gを攪拌混合して、酸化亜鉛膜
用塗布液を得た。
【0054】この塗布液に片面をマスキングした透明ガ
ラス基板を浸漬し20cm/分の速度で引き上げ片面に
塗布膜を得た。この塗布膜を150℃で15分間遠赤外
線炉で乾燥、硬化し更に500℃で15分間電気炉にて
焼成し750nmの透明酸化亜鉛膜を成膜した。この膜
の屈折率は1.8であった。
ラス基板を浸漬し20cm/分の速度で引き上げ片面に
塗布膜を得た。この塗布膜を150℃で15分間遠赤外
線炉で乾燥、硬化し更に500℃で15分間電気炉にて
焼成し750nmの透明酸化亜鉛膜を成膜した。この膜
の屈折率は1.8であった。
【0055】次に、複合酸化タングステン膜3として酸
化シリコン膜を以下のようにゾルゲル法にて成膜した。
メチルトリメトキシシラン400gとテトラメトキシシ
ラン150gとを混合し、n−ブタノール1600gに
加えて混合した。更に、5%酢酸水溶液284gを滴下
した後、約3時間攪拌し、室温で1日放置することによ
り酸化シリコン用塗布液を得た。
化シリコン膜を以下のようにゾルゲル法にて成膜した。
メチルトリメトキシシラン400gとテトラメトキシシ
ラン150gとを混合し、n−ブタノール1600gに
加えて混合した。更に、5%酢酸水溶液284gを滴下
した後、約3時間攪拌し、室温で1日放置することによ
り酸化シリコン用塗布液を得た。
【0056】この塗布液に上記の酸化亜鉛膜が成膜され
た透明ガラス基板を浸漬し、20cm/分の速度で引き
上げ片面に塗布膜を得た。この塗布膜を120℃で15
分間乾燥し、500℃で30分間電気炉にて焼成した
後、更に650℃で2分間電気炉にて焼成し、透明酸化
亜鉛膜上に酸化シリコン膜50nmを成膜した。この膜
の屈折率は1.46であった。
た透明ガラス基板を浸漬し、20cm/分の速度で引き
上げ片面に塗布膜を得た。この塗布膜を120℃で15
分間乾燥し、500℃で30分間電気炉にて焼成した
後、更に650℃で2分間電気炉にて焼成し、透明酸化
亜鉛膜上に酸化シリコン膜50nmを成膜した。この膜
の屈折率は1.46であった。
【0057】このようにゾルゲル法により酸化亜鉛膜、
酸化シリコン膜を成膜した透明ガラス基板をスパッタ装
置内に搬送し、5×10-6Torrまで排気した。真空
槽内には、複合酸化タングステン膜4の熱線遮断膜とし
て用いるシリコンを含有した酸化タングステン膜用のシ
リコンとタングステンの合金ターゲット(Si:W=
0.1:1原子比)、第3の透明誘電体膜5として用い
る酸化シリコン用の酸化シリコンターゲットを設置し
た。
酸化シリコン膜を成膜した透明ガラス基板をスパッタ装
置内に搬送し、5×10-6Torrまで排気した。真空
槽内には、複合酸化タングステン膜4の熱線遮断膜とし
て用いるシリコンを含有した酸化タングステン膜用のシ
リコンとタングステンの合金ターゲット(Si:W=
0.1:1原子比)、第3の透明誘電体膜5として用い
る酸化シリコン用の酸化シリコンターゲットを設置し
た。
【0058】上記透明ガラス基板上にシリコン含有酸化
タングステン膜を反応性スパッター法により成膜した。
スパッタガスとしてアルゴン及び酸素の混合ガスをA
r:O 2 =30:4に調整し、真空槽内のガス圧が5×
10-3Torrとなるように排気速度やガス流量を調整
し、スパッタパワー500Wで、シリコン含有酸化タン
グステン膜を80nmに成膜した。この膜のO/W比は
2.98であり、膜抵抗は60MΩ/□であった。ま
た、膜の屈折率は2.3であった。
タングステン膜を反応性スパッター法により成膜した。
スパッタガスとしてアルゴン及び酸素の混合ガスをA
r:O 2 =30:4に調整し、真空槽内のガス圧が5×
10-3Torrとなるように排気速度やガス流量を調整
し、スパッタパワー500Wで、シリコン含有酸化タン
グステン膜を80nmに成膜した。この膜のO/W比は
2.98であり、膜抵抗は60MΩ/□であった。ま
た、膜の屈折率は2.3であった。
【0059】次いで、第3の透明誘電体膜5として酸化
シリコンを反応性スパッター法により以下のように成膜
した。スパッタガスとしてアルゴン及び酸素の混合ガス
をAr:O2 =30:5になるように調整し、真空槽内
のガス圧が5×10-3Torrとなるように排気速度や
ガス流量を調整し、スパッタパワー400Wで、第3の
透明誘電体膜5として酸化シリコン膜を50nmに成膜
した。この膜の屈折率は1.46であった。
シリコンを反応性スパッター法により以下のように成膜
した。スパッタガスとしてアルゴン及び酸素の混合ガス
をAr:O2 =30:5になるように調整し、真空槽内
のガス圧が5×10-3Torrとなるように排気速度や
ガス流量を調整し、スパッタパワー400Wで、第3の
透明誘電体膜5として酸化シリコン膜を50nmに成膜
した。この膜の屈折率は1.46であった。
【0060】このようにして成膜された紫外線熱線遮断
ガラスの光学的特性は、可視光線透過率70%で自動車
用窓ガラスとして要求されるに充分な視認性をもち、日
射透過率52%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。
また、紫外線透過率も20%であり有害な紫外線を充分
に遮断していた。
ガラスの光学的特性は、可視光線透過率70%で自動車
用窓ガラスとして要求されるに充分な視認性をもち、日
射透過率52%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。
また、紫外線透過率も20%であり有害な紫外線を充分
に遮断していた。
【0061】このガラスを建物用窓ガラスとして使用し
たところ、携帯電話が支障無く使用することができ、ラ
ジオではFMやAM電波を良好に受信することができ
た。また、自動車用窓ガラスとして使用しても同様に携
帯電話が支障無く使用することができ、ラジオではFM
やAM電波を良好に受信することができた。
たところ、携帯電話が支障無く使用することができ、ラ
ジオではFMやAM電波を良好に受信することができ
た。また、自動車用窓ガラスとして使用しても同様に携
帯電話が支障無く使用することができ、ラジオではFM
やAM電波を良好に受信することができた。
【0062】実施例6 実施例5と同様に第1の透明誘電体2及び第2の透明誘
電体3の成膜をゾルゲル法にて行った別の例について説
明する。第1の透明誘電体膜2及び第2の透明誘電体膜
3として実施例5と全く同様な方法により酸化亜鉛膜及
び酸化シリコン膜を形成したが、膜厚をそれぞれ650
nm及び150nmとした他は、実施例5と全く同様に
して紫外線熱線遮断ガラスを成膜した。
電体3の成膜をゾルゲル法にて行った別の例について説
明する。第1の透明誘電体膜2及び第2の透明誘電体膜
3として実施例5と全く同様な方法により酸化亜鉛膜及
び酸化シリコン膜を形成したが、膜厚をそれぞれ650
nm及び150nmとした他は、実施例5と全く同様に
して紫外線熱線遮断ガラスを成膜した。
【0063】このようにゾルゲル法により酸化亜鉛膜及
び酸化シリコン膜を成膜した透明ガラス基板をスパッタ
装置内に搬送し、5×10-6Torrまで排気した。真
空槽内には、複合酸化タングステン膜4の熱線遮断膜と
して用いるニオブを含有した酸化タングステン膜用のニ
オブとタングステンの合金ターゲット(Nb:W=0.
1:1原子比)、第3の透明誘電体膜5として用いる酸
化チタン用のチタンターゲットを設置した。
び酸化シリコン膜を成膜した透明ガラス基板をスパッタ
装置内に搬送し、5×10-6Torrまで排気した。真
空槽内には、複合酸化タングステン膜4の熱線遮断膜と
して用いるニオブを含有した酸化タングステン膜用のニ
オブとタングステンの合金ターゲット(Nb:W=0.
1:1原子比)、第3の透明誘電体膜5として用いる酸
化チタン用のチタンターゲットを設置した。
【0064】上記透明ガラス基板上にニオブ含有酸化タ
ングステン膜を反応性スパッター法により成膜した。ス
パッタガスとしてアルゴン及び酸素の混合ガスをAr:
O2=30:4に調整し、真空槽内のガス圧が5×10
-3Torrとなるように排気速度やガス流量を調整し、
スパッタパワー400Wで、ニオブ含有酸化タングステ
ン膜を90nmに成膜した。
ングステン膜を反応性スパッター法により成膜した。ス
パッタガスとしてアルゴン及び酸素の混合ガスをAr:
O2=30:4に調整し、真空槽内のガス圧が5×10
-3Torrとなるように排気速度やガス流量を調整し、
スパッタパワー400Wで、ニオブ含有酸化タングステ
ン膜を90nmに成膜した。
【0065】このときのO/W比は2.6であり、膜抵
抗は170MΩ/□であった。また、屈折率は2.4で
あった。次いで、第3の透明誘電体膜5として酸化チタ
ンを反応性スパッター法により以下のように成膜した。
スパッタガスとしてアルゴン及び酸素の混合ガスをA
r:O2 =1:1となるように調整し、真空槽内のガス
圧が5×10-3Torrとなるように排気速度及びガス
流量を調整し、スパッタパワー400Wで、第3の透明
誘電体膜5として酸化チタン膜を10nmに成膜した。
この膜の屈折率は2.2であった。
抗は170MΩ/□であった。また、屈折率は2.4で
あった。次いで、第3の透明誘電体膜5として酸化チタ
ンを反応性スパッター法により以下のように成膜した。
スパッタガスとしてアルゴン及び酸素の混合ガスをA
r:O2 =1:1となるように調整し、真空槽内のガス
圧が5×10-3Torrとなるように排気速度及びガス
流量を調整し、スパッタパワー400Wで、第3の透明
誘電体膜5として酸化チタン膜を10nmに成膜した。
この膜の屈折率は2.2であった。
【0066】このようにして成膜された紫外線熱線遮断
ガラスの光学的特性は、可視光線透過率75%で自動車
用窓ガラスとして要求されるに充分な視認性を有し、日
射透過率54%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。
また、紫外線透過率も25%であり有害な紫外線を充分
に遮断していた。
ガラスの光学的特性は、可視光線透過率75%で自動車
用窓ガラスとして要求されるに充分な視認性を有し、日
射透過率54%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。
また、紫外線透過率も25%であり有害な紫外線を充分
に遮断していた。
【0067】このガラスを建物用窓ガラスとして使用し
たところ、携帯電話が支障無く使用することができ、ラ
ジオではFMやAM電波を良好に受信することができ
た。また、自動車用窓ガラスとして使用しても同様に携
帯電話が支障無く使用することができ、ラジオではFM
やAM電波を良好に受信することができた。
たところ、携帯電話が支障無く使用することができ、ラ
ジオではFMやAM電波を良好に受信することができ
た。また、自動車用窓ガラスとして使用しても同様に携
帯電話が支障無く使用することができ、ラジオではFM
やAM電波を良好に受信することができた。
【0068】実施例7 第1の透明誘電体膜2の成膜を他のゾルゲル法にて行っ
た例について説明する。第1の透明誘電体膜2を以下の
方法によるTiO2 +CeO膜とした他は、実施例5と
全く同様にして紫外線熱線遮断ガラスを成膜した。
た例について説明する。第1の透明誘電体膜2を以下の
方法によるTiO2 +CeO膜とした他は、実施例5と
全く同様にして紫外線熱線遮断ガラスを成膜した。
【0069】塩化セリウム2.8gをエタノール35c
c中に加えて溶解した。この溶液にチタニウムテトライ
ソプロポキシド1.7gを添加し、シリコンテトラエト
キシド0.9gを添加し、更に2−(2−メトキシエト
キシ)エタノール5.0gを加え、80℃で1時間攪拌
しつつ、加熱した。
c中に加えて溶解した。この溶液にチタニウムテトライ
ソプロポキシド1.7gを添加し、シリコンテトラエト
キシド0.9gを添加し、更に2−(2−メトキシエト
キシ)エタノール5.0gを加え、80℃で1時間攪拌
しつつ、加熱した。
【0070】室温まで冷却した後、水0.35ml及び
61%硝酸0.1mlを加え、80℃で1時間攪拌しつ
つ、加熱した。この時のpHは2であった。この溶液を
室温まで冷却した後スピンナーによりソーダライムガラ
ス上に塗布した。スピンナー塗布条件は1000rpm
で30秒であった。塗布試料を大気中で乾燥させた後、
電気炉中に入れ、500℃で10分間焼成した。得られ
た薄膜試料の膜厚は400nmであり、屈折率は1.9
であった。
61%硝酸0.1mlを加え、80℃で1時間攪拌しつ
つ、加熱した。この時のpHは2であった。この溶液を
室温まで冷却した後スピンナーによりソーダライムガラ
ス上に塗布した。スピンナー塗布条件は1000rpm
で30秒であった。塗布試料を大気中で乾燥させた後、
電気炉中に入れ、500℃で10分間焼成した。得られ
た薄膜試料の膜厚は400nmであり、屈折率は1.9
であった。
【0071】このようにして成膜された紫外線熱線遮断
ガラスの光学的特性は、可視光線透過率72%で自動車
用窓ガラスとして要求されるに充分な視認性を有し、日
射透過率53%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。
また、紫外線透過率も20%であり、有害な紫外線を充
分に遮断していた。
ガラスの光学的特性は、可視光線透過率72%で自動車
用窓ガラスとして要求されるに充分な視認性を有し、日
射透過率53%で太陽光の熱線を充分に遮断していた。
また、紫外線透過率も20%であり、有害な紫外線を充
分に遮断していた。
【0072】このガラスを建物用窓ガラスとして使用し
たところ、携帯電話が支障無く使用することができ、ラ
ジオではFMやAM電波を良好に受信することができ
た。また、自動車用窓ガラスとして使用しても同様に携
帯電話が支障なく使用することができ、ラジオではFM
やAM電波を良好に受信することができた。
たところ、携帯電話が支障無く使用することができ、ラ
ジオではFMやAM電波を良好に受信することができ
た。また、自動車用窓ガラスとして使用しても同様に携
帯電話が支障なく使用することができ、ラジオではFM
やAM電波を良好に受信することができた。
【0073】
【発明の効果】本発明の紫外線熱線遮断ガラスによれ
ば、透明なガラス基板上に、基板側より第1層として亜
鉛、セリウム、チタン及びカドミニウムから成る群から
選ばれた少なくとも1種を成分とする紫外線遮断性能を
有する酸化物、これらの複合酸化物又はこれらの酸化物
に微量の金属元素を添加した複合酸化物を含有する第1
の透明誘電体膜を設け、前記第1層上に第2層として第
2の透明誘電体膜を設け、該第2層上に第3層として周
期律表のIIIa族、IVa族、Vb族、VIb族及び
VIIb族から成る群から選ばれた少なくとも1種の金
属元素を含有する複合酸化タングステン膜を設け、前記
第3層上に第4層として第3の透明誘電体膜を設けてな
ることを特徴とする紫外線熱線遮断ガラスにより、紫外
線及び熱線を効率良く遮断し、更に良好な可視光線透過
率を有すると共に、充分な電波透過性能を有する自動車
用や建築用窓ガラスが得られる。
ば、透明なガラス基板上に、基板側より第1層として亜
鉛、セリウム、チタン及びカドミニウムから成る群から
選ばれた少なくとも1種を成分とする紫外線遮断性能を
有する酸化物、これらの複合酸化物又はこれらの酸化物
に微量の金属元素を添加した複合酸化物を含有する第1
の透明誘電体膜を設け、前記第1層上に第2層として第
2の透明誘電体膜を設け、該第2層上に第3層として周
期律表のIIIa族、IVa族、Vb族、VIb族及び
VIIb族から成る群から選ばれた少なくとも1種の金
属元素を含有する複合酸化タングステン膜を設け、前記
第3層上に第4層として第3の透明誘電体膜を設けてな
ることを特徴とする紫外線熱線遮断ガラスにより、紫外
線及び熱線を効率良く遮断し、更に良好な可視光線透過
率を有すると共に、充分な電波透過性能を有する自動車
用や建築用窓ガラスが得られる。
【図1】本発明の熱線遮断ガラスの膜構成を示す断面図
である。
である。
1 透明なガラス基板 2 第1の透明誘電体膜 3 第2の透明誘電体膜 4 複合酸化タングステン膜 5 第3の透明誘電体膜
Claims (2)
- 【請求項1】 透明なガラス基板上に、基板側より第1
層として亜鉛、セリウム、チタン及びカドミニウムから
成る群から選ばれた少なくとも1種を成分とする紫外線
遮断性能を有する酸化物、これらの複合酸化物又はこれ
らの酸化物に微量の金属元素を添加した複合酸化物を含
有する第1の透明誘電体膜を設け、前記第1層上に第2
層として第2の透明誘電体膜を設け、該第2層上に第3
層として周期律表のIIIa族、IVa族、Vb族、V
Ib族及びVIIb族から成る群から選ばれた少なくと
も1種の金属元素を含有する複合酸化タングステン膜を
設け、前記第3層上に第4層として第3の透明誘電体膜
を設けてなることを特徴とする紫外線熱線遮断ガラス。 - 【請求項2】 第2層の第2の透明誘電体膜及び第4層
の第3の透明誘電体膜がシリコン、チタン、アルミニウ
ム、錫、ジルコニウム、タンタル、クロム、ステンレス
及びニクロムから成る群から選ばれた少なくとも1種の
酸化物、それらの複合酸化物又は窒化酸化物であること
を特徴とする請求項1記載の紫外線熱線遮断ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20097094A JPH0859301A (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | 紫外線熱線遮断ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20097094A JPH0859301A (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | 紫外線熱線遮断ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0859301A true JPH0859301A (ja) | 1996-03-05 |
Family
ID=16433355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20097094A Pending JPH0859301A (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | 紫外線熱線遮断ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0859301A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005087680A1 (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-22 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | 日射遮蔽用合わせ構造体 |
| WO2006100799A1 (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | 農園芸用覆土フィルム |
| JP2008247739A (ja) * | 1996-05-14 | 2008-10-16 | Saint-Gobain Glass France | 反射防止コーティングを有するグレージング |
| JP2009001482A (ja) * | 1996-09-13 | 2009-01-08 | Pilkington Group Ltd | 改良被覆ガラス |
| JP2010215451A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Bridgestone Corp | 熱線遮蔽ガラス、及びこれを用いた複層ガラス |
| JP2010222160A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Bridgestone Corp | 熱線遮蔽ガラス、及びこれを用いた複層ガラス |
| JP2017066381A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | Hoya Candeo Optronics株式会社 | 紫外線吸収塗料、紫外線吸収膜、光吸収膜、光学素子、光学ユニットおよび光照射装置 |
| WO2022209712A1 (ja) | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 住友金属鉱山株式会社 | 赤外線吸収粒子、赤外線吸収粒子分散液、赤外線吸収粒子分散体、赤外線吸収合わせ透明基材、赤外線吸収透明基材 |
-
1994
- 1994-08-25 JP JP20097094A patent/JPH0859301A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008247739A (ja) * | 1996-05-14 | 2008-10-16 | Saint-Gobain Glass France | 反射防止コーティングを有するグレージング |
| JP2009001482A (ja) * | 1996-09-13 | 2009-01-08 | Pilkington Group Ltd | 改良被覆ガラス |
| US7655301B2 (en) | 2004-03-16 | 2010-02-02 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Laminated structure for shielding against solar radiation |
| AU2004317197B2 (en) * | 2004-03-16 | 2010-09-09 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Sun screening laminated structure |
| CN100368331C (zh) * | 2004-03-16 | 2008-02-13 | 住友金属矿山株式会社 | 日照遮蔽用层合结构体 |
| WO2005087680A1 (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-22 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | 日射遮蔽用合わせ構造体 |
| JPWO2006100799A1 (ja) * | 2005-03-18 | 2008-08-28 | 住友金属鉱山株式会社 | 農園芸用覆土フィルム |
| WO2006100799A1 (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | 農園芸用覆土フィルム |
| JP4623093B2 (ja) * | 2005-03-18 | 2011-02-02 | 住友金属鉱山株式会社 | 農園芸用覆土フィルム |
| JP2010215451A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Bridgestone Corp | 熱線遮蔽ガラス、及びこれを用いた複層ガラス |
| JP2010222160A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Bridgestone Corp | 熱線遮蔽ガラス、及びこれを用いた複層ガラス |
| JP2017066381A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | Hoya Candeo Optronics株式会社 | 紫外線吸収塗料、紫外線吸収膜、光吸収膜、光学素子、光学ユニットおよび光照射装置 |
| WO2022209712A1 (ja) | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 住友金属鉱山株式会社 | 赤外線吸収粒子、赤外線吸収粒子分散液、赤外線吸収粒子分散体、赤外線吸収合わせ透明基材、赤外線吸収透明基材 |
| KR20230131276A (ko) | 2021-03-31 | 2023-09-12 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | 적외선 흡수 입자, 적외선 흡수 입자 분산액, 적외선흡수 입자 분산체, 적외선 흡수 접합 투명 기재, 적외선 흡수 투명 기재 |
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