JPH0861364A - 直動転がり案内ユニット - Google Patents
直動転がり案内ユニットInfo
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- JPH0861364A JPH0861364A JP6218292A JP21829294A JPH0861364A JP H0861364 A JPH0861364 A JP H0861364A JP 6218292 A JP6218292 A JP 6218292A JP 21829294 A JP21829294 A JP 21829294A JP H0861364 A JPH0861364 A JP H0861364A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motion
- guide unit
- rolling
- rolling elements
- rail
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/37—Loose spacing bodies
- F16C33/3713—Loose spacing bodies with other rolling elements serving as spacing bodies, e.g. the spacing bodies are in rolling contact with the load carrying rolling elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
- F16C29/0633—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
- F16C29/0635—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end
- F16C29/0638—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls
- F16C29/064—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls with two rows of balls, one on each side of the rail
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/32—Balls
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、転動体の軽量化を図り、高速耐久
性と低騒音の要求を満たす安価な直動転がり案内ユニッ
トを提供する。 【構成】 この直動転がり案内ユニットは、長手方向両
側面に軌道溝５を備えた長尺状のレール２、レール２に
跨架され且つ軌道溝５に対向する軌道溝９を備えたケー
シング３を持つスライダ１、及び軌道溝５と軌道溝９を
転動する多数の転動体７を有する。転動体７をセラミッ
クスボールとウレタンボールとで構成したので、転動体
７が軽量化し、高速運動に伴って高速移動する転動体７
の慣性力が小さくなり、スライダの高速運動の応答性が
向上する。また、この転動体７は質量が小さいので相互
の干渉音が小さくなり、鋼製の転動体を組み込んだ従来
の直動転がり案内ユニットに比べて低騒音となる。
性と低騒音の要求を満たす安価な直動転がり案内ユニッ
トを提供する。 【構成】 この直動転がり案内ユニットは、長手方向両
側面に軌道溝５を備えた長尺状のレール２、レール２に
跨架され且つ軌道溝５に対向する軌道溝９を備えたケー
シング３を持つスライダ１、及び軌道溝５と軌道溝９を
転動する多数の転動体７を有する。転動体７をセラミッ
クスボールとウレタンボールとで構成したので、転動体
７が軽量化し、高速運動に伴って高速移動する転動体７
の慣性力が小さくなり、スライダの高速運動の応答性が
向上する。また、この転動体７は質量が小さいので相互
の干渉音が小さくなり、鋼製の転動体を組み込んだ従来
の直動転がり案内ユニットに比べて低騒音となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体組立装置等の
各種組立装置、搬送装置、工作機械、各種精密加工装
置、試験装置等の摺動部に適用されるものであって、軌
道溝を備えたレールと該レールに跨架され且つ軌道溝を
備えたスライダとが両軌道溝間を転走する多数の転動体
を介して相対的に摺動可能に構成された直動転がり案内
ユニットに関する。
各種組立装置、搬送装置、工作機械、各種精密加工装
置、試験装置等の摺動部に適用されるものであって、軌
道溝を備えたレールと該レールに跨架され且つ軌道溝を
備えたスライダとが両軌道溝間を転走する多数の転動体
を介して相対的に摺動可能に構成された直動転がり案内
ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】直動転がり案内ユニットは、比較的大重
量の装置を載置し、比較的長い距離にわたって高精度の
往復直線運動を案内するものであり、従来、例えば図７
に示すような直動転がり案内ユニットが提案されてい
る。
量の装置を載置し、比較的長い距離にわたって高精度の
往復直線運動を案内するものであり、従来、例えば図７
に示すような直動転がり案内ユニットが提案されてい
る。
【０００３】図７は従来の直動転がり案内ユニットの一
例を示す斜視図である。図７に示すように、直動転がり
案内ユニットは、ベッド２０に２列に平行にトラックレ
ール（以下、レールという）２，２を固定し、各レール
２，２に複数のスライダ１を跨架し、該スライダ１にス
ライドテーブル４を固定し、スライドテーブル４に載置
した諸装置を矢印Ｇ方向に前後進させるものである。該
直動転がり案内ユニットでは、レール２の長手方向両側
壁面２１に軌道溝５を形成し、該レール２上をスライダ
１が跨がって摺動可能に取付けられている。スライダ１
は、レール２に対して相対摺動可能であり且つ各軌道溝
５に対向する位置に軌道溝を形成したケーシング３、対
向する軌道溝間に嵌合して相対移動可能な多数のボール
等の転動体、及びケーシング３の摺動方向即ち長手方向
両端にそれぞれ取り付けたエンドキャップ６を有してい
る。なお、レール２に形成した軌道溝５を構成する部
材、ケーシング３の軌道溝を構成する部材は、軸受鋼、
浸炭鋼、ステンレス鋼等の鋼鉄材料で製作されている。
転動体としては鋼製ボールが使用されている。
例を示す斜視図である。図７に示すように、直動転がり
案内ユニットは、ベッド２０に２列に平行にトラックレ
ール（以下、レールという）２，２を固定し、各レール
２，２に複数のスライダ１を跨架し、該スライダ１にス
ライドテーブル４を固定し、スライドテーブル４に載置
した諸装置を矢印Ｇ方向に前後進させるものである。該
直動転がり案内ユニットでは、レール２の長手方向両側
壁面２１に軌道溝５を形成し、該レール２上をスライダ
１が跨がって摺動可能に取付けられている。スライダ１
は、レール２に対して相対摺動可能であり且つ各軌道溝
５に対向する位置に軌道溝を形成したケーシング３、対
向する軌道溝間に嵌合して相対移動可能な多数のボール
等の転動体、及びケーシング３の摺動方向即ち長手方向
両端にそれぞれ取り付けたエンドキャップ６を有してい
る。なお、レール２に形成した軌道溝５を構成する部
材、ケーシング３の軌道溝を構成する部材は、軸受鋼、
浸炭鋼、ステンレス鋼等の鋼鉄材料で製作されている。
転動体としては鋼製ボールが使用されている。
【０００４】スライダ１は、レール２に跨がった状態に
載置され、レール２の軌道溝５に沿って循環する複数の
ボールから成る転動体の介在で自在にレール２上を摺動
するものである。即ち、レール２の軌道溝５を走行する
負荷域のボールは、エンドキャップ６内に形成された方
向転換路に導かれ、更にケーシング３の上方で軌道溝と
平行に形成されたリターン通路孔に移動し、多数の転動
体は無限循環路内を無限循環するものである。このよう
に、スライダ１に形成された軌道溝とレール２の軌道溝
５との間に位置する負荷された転動体の転動により、レ
ール２とスライダ１とが摺動自在に相対運動することが
できる。
載置され、レール２の軌道溝５に沿って循環する複数の
ボールから成る転動体の介在で自在にレール２上を摺動
するものである。即ち、レール２の軌道溝５を走行する
負荷域のボールは、エンドキャップ６内に形成された方
向転換路に導かれ、更にケーシング３の上方で軌道溝と
平行に形成されたリターン通路孔に移動し、多数の転動
体は無限循環路内を無限循環するものである。このよう
に、スライダ１に形成された軌道溝とレール２の軌道溝
５との間に位置する負荷された転動体の転動により、レ
ール２とスライダ１とが摺動自在に相対運動することが
できる。
【０００５】ところで、直動転がり案内ユニットの普及
が進むにつれて、最近では直動転がり案内ユニットはよ
り高速な直線運動を行う部分に使用されるようになり、
高速耐久性の向上は勿論のこと、高速化に伴う騒音の増
大が問題視されるようになり、直動転がり案内ユニット
にも静粛さが要求されるようになってきた。
が進むにつれて、最近では直動転がり案内ユニットはよ
り高速な直線運動を行う部分に使用されるようになり、
高速耐久性の向上は勿論のこと、高速化に伴う騒音の増
大が問題視されるようになり、直動転がり案内ユニット
にも静粛さが要求されるようになってきた。
【０００６】直動転がり案内ユニットの騒音発生要因と
しては以下のようなものが考えられる。即ち、直動転が
り案内ユニットでの騒音は、（１）転動体がリターン通
路孔からレールへ戻る際にレールと衝突するとき、
（２）転動体がレールからエンドキャップへすくわれる
際にエンドキャップと衝突するとき、（３）転動体同士
が衝突するとき、（４）転動体が軌道溝及びリターン通
路孔と接触するとき、及び（５）その他潤滑剤の作用を
受けるとき等に起因して発生すると考えられる。
しては以下のようなものが考えられる。即ち、直動転が
り案内ユニットでの騒音は、（１）転動体がリターン通
路孔からレールへ戻る際にレールと衝突するとき、
（２）転動体がレールからエンドキャップへすくわれる
際にエンドキャップと衝突するとき、（３）転動体同士
が衝突するとき、（４）転動体が軌道溝及びリターン通
路孔と接触するとき、及び（５）その他潤滑剤の作用を
受けるとき等に起因して発生すると考えられる。
【０００７】そこで、直動転がり案内ユニットにおいて
スライダの走行時に発生する騒音を低減する手段とし
て、直動転がり案内ユニットを構成する全ての部品を合
成樹脂で製作することが考えられる。しかしながら、全
ての部品を合成樹脂製としたものは、どうしても負荷容
量が小さくなってしまうので、用途は特殊な場合に限ら
れ、例えば、水分、酸、アルカリなどの雰囲気で耐食性
を要求されるような特殊な用途に限られることになり、
比較的大重量の装置を載置して高速状態で使用する環境
下での使用には耐えられない。このような使用環境の下
では、直動転がり案内ユニットに使用される材料は、従
来同様、軸受鋼、浸炭鋼、ステンレス鋼等の軸受用鋼が
適切であると考えられる。
スライダの走行時に発生する騒音を低減する手段とし
て、直動転がり案内ユニットを構成する全ての部品を合
成樹脂で製作することが考えられる。しかしながら、全
ての部品を合成樹脂製としたものは、どうしても負荷容
量が小さくなってしまうので、用途は特殊な場合に限ら
れ、例えば、水分、酸、アルカリなどの雰囲気で耐食性
を要求されるような特殊な用途に限られることになり、
比較的大重量の装置を載置して高速状態で使用する環境
下での使用には耐えられない。このような使用環境の下
では、直動転がり案内ユニットに使用される材料は、従
来同様、軸受鋼、浸炭鋼、ステンレス鋼等の軸受用鋼が
適切であると考えられる。
【０００８】上記使用環境の下で、高速耐久性及び低騒
音の要求に応えるべく開発された直動転がり案内ユニッ
トとして、従来、特開平５−１４９３３５号公報に開示
されたものがある。該直動転がり案内ユニットは、転動
体として鋼製ボールの代わりにセラミックスボールを用
いたものである。セラミックスボールの密度は鋼製ボー
ルの密度に比べて約４０％であって質量が小さいから、
衝突のエネルギーは小さくなり、相互の干渉音が小さく
なり、鋼製ボールだけを組み込んだものよりも騒音を低
減することができる。また、セラミックスボールは質量
が小さいので、セラミックスボールに作用する遠心力や
慣性力は鋼製ボールに作用するそれらよりも小さく、こ
のためエンドキャップの方向転換路の摩耗は鋼製ボール
を組み込んだものに比べて低減され、また発熱も少ない
ので耐熱性が向上し、高速耐久性が向上する。
音の要求に応えるべく開発された直動転がり案内ユニッ
トとして、従来、特開平５−１４９３３５号公報に開示
されたものがある。該直動転がり案内ユニットは、転動
体として鋼製ボールの代わりにセラミックスボールを用
いたものである。セラミックスボールの密度は鋼製ボー
ルの密度に比べて約４０％であって質量が小さいから、
衝突のエネルギーは小さくなり、相互の干渉音が小さく
なり、鋼製ボールだけを組み込んだものよりも騒音を低
減することができる。また、セラミックスボールは質量
が小さいので、セラミックスボールに作用する遠心力や
慣性力は鋼製ボールに作用するそれらよりも小さく、こ
のためエンドキャップの方向転換路の摩耗は鋼製ボール
を組み込んだものに比べて低減され、また発熱も少ない
ので耐熱性が向上し、高速耐久性が向上する。
【０００９】上記のとおりセラミックスボールは高速耐
久性と低騒音に関して優れた効果を発揮することがわか
っているが、現状ではセラミックスボールは高価である
ことから、できるだけセラミックスボールの使用を抑え
て上記効果を得ることが要求されている。上記公報に
は、この要求に応えるものとして更に、セラミックスボ
ールの間に鋼製ボールを点在させた直動転がり案内ユニ
ットが記載されている。セラミックスボールの間に鋼製
ボールを点在させた場合には、セラミックスボールの数
を減らすことができるので、コストを下げることができ
るうえ、転動体として鋼製ボールだけを使用していた従
来のものに比べて、かなり良好な騒音低減効果が得られ
る。
久性と低騒音に関して優れた効果を発揮することがわか
っているが、現状ではセラミックスボールは高価である
ことから、できるだけセラミックスボールの使用を抑え
て上記効果を得ることが要求されている。上記公報に
は、この要求に応えるものとして更に、セラミックスボ
ールの間に鋼製ボールを点在させた直動転がり案内ユニ
ットが記載されている。セラミックスボールの間に鋼製
ボールを点在させた場合には、セラミックスボールの数
を減らすことができるので、コストを下げることができ
るうえ、転動体として鋼製ボールだけを使用していた従
来のものに比べて、かなり良好な騒音低減効果が得られ
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、セラミ
ックスボールの間に鋼製ボールを点在させた上記直動転
がり案内ユニットは、セラミックスボールだけを使用し
たものに比べると、金属同士の摺動状態を避けることが
できないうえ、転動体全体としての軽量化及び剛性は若
干低下するので、高速運動のレスポンスが十分とはいえ
ず、高速耐久性や騒音低減効果もやや劣ることになる。
そこで、最近ではコストを抑えつつ高速耐久性及び低騒
音の要求に如何にして応えるかということが課題となっ
ている。
ックスボールの間に鋼製ボールを点在させた上記直動転
がり案内ユニットは、セラミックスボールだけを使用し
たものに比べると、金属同士の摺動状態を避けることが
できないうえ、転動体全体としての軽量化及び剛性は若
干低下するので、高速運動のレスポンスが十分とはいえ
ず、高速耐久性や騒音低減効果もやや劣ることになる。
そこで、最近ではコストを抑えつつ高速耐久性及び低騒
音の要求に如何にして応えるかということが課題となっ
ている。
【００１１】そこで、この発明の目的は、上記課題を解
決することであり、多数の転動体のうちセラミックスで
製作した転動体の数をできるだけ減らしてコスト低減を
図り、残りの転動体を鋼よりも軽くて低価格の材料で製
作し、転動体全体の軽量化を図ることによってレールの
軌道溝とケーシングの軌道溝とで構成される軌道を高速
移動する時の転動体の慣性力を小さくし、応答性を向上
させ、転動体がエンドキャップ内を方向転換する時に方
向転換路部分の摩耗を低減させ、高速耐久性と低騒音の
要求を満たす安価な直動転がり案内ユニットを提供する
ことである。
決することであり、多数の転動体のうちセラミックスで
製作した転動体の数をできるだけ減らしてコスト低減を
図り、残りの転動体を鋼よりも軽くて低価格の材料で製
作し、転動体全体の軽量化を図ることによってレールの
軌道溝とケーシングの軌道溝とで構成される軌道を高速
移動する時の転動体の慣性力を小さくし、応答性を向上
させ、転動体がエンドキャップ内を方向転換する時に方
向転換路部分の摩耗を低減させ、高速耐久性と低騒音の
要求を満たす安価な直動転がり案内ユニットを提供する
ことである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成するために、次のように構成されている。即ち、
この発明は、長手方向両側面に軌道溝を備えた長尺状の
レール、該レールに跨架され且つ前記軌道溝に対向する
軌道溝を備えたケーシングを持つスライダ、及び対向し
た前記両軌道溝間で構成される軌道を転走する多数の転
動体を有し、前記転動体が無限循環する直動転がり案内
ユニットにおいて、前記転動体をセラミックスから成る
転動体と吸振材から成る転動体とから構成したことを特
徴とする直動転がり案内ユニットに関する。
を達成するために、次のように構成されている。即ち、
この発明は、長手方向両側面に軌道溝を備えた長尺状の
レール、該レールに跨架され且つ前記軌道溝に対向する
軌道溝を備えたケーシングを持つスライダ、及び対向し
た前記両軌道溝間で構成される軌道を転走する多数の転
動体を有し、前記転動体が無限循環する直動転がり案内
ユニットにおいて、前記転動体をセラミックスから成る
転動体と吸振材から成る転動体とから構成したことを特
徴とする直動転がり案内ユニットに関する。
【００１３】また、この直動転がり案内ユニットにおい
て、前記レールの前記軌道溝と前記ケーシングの前記軌
道溝とを構成する部材は鋼鉄材料で製作され、前記セラ
ミックスとして窒化ケイ素が使用され、前記吸振材とし
てウレタンゴムが使用されている。
て、前記レールの前記軌道溝と前記ケーシングの前記軌
道溝とを構成する部材は鋼鉄材料で製作され、前記セラ
ミックスとして窒化ケイ素が使用され、前記吸振材とし
てウレタンゴムが使用されている。
【００１４】また、この直動転がり案内ユニットにおい
て、前記レールの前記軌道溝と前記ケーシングの前記軌
道溝とを構成する部材は鋼鉄材料で製作され、前記セラ
ミックスから成る転動体の間に前記吸振材から成る転動
体を点在させたものである。更に、前記セラミックスで
製作した転動体と前記吸振材で製作した転動体との配列
の仕方としては、負荷容量、摺動の滑らかさを考慮する
と、前記セラミックスで製作した転動体と前記吸振材で
製作した転動体を交互に配列したものが好ましいが、コ
ストを重視するのであれば、前記セラミックスで製作し
た転動体の間に２個以上の前記吸振材で製作した転動体
を配列することも可能であり、コストを多少犠牲にして
もよいのであれば、前記セラミックスで製作した転動体
を前記吸振材で製作した転動体よりも多く配列してもよ
い。
て、前記レールの前記軌道溝と前記ケーシングの前記軌
道溝とを構成する部材は鋼鉄材料で製作され、前記セラ
ミックスから成る転動体の間に前記吸振材から成る転動
体を点在させたものである。更に、前記セラミックスで
製作した転動体と前記吸振材で製作した転動体との配列
の仕方としては、負荷容量、摺動の滑らかさを考慮する
と、前記セラミックスで製作した転動体と前記吸振材で
製作した転動体を交互に配列したものが好ましいが、コ
ストを重視するのであれば、前記セラミックスで製作し
た転動体の間に２個以上の前記吸振材で製作した転動体
を配列することも可能であり、コストを多少犠牲にして
もよいのであれば、前記セラミックスで製作した転動体
を前記吸振材で製作した転動体よりも多く配列してもよ
い。
【００１５】
【作用】この発明による直動転がり案内ユニットは、上
記のように構成されており、次のような作用をする。即
ち、この直動転がり案内ユニットにおいては、転動体は
セラミックス特に窒化ケイ素で製作した転動体と吸振材
特にウレタンゴムで製作した転動体とからなるので、該
転動体は鋼製の転動体に比べて軽量化し、慣性力が低減
し、高速運動に対する応答性が向上する。また、前記転
動体の慣性力が低減することで、前記転動体がエンドキ
ャップに形成した方向転換路を通って方向転換する時
に、該方向転換路部分の摩耗を低減することができる。
また、セラミックスで製作した転動体及び吸振材で製作
した転動体はどちらも質量が小さいので、相互の干渉音
が小さくなり、鋼製の転動体を組み込んだ従来の直動転
がり案内ユニットに比べて騒音が低減する。
記のように構成されており、次のような作用をする。即
ち、この直動転がり案内ユニットにおいては、転動体は
セラミックス特に窒化ケイ素で製作した転動体と吸振材
特にウレタンゴムで製作した転動体とからなるので、該
転動体は鋼製の転動体に比べて軽量化し、慣性力が低減
し、高速運動に対する応答性が向上する。また、前記転
動体の慣性力が低減することで、前記転動体がエンドキ
ャップに形成した方向転換路を通って方向転換する時
に、該方向転換路部分の摩耗を低減することができる。
また、セラミックスで製作した転動体及び吸振材で製作
した転動体はどちらも質量が小さいので、相互の干渉音
が小さくなり、鋼製の転動体を組み込んだ従来の直動転
がり案内ユニットに比べて騒音が低減する。
【００１６】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明による直動
転がり案内ユニットの実施例を説明する。図１はこの発
明による直動転がり案内ユニットの一実施例の概略を示
す一部破断の斜視図、図２は図１の直動転がり案内ユニ
ットに組み込んだエンドキャップを示す正面図、及び図
３は転動体がレールの軌道溝とケーシングの軌道溝とで
形成される軌道で転動する状態を示す概略断面図であ
る。図１、図２及び図３では、図７の部品と同一の目的
のものには同一の符号を付している。
転がり案内ユニットの実施例を説明する。図１はこの発
明による直動転がり案内ユニットの一実施例の概略を示
す一部破断の斜視図、図２は図１の直動転がり案内ユニ
ットに組み込んだエンドキャップを示す正面図、及び図
３は転動体がレールの軌道溝とケーシングの軌道溝とで
形成される軌道で転動する状態を示す概略断面図であ
る。図１、図２及び図３では、図７の部品と同一の目的
のものには同一の符号を付している。
【００１７】図１に示す直動転がり案内ユニットは、図
７に示すように、ベッド上に２列のレール２を平行に固
定し、各レール２に複数のスライダ１を跨架し、該スラ
イダ１にスライドテーブル４を固定し、スライドテーブ
ル４に載置した諸装置を前後進させるために適用される
ものである。該直動転がり案内ユニットでは、レール２
の長手方向両側壁面２１に軌道溝５を形成し、該レール
２上をスライダ１が跨がって摺動可能に取付けられてい
る。スライダ１はケーシング３、及び該ケーシング３の
長手方向両端に固定したエンドキャップ６を有する。ケ
ーシング３及びエンドキャップ６の各下面には、レール
２が挿通されケーシング３とエンドキャップ６とがレー
ル２上を摺動するレール挿通凹部１０が各々形成されて
いる。
７に示すように、ベッド上に２列のレール２を平行に固
定し、各レール２に複数のスライダ１を跨架し、該スラ
イダ１にスライドテーブル４を固定し、スライドテーブ
ル４に載置した諸装置を前後進させるために適用される
ものである。該直動転がり案内ユニットでは、レール２
の長手方向両側壁面２１に軌道溝５を形成し、該レール
２上をスライダ１が跨がって摺動可能に取付けられてい
る。スライダ１はケーシング３、及び該ケーシング３の
長手方向両端に固定したエンドキャップ６を有する。ケ
ーシング３及びエンドキャップ６の各下面には、レール
２が挿通されケーシング３とエンドキャップ６とがレー
ル２上を摺動するレール挿通凹部１０が各々形成されて
いる。
【００１８】スライダ１は、レール２に対して相対摺動
可能であり且つ各軌道溝５に対向する位置に軌道溝９を
形成したケーシング３、対向する軌道溝５，９間に嵌合
して相対移動可能な多数のボールから成る転動体７、レ
ール２とケーシング３との間のシールを達成する下面シ
ール部材８、及びケーシング３の摺動方向即ち長手方向
両端にそれぞれ取付けたエンドキャップ６を有してい
る。更に、ケーシング３から転動体７が脱落するのを防
止するため、保持バンド１８が多数の転動体７を囲むよ
うにケーシング３に取り付けられている。
可能であり且つ各軌道溝５に対向する位置に軌道溝９を
形成したケーシング３、対向する軌道溝５，９間に嵌合
して相対移動可能な多数のボールから成る転動体７、レ
ール２とケーシング３との間のシールを達成する下面シ
ール部材８、及びケーシング３の摺動方向即ち長手方向
両端にそれぞれ取付けたエンドキャップ６を有してい
る。更に、ケーシング３から転動体７が脱落するのを防
止するため、保持バンド１８が多数の転動体７を囲むよ
うにケーシング３に取り付けられている。
【００１９】エンドキャップ６は、図２に示すように、
レール２とスライダ１との間のシールを達成する側面シ
ール部材１７（図１参照）が取り付けられると共に、レ
ール２とスライダ１間の摺動面に潤滑剤を供給するため
グリースニップル２２（図１参照）が取り付けられてい
る。エンドキャップ６は、ケーシング３の端面に穿孔し
た複数の取付孔３１にねじ等を貫通させてケーシング３
の両端面に取り付けられる。その際、側面シール部材１
７もエンドキャップ６と一緒にケーシング３に取り付け
られる。また、エンドキャップ６には、その下面にレー
ル２を跨いで挿通するレール挿通凹部２８が形成され、
転動体７がレール２からすくわれるすくい凸部１９、及
び転動体７の循環のため転動体７を方向転換させる方向
転換路１１が両側に形成されている。
レール２とスライダ１との間のシールを達成する側面シ
ール部材１７（図１参照）が取り付けられると共に、レ
ール２とスライダ１間の摺動面に潤滑剤を供給するため
グリースニップル２２（図１参照）が取り付けられてい
る。エンドキャップ６は、ケーシング３の端面に穿孔し
た複数の取付孔３１にねじ等を貫通させてケーシング３
の両端面に取り付けられる。その際、側面シール部材１
７もエンドキャップ６と一緒にケーシング３に取り付け
られる。また、エンドキャップ６には、その下面にレー
ル２を跨いで挿通するレール挿通凹部２８が形成され、
転動体７がレール２からすくわれるすくい凸部１９、及
び転動体７の循環のため転動体７を方向転換させる方向
転換路１１が両側に形成されている。
【００２０】この直動転がり案内ユニットは、特に、次
の点に特徴を有するものである。即ち、この直動転がり
案内ユニットは、レール２の両側面に形成した軌道溝５
とスライダ１を構成するケーシング３に形成した軌道溝
９とで形成される軌道、及びエンドキャップ６に形成し
た方向転換路１１を循環して転動する多数の転動体７
を、セラミックス、特に、窒化ケイ素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）で
製作した転動体７Ａと、吸振材、特にウレタンゴムで製
作した転動体７Ｂとから構成した点に特徴を有するもの
である。なお、レール２に形成した軌道溝５を構成する
部材、及びケーシング３の軌道溝９を構成する部材は、
軸受鋼、浸炭鋼、ステンレス鋼等の鋼鉄材料で製作され
ている。この構成によって、セラミックスと金属材料と
の摺動状態又は吸振材と金属材料との摺動状態になり、
金属同士の摺動状態を避けることができ、摺動特性を向
上できることは勿論のこと、転動体７を軽量に構成する
ことができる。
の点に特徴を有するものである。即ち、この直動転がり
案内ユニットは、レール２の両側面に形成した軌道溝５
とスライダ１を構成するケーシング３に形成した軌道溝
９とで形成される軌道、及びエンドキャップ６に形成し
た方向転換路１１を循環して転動する多数の転動体７
を、セラミックス、特に、窒化ケイ素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）で
製作した転動体７Ａと、吸振材、特にウレタンゴムで製
作した転動体７Ｂとから構成した点に特徴を有するもの
である。なお、レール２に形成した軌道溝５を構成する
部材、及びケーシング３の軌道溝９を構成する部材は、
軸受鋼、浸炭鋼、ステンレス鋼等の鋼鉄材料で製作され
ている。この構成によって、セラミックスと金属材料と
の摺動状態又は吸振材と金属材料との摺動状態になり、
金属同士の摺動状態を避けることができ、摺動特性を向
上できることは勿論のこと、転動体７を軽量に構成する
ことができる。
【００２１】即ち、この直動転がり案内ユニットにおい
て、転動体７を窒化ケイ素で製作すると、転動体７の重
量を鋼鉄材料で製作した場合に比較して４０％程度に軽
量に構成することができる。従って、転動体７の軽量化
によって転動しながら高速運動する転動体７の慣性力を
大幅に低減でき、スライダ１の摺動特性、高速運動のレ
スポンスを向上することができると共に、高速運動領域
での温度上昇を低減できる。更に、転動体７がエンドキ
ャップ６の方向転換路１１を通って方向転換する時に、
転動体７が軽量で慣性力が小さいから、方向転換路１１
の壁面部分の摩耗を低減することができる。従って、半
導体組立装置等にこの直動転がり案内ユニットを適用し
た場合には、組立能率を大幅に向上でき、スムースな摺
動運動を確保して組立精度を向上できる。
て、転動体７を窒化ケイ素で製作すると、転動体７の重
量を鋼鉄材料で製作した場合に比較して４０％程度に軽
量に構成することができる。従って、転動体７の軽量化
によって転動しながら高速運動する転動体７の慣性力を
大幅に低減でき、スライダ１の摺動特性、高速運動のレ
スポンスを向上することができると共に、高速運動領域
での温度上昇を低減できる。更に、転動体７がエンドキ
ャップ６の方向転換路１１を通って方向転換する時に、
転動体７が軽量で慣性力が小さいから、方向転換路１１
の壁面部分の摩耗を低減することができる。従って、半
導体組立装置等にこの直動転がり案内ユニットを適用し
た場合には、組立能率を大幅に向上でき、スムースな摺
動運動を確保して組立精度を向上できる。
【００２２】なお、セラミックスとしては、窒化ケイ素
（Ｓｉ3 Ｎ4 ）のように窒化系セラミックスが好適であ
るが、それ以外に、例えば、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）
系、ジルコニア（ＺｒＯ2 ）系のセラミックスでもよ
い。また、吸振材としては、ウレタンゴムを使用するこ
とが好ましいが、それ以外に、例えば、耐摩耗性・耐油
性などがあるゴムやナイロン樹脂、ポリアセテート樹脂
などの樹脂でもよい。
（Ｓｉ3 Ｎ4 ）のように窒化系セラミックスが好適であ
るが、それ以外に、例えば、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）
系、ジルコニア（ＺｒＯ2 ）系のセラミックスでもよ
い。また、吸振材としては、ウレタンゴムを使用するこ
とが好ましいが、それ以外に、例えば、耐摩耗性・耐油
性などがあるゴムやナイロン樹脂、ポリアセテート樹脂
などの樹脂でもよい。
【００２３】この直動転がり案内ユニットは、組み込ま
れる転動体７をセラミックスで製作した転動体７Ａの間
に吸振材で製作した転動体７Ｂを点在させたものであ
る。この場合には、図４に示すように、窒化ケイ素で製
作したセラミックスボール７Ａとウレタンゴムで製作し
たウレタンボール７Ｂとを交互に配列することが好まし
いが、コストの低減を重視するのであれば、セラミック
スボールとセラミックスボールとの間に２個以上のウレ
タンボールを組み入れるように配列してもよい。或いは
コストを多少犠牲にしてもよいのであれば、セラミック
スボールをウレタンボールよりも多く配列してもよい。
このように、セラミックボール中にウレタンボールを点
在させることによって、その際にセラミックボールの数
とウレタンボールの数の割合を適宜選定することによっ
て、転動体７の所望の軽量化及び剛性を確保して、直動
転がり案内ユニットを安価に製作することができる。
れる転動体７をセラミックスで製作した転動体７Ａの間
に吸振材で製作した転動体７Ｂを点在させたものであ
る。この場合には、図４に示すように、窒化ケイ素で製
作したセラミックスボール７Ａとウレタンゴムで製作し
たウレタンボール７Ｂとを交互に配列することが好まし
いが、コストの低減を重視するのであれば、セラミック
スボールとセラミックスボールとの間に２個以上のウレ
タンボールを組み入れるように配列してもよい。或いは
コストを多少犠牲にしてもよいのであれば、セラミック
スボールをウレタンボールよりも多く配列してもよい。
このように、セラミックボール中にウレタンボールを点
在させることによって、その際にセラミックボールの数
とウレタンボールの数の割合を適宜選定することによっ
て、転動体７の所望の軽量化及び剛性を確保して、直動
転がり案内ユニットを安価に製作することができる。
【００２４】この直動転がり案内ユニットは、上記のよ
うに構成され、スライダ１をレール２に跨がった状態で
載置し、レール２の軌道溝５に沿って循環する複数の転
動体７の介在で自在に摺動するものである。レール２の
軌道溝５を走行する負荷域の転動体７は、図２又は図３
に示すように、エンドキャップ６内に形成された方向転
換路１１に導かれ、次いで、ケーシング３の軌道溝９と
平行に上部に形成されたリターン通路孔１３に移動し、
多数の転動体７は無限循環路内を無限循環するものであ
る。このように、スライダ１に形成された軌道溝９とレ
ール２の軌道溝５との間に位置する負荷された転動体７
の転動により、レール２とスライダ１とが摺動自在に相
対運動することができる。
うに構成され、スライダ１をレール２に跨がった状態で
載置し、レール２の軌道溝５に沿って循環する複数の転
動体７の介在で自在に摺動するものである。レール２の
軌道溝５を走行する負荷域の転動体７は、図２又は図３
に示すように、エンドキャップ６内に形成された方向転
換路１１に導かれ、次いで、ケーシング３の軌道溝９と
平行に上部に形成されたリターン通路孔１３に移動し、
多数の転動体７は無限循環路内を無限循環するものであ
る。このように、スライダ１に形成された軌道溝９とレ
ール２の軌道溝５との間に位置する負荷された転動体７
の転動により、レール２とスライダ１とが摺動自在に相
対運動することができる。
【００２５】次に、この直動転がり案内ユニットの性能
試験について説明する。まず最初に耐久試験の内容につ
いて説明する。試料としては、図４に示すように、窒化
ケイ素で製作した３４個のセラミックスボール７Ａとウ
レタンゴムで製作した３４個のウレタンボール７Ｂを鋼
鉄材料で製作したスライダ１に交互に組み込んだ直動転
がり案内ユニットを４セット用意した。試験条件として
は、クランク式寿命試験機を使用し、負荷として５１６
ｋｇｆの下向荷重をかけて、ストローク長さ２７０ｍ
ｍ、速度は最高速度６４．０ｍ／ｍｉｎ、平均速度３
２．８ｍ／ｍｉｎとし、速度パターンは図５に示すとお
りである。グリースは試験前に一回給脂した。ケーシン
グ３の温度測定方法は、図６に示すようにＫ熱電対を使
ってケーシング３及びエンドキャップ６の方向転換路１
１の外面位置の温度を測定した。また、試験方法として
は、クランク式寿命試験機を使用して、寿命に至るまで
の時間測定を行う方法を採った。耐久試験の結果は表１
に示すとおりである。
試験について説明する。まず最初に耐久試験の内容につ
いて説明する。試料としては、図４に示すように、窒化
ケイ素で製作した３４個のセラミックスボール７Ａとウ
レタンゴムで製作した３４個のウレタンボール７Ｂを鋼
鉄材料で製作したスライダ１に交互に組み込んだ直動転
がり案内ユニットを４セット用意した。試験条件として
は、クランク式寿命試験機を使用し、負荷として５１６
ｋｇｆの下向荷重をかけて、ストローク長さ２７０ｍ
ｍ、速度は最高速度６４．０ｍ／ｍｉｎ、平均速度３
２．８ｍ／ｍｉｎとし、速度パターンは図５に示すとお
りである。グリースは試験前に一回給脂した。ケーシン
グ３の温度測定方法は、図６に示すようにＫ熱電対を使
ってケーシング３及びエンドキャップ６の方向転換路１
１の外面位置の温度を測定した。また、試験方法として
は、クランク式寿命試験機を使用して、寿命に至るまで
の時間測定を行う方法を採った。耐久試験の結果は表１
に示すとおりである。
【表１】
【００２６】上記表１からもわかるように、試験試料は
いずれも計算寿命を満足しており、転動体として鋼製ボ
ールだけを使用したものと同様に計算寿命を満足するも
ので、同等に評価できるものである。なお、寿命に至っ
た直動転がり案内ユニットを観察したところ、ケーシン
グ３又はレール２に、フレーキング、圧痕等の損傷が発
生していたが、セラミックスボール７Ａには損傷は見当
たらなかった。また、試験試料は転動体として鋼製ボー
ルだけを使用したものと比較してケーシング端部の摩耗
量が少なかった。このことは、転動体がケーシング端部
へ衝突するときのエネルギーを考えると、当然の結果で
ある。即ち、セラミックスボール（Ｓｉ3 Ｎ4 ）の比重
は３．２、鋼製ボール（ＳＵＪ２）の比重は７．８であ
って、セラミックスボールは鋼製ボールの約４０％の重
さであるから、転動体７がエンドキャップ６からケーシ
ング３の負荷領域へ移る際に、転動体７がケーシング端
部へ衝突するときのエネルギーは小さい。従って、セラ
ミックスボール７Ａを使用した場合、ケーシング端部の
摩耗量が少ないものと考えられる。
いずれも計算寿命を満足しており、転動体として鋼製ボ
ールだけを使用したものと同様に計算寿命を満足するも
ので、同等に評価できるものである。なお、寿命に至っ
た直動転がり案内ユニットを観察したところ、ケーシン
グ３又はレール２に、フレーキング、圧痕等の損傷が発
生していたが、セラミックスボール７Ａには損傷は見当
たらなかった。また、試験試料は転動体として鋼製ボー
ルだけを使用したものと比較してケーシング端部の摩耗
量が少なかった。このことは、転動体がケーシング端部
へ衝突するときのエネルギーを考えると、当然の結果で
ある。即ち、セラミックスボール（Ｓｉ3 Ｎ4 ）の比重
は３．２、鋼製ボール（ＳＵＪ２）の比重は７．８であ
って、セラミックスボールは鋼製ボールの約４０％の重
さであるから、転動体７がエンドキャップ６からケーシ
ング３の負荷領域へ移る際に、転動体７がケーシング端
部へ衝突するときのエネルギーは小さい。従って、セラ
ミックスボール７Ａを使用した場合、ケーシング端部の
摩耗量が少ないものと考えられる。
【００２７】次に音響試験について説明する。音響特性
の比較試験を行うために用意した試料は、（Ａ）鋼鉄材
料で製作したスライダにセラミックスボールとウレタン
ボールとを交互に組み込んだ直動転がり案内ユニット
（本願発明）、（Ｂ）鋼鉄材料で製作したスライダにセ
ラミックスボールだけを組み込んだ直動転がり案内ユニ
ット、（Ｃ）鋼鉄材料で製作したスライダにセラミック
スボールと鋼製ボールとを交互に組み込んだ直動転がり
案内ユニット、（Ｄ）鋼鉄材料で製作したスライダに鋼
製ボールだけを組み込んだ直動転がり案内ユニット、の
４つである。なお、これら４つの直動転がり案内ユニッ
トは、転動体の材質を除き、同一の構成を備えている。
の比較試験を行うために用意した試料は、（Ａ）鋼鉄材
料で製作したスライダにセラミックスボールとウレタン
ボールとを交互に組み込んだ直動転がり案内ユニット
（本願発明）、（Ｂ）鋼鉄材料で製作したスライダにセ
ラミックスボールだけを組み込んだ直動転がり案内ユニ
ット、（Ｃ）鋼鉄材料で製作したスライダにセラミック
スボールと鋼製ボールとを交互に組み込んだ直動転がり
案内ユニット、（Ｄ）鋼鉄材料で製作したスライダに鋼
製ボールだけを組み込んだ直動転がり案内ユニット、の
４つである。なお、これら４つの直動転がり案内ユニッ
トは、転動体の材質を除き、同一の構成を備えている。
【００２８】音響測定の結果、上記（Ａ）から（Ｄ）に
ついて、騒音低減効果が大きかった順に並べると、
（Ａ）＞（Ｃ）＞（Ｄ）であった。また、（Ａ）は
（Ｂ）とほぼ同程度の騒音低減効果が確認された。従っ
て、セラミックスボール７Ａとウレタンボール７Ｂとを
交互に配列した直動転がり案内ユニットは、高価なセラ
ミックスボールの数を減らすことができると共に、十分
な騒音低減効果が得られる。
ついて、騒音低減効果が大きかった順に並べると、
（Ａ）＞（Ｃ）＞（Ｄ）であった。また、（Ａ）は
（Ｂ）とほぼ同程度の騒音低減効果が確認された。従っ
て、セラミックスボール７Ａとウレタンボール７Ｂとを
交互に配列した直動転がり案内ユニットは、高価なセラ
ミックスボールの数を減らすことができると共に、十分
な騒音低減効果が得られる。
【００２９】以上、上記実施例では、直動転がり案内ユ
ニットに組み込む転動体としてボールを使用したものに
ついて説明したが、転動体としてころを組み込んだ直動
転がり案内ユニットにも適用できることは勿論である。
ニットに組み込む転動体としてボールを使用したものに
ついて説明したが、転動体としてころを組み込んだ直動
転がり案内ユニットにも適用できることは勿論である。
【００３０】
【発明の効果】この発明による直動転がり案内ユニット
は、上記のように構成されており、次のような効果を有
する。即ち、この直動転がり案内ユニットは、レールの
両側面に形成した軌道溝と該軌道溝に対向するスライダ
に設けた軌道溝とで構成される軌道を転動する多数の転
動体を、セラミックスで製作した転動体とウレタンゴム
等の吸振材で製作した転動体とで構成したので、前記転
動体が全体として軽量化することでスライダ自体の重量
が軽減され、高速運動即ち前記スライダの前記レール上
での高速直線移動に伴って高速移動する前記スライダの
慣性力が小さくなり、前記スライダの高速運動の応答性
が向上する。従って、この直動転がり案内ユニットを半
導体組立装置等に適用した場合には、組立能率及び組立
精度を向上させることができる。また、前記スライダの
良好な摺動特性を確保することができる。
は、上記のように構成されており、次のような効果を有
する。即ち、この直動転がり案内ユニットは、レールの
両側面に形成した軌道溝と該軌道溝に対向するスライダ
に設けた軌道溝とで構成される軌道を転動する多数の転
動体を、セラミックスで製作した転動体とウレタンゴム
等の吸振材で製作した転動体とで構成したので、前記転
動体が全体として軽量化することでスライダ自体の重量
が軽減され、高速運動即ち前記スライダの前記レール上
での高速直線移動に伴って高速移動する前記スライダの
慣性力が小さくなり、前記スライダの高速運動の応答性
が向上する。従って、この直動転がり案内ユニットを半
導体組立装置等に適用した場合には、組立能率及び組立
精度を向上させることができる。また、前記スライダの
良好な摺動特性を確保することができる。
【００３１】また、この直動転がり案内ユニットにおい
て、前記レールの前記軌道溝と前記ケーシングの前記軌
道溝とを構成する部材を鋼鉄材料で製作し、また、前記
転動体を構成するセラミックスを窒化ケイ素で製作した
ので、窒化ケイ素は軸受鋼に比較して比重が４０％程度
軽く、前記転動体を大幅に軽量にできる。また、セラミ
ックスで製作した転動体の間に吸振材で製作した転動体
を点在させたので、高価な窒化ケイ素から製作した転動
体の使用を少なくすることができ、前記転動体の上記効
果を所望な程度にまで確保しつつ安価に製作できる。特
に、吸振材で製作した転動体はそれ自体が吸音効果を有
するので、セラミックスで製作した転動体の間に鋼製の
転動体を点在させた場合に比べて、大きな騒音低減効果
を得ることができる。
て、前記レールの前記軌道溝と前記ケーシングの前記軌
道溝とを構成する部材を鋼鉄材料で製作し、また、前記
転動体を構成するセラミックスを窒化ケイ素で製作した
ので、窒化ケイ素は軸受鋼に比較して比重が４０％程度
軽く、前記転動体を大幅に軽量にできる。また、セラミ
ックスで製作した転動体の間に吸振材で製作した転動体
を点在させたので、高価な窒化ケイ素から製作した転動
体の使用を少なくすることができ、前記転動体の上記効
果を所望な程度にまで確保しつつ安価に製作できる。特
に、吸振材で製作した転動体はそれ自体が吸音効果を有
するので、セラミックスで製作した転動体の間に鋼製の
転動体を点在させた場合に比べて、大きな騒音低減効果
を得ることができる。
【００３２】また、この直動転がり案内ユニットにおけ
る転動体はセラミックスで製作されているので、耐食
性、耐熱性、耐衝撃性を備えており、このため、この直
動転がり案内ユニットの寿命は、鋼製の転動体を備えて
いた従来の直動転がり案内ユニットに比べて向上する。
る転動体はセラミックスで製作されているので、耐食
性、耐熱性、耐衝撃性を備えており、このため、この直
動転がり案内ユニットの寿命は、鋼製の転動体を備えて
いた従来の直動転がり案内ユニットに比べて向上する。
【図１】この発明による直動転がり案内ユニットを示す
一部破断の斜視図である。
一部破断の斜視図である。
【図２】図１の直動転がり案内ユニットのエンドキャッ
プを示す正面図である。
プを示す正面図である。
【図３】この発明による直動転がり案内ユニットにおけ
る転動体の一実施例を示す概略断面図である。
る転動体の一実施例を示す概略断面図である。
【図４】図１の直動転がり案内ユニットのスライダを下
面から見た平面図である。
面から見た平面図である。
【図５】耐久試験における速度パターンを示すグラフで
ある。
ある。
【図６】スライダの温度を測定する方法を示す図であっ
て図１の直動転がり案内ユニットの正面図である。
て図１の直動転がり案内ユニットの正面図である。
【図７】従来の直動転がり案内ユニットの一例を示す斜
視図である。
視図である。
１ スライダ ２ レール ３ ケーシング ５，９ 軌道溝 ６ エンドキャップ ７ 転動体 ７Ａ セラミックスボール（セラミックスから成る転動
体） ７Ｂ ウレタンボール（吸振材から成る転動体）
体） ７Ｂ ウレタンボール（吸振材から成る転動体）
Claims (4)
- 【請求項１】 長手方向両側面に軌道溝を備えた長尺状
のレール、該レールに跨架され且つ前記軌道溝に対向す
る軌道溝を備えたケーシングを持つスライダ、及び対向
した前記両軌道溝間で構成される軌道を転走する多数の
転動体を有し、前記転動体が無限循環する直動転がり案
内ユニットにおいて、前記転動体をセラミックスから成
る転動体と吸振材から成る転動体とから構成したことを
特徴とする直動転がり案内ユニット。 - 【請求項２】 前記レールの前記軌道溝と前記ケーシン
グの前記軌道溝とを構成する部材は鋼鉄材料で製作さ
れ、前記セラミックスとして窒化ケイ素が使用され、前
記吸振材としてウレタンゴムが使用されていることを特
徴とする請求項１に記載の直動転がり案内ユニット。 - 【請求項３】 前記レールの前記軌道溝と前記ケーシン
グの前記軌道溝とを構成する部材は鋼鉄材料で製作さ
れ、前記セラミックスから成る転動体の間に前記吸振材
から成る転動体を点在させたことを特徴とする請求項１
に記載の直動転がり案内ユニット。 - 【請求項４】 前記セラミックスから成る転動体と前記
吸振材から成る転動体を交互に順次配列したことを特徴
とする請求項３に記載の直動転がり案内ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6218292A JPH0861364A (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 直動転がり案内ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6218292A JPH0861364A (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 直動転がり案内ユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0861364A true JPH0861364A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16717554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6218292A Pending JPH0861364A (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 直動転がり案内ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0861364A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1022477A1 (de) * | 1999-01-19 | 2000-07-26 | Schneeberger Holding AG | Wälzlager-Linearführung |
| WO2016190147A1 (ja) * | 2015-05-22 | 2016-12-01 | 日本精工株式会社 | 転がり案内装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54153962A (en) * | 1978-05-25 | 1979-12-04 | Hitachi Medical Corp | Ball screw |
| JPS6382818U (ja) * | 1986-11-17 | 1988-05-31 | ||
| JPH01180015U (ja) * | 1988-06-10 | 1989-12-25 | ||
| JPH05149335A (ja) * | 1991-11-22 | 1993-06-15 | Nippon Thompson Co Ltd | 直動転がり案内ユニツト |
| JPH0658333A (ja) * | 1992-08-07 | 1994-03-01 | Nippon Mektron Ltd | ブッシュ |
-
1994
- 1994-08-22 JP JP6218292A patent/JPH0861364A/ja active Pending
Patent Citations (5)
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