JPH0861369A - 静圧気体軸受 - Google Patents
静圧気体軸受Info
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- JPH0861369A JPH0861369A JP19055294A JP19055294A JPH0861369A JP H0861369 A JPH0861369 A JP H0861369A JP 19055294 A JP19055294 A JP 19055294A JP 19055294 A JP19055294 A JP 19055294A JP H0861369 A JPH0861369 A JP H0861369A
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- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 title abstract description 5
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 4
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 206010010904 Convulsion Diseases 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 負荷側、反負荷側にそれぞれ対向型スラスト
軸受を有し、各スラスト軸受面に所要数の給気孔を設け
てなる静圧気体軸受において、所要の負荷容量を維持し
つつ消費流量の低減を図ることである。 【構成】 負荷側スラスト軸受面１３’の自成絞り孔１
４’等の給気孔を、環状の溝１８の底面に設け、そのス
ラスト軸受すきま１２’を可及的に小さくした構成とし
た。
軸受を有し、各スラスト軸受面に所要数の給気孔を設け
てなる静圧気体軸受において、所要の負荷容量を維持し
つつ消費流量の低減を図ることである。 【構成】 負荷側スラスト軸受面１３’の自成絞り孔１
４’等の給気孔を、環状の溝１８の底面に設け、そのス
ラスト軸受すきま１２’を可及的に小さくした構成とし
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、穴明け機の主軸等に
用いる静圧気体軸受に関するものである。
用いる静圧気体軸受に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、穴明け機の主軸等に用いる静圧軸
受としては、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のようなもの
がある。即ち、主軸１はスラスト板２を有し、そのスラ
スト板２の下方の主軸１の外径面とスラスト板２の下面
と対向した下軸受部材３がハウジング４に取付けられ
る。また、スラスト板２の上方の主軸１の外径面とスラ
スト板２の上面と対向した上軸受部材５がハウジング４
に取付けられる。
受としては、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のようなもの
がある。即ち、主軸１はスラスト板２を有し、そのスラ
スト板２の下方の主軸１の外径面とスラスト板２の下面
と対向した下軸受部材３がハウジング４に取付けられ
る。また、スラスト板２の上方の主軸１の外径面とスラ
スト板２の上面と対向した上軸受部材５がハウジング４
に取付けられる。
【０００３】上記の下軸受部材３には、ジャーナル軸受
部６及びスラスト軸受部７が設けられ、そのジャーナル
軸受部６は、主軸１の外径面とジャーナル軸受すきま８
を介して対向したジャーナル軸受面９を有し、そのジャ
ーナル軸受面９に自成絞り孔１１が設けられる。
部６及びスラスト軸受部７が設けられ、そのジャーナル
軸受部６は、主軸１の外径面とジャーナル軸受すきま８
を介して対向したジャーナル軸受面９を有し、そのジャ
ーナル軸受面９に自成絞り孔１１が設けられる。
【０００４】また、スラスト軸受部７は、スラスト板２
とスラスト軸受すきま１２を介して対向するスラスト軸
受面１３を有し、そのスラスト軸受面１３に自成絞り穴
１４が設けられる。
とスラスト軸受すきま１２を介して対向するスラスト軸
受面１３を有し、そのスラスト軸受面１３に自成絞り穴
１４が設けられる。
【０００５】上記の上軸受部材５にはスラスト軸受部
７’が設けられ、そのスラスト軸受部７’はスラスト板
２とスラスト軸受すきま１２’を介して対向するスラス
ト軸受面１３’を有し、そのスラスト軸受面１３’に自
成絞り孔１４’が設けられる。
７’が設けられ、そのスラスト軸受部７’はスラスト板
２とスラスト軸受すきま１２’を介して対向するスラス
ト軸受面１３’を有し、そのスラスト軸受面１３’に自
成絞り孔１４’が設けられる。
【０００６】ハウジング４に設けた通路１５に圧縮気体
を供給すると、ジャーナル軸受部６及び各スラスト軸受
部７、７’に設けられた各絞り孔１１、１４、１４’か
らジャーナル軸受すきま８、スラスト軸受すきま１２、
１２’に圧縮気体が流入し、主軸１を非接触で支持す
る。
を供給すると、ジャーナル軸受部６及び各スラスト軸受
部７、７’に設けられた各絞り孔１１、１４、１４’か
らジャーナル軸受すきま８、スラスト軸受すきま１２、
１２’に圧縮気体が流入し、主軸１を非接触で支持す
る。
【０００７】上記の主軸１には、コレットチャック１６
が取付けられており、そのコレットチャック１６により
工具１７を把持する。主軸１をモータ等で高速回転させ
ると工具１７が回転し、その工具１７をワークに押付け
ることにより穴明け加工等を行うことができる。工具１
７とワークが押付けられる力により主軸１がハウジング
４に対して変位する。これにより、上部スラスト軸受面
１３’が負荷受面となり、下方のスラスト軸受面１３が
反負荷側となる。
が取付けられており、そのコレットチャック１６により
工具１７を把持する。主軸１をモータ等で高速回転させ
ると工具１７が回転し、その工具１７をワークに押付け
ることにより穴明け加工等を行うことができる。工具１
７とワークが押付けられる力により主軸１がハウジング
４に対して変位する。これにより、上部スラスト軸受面
１３’が負荷受面となり、下方のスラスト軸受面１３が
反負荷側となる。
【０００８】従来、穴明け機の主軸１等に使用されてい
たスラスト軸受は、負荷側、反負荷側を特に区別するこ
となく、両方とも全く同一構成の軸受を使用するのが一
般的であったが、焼付き等の故障防止の観点から、軸受
面積、給気孔数、給気孔径のそれぞれについて、負荷側
軸受の方が反負荷側軸受よりも大になるようにしたスラ
スト軸受が提案されている（特開平２−２０９６２２号
公報）。このものは、無負荷時に負荷側の軸受すきまを
大きくし、負荷状態で負荷側の軸受すきまを反負荷側の
軸受すきまに近づけるようにしただけのものである。
たスラスト軸受は、負荷側、反負荷側を特に区別するこ
となく、両方とも全く同一構成の軸受を使用するのが一
般的であったが、焼付き等の故障防止の観点から、軸受
面積、給気孔数、給気孔径のそれぞれについて、負荷側
軸受の方が反負荷側軸受よりも大になるようにしたスラ
スト軸受が提案されている（特開平２−２０９６２２号
公報）。このものは、無負荷時に負荷側の軸受すきまを
大きくし、負荷状態で負荷側の軸受すきまを反負荷側の
軸受すきまに近づけるようにしただけのものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】穴明け機の主軸等に用
いられるスラスト軸受の負荷容量は使用目的、使用方法
により決定される。ここでは、一例として負荷側の負荷
容量ＷOA、反負荷側の負荷容量ＷOBが必要である場合を
考える。ただし、ＷOA＞ＷOBとする。
いられるスラスト軸受の負荷容量は使用目的、使用方法
により決定される。ここでは、一例として負荷側の負荷
容量ＷOA、反負荷側の負荷容量ＷOBが必要である場合を
考える。ただし、ＷOA＞ＷOBとする。
【００１０】図４に上記の負荷容量を満足し、かつ負荷
側および反負荷側に同一の自成絞りスラスト軸受を用い
た場合の負荷容量特性曲線図を示す。この場合、負荷側
の負荷容量Ｗ1A、反負荷側の負荷容量Ｗ1BとするとＷ1A
＝Ｗ1Bであり、Ｗ1A＝ＷOAとするとＷ1B＞ＷOBである。
即ち、反負荷側の軸受の負荷容量は必要以上に大きいと
言える。
側および反負荷側に同一の自成絞りスラスト軸受を用い
た場合の負荷容量特性曲線図を示す。この場合、負荷側
の負荷容量Ｗ1A、反負荷側の負荷容量Ｗ1BとするとＷ1A
＝Ｗ1Bであり、Ｗ1A＝ＷOAとするとＷ1B＞ＷOBである。
即ち、反負荷側の軸受の負荷容量は必要以上に大きいと
言える。
【００１１】一般に、スラスト軸受において軸受面積が
一定のもとでは、負荷容量を大きくすると消費流量も大
きくなるという関係がある為、図４に示した軸受の構成
では必要以上に消費流量を大きくしていることになる。
一定のもとでは、負荷容量を大きくすると消費流量も大
きくなるという関係がある為、図４に示した軸受の構成
では必要以上に消費流量を大きくしていることになる。
【００１２】この問題を解決する方法として、前掲の特
開平２−２０９６２２号公報に記載されている通り、負
荷側の軸受の給気孔数を反負荷側の軸受よりも多くした
り、あるいは、負荷側の軸受の給気孔径を反負荷側の軸
受よりも大きくしたりする方法がある。つまり、反負荷
側の軸受の給気孔数を負荷側のそれよりも減らしたり、
あるいは、反負荷側の軸受の給気孔径を負荷側の軸受の
それよりも小さくしたりすることにより、反負荷側の軸
受の流量を節約することが考えられる。
開平２−２０９６２２号公報に記載されている通り、負
荷側の軸受の給気孔数を反負荷側の軸受よりも多くした
り、あるいは、負荷側の軸受の給気孔径を反負荷側の軸
受よりも大きくしたりする方法がある。つまり、反負荷
側の軸受の給気孔数を負荷側のそれよりも減らしたり、
あるいは、反負荷側の軸受の給気孔径を負荷側の軸受の
それよりも小さくしたりすることにより、反負荷側の軸
受の流量を節約することが考えられる。
【００１３】この方法でＷOBを考慮し、軸受を選定した
場合の負荷容量特性曲線図を図５に示す。この場合の負
荷側の負荷容量Ｗ2A、反負荷側の負荷容量Ｗ2Bとすると
Ｗ2B＝ＷOBとなる。その結果、消費流量をある程度少な
くすることが可能である。
場合の負荷容量特性曲線図を図５に示す。この場合の負
荷側の負荷容量Ｗ2A、反負荷側の負荷容量Ｗ2Bとすると
Ｗ2B＝ＷOBとなる。その結果、消費流量をある程度少な
くすることが可能である。
【００１４】しかし、近年、穴明け機等の高性能化が進
み、さらに消費流量の低減が求められ、上記の方法だけ
では不十分な場合があった。
み、さらに消費流量の低減が求められ、上記の方法だけ
では不十分な場合があった。
【００１５】そこで、この発明は、負荷側、反負荷側に
それぞれ対向型のスラスト軸受を有する静圧気体軸受に
おいて、必要とされる負荷容量を保った状態でスラスト
軸受部の消費流量を一層低減することを目的とする。
それぞれ対向型のスラスト軸受を有する静圧気体軸受に
おいて、必要とされる負荷容量を保った状態でスラスト
軸受部の消費流量を一層低減することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明は、負荷側、反負荷側の対向側スラスト
軸受を有し、各スラスト軸受面に所要数の給気孔を円周
上に設けてなる静圧気体軸受において、上記負荷側スラ
スト軸受面の給気孔のみを環状の溝の底面に設け、その
スラスト軸受すきまを可及的に小さくした構成としたも
のである。
めに、この発明は、負荷側、反負荷側の対向側スラスト
軸受を有し、各スラスト軸受面に所要数の給気孔を円周
上に設けてなる静圧気体軸受において、上記負荷側スラ
スト軸受面の給気孔のみを環状の溝の底面に設け、その
スラスト軸受すきまを可及的に小さくした構成としたも
のである。
【００１７】
【作用】例として、図５に示した負荷側軸受と同等の軸
受面積および負荷容量を有する溝付き軸受を用いた場合
の負荷容量特性曲線を図６に示す。溝付き軸受は溝の表
面絞り効果により、すきまが小さいときは自成絞り軸受
と同等の負荷容量であっても、軸受すきまが大きくなる
につれ負荷容量が自成絞り軸受の場合（波線参照）より
も小さくなる。よって、この場合の負荷側の負荷容量を
Ｗ3A、反負荷側の負荷容量をＷ3Bとすると、Ｗ3A＝Ｗ2A
＞Ｗ0A、Ｗ3B＞Ｗ2B＝Ｗ0Bとなる。
受面積および負荷容量を有する溝付き軸受を用いた場合
の負荷容量特性曲線を図６に示す。溝付き軸受は溝の表
面絞り効果により、すきまが小さいときは自成絞り軸受
と同等の負荷容量であっても、軸受すきまが大きくなる
につれ負荷容量が自成絞り軸受の場合（波線参照）より
も小さくなる。よって、この場合の負荷側の負荷容量を
Ｗ3A、反負荷側の負荷容量をＷ3Bとすると、Ｗ3A＝Ｗ2A
＞Ｗ0A、Ｗ3B＞Ｗ2B＝Ｗ0Bとなる。
【００１８】ここで、負荷側軸受および反負荷側軸受と
もに必要以上に大きい負荷容量になっていることから、
軸受すきまを小さくし、負荷容量を減ずることが可能で
ある。一般に軸受すきまを小さくすると消費流量は小さ
くなるので、すきまを小さくすることは消費流量の低減
のための有効な手段である。
もに必要以上に大きい負荷容量になっていることから、
軸受すきまを小さくし、負荷容量を減ずることが可能で
ある。一般に軸受すきまを小さくすると消費流量は小さ
くなるので、すきまを小さくすることは消費流量の低減
のための有効な手段である。
【００１９】負荷容量ＷOA、ＷOBを考慮し軸受すきまを
小さくした結果が図７である。この場合の負荷側の負荷
容量Ｗ4A、反負荷側の負荷容量Ｗ4Bとすると、Ｗ4A＝Ｗ
OA、Ｗ4B＝Ｗ0Bである。このように、負荷側軸受を溝付
きスラスト軸受とし、反負荷側の軸受を自成絞り軸受と
することにより、穴明け機の主軸等に使用されるスラス
ト軸受部の消費流量の低減が可能となる。
小さくした結果が図７である。この場合の負荷側の負荷
容量Ｗ4A、反負荷側の負荷容量Ｗ4Bとすると、Ｗ4A＝Ｗ
OA、Ｗ4B＝Ｗ0Bである。このように、負荷側軸受を溝付
きスラスト軸受とし、反負荷側の軸受を自成絞り軸受と
することにより、穴明け機の主軸等に使用されるスラス
ト軸受部の消費流量の低減が可能となる。
【００２０】
【実施例】図１（ａ）（ｂ）（ｃ）に示した実施例は、
先に図６に示した従来例と基本的構成は同一であるの
で、同一部分には同一符号を付して示すにとどめ、その
説明を省略する。
先に図６に示した従来例と基本的構成は同一であるの
で、同一部分には同一符号を付して示すにとどめ、その
説明を省略する。
【００２１】相違する点は、負荷側のスラスト軸受面１
３’の絞り孔１４’を主軸１と同心状の溝１８の底面に
設けた点及びスラスト軸受すきま１２’を可及的に小さ
く（例えば２０μｍ）に設定した点である。
３’の絞り孔１４’を主軸１と同心状の溝１８の底面に
設けた点及びスラスト軸受すきま１２’を可及的に小さ
く（例えば２０μｍ）に設定した点である。
【００２２】上記のように構成すると、先に図７に示し
たような負荷容量特性が得られ、負荷側の負荷容量をＷ
4A及び反負荷側の負荷容量をＷ4Aを、それぞれ所要の負
荷容量Ｗ0A、Ｗ0Bと一致させることができる。
たような負荷容量特性が得られ、負荷側の負荷容量をＷ
4A及び反負荷側の負荷容量をＷ4Aを、それぞれ所要の負
荷容量Ｗ0A、Ｗ0Bと一致させることができる。
【００２３】図２は、上記の溝１８及びその溝底に形成
される自成絞り孔１４’の具体例であり、溝１の幅ａは
０．７mm、深さｂは０．０１mm（１０μｍ）である。
される自成絞り孔１４’の具体例であり、溝１の幅ａは
０．７mm、深さｂは０．０１mm（１０μｍ）である。
【００２４】なお、自成絞り孔に代え、その他適宜な形
状の給気孔を採用することができる。
状の給気孔を採用することができる。
【００２５】
【発明の効果】以上のように、この発明は、負荷側スラ
スト軸受面の給気孔を環状の溝の底面に設け、そのスラ
スト軸受すきまを可及的に小さくした構成により、所要
の負荷容量を確保しつつ、消費流量の低減を図ることが
できる。
スト軸受面の給気孔を環状の溝の底面に設け、そのスラ
スト軸受すきまを可及的に小さくした構成により、所要
の負荷容量を確保しつつ、消費流量の低減を図ることが
できる。
【図１】（ａ）実施例の断面図 （ｂ）同上の負荷側スラスト軸受面の平面図 （ｃ）同上の反負荷側スラスト軸受面の平面図
【図２】同上の一部拡大断面図
【図３】（ａ）従来例の断面図 （ｂ）同上の負荷側スラスト軸受面の平面図 （ｃ）同上の反負荷側スラスト軸受面の平面図
【図４】負荷容量特性図
【図５】負荷容量特性図
【図６】負荷容量特性図
【図７】負荷容量特性図
１ 主軸 ２ スラスト板 ３ 下軸受部材 ４ ハウジング ５ 上軸受部材 ６ ジャーナル軸受部 ７、７’ スラスト軸受部 ８ ジャーナル軸受すきま ９ ジャーナル軸受面 １１ 自成絞り孔 １２、１２’ スラスト軸受すきま １３、１３’ スラスト軸受面 １４、１４ 自成絞り孔 １５ 通路 １６ コレットチャック １７ 工具 １８ 溝
Claims (1)
- 【請求項１】 負荷側、反負荷側にそれぞれ対向型スラ
スト軸受を有し、各スラスト軸受面に所要数の給気孔を
設けてなる静圧気体軸受において、上記負荷側スラスト
軸受面の給気孔のみを環状の溝の底面に設け、そのスラ
スト軸受すきまを可及的に小さくしたことを特徴とする
静圧気体軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19055294A JP3609455B2 (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 静圧気体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19055294A JP3609455B2 (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 静圧気体軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0861369A true JPH0861369A (ja) | 1996-03-08 |
| JP3609455B2 JP3609455B2 (ja) | 2005-01-12 |
Family
ID=16259981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19055294A Expired - Lifetime JP3609455B2 (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 静圧気体軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3609455B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11257346A (ja) * | 1998-01-23 | 1999-09-21 | Rech Ind & Dev Sa:Co | 滑り軸受 |
| JP2008256100A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Toshiba Mach Co Ltd | 油静圧軸受用固定絞り装置 |
| WO2013065268A1 (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-10 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 |
| WO2013073166A1 (ja) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 |
| CN111120512A (zh) * | 2020-01-10 | 2020-05-08 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种节流气浮轴承以及基于该轴承的快轴伺服系统 |
| WO2022022100A1 (zh) * | 2020-07-29 | 2022-02-03 | 青岛海尔智能技术研发有限公司 | 气体轴承、压缩机和空调系统 |
-
1994
- 1994-08-12 JP JP19055294A patent/JP3609455B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11257346A (ja) * | 1998-01-23 | 1999-09-21 | Rech Ind & Dev Sa:Co | 滑り軸受 |
| JP2008256100A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Toshiba Mach Co Ltd | 油静圧軸受用固定絞り装置 |
| WO2013065268A1 (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-10 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 |
| JP2013096502A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Oiles Corp | 静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 |
| TWI504821B (zh) * | 2011-10-31 | 2015-10-21 | Oiles Industry Co Ltd | Static pressure gas bearings and the use of the static pressure gas bearing linear motion guide device |
| WO2013073166A1 (ja) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 |
| JP2013108557A (ja) * | 2011-11-18 | 2013-06-06 | Oiles Corp | 静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 |
| CN103842672A (zh) * | 2011-11-18 | 2014-06-04 | 奥依列斯工业株式会社 | 静压气体轴承及使用该静压气体轴承的直动引导装置 |
| TWI491815B (zh) * | 2011-11-18 | 2015-07-11 | Oiles Industry Co Ltd | Static pressure gas bearings and the use of the static pressure gas bearing linear motion guide device |
| CN111120512A (zh) * | 2020-01-10 | 2020-05-08 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种节流气浮轴承以及基于该轴承的快轴伺服系统 |
| WO2022022100A1 (zh) * | 2020-07-29 | 2022-02-03 | 青岛海尔智能技术研发有限公司 | 气体轴承、压缩机和空调系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3609455B2 (ja) | 2005-01-12 |
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