JPH086182Y2 - クリーンルーム - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はクリーンルームに係り、特に有害ガス除去用
の化学フイルタを備えたクリーンルームに関する。

〔従来の技術〕

半導体製造は、無塵状態の環境に保たれているクリー
ンルームで行われる。クリーンルームには、天井面に取
付けられたフイルタユニットのHEPAフイルタを通過した
清浄エアが吹き出されると共に、そのエアーが通気構造
を有するクリーンルームの床面グレーチングから吸い込
まれて、エアーの循環通路を介して再び天井面のフイル
タユニットからクリーンルーム内に吹き出される。これ
により、エアーの循環が保たれる。

ところで、クリーンルームの室内では、有害ガスを発
生する薬品を取扱う場合がある。係る場合、薬品に含有
する有害ガスは、室内の半導体に悪影響を与えるので、
前記フイルタユニットに有害ガスを除去する化学フイル
タが装着される。前記化学フイルタは、ファンの前段の
エアー循環通路に設置され、循環されたエアー中の有害
ガスを除去している。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、前記化学フイルタをエアーの循環通路
に設置すると、有害ガスを含んでいないエアーでも、化
学フイルタを通過する。従って、フイルタの取付枚数増
による圧力損失が増大するので、ファンの駆動力を増加
しなければならないという欠点がある。

本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、有
害ガスを除去すると共に、フイルタによる圧力損失の増
大を阻止することができるクリーンルームを提供するこ
とを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本考案は前記目的を達成する為に、クリーンルームか
ら吸い込んだエアーを循環通路に設けられた有害ガス除
去用フイルタ及び粉塵等を除去するフイルタを介してク
リーンルーム内に吹出すクリーンルームに於いて、前記
有害ガス除去用フイルタ（34）を前記循環通路に開閉自
在に支持する支持部材（36）と、支持部材（36）を作動
して有害ガス除去用フイルタ（34）を開閉自在に保持す
る駆動源（40）と、吸い込まれたエアー中の有害ガス濃
度を検出するセンサ（28）と、前記センサ（28）で検出
した有害ガスが所定値を超えた時に前記有害ガス除去用
フイルタ（34）を閉じるように駆動源（40）を制御する
制御装置（32）と、を備えたことを特徴とする。

〔作用〕

本考案によれば、床下チャンバ（22）に吸い込まれた
エアー中の有害ガスをセンサ（28）で検知し、検知した
有害ガス濃度が所定濃度を超えた場合、制御装置（32）
が駆動装置（40）を作動して化学フイルタ（34）をエア
ーの循環通路（16a）に対して閉鎖する。また、前記有
害ガス濃度が所定濃度以下の場合、前記制御装置（32）
が駆動装置（40）を作動して化学フイルタ（34）をエア
ーの循環通路（16a）に対して開放する。

〔実施例〕

以下添付図面に従って本考案に係るクリーンルームの
好ましい実施例を詳説する。

第１図は本考案に係るクリーンルームの実施例を示す
断面図が示されている。

第１図に於いて、クリーンルーム10の天井面にはフイ
ルタユニット12、14、16が設置される。前記フイルタユ
ニット12、14、16はファン18、HEPAフイルタ20によって
構成され、このHEPAフイルタ20が前記クリーンルーム10
の天井面を形成している。また、前記ファン18の近傍に
は吸気口12a、14a、16aが形成される。

従って、前記ファン18を回転することによって、エア
ーが前記吸気口12a、14a、16aから吸気され、HEPAフイ
ルタ20を通って前記クリーンルーム10内に供給される。
クリーンルーム10内に吹出された洗浄エアは、クリーン
ルーム10の床に敷設された床面グレーチング22を通過し
て床下チャンバ24に吸い込まれる。

前記クリーンルーム10内には、エタノール等の薬品を
取り扱う作業エリア25が設けられている。前記薬品から
発生する有害ガスは、前記エアーと共に矢印方向に層流
状態で前記床面グレーチング22から床下チャンバ24に送
り込まれる。床下チャンバ24に吸い込まれた有害ガスを
含むエアーは、クリーンルーム10の外部に敷設された床
面グレーチング26を通過して前記ファン18、18、18によ
って吸気され、再びクリーンルーム10内に供給される。

ところで、床下チャンバ24内には有害ガス検知センサ
28が取付けられ、この有害ガス検知センサ28によって床
面グレーチング22を通過したエアー中の有害ガス濃度が
検知される。有害ガス検知センサ28は、ケーブル30を介
して制御装置32に接続され、有害ガス濃度の検出信号が
制御装置32に入力される。

前記フイルタユニット16の吸気口16aには、化学フイ
ルタ34、34が取付けられる。前記化学フイルタ34、34
は、第１図、第２図に示すようにフイルタユニット16に
回動自在に支持された軸36、36に取付けられる。前記軸
36、36は、軸36、36を第２図中矢印方向に回動する回転
軸38に連結され、更にこの回転軸38が駆動モータ40の駆
動軸に駆動モータ40の回転力が伝達可能されるように連
結される。

従って、前記駆動モータ40の駆動力が回転軸38を介し
て軸36、36に伝達されると、軸36、36が回動し化学フイ
ルタ34、34を矢印方向に回動することができる。これに
よって、化学フイルタ34、34は、第２図中実線で示す位
置（回転軸38の軸線方向に平行な位置）に回動した時に
吸気口16aを閉鎖することができ、二点鎖線で示す位置
（回転軸38の軸線方向に対して直交する位置）に回動し
た時に吸気口16aを開放することができる。

前記駆動モータ40は、ケーブル42を介して前記制御装
置32に接続され、制御装置32からの駆動信号に基づいて
駆動を開始、停止することができる。

尚、前記制御装置32は、有害ガス検出センサ28で検出
した有害ガス濃度が10％以上の場合には、ケーブル42を
介して駆動モータ40を駆動させ、前記化学フイルタ34を
第２図中実線で示す位置まで回動して停止させるように
制御する。また、前記有害ガス濃度が10％以下の場合に
は、前記駆動モータ40を逆駆動させ、前記化学フイルタ
34、34を第２図中実線で示す位置から二点鎖線で示す位
置まで回動して停止させるように制御する。

次に、前記制御装置32の制御方法について説明する。

先ず、作業エリア25の薬品から発生した有害ガスは、
第１図中クリーンルーム10の右側の側面に沿って床下チ
ャンバ24に吸い込まれる。従って、有害ガスの略全量が
有害ガス検知センサ28で検知され、その検出信号がケー
ブル36を介して制御装置32に送信される。次に、制御装
置32が前記検出信号を受信すると、この検出信号に基づ
いてエアー中の有害ガス濃度を演算する。演算して求め
られた有害ガス濃度が前述したように10％以上の場合
は、ケーブル42を介して駆動モータ40を駆動し、化学フ
イルタ34、34を第２図中実線で示す位置、即ち吸気口16
aを閉鎖するように90°回動する。これによって、クリ
ーンルーム10から排出されたエアーは化学フイルタ34、
34に通されるので、前記エアー中の有害ガスを除去する
ことができる。

また、有害ガス検知センサ28で検出された有害ガス濃
度が10％以下の場合は、ケーブル42を介して駆動モータ
40を逆回転し、第２図中実線で示す位置にある化学フイ
ルタ34、34を反時計回りに90°回転し、フイルタユニッ
ト16の吸気口16aを開放する。これによって、有害ガス
の含有量が少ないエアーは、化学フイルタ34、34を通過
することなくファン18で吸引されHEPAフイルタ20を通り
クリーンルーム10内に供給される。

このように、本考案に係るクリーンルームによれば、
循環エアを化学フイルタに全て通していた従来のクリー
ンルームと比較し、有害ガス濃度が所定濃度を超えた場
合にのみ、循環エアを化学フイルタに通してクリーンル
ームに供給するようにしたので、フイルタによる圧力損
失の増大を阻止することができる。

尚、本実施例ではフイルタユニット16の吸気口16aに
のみ化学フイルタ34、34を取付けたが、これに限られる
ものではなく、フイルタユニット12、14の吸気口12a、1
4aにも化学フイルタ34、34を取付けても良い。

また、制御装置32による有害ガス濃度のしきい値を10
％としたが、有害ガスの種類に応じて適宜に変更しても
良い。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案に係るクリーンルームによ
れば、クリーンルームを通過したエアー中の有害ガス濃
度が所定濃度を超えた場合にのみ、制御装置で化学フイ
ルタをエア循環通路に対して閉鎖し、前記濃度が所定濃
度以下の場合には、エア循環通路を開放するように、化
学フイルタの開閉を制御したので、有害ガスを除去する
ことができると共に、フイルタによる圧力損失の増加を
阻止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るクリーンルームの実施例を示す断
面図、第２図は本考案に係るクリーンルームの化学フイ
ルタ取付構造を示す要部断面図である。 10…クリーンルーム、12、14、16…フイルタユニット、
18…ファン、20…HEPAフイルタ、22…床面グレーチン
グ、24…床下チャンバ、28…有害ガス検知センサ、32…
制御装置、34…化学フイルタ、40…駆動モータ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】クリーンルームから吸い込んだエアーを循
   環通路に設けられた有害ガス除去用フイルタ及び粉塵等
   を除去するフイルタを介してクリーンルーム内に吹出す
   クリーンルームに於いて、 前記有害ガス除去用フイルタを前記循環通路に開閉自在
   に支持する支持部材と、 支持部材を作動して有害ガス除去用フイルタを開閉自在
   に保持する駆動源と、 吸い込まれたエアー中の有害ガス濃度を検出するセンサ
   と、 前記センサで検出した有害ガスが所定値を超えた時に前
   記有害ガス除去用フイルタを閉じるうように駆動源を制
   御する制御装置と、 を備えたことを特徴とするクリーンルーム。