JPH0861908A - 変位検出装置 - Google Patents
変位検出装置Info
- Publication number
- JPH0861908A JPH0861908A JP20240294A JP20240294A JPH0861908A JP H0861908 A JPH0861908 A JP H0861908A JP 20240294 A JP20240294 A JP 20240294A JP 20240294 A JP20240294 A JP 20240294A JP H0861908 A JPH0861908 A JP H0861908A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetostrictive
- permanent magnet
- current pulse
- detection coil
- line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は変位検出装置に関し、回路構成部品
が少なくて済み、構成が簡単なことを目的とする。 【構成】 磁歪線２６は、磁歪材料で形成されており、
電流パルス発生部２８は、磁歪線に電流パルスを供給す
る。永久磁石３０は、磁歪線に対して相対変位して、磁
歪線に静的磁界を交差させる。検出コイル３１は、磁歪
線の所定位置に配設されている。検出回路は、検出コイ
ルで検出した電流パルスと、上記永久磁石と電流パルス
との相互作用による磁歪信号との時間差を検出して、上
記検出コイルと永久磁石との距離の変位を検出する。
が少なくて済み、構成が簡単なことを目的とする。 【構成】 磁歪線２６は、磁歪材料で形成されており、
電流パルス発生部２８は、磁歪線に電流パルスを供給す
る。永久磁石３０は、磁歪線に対して相対変位して、磁
歪線に静的磁界を交差させる。検出コイル３１は、磁歪
線の所定位置に配設されている。検出回路は、検出コイ
ルで検出した電流パルスと、上記永久磁石と電流パルス
との相互作用による磁歪信号との時間差を検出して、上
記検出コイルと永久磁石との距離の変位を検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は変位検出装置に関し、特
に磁歪現象を利用して変位量を検出する変位検出装置に
関する。
に磁歪現象を利用して変位量を検出する変位検出装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から磁歪現象を利用して変位量を検
出する変位検出装置がある。例えば、特開昭５５−６６
７１０号公報に記載のものは、磁歪線に対して永久磁石
が変位する構造であり、磁歪線に励振パルスを流すと共
に、２つのフリップフロップをセットし、上記パルス電
流によって永久磁石位置で発生した超音波を磁歪線の両
端に設けた一対の受信手段で検出して、夫々に対応する
２つのフリップフロップを別々にリセットし、上記２つ
のフリップフロップ夫々が出力するパルスのパルス幅の
差から磁歪線に対する永久磁石の変位量を検出する。
出する変位検出装置がある。例えば、特開昭５５−６６
７１０号公報に記載のものは、磁歪線に対して永久磁石
が変位する構造であり、磁歪線に励振パルスを流すと共
に、２つのフリップフロップをセットし、上記パルス電
流によって永久磁石位置で発生した超音波を磁歪線の両
端に設けた一対の受信手段で検出して、夫々に対応する
２つのフリップフロップを別々にリセットし、上記２つ
のフリップフロップ夫々が出力するパルスのパルス幅の
差から磁歪線に対する永久磁石の変位量を検出する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来装置は磁歪伝播速
度が周囲温度により変化するのを補償するために、一対
の検出手段及び２つのフリップフロップを必要とし、回
路構成部品が多く複雑であるという問題があった。
度が周囲温度により変化するのを補償するために、一対
の検出手段及び２つのフリップフロップを必要とし、回
路構成部品が多く複雑であるという問題があった。
【０００４】本発明は上記の点に鑑みなされたもので、
磁歪線に供給する電流パルスと永久磁石と電流パルスと
の相互作用による磁歪信号を単一の検出コイルで検出す
ることにより回路構成部品が少なくて済み、構成が簡単
な変位検出装置を提供することを目的とする。
磁歪線に供給する電流パルスと永久磁石と電流パルスと
の相互作用による磁歪信号を単一の検出コイルで検出す
ることにより回路構成部品が少なくて済み、構成が簡単
な変位検出装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
磁歪材料で形成した磁歪線と、上記磁歪線に電流パルス
を供給する電流パルス発生部と、上記磁歪線に対して相
対変位して、上記磁歪線に静的磁界を交差させる永久磁
石と、上記磁歪線の所定位置に配設された検出コイル
と、上記検出コイルで検出した電流パルスと、上記永久
磁石と電流パルスとの相互作用による磁歪信号との時間
差を検出して、上記検出コイルと永久磁石との距離の変
位を検出する検出回路とを有する。
磁歪材料で形成した磁歪線と、上記磁歪線に電流パルス
を供給する電流パルス発生部と、上記磁歪線に対して相
対変位して、上記磁歪線に静的磁界を交差させる永久磁
石と、上記磁歪線の所定位置に配設された検出コイル
と、上記検出コイルで検出した電流パルスと、上記永久
磁石と電流パルスとの相互作用による磁歪信号との時間
差を検出して、上記検出コイルと永久磁石との距離の変
位を検出する検出回路とを有する。
【０００６】請求項２に記載の発明では、前記磁歪線は
導電性材料で形成された筒体内に配設されており、上記
磁歪線の外周面に酸化被膜を形成する。
導電性材料で形成された筒体内に配設されており、上記
磁歪線の外周面に酸化被膜を形成する。
【０００７】請求項３に記載の発明では、前記筒体は、
ショックアブソーバのアブソーバロッドの内部に設けて
あり、前記永久磁石は上記ショックアブソーバのアブソ
ーバシリンダに固定されており、上記永久磁石の両極を
挟む軟磁性材を有し、車両の車高を測定する。
ショックアブソーバのアブソーバロッドの内部に設けて
あり、前記永久磁石は上記ショックアブソーバのアブソ
ーバシリンダに固定されており、上記永久磁石の両極を
挟む軟磁性材を有し、車両の車高を測定する。
【０００８】
【作用】請求項１に記載の発明においては、検出コイル
で磁歪線の電流パルスと磁歪信号とを検出するため、検
出コイルが１つで済み、回路構成部品が少なくて済み、
構成が簡単となる。
で磁歪線の電流パルスと磁歪信号とを検出するため、検
出コイルが１つで済み、回路構成部品が少なくて済み、
構成が簡単となる。
【０００９】請求項２に記載の発明においては、磁歪線
に酸化被膜を形成することにより、筒体との絶縁を行う
ことができ、筒体の磁歪線配設スペースを小さくでき、
かつ酸化被膜形成時の加熱により磁歪線の加工歪も低減
できる。
に酸化被膜を形成することにより、筒体との絶縁を行う
ことができ、筒体の磁歪線配設スペースを小さくでき、
かつ酸化被膜形成時の加熱により磁歪線の加工歪も低減
できる。
【００１０】請求項３に記載の発明においては、軟磁性
材で永久磁石の両極を挟むことにより、永久磁石からの
磁束を筒体に向けて集中的に出し、アブソーバロッドが
磁性材料であっても永久磁石の磁界を磁歪線に有効に交
差させることができる。
材で永久磁石の両極を挟むことにより、永久磁石からの
磁束を筒体に向けて集中的に出し、アブソーバロッドが
磁性材料であっても永久磁石の磁界を磁歪線に有効に交
差させることができる。
【００１１】
【実施例】図２は本発明装置の一実施例の構成図を示
す。この実施例は変位検出装置をエアサスペンションの
ショックアブソーバに車高センサとして適用している。
す。この実施例は変位検出装置をエアサスペンションの
ショックアブソーバに車高センサとして適用している。
【００１２】同図中、アブソーバシリンダ１１とサスタ
ワー（図示せず）との間には高圧のエアを封入するメイ
ンエアチャンバ１２及びサブエアチャンバ１３が形成さ
れている。アブソーバシリンダ１１は上下動するため、
メインエアチャンバ１２とアブソーバシリンダ１１とは
フレキシブル樹脂で形成されたダイヤフラム１５で連結
されている。
ワー（図示せず）との間には高圧のエアを封入するメイ
ンエアチャンバ１２及びサブエアチャンバ１３が形成さ
れている。アブソーバシリンダ１１は上下動するため、
メインエアチャンバ１２とアブソーバシリンダ１１とは
フレキシブル樹脂で形成されたダイヤフラム１５で連結
されている。
【００１３】ショックアブソーバの減衰力制御はピスト
ン２０内に設けられた可変オリフィスを切換えることに
より行われる。ピストン２０で仕切られたアブソーバシ
リンダ１１内の上下室のオイルが、アブソーバシリンダ
１１の上下動に伴い、可変オリフィスを通して移動する
ことにより減衰力が発生する。従って、オリフィスの径
を可変して減衰力を増減させる。
ン２０内に設けられた可変オリフィスを切換えることに
より行われる。ピストン２０で仕切られたアブソーバシ
リンダ１１内の上下室のオイルが、アブソーバシリンダ
１１の上下動に伴い、可変オリフィスを通して移動する
ことにより減衰力が発生する。従って、オリフィスの径
を可変して減衰力を増減させる。
【００１４】減衰力切換機構は、アブソーバロッド２２
内に配設されているコントロールロッド２３を回転させ
てオリフィスの径を切換える。このため、アブソーバロ
ッド２２の上部に減衰力切換アクチュエータ２５が配設
されている。
内に配設されているコントロールロッド２３を回転させ
てオリフィスの径を切換える。このため、アブソーバロ
ッド２２の上部に減衰力切換アクチュエータ２５が配設
されている。
【００１５】また、アブソーバロッド２２内には内部に
磁歪線２６を備える筒体２７が配設されている。筒体２
７の上部には電流パルス発生部２８が設けられ、ここで
発生した電流パルスが磁歪線２６に供給される。アブソ
ーバシリンダ１１の上部にはリング状の永久磁石３０が
アブソーバロッド２２に挿通された状態で配設固定され
ている。更に、電流パルス発生部２８が設けられた側の
内部に磁歪線２６を備える筒体２７の端部には検出コイ
ル３１が磁歪線２６を周回する状態で配設されている。
磁歪線２６を備える筒体２７が配設されている。筒体２
７の上部には電流パルス発生部２８が設けられ、ここで
発生した電流パルスが磁歪線２６に供給される。アブソ
ーバシリンダ１１の上部にはリング状の永久磁石３０が
アブソーバロッド２２に挿通された状態で配設固定され
ている。更に、電流パルス発生部２８が設けられた側の
内部に磁歪線２６を備える筒体２７の端部には検出コイ
ル３１が磁歪線２６を周回する状態で配設されている。
【００１６】ここで、車高が変化し、メインエアチャン
バ１２の容量が変化すると、それと共にピストン２０が
アブソーバシリンダ１１内を上下するので検出コイル３
１から永久磁石３０までの間の磁歪線２６の長さが変化
する。
バ１２の容量が変化すると、それと共にピストン２０が
アブソーバシリンダ１１内を上下するので検出コイル３
１から永久磁石３０までの間の磁歪線２６の長さが変化
する。
【００１７】磁歪線２６はＦｅ−Ｎｉ又はＦｅ−Ｃｏ等
を主成分とした、温度による密度変化の極めて小さな軟
質磁性材料を用いる。特にＮｉ４５〜５０−Ｆｅは−１
００〜４００℃の温度範囲で熱膨脹係数が略一定で磁歪
伝達速度の変化が極めて小さい。
を主成分とした、温度による密度変化の極めて小さな軟
質磁性材料を用いる。特にＮｉ４５〜５０−Ｆｅは−１
００〜４００℃の温度範囲で熱膨脹係数が略一定で磁歪
伝達速度の変化が極めて小さい。
【００１８】図３（Ａ）に示す如く、磁歪線２６は導電
性の非磁性材料で形成された筒体２７内に配設され、磁
歪線２６の一端２６ａと筒体２７の一端２７ａとを接続
し、磁歪線２６の他端２６ｂと筒体２７の他端２７ｂと
の間にパルス発生部２８を接続して磁歪線２６に電流パ
ルスを供給するため、磁歪線２６と筒体２７との間は両
者の一端２６ａ，２７ａを除いて絶縁をとる必要があ
る。
性の非磁性材料で形成された筒体２７内に配設され、磁
歪線２６の一端２６ａと筒体２７の一端２７ａとを接続
し、磁歪線２６の他端２６ｂと筒体２７の他端２７ｂと
の間にパルス発生部２８を接続して磁歪線２６に電流パ
ルスを供給するため、磁歪線２６と筒体２７との間は両
者の一端２６ａ，２７ａを除いて絶縁をとる必要があ
る。
【００１９】このため、図３（Ｂ）に示す如く磁歪線２
６の外周面に酸化被膜４０を形成して絶縁を行う。磁歪
線２６の製造時に冷間加工を行うと加工歪が発生し磁歪
効果も小さくなる。この加工歪を除くための焼鈍加工時
に酸化被膜４０を同時に形成し、加工歪も低減させる。
このように酸化被膜４０を形成した磁歪線２６は別途絶
縁材を設ける必要がないため、筒体２７の磁歪線収容ス
ペースを小さくでき、図３（Ｃ），（Ｄ）夫々に示す如
く磁歪線２６を筒体２７の一部に埋め込む構造とするこ
とも可能となる。
６の外周面に酸化被膜４０を形成して絶縁を行う。磁歪
線２６の製造時に冷間加工を行うと加工歪が発生し磁歪
効果も小さくなる。この加工歪を除くための焼鈍加工時
に酸化被膜４０を同時に形成し、加工歪も低減させる。
このように酸化被膜４０を形成した磁歪線２６は別途絶
縁材を設ける必要がないため、筒体２７の磁歪線収容ス
ペースを小さくでき、図３（Ｃ），（Ｄ）夫々に示す如
く磁歪線２６を筒体２７の一部に埋め込む構造とするこ
とも可能となる。
【００２０】ところで、永久磁石３０は静的磁界を磁歪
線２６に交差させるために設けられているが、図４
（Ａ）に示す如く永久磁石３０と磁歪線２６を内部に備
えた筒体２７との間には磁性材料のアブソーバロッド２
２が存在する。この場合、永久磁石３０からアブソーバ
ロッド２２の長手方向に沿って出た磁束の大半は磁気抵
抗の小さなアブソーバロッド２２を通る磁気ループを形
成し、わずかの磁束が磁歪線２６及び筒体２７に交差す
るだけとなる。
線２６に交差させるために設けられているが、図４
（Ａ）に示す如く永久磁石３０と磁歪線２６を内部に備
えた筒体２７との間には磁性材料のアブソーバロッド２
２が存在する。この場合、永久磁石３０からアブソーバ
ロッド２２の長手方向に沿って出た磁束の大半は磁気抵
抗の小さなアブソーバロッド２２を通る磁気ループを形
成し、わずかの磁束が磁歪線２６及び筒体２７に交差す
るだけとなる。
【００２１】そこで、図４（Ｂ）に示す如く永久磁石３
０の両極を軟磁性材３３，３４で挟持する。これによ
り、永久磁石３０の磁束の大半は軟磁性材３３，３４か
らアブソーバロッド２２の軸方向に出て、これに対向す
るアブソーバロッド２２を通る磁気ループを形成し、磁
束が軟磁性材３３，３４に集中するため、多くの磁束が
漏洩して永久磁石の磁界を有効に磁歪線２６及び筒体２
７に交差させることができる。これによって磁歪線２６
に生じる機械的ねじれを大きくでき、検出コイル３１で
検出される磁歪信号のレベルが大きくなる。
０の両極を軟磁性材３３，３４で挟持する。これによ
り、永久磁石３０の磁束の大半は軟磁性材３３，３４か
らアブソーバロッド２２の軸方向に出て、これに対向す
るアブソーバロッド２２を通る磁気ループを形成し、磁
束が軟磁性材３３，３４に集中するため、多くの磁束が
漏洩して永久磁石の磁界を有効に磁歪線２６及び筒体２
７に交差させることができる。これによって磁歪線２６
に生じる機械的ねじれを大きくでき、検出コイル３１で
検出される磁歪信号のレベルが大きくなる。
【００２２】ここで、電流パルス発生部２８で発生した
電流パルスを磁歪線２６に供給すると、この電流パルス
により磁歪線２６に円周方向の局所的磁場が形成され、
電流パルスが磁歪線２６の軸方向下方へ瞬時に伝播する
に伴い、上記円周方向の磁場は軸方向に発生する。上記
電流パルスが検出コイル３１の設置位置を通るとき、検
出コイル３１には起電力が生じる。
電流パルスを磁歪線２６に供給すると、この電流パルス
により磁歪線２６に円周方向の局所的磁場が形成され、
電流パルスが磁歪線２６の軸方向下方へ瞬時に伝播する
に伴い、上記円周方向の磁場は軸方向に発生する。上記
電流パルスが検出コイル３１の設置位置を通るとき、検
出コイル３１には起電力が生じる。
【００２３】この円周方向の磁場が永久磁石３０による
軸方向の磁場とぶつかることにより磁歪線２６をねじる
方向に合成磁場が形成される。磁歪材は磁場を与えると
磁力線方向に歪を生じ、逆に機械的歪を与えると歪方向
に磁化される物理的性質を持っている。このため、永久
磁石３０配置位置において磁歪線２６に機械的ねじれが
発生し、この機械的ねじれは磁歪線２６の磁化を伴って
磁歪線２６上をアブソーバロッド２２の上下方向に伝播
し、検出コイル３１の設置位置まで到達する。検出コイ
ル３１には磁歪線２６の機械的ねじれに伴う磁化により
起電力が生じる。
軸方向の磁場とぶつかることにより磁歪線２６をねじる
方向に合成磁場が形成される。磁歪材は磁場を与えると
磁力線方向に歪を生じ、逆に機械的歪を与えると歪方向
に磁化される物理的性質を持っている。このため、永久
磁石３０配置位置において磁歪線２６に機械的ねじれが
発生し、この機械的ねじれは磁歪線２６の磁化を伴って
磁歪線２６上をアブソーバロッド２２の上下方向に伝播
し、検出コイル３１の設置位置まで到達する。検出コイ
ル３１には磁歪線２６の機械的ねじれに伴う磁化により
起電力が生じる。
【００２４】図１は検出回路の一実施例の回路図を示
す。同図中、検出コイル３１と並列に抵抗Ｒ1 及びコン
デンサＣ1 が接続され、発振回路を構成している。磁歪
線２６に電流パルスを流すと、検出コイル３１には電流
パルスの一次微分の誘導起電力が発生し、また磁歪線２
６の機械的ねじれに伴う誘導起電力が発生する。
す。同図中、検出コイル３１と並列に抵抗Ｒ1 及びコン
デンサＣ1 が接続され、発振回路を構成している。磁歪
線２６に電流パルスを流すと、検出コイル３１には電流
パルスの一次微分の誘導起電力が発生し、また磁歪線２
６の機械的ねじれに伴う誘導起電力が発生する。
【００２５】上記検出コイル３１の誘導起電力は次式で
表わされる。
表わされる。
【００２６】
【数１】
【００２７】但し、ａ1 ，ａ2 はコイルの内半径、外半
径、Ｌはコイル長、Ｎは総巻数、ｍは磁化量、Ｖは磁歪
伝達速度である。
径、Ｌはコイル長、Ｎは総巻数、ｍは磁化量、Ｖは磁歪
伝達速度である。
【００２８】これによって、上記発振回路の出力電圧を
増幅したバッファ４０の出力信号は図５（Ａ）に示す如
くなる。ここで、Ｐ１が電流パルスの検出信号、Ｐ２が
機械的ねじれの検出信号である。
増幅したバッファ４０の出力信号は図５（Ａ）に示す如
くなる。ここで、Ｐ１が電流パルスの検出信号、Ｐ２が
機械的ねじれの検出信号である。
【００２９】この図５（Ａ）に示す検出信号ａはコンパ
レータ４１において基準値と比較されて、図５（Ｂ）に
示すパルス信号ｂに整形される。パルス信号ｂはＤ形フ
リップフロップ４２のＱ端子出力をデータ入力端子Ｄに
フィードバックして構成したＴ形フリップフロップによ
り１／２分周されて図５（Ｃ）に示すパルス信号Ｃとさ
れる。パルス信号Ｃは検出信号Ｐ１時点で立下り、検出
信号Ｐ２時点で立上るパルスである。
レータ４１において基準値と比較されて、図５（Ｂ）に
示すパルス信号ｂに整形される。パルス信号ｂはＤ形フ
リップフロップ４２のＱ端子出力をデータ入力端子Ｄに
フィードバックして構成したＴ形フリップフロップによ
り１／２分周されて図５（Ｃ）に示すパルス信号Ｃとさ
れる。パルス信号Ｃは検出信号Ｐ１時点で立下り、検出
信号Ｐ２時点で立上るパルスである。
【００３０】パルス信号ｃはトランジスタ４３のベース
に供給される。トランジスタ４３はパルス信号ｃのロー
レベル期間に遮断し、コンデンサＣ2 は抵抗Ｒ2 を通し
て時定数Ｃ2 ・Ｒ2 で充電される。これによってトラン
ジスタ４３のコレクタ電圧は図５（Ｄ）に示す如くパル
ス信号ｃのローレベル期間が長いほど上昇する。これと
共に、パルス信号ｃはコンデンサＣ3 とダイオードＤ1
と、抵抗Ｒ3 とで構成される微分回路に供給され、パル
ス信号ｃの立上りを検出した図５（Ｅ）に示す立上りエ
ッジパルスｅが生成される。
に供給される。トランジスタ４３はパルス信号ｃのロー
レベル期間に遮断し、コンデンサＣ2 は抵抗Ｒ2 を通し
て時定数Ｃ2 ・Ｒ2 で充電される。これによってトラン
ジスタ４３のコレクタ電圧は図５（Ｄ）に示す如くパル
ス信号ｃのローレベル期間が長いほど上昇する。これと
共に、パルス信号ｃはコンデンサＣ3 とダイオードＤ1
と、抵抗Ｒ3 とで構成される微分回路に供給され、パル
ス信号ｃの立上りを検出した図５（Ｅ）に示す立上りエ
ッジパルスｅが生成される。
【００３１】ＦＥＴ４４，４５と、コンデンサＣ4 と、
抵抗Ｒ4 とバッファ４６とでサンプルホールド回路が構
成されている。立上りエッジパルスｅの発生時点でサン
プルホールド回路はトランジスタＱのコレクタ電圧を図
５（Ｆ）に示す如くサンプリングホールドし端子４７よ
り出力する。つまり、このホールド電圧は検出信号Ｐ１
から検出信号Ｐ２までの期間に応じた電圧となる。
抵抗Ｒ4 とバッファ４６とでサンプルホールド回路が構
成されている。立上りエッジパルスｅの発生時点でサン
プルホールド回路はトランジスタＱのコレクタ電圧を図
５（Ｆ）に示す如くサンプリングホールドし端子４７よ
り出力する。つまり、このホールド電圧は検出信号Ｐ１
から検出信号Ｐ２までの期間に応じた電圧となる。
【００３２】このように本実施例では検出コイル３１で
電流パルス及び磁歪信号を検出するため、磁歪線に電流
パルスを供給してから超音波が発生するまでの遅れが生
じることはなく、かつ回路構成部品数が従来より少なく
て済み、構成が簡単となる。
電流パルス及び磁歪信号を検出するため、磁歪線に電流
パルスを供給してから超音波が発生するまでの遅れが生
じることはなく、かつ回路構成部品数が従来より少なく
て済み、構成が簡単となる。
【００３３】
【発明の効果】上述の如く、請求項１に記載の発明によ
れば、検出コイルで磁歪線の電流パルスと磁歪信号とを
検出するため、検出コイルが１つで済み、回路構成部品
が少なくて済み、構成が簡単となる。
れば、検出コイルで磁歪線の電流パルスと磁歪信号とを
検出するため、検出コイルが１つで済み、回路構成部品
が少なくて済み、構成が簡単となる。
【００３４】また、請求項２に記載の発明によれば、磁
歪線に酸化被膜を形成することにより、筒体との絶縁を
行うことができ、筒体の磁歪線配設スペースを小さくで
き、かつ酸化被膜形成時の加熱により磁歪線の加工歪も
低減できる。
歪線に酸化被膜を形成することにより、筒体との絶縁を
行うことができ、筒体の磁歪線配設スペースを小さくで
き、かつ酸化被膜形成時の加熱により磁歪線の加工歪も
低減できる。
【００３５】また、請求項３に記載の発明によれば、軟
磁性材で永久磁石の両極を挟むことにより、永久磁石か
らの磁束を筒体に向けて集中的に出し、アブソーバロッ
ドが磁性材料であっても永久磁石の磁界を磁歪線に有効
に交差させることができ、磁歪現象による磁歪線の機械
的ねじれを大きくでき、検出コイルで検出される磁歪信
号のレベルが大きくなり、実用上きわめて有用である。
磁性材で永久磁石の両極を挟むことにより、永久磁石か
らの磁束を筒体に向けて集中的に出し、アブソーバロッ
ドが磁性材料であっても永久磁石の磁界を磁歪線に有効
に交差させることができ、磁歪現象による磁歪線の機械
的ねじれを大きくでき、検出コイルで検出される磁歪信
号のレベルが大きくなり、実用上きわめて有用である。
【図１】本発明装置の検出回路の回路図である。
【図２】本発明装置の構成図である。
【図３】本発明装置の磁歪線を説明するための図であ
る。
る。
【図４】本発明装置の永久磁石及び軟磁性材を説明する
ための図である。
ための図である。
【図５】図１の回路各部の信号タイミングチャートであ
る。
る。
１１ アブソーバシリンダ １２ メインエアチャンバ １３ サブエアチャンバ ２０ ピストン ２２ アブソーバロッド ２３ コントロールロッド ２５ アクチュエータ ２６ 磁歪線 ２７ 筒体 ２８ 電流パルス発生部 ３０ 永久磁石 ３１ 検出コイル ３３，３４ 軟磁性材 ４０ 酸化被膜
Claims (3)
- 【請求項１】 磁歪材料で形成した磁歪線と、 上記磁歪線に電流パルスを供給する電流パルス発生部
と、 上記磁歪線に対して相対変位して、上記磁歪線に静的磁
界を交差させる永久磁石と、 上記磁歪線の所定位置に配設された検出コイルと、 上記検出コイルで検出した電流パルスと、上記永久磁石
と電流パルスとの相互作用による磁歪信号との時間差を
検出して、上記検出コイルと永久磁石との距離の変位を
検出する検出回路とを有することを特徴とする変位検出
装置。 - 【請求項２】 前記磁歪線は導電性材料で形成された筒
体内に配設されており、上記磁歪線の外周面に酸化被膜
を形成したことを特徴とする請求項１記載の変位検出装
置。 - 【請求項３】 前記筒体は、ショックアブソーバのアブ
ソーバロッドの内部に設けてあり、前記永久磁石は上記
ショックアブソーバのアブソーバシリンダに固定されて
おり、 上記永久磁石の両極を挟む軟磁性材を有し、 車輛の車高を測定することを特徴とする請求項２記載の
変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6202402A JP3060845B2 (ja) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | 変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6202402A JP3060845B2 (ja) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | 変位検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0861908A true JPH0861908A (ja) | 1996-03-08 |
| JP3060845B2 JP3060845B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=16456916
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6202402A Expired - Lifetime JP3060845B2 (ja) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | 変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3060845B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1015890A (ja) * | 1996-07-04 | 1998-01-20 | Meisan Kk | スリッター等位置決め装置 |
| CN109357611A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-02-19 | 柳州钢铁股份有限公司 | 磁致伸缩位移传感器检测校验装置 |
-
1994
- 1994-08-26 JP JP6202402A patent/JP3060845B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1015890A (ja) * | 1996-07-04 | 1998-01-20 | Meisan Kk | スリッター等位置決め装置 |
| CN109357611A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-02-19 | 柳州钢铁股份有限公司 | 磁致伸缩位移传感器检测校验装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3060845B2 (ja) | 2000-07-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6401883B1 (en) | Vehicle suspension strut having a continuous position sensor | |
| Pasquale | Mechanical sensors and actuators | |
| US5717330A (en) | Magnetostrictive linear displacement transducer utilizing axial strain pulses | |
| CN1697980B (zh) | 磁性传感器 | |
| US5392881A (en) | Device for dampening vibratory motion | |
| JPS63191904A (ja) | 非接触形位置検出センサ | |
| KR900702374A (ko) | 전자석 감쇠 관성 센서 | |
| US4338823A (en) | Vibration sensor | |
| US4361045A (en) | Vibration sensor | |
| US5821743A (en) | Magnetostrictive waveguide position measurement apparatus with piezoceramic element | |
| US9479031B2 (en) | Tubular linear motor with magnetostrictive sensor | |
| CN106771498A (zh) | 可无线、无源、非接触、多线测量直流电流的装置及方法 | |
| JP3431471B2 (ja) | パルス信号発生装置 | |
| JPS58143223A (ja) | 振動検知器 | |
| CN111103039B (zh) | 油箱油位传感器 | |
| US4371272A (en) | Thermodetector | |
| JPS6226409B2 (ja) | ||
| JP3060845B2 (ja) | 変位検出装置 | |
| WO2007021713A1 (en) | Magneto-elastic resonator torque sensor | |
| US6271660B1 (en) | Permanent multi-pole position magnet | |
| US20020008340A1 (en) | Air spring having two end members and a distance sensor mounted therebetween | |
| JP3679907B2 (ja) | パルス信号発生装置 | |
| JPH10246620A (ja) | 磁歪式変位検出装置 | |
| US3189849A (en) | Torsional sonic wire delay line | |
| JPH08114437A (ja) | 変位検出装置 |