JPH0861941A

JPH0861941A - 放射線検査装置

Info

Publication number: JPH0861941A
Application number: JP6198571A
Authority: JP
Inventors: Takeo Tsuchiya; 武雄土屋; Masaji Fujii; 正司藤井; Kiichiro Uyama; 喜一郎宇山; Miki Mori; 三樹森; Hirokatsu Suzuki; 博勝鈴木
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1994-08-23
Filing date: 1994-08-23
Publication date: 1996-03-08

Abstract

(57)【要約】【目的】被検体の放射線吸収により放射線エネルギ分
布が異なることを利用して被検体の断面像を適確に得る
ことができる放射線検査装置を提供する。【構成】Ｘ線発生器１、被検体３、第１のＸ線検出器
用蛍光板５ａ、Ｘ線フィルタ６、第２のＸ線検出器用蛍
光板７ａを直列に配設し、蛍光板５ａと蛍光板７ａの間
に設けられたＸ線フィルタ６は各Ｘ線検出器からの信号
が異なる放射線エネルギ分布に対応するように透過する
放射線の線質を変化させている。被検体３を透過したＸ
線発生器１からのＸ線ビーム２を蛍光板５ａおよび蛍光
板７ａで受けて、該蛍光板に形成される被検体の透過画
像データをテレビカメラ５ｂおよびテレビカメラ７ｂで
撮像し、この撮像データを画像処理装置１２に供給す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被検体を透過した放射
線を検出し、被検体の断面像を得るラミノグラフである
放射線検査装置に関し、更に詳しくは、放射線ラミノグ
ラフィ技術を使用して、例えば実装基板の半田付け部分
やプリント配線基板の銅箔パターンを非破壊で検査する
ために使用される放射線検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】実装基板の半田付け部分やプリント配線
基板の銅箔パターンを非破壊で検査する方法として、放
射線ラミノグラフィ技術を利用した放射線検査装置、す
なわちラミノグラフが開発されている。このラミノグラ
フは、基板に対して垂直方向から放射線を照射して、多
層基板の所望の箇所の断面像、すなわち多層基板の目的
とする特定の深さの所の断面像を得ることができるた
め、基板検査に適している。

【０００３】しかしながら、ラミノグラフは、放射線の
視点を変えることにより、検査対象の画像に不動の一点
を除いて、ぼけを生じさせ、多層基板の目的とする特定
の深さのみの断面像を取り出すものであり、本来は鮮明
な放射線透過像にずれによるぼけを強制的に作り出すも
のであるため、画像の質は低く、鮮明な画像が得られに
くい。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のラミノグラフに
よって実装基板の半田付け部分や多層基板の内層板の銅
箔パターン部分を検査する場合において、半田付け部分
の検査では、半田付け部分の厚みがあり、Ｘ線の吸収が
大きいために、比較的高いＸ線エネルギを必要とし、ま
た内層板の銅箔パターンの検査では、検査対象である銅
箔の厚みが半田付け部分に比較して薄いため、低いＸ線
エネルギの方が銅箔パターンの細部の抽出には適してい
る。このような結果、半田付け部分の検査を行うのに適
した高Ｘ線エネルギを用いると、銅箔部分はＸ線吸収が
少ないために、画像として現れなくなるという問題があ
る。

【０００５】また、このような問題を避けるために、異
なるＸ線エネルギを照射する方法も考えられるが、これ
にはＸ線エネルギを切り替えるための時間が必要とな
り、装置の処理速度が低下するという問題がある。

【０００６】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、被検体の放射線吸収により放
射線エネルギ分布が異なることを利用して被検体の断面
像を適確に得ることができる放射線検査装置を提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の放射線検査装置は、被検体に向けて放射線
を発生する放射線発生手段と、被検体を透過した前記放
射線発生手段からの放射線を検出すべく前記放射線発生
手段に対向して互いに直列に配設されるとともに、各々
は前記放射線発生手段からの放射線を透過し得る複数の
放射線検出手段と、該複数の放射線検出手段の間に設け
られ、前記各放射線検出手段からの信号が異なる放射線
エネルギ分布に対応するように透過する放射線の線質を
変化させる放射線フィルタ手段と、前記複数の放射線検
出手段からの出力信号を演算し、被検体の所望の検査対
象箇所の放射線断面像を得る演算手段とを有することを
要旨とする。

【０００８】また、本発明の放射線検査装置は、前記演
算手段が前記複数の放射線検出手段間の前記放射線発生
手段からの距離が異なることにより生じる放射線透過画
像の大きさを補正し、この補正された放射線透過画像を
前記各放射線検出手段が検出する放射線エネルギ領域に
異なる特性をもたせるように補正する補正手段を有する
ことを要旨とする。

【０００９】更に、本発明の放射線検査装置は、前記複
数の放射線検出手段が第１および第２の放射線検出手段
から構成され、該放射線検出手段が被検体を透過した放
射線を２次元の光像に変換する２次元放射線／光変換手
段および該２次元放射線／光変換手段で変換された画像
を撮像する撮像手段から構成され、前記放射線フィルタ
手段が前記放射線発生手段からの被検体を透過した放射
線ビームに対して傾斜して配設されたミラー手段で構成
され、前記第１の放射線検出手段を構成する前記撮像手
段が前記ミラー手段で反射された画像を撮像するように
放射線ビーム内から外されて配設されていることを要旨
とする。

【００１０】本発明の放射線検査装置は、前記複数の放
射線検出手段が第１および第２の放射線検出手段から構
成され、該第１および第２の放射線検出手段の検出特性
のエネルギ領域が被検体の放射線吸収係数の吸収端をは
さむ領域であり、該第１および第２の放射線検出手段で
検出した透過画像データを演算することにより、画像コ
ントラストを強調できるものであることを要旨とする。

【００１１】また、本発明の放射線検査装置は、前記被
検体の放射線吸収係数の吸収端に相当する放射線のエネ
ルギ領域が約９０ｋｅＶであり、半田に含まれる鉛の画
像コントラストを強調できるものであることを要旨とす
る。

【００１２】更に、本発明の放射線検査装置は、前記被
検体の放射線吸収係数の吸収端に相当する放射線のエネ
ルギ領域が約３０ｋｅＶであり、半田に含まれる錫の画
像コントラストを強調できるものであることを要旨とす
る。

【００１３】本発明の放射線検査装置は、前記ミラー手
段が両面ミラー手段であり、前記第１および第２の２次
元放射線／光変換手段の光像出力が前記両面ミラーに対
向する方向であり、該両面ミラーで反射された光像が前
記第１および第２の放射線検出手段の前記撮像手段で撮
像されることを要旨とする。

【００１４】

【作用】本発明の放射線検査装置では、複数の放射線検
出手段を直列に配設するとともに、各放射線検出手段か
らの信号が異なる放射線エネルギ分布に対応するように
透過する放射線の線質を変化させるべく複数の放射線検
出手段の間に放射線フィルタ手段を配設し、複数の放射
線検出手段からの出力信号を演算し、被検体の所望の検
査対象箇所の放射線断面像を得ている。

【００１５】また、本発明の放射線検査装置では、上記
において、複数の放射線検出手段間の放射線発生手段か
らの距離が異なることにより生じる放射線透過画像の大
きさを補正し、この補正された放射線透過画像を各放射
線検出手段が検出する放射線エネルギ領域に異なる特性
をもたせるように補正している。

【００１６】更に、本発明の放射線検査装置では、前記
複数の放射線検出手段が第１および第２の放射線検出手
段から構成され、該放射線検出手段が２次元放射線／光
変換手段および撮像手段から構成され、前記放射線フィ
ルタ手段が放射線ビームに対して傾斜して配設されたミ
ラー手段で構成され、前記第１の放射線検出手段を構成
する前記撮像手段が前記ミラー手段で反射された画像を
撮像するように放射線ビーム内から外されて配設されて
いる。

【００１７】本発明の放射線検査装置では、前記複数の
放射線検出手段を構成する第１および第２の放射線検出
手段の検出特性のエネルギ領域が被検体の放射線吸収係
数の吸収端をはさむ領域であり、該第１および第２の放
射線検出手段で検出した透過画像データを演算すること
により、画像コントラストを強調できるものである。

【００１８】また、本発明の放射線検査装置では、被検
体の放射線吸収係数の吸収端に相当する放射線のエネル
ギ領域が約９０ｋｅＶであり、半田に含まれる鉛の画像
コントラストを強調できるものである。

【００１９】更に、本発明の放射線検査装置では、被検
体の放射線吸収係数の吸収端に相当する放射線のエネル
ギ領域が約３０ｋｅＶであり、半田に含まれる錫の画像
コントラストを強調できるものである。

【００２０】本発明の放射線検査装置では、前記ミラー
手段が両面ミラー手段であり、前記第１および第２の２
次元放射線／光変換手段の光像出力が前記両面ミラーに
対向する方向であり、該両面ミラーで反射された光像が
前記第１および第２の放射線検出手段の前記撮像手段で
撮像される。

【００２１】

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。

【００２２】図１は、本発明の一実施例に係わる放射線
検査装置の構成を示す斜視図である。同図に示す放射線
検査装置は、例えばプリント基板の半田付け部分や多層
基板の内層板の銅箔パターン部分等の被検体３の所望の
箇所の断面像を得る所謂ラミノグラフを構成するもので
あり、載物台４の上に載置された被検体３に向けてＸ線
を照射するＸ線発生器１を有する。該Ｘ線発生器１から
被検体３に向けて放射されたＸ線ビーム２は、被検体３
を透過した後、第１のＸ線検出器５の蛍光板５ａを更に
透過し、それから更に該蛍光板５ａの下方に配設されて
いるＸ線フィルタ６を透過した後、第２のＸ線検出器７
の蛍光板７ａを透過するようになっており、これらの被
検体３、第１のＸ線検出器用蛍光板５ａ、Ｘ線フィルタ
６、第２のＸ線検出器用蛍光板７ａはＸ線発生器１から
のＸ線ビーム２が下方に透過し得るように互いに直列に
配設されている。

【００２３】前記Ｘ線フィルタ６は、第１のＸ線検出器
用蛍光板５ａに対して傾斜して設けられるとともに、こ
の傾斜したＸ線フィルタ６に対向して第１のＸ線検出器
５のテレビカメラ５ｂが設けられ、これにより被検体３
および第１のＸ線検出器用蛍光板５ａを透過したＸ線発
生器１からのＸ線ビーム２がＸ線フィルタ６を透過する
ことにより該Ｘ線フィルタ６に形成される被検体３の透
過画像を第１のＸ線検出器用テレビカメラ５ｂによって
撮像し得るようになっている。

【００２４】また、前記第２のＸ線検出器用蛍光板７ａ
の真下には第２のＸ線検出器７のテレビカメラ７ｂが配
設され、これにより該第２のＸ線検出器用蛍光板７ａに
形成された被検体３の透過像、すなわち被検体３、第１
のＸ線検出器用蛍光板５ａ、Ｘ線フィルタ６を透過して
第２のＸ線検出器用蛍光板７ａに形成された被検体３の
透過画像を該第２のＸ線検出器用テレビカメラ７ｂで撮
像し得るようになっている。

【００２５】なお、第１のＸ線検出器５は、蛍光板５ａ
および第１のＸ線検出器用テレビカメラ５ｂで構成さ
れ、第２のＸ線検出器７は、蛍光板７ａおよびテレビカ
メラ７ｂで構成されている。

【００２６】前記Ｘ線発生器１、第１のＸ線検出器５、
および第２のＸ線検出器７は、それぞれＸ線発生器用駆
動機構８、Ｘ線検出器用駆動機構９に連結され、これら
の駆動機構によりラミノグラフを作成するための所定の
機械的運動を行うように構成されている。また、載物台
４も載物台用駆動機構１０に連結され、被検体３の所望
の投影像を得るために位置を変化することができるよう
になっている。更に、Ｘ線発生器用駆動機構８および載
物台用駆動機構１０はそれぞれ駆動機構の位置を検出す
る位置検出器であるエンコーダを有している。

【００２７】前記第１のＸ線検出器用テレビカメラ５ｂ
および第２のＸ線検出器用テレビカメラ７ｂで撮像され
た被検体３の透過画像情報は、それぞれ増幅回路１１を
介して画像処理装置１２に供給される。画像処理装置１
２は、前記増幅回路１１からのアナログ信号をディジタ
ル信号に変換するＡ／Ｄ変換回路１９、該Ａ／Ｄ変換回
路１９を介して供給される前記テレビカメラ５ｂおよび
テレビカメラ７ｂからの画像データを記憶する複数の画
像メモリ（ＭＥＭ）１３、前記エンコーダからの信号を
供給され、該信号に基づいて前記画像メモリ１３の各ア
ドレスに書き込みを行うとともに、また各アドレスから
データを読み出す制御を行うメモリ制御回路（ＭＥＭ．
ＣＯＮ．）１５、前記画像メモリ１３から読み出された
画像データの加減算を行う加減算回路（ＰＩＸ．ＡＬ
Ｕ．）１４、該加減算回路１４の出力に接続された画像
表示回路（ＶＩＤＥＯ）１６を有する。なお、この画像
表示回路１６の出力にはＣＲＴモニタ１７が接続され、
画像処理装置１２で画像処理された被検体３の断面像が
該ＣＲＴモニタ１７に表示されるようになっている。

【００２８】次に、以上のように構成される本実施例の
放射線検査装置であるラミノグラフの作用について図２
および図３を参照して説明する。

【００２９】Ｘ線発生器１から発生したＸ線ビーム２
は、載物台４上の被検体３を照射し、その一部は被検体
３を透過し、第１のＸ線検出器５の蛍光板５ａに当た
る。また、この第１のＸ線検出器用蛍光板５ａに当たっ
たＸ線ビーム２のうち一部は第１のＸ線検出器用蛍光板
５ａを透過し、更にＸ線フィルタ６を通って減衰を受
け、第２のＸ線検出器７の蛍光板７ａに当たる。ここ
で、第２のＸ線検出器用蛍光板７ａは第１のＸ線検出器
用蛍光板５ａおよびＸ線フィルタ６を透過したＸ線ビー
ム２が入射するような位置に配設されている。

【００３０】被検体３および第１のＸ線検出器用蛍光板
５ａを透過してＸ線フィルタ６に形成された被検体３の
透過画像は第１のＸ線検出器用テレビカメラ５ｂで撮像
され、増幅回路１１を介して画像処理装置１２に供給さ
れるとともに、更にＸ線フィルタ６を透過して第２のＸ
線検出器用蛍光板７ａに形成された被検体３の透過画像
も増幅回路１１を介して画像処理装置１２に供給され
る。ここで、第２のＸ線検出器用テレビカメラ７ｂで撮
像した第２のＸ線検出器用蛍光板７ａからの透過画像信
号は第１のＸ線検出器５からの信号に比べて、途中にＸ
線フィルタ６があるため、低エネルギ側の成分の吸収を
受けて、高エネルギ側の成分のみとなっている。

【００３１】次に、被検体３のラミノグラフ画像を作成
するためにＸ線発生器１を図２に示すようにＬ１，Ｌ
２，Ｌ３，Ｌ４の位置を取るような円運動をＸ線発生器
用駆動機構８によって行わせるとともに、このＸ線発生
器１の円運動に同期して第１のＸ線検出器５、Ｘ線フィ
ルタ６、第２のＸ線検出器７もＸ線検出器用駆動機構９
によって円運動を行わせる。

【００３２】なお、図３はこのような円運動のうちの位
置Ｌ１，Ｌ２におけるＸ線発生器１と第１のＸ線検出器
用蛍光板５ａおよび第２のＸ線検出器用蛍光板７ａとの
位置関係を示している。図３において、Ｘ線発生器１が
位置Ｌ１にある場合には、蛍光板５ａ、蛍光板７ａは実
線で示すような位置に被検体３を挟んで位置し、またＸ
線発生器１が位置Ｌ２に移動した場合には、蛍光板５
ａ、蛍光板７ａは５ａ’，７ａ’で示すように点線で示
すような位置に被検体３を挟んで位置し、位置Ｌ１にお
いてＸ線発生器１と蛍光板５ａ、蛍光板７ａの各中心を
結ぶ線分は、位置Ｌ２においてＸ線発生器１と蛍光板５
ａ、蛍光板７ａの各中心を結ぶ線分と被検体３内の断面
像を得ようとする深さ、すなわち検査位置において交差
している。すなわち、各位置Ｌ１，Ｌ２は、このような
位置関係になるようにＸ線発生器１、第１のＸ線検出器
用蛍光板５ａ、第２のＸ線検出器用蛍光板７ａの相対的
運動が制御されているのである。

【００３３】上述したように、Ｘ線発生器１を位置Ｌ
１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４に移動させるとともに、この移動
に同期して上述した位置関係をもって第１のＸ線検出器
５、Ｘ線フィルタ６、第２のＸ線検出器７を移動させた
場合において、まず位置Ｌ１においてＸ線発生器１から
のＸ線が被検体３を透過し、第１のＸ線検出器５および
第２のＸ線検出器７で検出された被検体３の透過画像信
号をそれぞれＳ１１，Ｓ２１とすると、これらの信号は
画像メモリ１３のアドレスＡ１１，Ａ２１に記憶され
る。次に、Ｘ線発生器１を位置Ｌ２に移動させるととも
に、この移動に同期して上記位置関係を維持しながら第
１のＸ線検出器５および第２のＸ線検出器７を移動させ
た場合において、同様に第１のＸ線検出器５および第２
のＸ線検出器７で検出された被検体３の透過画像信号を
それぞれＳ１２，Ｓ２２とすると、これらの信号は画像
メモリ１３のアドレスＡ１２，Ａ２２に記憶される。

【００３４】以下、位置Ｌ３，Ｌ４についても同様の処
理を行うと、最終的には図２に示すように被検体３の透
過画像信号として、第１のＸ線検出器５からはＳ１１，
Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４が得られ、第２のＸ線検出器７
からはＳ２１，Ｓ２２，Ｓ２３，Ｓ２４が得られ、これ
らの透過画像信号はそれぞれ画像メモリ１３の対応した
アドレスに記憶される。

【００３５】以上のようにして、画像メモリ１３に記憶
された被検体３の透過画像信号から被検体３のラミノグ
ラフ画像を作成するには、まず第１のＸ線検出器５から
の一群の画像信号Ｓ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４を加
算して重ね合わせた画像Ｓ１ｔを図２に示すように作成
し、また同様にして第２のＸ線検出器７からの一群の画
像信号Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ２３，Ｓ２４を加算して重ね
合わせた画像Ｓ２ｔを作成する。

【００３６】ところで、第２のＸ線検出器７は第１のＸ
線検出器５に比較してＸ線発生器１から離れた位置にあ
るので、その画像は幾何学的な拡大により第１のＸ線検
出器５による画像よりも大きい。この拡大率Ｍは、図３
に示すようにＸ線発生器１と第１のＸ線検出器５との間
の距離をｄ１とし、Ｘ線発生器１と第２のＸ線検出器７
との間の距離をｄ２とすると、Ｍ＝ｄ２／ｄ１となる。
この拡大率Ｍの分、第２のＸ線検出器７から得られた画
像Ｓ２ｔを縮小修正して、第１のＸ線検出器５からの画
像Ｓ１ｔと同じ大きさの画像Ｓ２ｔ’を図２に示すよう
に作成する。

【００３７】このようにして作成された２つの画像Ｓ１
ｔおよびＳ２ｔ’を基に新しい合成画像Ｔを次式により
作成する。

【００３８】Ｔ＝αＳ１ｔ＋βＳ２ｔ’ なお、αβは定数である。

【００３９】ここで、画像Ｓ２ｔ’は、画像Ｓ１ｔに比
較して、Ｘ線フィルタ６による減衰を受けた分だけ信号
レベルが低い。この低減率を１／Ｋとし、上式において
α＝１，β＝−Ｋとすると、合成画像Ｔは低Ｘ線エネル
ギ分のみによる被検体３のラミノグラフ画像となり、薄
い銅箔パターンの検査に適するものとなる。

【００４０】また、α＝０，β＝１とすると、高Ｘ線エ
ネルギ分のみによる被検体３のラミノグラフ画像とな
り、半田付け部分等の検査に適したものとなる。

【００４１】上述したように、２つのＸ線エネルギにお
けるラミノグラフ画像を作成して合成することにより、
Ｘ線吸収の大きく異なる部分を一度に得ることができ
る。

【００４２】なお、上記実施例では、一例として、Ｌ
１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４の４つの位置からの画像信号に基
づいてラミノグラフ画像を得ているが、実際には多数ｎ
個の位置の多数の画像データを得、これらの画像データ
を演算することにより、特定エネルギ領域に属する信号
のみを用いてラミノグラフ画像を作成する。

【００４３】なお、上記実施例において、画像の拡大率
の補正を収集した画像にかける代わりに、データ収集時
点で拡大率に応じて書き込む画像メモリのアドレスを修
飾し、この修飾したアドレスに記憶するようにしてもよ
い。この場合、前記画像Ｓ２ｔは既に拡大率の補正を行
ったものであるので、Ｓ２ｔ’＝Ｓ２ｔであり、画像合
成は単純に２つの画像メモリの加算でよい。

【００４４】また、上記実施例では、すべて２次元画像
対象に説明したが、Ｘ線検出器として例えば１次元のラ
インセンサを用いても同様に実施可能である。この場合
には、被検体のＸ線検出器に対する移動が必要になるの
で、載物台を移動してデータを収集することになる。

【００４５】上記実施例において、第１のＸ線検出器５
および第２のＸ線検出器７の検査特性のエネルギ領域
は、画像データ収集対象である被検体のＸ線吸収係数の
吸収端をはさむ領域であり、上述したように各透過線デ
ータを検出し、この２種類の透過データ間で演算を行う
ことにより画像コントラストを強調し得るものである。

【００４６】図４（ａ），（ｂ）は被検体が鉛および錫
の場合のＸ線吸収係数の吸収端に相当する放射線のエネ
ルギ領域がそれぞれ９０ｋｅＶおよび３０ｋｅＶである
ことを示しているグラフである。

【００４７】図５は、本発明の他の実施例に係わる放射
線検査装置の構成を示す図である。同図に示す放射線検
査装置は、暗箱４６内に第１のＸ線検出器用の蛍光板４
２、Ｘ線フィルタ手段である両面ミラー４７、および第
２のＸ線検出器用の蛍光板４４を設けるとともに、暗箱
４６の外側上方にＸ線管４１およびその下方に被検体５
１を設け、Ｘ線管４１からのＸ線を被検体５１に照射
し、該被検体５１を透過したＸ線を蛍光板４２で受け
て、該蛍光板４２の蛍光面４２１に形成された被検体の
透過画像を両面ミラー４７を介して第１のＸ線検出器用
のＴＶカメラ４３で撮像し、また蛍光板４２および両面
ミラー４７を透過したＸ線を第２のＸ線検出器用の蛍光
板４４で受けて、該蛍光板４４の蛍光面４４１に形成さ
れたＸ線の透過画像を両面ミラー４７を介して第２のＸ
線検出器用のＴＶカメラ４５で撮像するものである。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の放射線検出手段を直列に配設するとともに、各放
射線検出手段からの信号が異なる放射線エネルギ分布に
対応するように透過する放射線の線質を変化させるべく
複数の放射線検出手段の間に放射線フィルタ手段を配設
し、複数の放射線検出手段からの出力信号を演算し、被
検体の所望の検査対象箇所の放射線断面像を得ているの
で、放射線吸収の異なる被検体、例えば電子部品を実装
したプリント基板の半田付け部分と基板の銅箔パターン
部分のラミノグラフ画像をそれぞれの検査に適した放射
線エネルギを用いて適確に同時に得ることができ、処理
速度を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係わる放射線検査装置の構
成を示す斜視図である。

【図２】図１に示す実施例の作用を示す説明図である。

【図３】図１に示す実施例の作用を示す説明図である。

【図４】被検体が鉛および錫の場合のＸ線吸収係数の吸
収端に相当する放射線のエネルギ領域がそれぞれ９０ｋ
ｅＶおよび３０ｋｅＶであることを示しているグラフで
ある。

【図５】本発明の他の実施例に係わる放射線検査装置の
構成を示す図である。

【符号の説明】

１Ｘ線発生器２Ｘ線ビーム３被検体４載物台５第１のＸ線検出器５ａ第１のＸ線検出器用蛍光板５ｂ第１のＸ線検出器用テレビカメラ７第２のＸ線検出器７ａ第２のＸ線検出器用蛍光板７ｂ第２のＸ線検出器用テレビカメラ１２画像処理装置１３画像メモリ１４加減算回路１５メモリ制御回路１７ＣＲＴモニタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者森三樹神奈川県横浜市磯子区新磯子町33 株式会社東芝生産技術研究所内 (72)発明者鈴木博勝東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検体に向けて放射線を発生する放射線
発生手段と、被検体を透過した前記放射線発生手段から
の放射線を検出すべく前記放射線発生手段に対向して互
いに直列に配設されるとともに、各々は前記放射線発生
手段からの放射線を透過し得る複数の放射線検出手段
と、該複数の放射線検出手段の間に設けられ、前記各放
射線検出手段からの信号が異なる放射線エネルギ分布に
対応するように透過する放射線の線質を変化させる放射
線フィルタ手段と、前記複数の放射線検出手段からの出
力信号を演算し、被検体の所望の検査対象箇所の放射線
断面像を得る演算手段とを有することを特徴とする放射
線検査装置。
【請求項２】前記演算手段は、前記複数の放射線検出
手段間の前記放射線発生手段からの距離が異なることに
より生じる放射線透過画像の大きさを補正し、この補正
された放射線透過画像を前記各放射線検出手段が検出す
る放射線エネルギ領域に異なる特性をもたせるように補
正する補正手段を有することを特徴とする請求項１記載
の放射線検査装置。
【請求項３】前記複数の放射線検出手段は第１および
第２の放射線検出手段から構成され、該放射線検出手段
は被検体を透過した放射線を２次元の光像に変換する２
次元放射線／光変換手段および該２次元放射線／光変換
手段で変換された画像を撮像する撮像手段から構成さ
れ、前記放射線フィルタ手段は前記放射線発生手段から
の被検体を透過した放射線ビームに対して傾斜して配設
されたミラー手段で構成され、前記第１の放射線検出手
段を構成する前記撮像手段は前記ミラー手段で反射され
た画像を撮像するように放射線ビーム内から外されて配
設されていることを特徴とする請求項１または２記載の
放射線検査装置。
【請求項４】前記複数の放射線検出手段は、第１およ
び第２の放射線検出手段から構成され、該第１および第
２の放射線検出手段の検出特性のエネルギ領域は被検体
の放射線吸収係数の吸収端をはさむ領域であり、該第１
および第２の放射線検出手段で検出した透過画像データ
を演算することにより、画像コントラストを強調できる
ものであることを特徴とする請求項１記載の放射線検査
装置。
【請求項５】前記被検体の放射線吸収係数の吸収端に
相当する放射線のエネルギ領域は約９０ｋｅＶであり、
半田に含まれる鉛の画像コントラストを強調できるもの
であることを特徴とする請求項４記載の放射線検査装
置。
【請求項６】前記被検体の放射線吸収係数の吸収端に
相当する放射線のエネルギ領域は約３０ｋｅＶであり、
半田に含まれる錫の画像コントラストを強調できるもの
であることを特徴とする請求項４記載の放射線検査装
置。
【請求項７】前記ミラー手段は両面ミラー手段であ
り、前記第１および第２の２次元放射線／光変換手段の
光像出力は前記両面ミラーに対向する方向であり、該両
面ミラーで反射された光像は前記第１および第２の放射
線検出手段の前記撮像手段で撮像されることを特徴とす
る請求項３記載の放射線検査装置。