JPH0864755A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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Publication number
JPH0864755A
JPH0864755A JP6193462A JP19346294A JPH0864755A JP H0864755 A JPH0864755 A JP H0864755A JP 6193462 A JP6193462 A JP 6193462A JP 19346294 A JP19346294 A JP 19346294A JP H0864755 A JPH0864755 A JP H0864755A
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JP
Japan
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metal plate
terminal
emitter
collector
electrode
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JP6193462A
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English (en)
Inventor
Hideki Hata
英樹 秦
Takashi Waga
隆 和賀
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Hitachi Ltd
Minebea Power Semiconductor Device Inc
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Haramachi Electronics Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0864755A publication Critical patent/JPH0864755A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D12/00Bipolar devices controlled by the field effect, e.g. insulated-gate bipolar transistors [IGBT]
    • H10D12/411Insulated-gate bipolar transistors [IGBT]
    • H10D12/441Vertical IGBTs

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  • Inverter Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体装置内の配線インダクタンスによって発
生するサージ電圧による悪影響を回避し、半導体素子の
絶縁破壊等が防止できる半導体装置を提供する。 【構成】第4金属板1上に、第1、2、3の金属板を有
する絶縁板2が固着される。第1金属板3上に、ダイオ
−ド7とIGBT6とが逆並列接続で固着され、IGB
T6上のエミッタ電極18は、第2金属板5へ導線14
によって接続される。ダイオ−ド7上のアノ−ド電極1
9は、第2金属板5へ導線15によって接続される。第
1金属板3には、コレクタ主端子8とコレクタ補助端子
12とが、また、第2金属板5には、エミッタ主端子9
とエミッタ制御端子10とエミッタ補助端子13とが、
それぞれの金属板から垂直に立ち上がって接続固定され
ている。さらに、IGBT6上のゲ−ト電極17は、第
3金属板4へ導線16によって接続されており、第3金
属板4に、ゲ−ト制御端子11が接続固定されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置内蔵の半導
体素子を保護する補助端子を有する半導体装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】インバ−タ装置、無停電電源装置、共振
型電源装置などには、電力用MOSFET、絶縁ゲ−ト
型バイポ−ラトランジスタ(IGBT)等の半導体素子
を内蔵した半導体装置が多く使用されている。そして、
高効率化が促進され、内蔵される半導体素子のスイッチ
ング特性は、年々高速化されている。そのため、半導体
装置の内部配線レイアウトや入出力端子構造の最適化が
重要になってきている。
【0003】このような半導体装置の従来技術として、
例えば、特開平3−263363号公報に開示されたも
のがある。
【0004】これによれば、支持板上に固定された半導
体片の一面上に第1の補助端子と接続される補助電極
と、主端子および第2の補助端子と接続される1つの主
電極とを有し、各端子は支持板面に垂直に立上げられ、
各電極と配線によって接続され、第1、第2の補助端子
間に印加される電圧により主電流が制御されるものにお
いて、第2の補助端子との接続配線が主端子との接続配
線に主端子立上がり部に近接した位置で接続された半導
体装置の例が示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】近年、半導体装置に内
蔵された半導体素子のスイッチング特性が高速化される
につれ、主電流の電流変化率di/dtが増大し、di
/dtの増大は、半導体装置内の配線インダクタンスL
との相互作用で、(L×di/dt)に相当するサージ
電圧の増大を起こしている。そしてこの現象によって、
半導体素子のスイッチングにおけるタ−ンオフ時、ダイ
オ−ドの逆回復が為されたとき、サージ電圧が過電圧と
なり、半導体素子の絶縁破壊を起こしている。
【0006】しかし、上記従来技術の半導体装置では、
該サージ電圧を抑えるための保護回路が、主端子間に取
り付けられるが、半導体装置内の配線インダクタンスに
よって発生するサージ電圧を抑えるための保護回路は取
り付けられず、該サージ電圧が吸収されず絶縁破壊が解
消されていないものであった。また、半導体装置の並列
接続時の問題であった電流不平衡も解消できないもので
あった。
【0007】従って、本発明の目的は、半導体装置内の
配線インダクタンスによって発生するサージ電圧による
半導体素子の絶縁破壊等が防止できる半導体装置を提供
することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する半導
体装置は、電導体からなる第1金属板、第2金属板およ
び第3金属板と、該第1、第2、第3金属板を上面に固
着保持する絶縁板と、該絶縁板の下面に固着保持された
第4金属板とを備え、エミッタ電極およびゲート電極を
有する半導体素子とアノ−ド電極を有するダイオ−ドと
を、第1金属板の上面に逆並列接続に固着したものであ
って、且つ、電導体からなり第1金属板面から垂直に立
ち上がり接続固定されているコレクタ主端子と、電導体
からなり第2金属板面から垂直に立ち上がり接続固定さ
れているエミッタ主端子およびエミッタ制御端子と、電
導体からなり第3金属板面から垂直に立ち上がり接続固
定されているゲ−ト制御端子と、エミッタ電極と第2金
属板とを接続する導線と、アノ−ド電極と第2金属板と
を接続する導線と、ゲ−ト電極と第3金属板とを接続す
る導線とを備え、ケースで、絶縁板、各金属板、各端
子、各導線をコーティング材と一緒に封入してなる半導
体装置において、第1金属板と電気的に接続され保護回
路との電気の遣り取りを可能とするコレクタ補助端子
と、第2金属板と電気的に接続され保護回路との電気の
遣り取りを可能とするエミッタ補助端子とを設けたもの
である。
【0009】また、コレクタ主端子に導通しているコレ
クタ電極と、ゲ−ト制御端子に導通しているゲ−ト電極
と、エミッタ主端子およびエミッタ制御端子に導通して
いるエミッタ電極とを備え、ゲ−ト制御端子とエミッタ
制御端子間に印加される電圧により主電流が制御される
半導体装置において、コレクタ電極に導通しているコレ
クタ補助端子と、エミッタ電極に導通しているエミッタ
補助端子とを設け、コレクタ補助端子とエミッタ補助端
子との間に、主電流の電流変化と各主端子が保有する配
線インダクタンスとによって発生するサージ電圧を吸収
する保護回路を設けたものであっても可である。
【0010】
【作用】このような構成において、主端子に流れる主電
流の電流変化率と、主端子が保有する半導体装置内の配
線インダクタンスとの、相互作用で発生するサージ電圧
は、コレクタ補助端子とエミッタ補助端子とを利用し保
護回路に導かれ吸収されるので、半導体素子の絶縁破壊
が防止できる。また、抵抗とコンデンサとからなる回路
をたすき掛けに接続した保護回路に導かれ、電流不平衡
も解消することが可能である。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照
し、説明する。図1は、本発明による一実施例の半導体
装置を示す平面図である。半導体装置の一例として、I
GBTのモジュ−ル構造を示したものである。そして図
2は、図1の半導体装置の側面図である。図1と図2と
を同時に参照し、本発明の半導体装置の構成について、
次に説明する。
【0012】冷却フィンを兼ねた第4金属板1の上面
に、絶縁板2が固着される。該絶縁板2の上面に、電導
体である第1金属板3と第2金属板5と第3金属板4と
が、固着される。コレクタ電極としての該第1金属板3
の上面に、ダイオ−ド7と、半導体素子としてのIGB
T6とが、逆並列接続の回路となるよう固着される。
【0013】そして、IGBT6の上面に固着されたエ
ミッタ電極18は、該第2金属板5に、複数の導線14
によって接続される。また、ダイオ−ド7の上面に固着
されたアノ−ド電極19は、前記第2金属板5に、複数
の導線15によって接続される。
【0014】そして、第1金属板3には、電導体からな
るコレクタ主端子8と、新しく設けられた電導体からな
るコレクタ補助端子12とが、第1金属板3の面から垂
直に細長く立ち上がって、電気的に導通し接続固定され
ている。即ち、コレクタ補助端子12は、第1金属板3
と電気的に接続され、ケース20の外にあって、後述す
る保護回路との電気の遣り取りを可能とする補助端子で
ある。
【0015】また、第2金属板5には、電導体からなる
エミッタ主端子9およびエミッタ制御端子10と、これ
も新設された電導体からなるエミッタ補助端子13と
が、第2金属板5の面から垂直に細長く立ち上がって、
電気的に導通し接続固定されている。即ち、エミッタ補
助端子13は、第2金属板5と電気的に接続され、ケー
ス20の外にあって、後述する保護回路との電気の遣り
取りを可能とする補助端子である。
【0016】さらに、IGBT6の上面に固着されたゲ
−ト電極17は、第3金属板4に、導線16によって接
続されており、該第3金属板4には、電導体からなるゲ
−ト制御端子11が第3金属板4の面から垂直に立ち上
がって、電気的に導通し接続固定されている。
【0017】そして、ケース20で、上記の各金属板や
各端子等をコーティング材と一緒に封入し、半導体装置
が構成されている。
【0018】このような半導体装置において、ゲ−ト制
御端子11とエミッタ制御端子10間に印加される電圧
により、コレクタ主端子8とエミッタ主端子9とに流れ
る主電流が制御されている。
【0019】尚、コレクタ主端子8とコレクタ補助端子
12と第1金属板3とは同じ電導体であっても可であ
る。また、エミッタ主端子9とエミッタ制御端子10と
エミッタ補助端子13と第2金属板5とは同じ電導体で
あっても、ゲ−ト制御端子11と第3金属板4とは同じ
電導体であっても可である。
【0020】図3は、図1の半導体装置の等価回路を示
す図である。図3の等価回路に示された各部の符号に対
応する部分に、図1と同じ符号が付されている。
【0021】そして、コレクタ主端子8とコレクタ補助
端子12は、第1金属板3が保有する配線インダクタン
スを共有はするが、該配線インダクタンスによる影響
は、各端子で同じではない。すなわち、コレクタ主端子
8に主電流が流れ、コレクタ主端子8側の配線インダク
タンス38と主電流の電流変化率によって、コレクタ主
端子8側にサージ電圧が生じても、コレクタ補助端子1
2には、主電流に相当する程大きい電流が流れないた
め、サージ電圧と言える程の電圧は生じない。それは、
コレクタ補助端子12に流れる電流が、制御信号に用い
られる程度の小さな値であるからである。
【0022】また、第2金属板5に接続されているエミ
ッタ側の各端子についても同様なことが言え、エミッタ
主端子9側の配線インダクタンス39と主電流の電流変
化率によって、エミッタ主端子9側にサージ電圧が生じ
るが、エミッタ補助端子13側にはサージ電圧は生じな
い。
【0023】新設されたコレクタ補助端子12およびエ
ミッタ補助端子13の、上記の機能について、更に、半
導体装置を3相インバ−タ装置に用いた例で、説明す
る。
【0024】図4は、本発明の半導体装置を用いて、3
相インバ−タ装置を構成した場合の1相分等価回路を示
した図である。これについて、次に説明する。
【0025】一対として設けられるIGBT6a,6
b、ダイオ−ド7a,7bは、直流電源33と誘導負荷
30に、図のように接続される。尚、IGBT6a,6
b、ダイオ−ド7a,7bは、一体形ケースでモジュ−
ル化してもよい。
【0026】38aと38b、39aと39bは、半導
体装置内の配線インダクタンス、29は主回路配線イン
ダクタンスである。31,32は各IGBTの駆動回路
である。また、コンデンサ34,35、抵抗36,37
で構成される保護回路は、主回路配線インダクタンス2
9で発生するサージ電圧によって、過電圧が印加され、
IGBT6a,6bが破壊されるのを防止するものであ
る。
【0027】このような回路構成において、IGBT6
aがオフ、IGBT6bがオン状態となり、誘導負荷3
0に負荷電流が流れている状態から、IGBT6bがオ
フされると、誘導負荷30の影響により、それまで流れ
ていた負荷電流は、ダイオ−ド7aを介して流れ続け
る。そして、その状態でIGBT6bが再びオンされる
と、ダイオ−ド7aに流れていた負荷電流がIGBT6
bに移る転流動作が起こり、ダイオ−ド7aは逆回復す
る。
【0028】すなわち、自ア−ムIGBTのタ−ンオフ
時、対ア−ムIGBTのタ−ンオンによってダイオ−ド
が逆回復すると、電流変化率di/dtにより、配線イ
ンダクタンス38a,38b、39a,39bは、主電
源である直流電源33と同方向にサージ電圧を発生す
る。
【0029】この時、主回路配線インダクタンス29で
発生するサージ電圧は、コンデンサ34,35と、抵抗
36,37とからなる保護回路としてのサージ吸収回路
手段により抑えることができる。しかし、半導体装置内
の配線インダクタンス38aで発生したサージ電圧は、
IGBT6aやダイオ−ド7aに過電圧として印加され
ることになる。
【0030】そこで、第1金属板3に設けられたコレク
タ補助端子12aと、第2金属板5に設けられたエミッ
タ補助端子13aとを利用して、配線インダクタンス3
8aで発生したサージ電圧を外部に導き、これらの補助
端子に接続された、例えば、抵抗40とコンデンサ42
とで構成される保護回路としてのサージ吸収回路手段で
吸収させるものである。
【0031】これにより、半導体装置内の配線インダク
タンス38aにおいて発生するサージ電圧を、上記の保
護回路で吸収することができ、過電圧からIGBT6a
とダイオ−ド7aを保護することができる。
【0032】IGBT6bとダイオ−ド7bについて
も、抵抗41とコンデンサ43とで構成される保護回路
を、コレクタ補助端子12bとエミッタ補助端子13b
とに接続し、保護することができる。
【0033】尚、図4において、コレクタ補助端子12
aとエミッタ補助端子13aとを、ケース20の外に設
けないでケース内部に設け、抵抗40とコンデンサ42
とで構成される保護回路と、コレクタ補助端子12aと
エミッタ補助端子13aとを半導体装置に一体内蔵する
ことも可である。即ち、第1金属板と第2金属板の間
に、抵抗40とコンデンサ42とを直接接続するもので
ある。この場合、細長く立ち上がっている補助端子部分
がないので価格面で有利である。そして、抵抗とコンデ
ンサで構成される単純なるサージ吸収回路手段は、小型
なケース20に収納し易く、低価格に結び付き、好適で
ある。
【0034】図5は、本発明による半導体装置としての
IGBTを、並列接続してインバ−タ装置、電源装置な
どに応用する例を示す回路図である。
【0035】IGBT6a,6b、ダイオ−ド7a,7
b等からなる2つの半導体装置を、コレクタ主端子8
a,8b、エミッタ主端子9a,9bで並列接続する。
そして、コレクタ補助端子12a,12b、エミッタ補
助端子13a,13bに、 抵抗60,61とコンデン
サ62,63とが直列接続されている回路を、図のよう
にたすき掛けに接続する。
【0036】上記の回路は、一方は、コレクタ補助端子
12aと抵抗60とコンデンサ62とエミッタ補助端子
13bとが結線され、他方は、コレクタ補助端子12b
と抵抗61とコンデンサ63とエミッタ補助端子13a
とが結線された、たすき状の結線回路、即ち、たすき掛
け回路手段を構成している。このようにIGBTに、第
1金属板3に設けられたコレクタ補助端子12a,12
bと、第2金属板5に設けられたエミッタ補助端子13
a,13bとが存在するので、これらの補助端子群を利
用して、図のような、保護回路としてのたすき掛け回路
手段を形成することができる。
【0037】このように、たすき状の保護回路構成とす
ることによって、並列接続されたIGBTがスイッチン
グされた時、IGBTにおいてオン電圧の差により、ス
イッチング時間に差が出ると言う電流不平衡の問題は、
次のように、補助端子群を介して電気の遣り取りを行
い、解消される。
【0038】例えば、タ−ンオン時に、IGBT6aが
先にタ−ンオンすると、コンデンサ62,63が放電
し、電流が変化することにより、配線インダクタンス3
8a,39aは、IGBT6aにかかる電圧が低くなる
方向に、 配線インダクタンス38b,39bは、IG
BT6bにかかる電圧が高くなる方向に電圧を生じる。
そのため、IGBT6bはタ−ンオンし易くなり、電流
不平衡が抑えられる。
【0039】一方、タ−ンオフ時には、IGBT6aが
先にタ−ンオフすると、コンデンサ62,63に充電
し、電流の変化により、配線インダクタンス38a,3
9aはIGBT6aにかかる電圧が高くなる方向に、配
線インダクタンス38b,39bはIGBT6bにかか
る電圧が低くなる方向に電圧を生じる。従って、IGB
T6bはタ−ンオフし易くなり、電流不平衡が抑えられ
る。
【0040】尚、図5においても、抵抗60,61とコ
ンデンサ62,63とで構成されるたすき掛け回路手段
と、コレクタ補助端子12aとエミッタ補助端子13a
とを、ケース20の外に設けないで半導体装置の内部に
設け、予め半導体装置に一体内蔵することは可である。
この場合も、細長く立ち上がっている補助端子部分がな
いので価格面で有利である。
【0041】
【発明の効果】本発明によれば、半導体装置にコレクタ
補助端子とエミッタ補助端子とが設けられているので、
これらの補助端子に保護回路を接続し、半導体装置内の
配線インダクタンスに生じる主電流の電流変化率による
サージ電圧の影響が、防止される。これにより、半導体
装置に内蔵された半導体素子の絶縁破壊が防止できる効
果が得られる。
【0042】また、2つの半導体装置を並列接続した場
合、補助端子にたすき状の保護回路を接続することによ
り、並列接続時の問題であった電流不平衡を解消するこ
とができる効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による一実施例の半導体装置を示す平面
図である。
【図2】図1の半導体装置の側面図である。
【図3】図1の半導体装置の等価回路を示す図である。
【図4】本発明の半導体装置を用いて、3相インバ−タ
装置を構成した場合の1相分等価回路を示した図であ
る。
【図5】本発明による半導体装置としてのIGBTを、
並列接続してインバ−タ装置、電源装置などに応用する
例を示す回路図である。
【符号の説明】
1…第4金属板、2…絶縁板、3…第1金属板、4…第
3金属板、5…第2金属板、6…半導体素子、7…ダイ
オ−ド、8…コレクタ主端子、9…エミッタ主端子、1
0…エミッタ制御端子、11…ゲ−ト制御端子、12…
コレクタ補助端子、13…エミッタ補助端子、14,1
5,16…導線、17ゲ−ト電極、18…エミッタ電
極、19…アノ−ド電極、20…ケ−ス、38,39…
配線インダクタンス。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電導体からなる第1金属板、第2金属板お
    よび第3金属板と、該第1、第2、第3金属板を上面に
    固着保持する絶縁板と、該絶縁板の下面に固着保持され
    た第4金属板とを備え、 エミッタ電極およびゲート電極を有する半導体素子とア
    ノ−ド電極を有するダイオ−ドとを、前記第1金属板の
    上面に逆並列接続に固着したものであって、 且つ、電導体からなり前記第1金属板面から垂直に立ち
    上がり接続固定されているコレクタ主端子と、電導体か
    らなり前記第2金属板面から垂直に立ち上がり接続固定
    されているエミッタ主端子およびエミッタ制御端子と、
    電導体からなり前記第3金属板面から垂直に立ち上がり
    接続固定されているゲ−ト制御端子と、 前記エミッタ電極と前記第2金属板とを接続する導線
    と、前記アノ−ド電極と前記第2金属板とを接続する導
    線と、前記ゲ−ト電極と前記第3金属板とを接続する導
    線とを備え、 ケースで、前記絶縁板、各金属板、各端子、各導線をコ
    ーティング材と一緒に封入してなる半導体装置におい
    て、 前記第1金属板と電気的に接続され保護回路との電気の
    遣り取りを可能とするコレクタ補助端子と、前記第2金
    属板と電気的に接続され保護回路との電気の遣り取りを
    可能とするエミッタ補助端子とを設けたことを特徴とす
    る半導体装置。
  2. 【請求項2】請求項1において、前記保護回路は、前記
    コレクタ補助端子と前記エミッタ補助端子との間に、前
    記各主端子で発生するサージ電圧を吸収するサージ吸収
    回路手段であることを特徴とする半導体装置。
  3. 【請求項3】請求項1において、各コレクタ主端子と各
    エミッタ主端子とを並列に接続し前記半導体装置を並置
    した場合は、前記保護回路は、一方の前記コレクタ補助
    端子と他方の前記エミッタ補助端子との間と、他方の前
    記コレクタ補助端子と一方の前記エミッタ補助端子との
    間に、直列接続されている抵抗とコンデンサとからなる
    回路をたすき掛けに接続したたすき掛け回路手段である
    ことを特徴とする半導体装置。
  4. 【請求項4】電導体からなる第1金属板、第2金属板お
    よび第3金属板と、該第1、第2、第3金属板を上面に
    固着保持する絶縁板と、該絶縁板の下面に固着保持され
    た第4金属板とを備え、 エミッタ電極およびゲート電極を有する半導体素子とア
    ノ−ド電極を有するダイオ−ドとを、前記第1金属板の
    上面に逆並列接続に固着したものであって、 且つ、電導体からなり前記第1金属板面から垂直に立ち
    上がり接続固定されているコレクタ主端子と、電導体か
    らなり前記第2金属板面から垂直に立ち上がり接続固定
    されているエミッタ主端子およびエミッタ制御端子と、
    電導体からなり前記第3金属板面から垂直に立ち上がり
    接続固定されているゲ−ト制御端子と、 前記エミッタ電極と前記第2金属板とを接続する導線
    と、前記アノ−ド電極と前記第2金属板とを接続する導
    線と、前記ゲ−ト電極と前記第3金属板とを接続する導
    線とを備え、 ケースで、前記絶縁板、各金属板、各端子、各導線をコ
    ーティング材と一緒に封入してなる半導体装置におい
    て、 前記第1金属板と前記第2金属板との間に、前記各主端
    子で発生するサージ電圧を吸収する保護回路を設けたこ
    とを特徴とする半導体装置。
  5. 【請求項5】電導体からなる第1金属板、第2金属板お
    よび第3金属板と、該第1、第2、第3金属板を上面に
    固着保持する絶縁板と、該絶縁板の下面に固着保持され
    た第4金属板とを備え、 エミッタ電極およびゲート電極を有する半導体素子とア
    ノ−ド電極を有するダイオ−ドとを、前記第1金属板の
    上面に逆並列接続に固着したものであって、 且つ、電導体からなり前記第1金属板面から垂直に立ち
    上がり接続固定されているコレクタ主端子と、電導体か
    らなり前記第2金属板面から垂直に立ち上がり接続固定
    されているエミッタ主端子およびエミッタ制御端子と、
    電導体からなり前記第3金属板面から垂直に立ち上がり
    接続固定されているゲ−ト制御端子と、 前記エミッタ電極と前記第2金属板とを接続する導線
    と、前記アノ−ド電極と前記第2金属板とを接続する導
    線と、前記ゲ−ト電極と前記第3金属板とを接続する導
    線とを備え、 ケースで、前記絶縁板、各金属板、各端子、各導線をコ
    ーティング材と一緒に封入してなる半導体装置におい
    て、 前記ケースで、2組の、前記絶縁板,各金属板,各端
    子,各導線をコーティング材と一緒に封入するものであ
    って、 一方の前記第1金属板と他方の前記第2金属板との間
    と、他方の前記第1金属板と一方の前記第2金属板との
    間に、抵抗とコンデンサとを直列接続した保護回路をた
    すき掛けに設けたことを特徴とする半導体装置。
  6. 【請求項6】コレクタ主端子に導通しているコレクタ電
    極と、ゲ−ト制御端子に導通しているゲ−ト電極と、エ
    ミッタ主端子およびエミッタ制御端子に導通しているエ
    ミッタ電極とを備え、前記ゲ−ト制御端子と前記エミッ
    タ制御端子間に印加される電圧により主電流が制御され
    る半導体装置において、 前記コレクタ電極に導通しているコレクタ補助端子と、
    前記エミッタ電極に導通しているエミッタ補助端子とを
    設け、 前記コレクタ補助端子と前記エミッタ補助端子との間
    に、前記主電流の電流変化と前記各主端子が保有する配
    線インダクタンスとによって発生するサージ電圧を吸収
    する保護回路を設けたことを特徴とする半導体装置。
  7. 【請求項7】請求項2または請求項4または請求項6に
    おいて、前記保護回路は、抵抗とコンデンサとを直列接
    続したものであることを特徴とする半導体装置。
JP6193462A 1994-08-18 1994-08-18 半導体装置 Pending JPH0864755A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002524010A (ja) * 1998-08-12 2002-07-30 ダイムラークライスラー・アクチェンゲゼルシャフト 電圧−チャージ制御電力半導体デバイスを制御する装置

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